六氯乙硅烷機(jī)臺及其保養(yǎng)維護(hù)方法
【專利摘要】一種六氯乙硅烷機(jī)臺，包括：工藝機(jī)臺，為六氯乙硅烷之工藝制程腔室；泵抽單元，通過具有主閥的管路與所述工藝機(jī)臺連接；冷阱裝置，進(jìn)一步包括金屬隔離網(wǎng)以及設(shè)置在金屬隔離網(wǎng)外圍的冷卻裝置，且冷阱裝置設(shè)置在管路之異于泵抽單元的一端與主閥之間。本發(fā)明通過在主閥和管路之間設(shè)置冷阱裝置，使得工藝機(jī)臺之副產(chǎn)物濺落在活動設(shè)置的金屬隔離網(wǎng)上，而不會在管路內(nèi)聚集，在對六氯乙硅烷機(jī)臺進(jìn)行清理時不僅操作簡單、方便，而且提高保養(yǎng)效率，提高了六氯乙硅烷機(jī)臺的在線生產(chǎn)時間。
【專利說明】六氯乙硅烷機(jī)臺及其保養(yǎng)維護(hù)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種六氯乙硅烷機(jī)臺及其保養(yǎng)維護(hù)方法。

【背景技術(shù)】
[0002]眾所周知，在半導(dǎo)體領(lǐng)域所用的六氯乙硅烷機(jī)臺通常是通過具有主閥的管道與泵抽單元連接。但是，隨著所述六氯乙硅烷機(jī)臺長時間的工作以及工藝特性，其副產(chǎn)物較多，并伴隨著泵抽單元的作用濺落在所述管道內(nèi)。據(jù)統(tǒng)計分析，完成每次管道例行保養(yǎng)維護(hù)的時間需要至少6h。特別地，所述管道采用分段連接方式，且根據(jù)安裝需要，部分管道設(shè)置在地板夾層內(nèi)，進(jìn)一步增加了保養(yǎng)維護(hù)的時間。
[0003]在競爭激烈的市場大環(huán)境下， 如何提高所述六氯乙硅烷機(jī)臺的在線生產(chǎn)時間，減少機(jī)臺保養(yǎng)維護(hù)時間，以提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本已成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題之一。
[0004]故針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本案設(shè)計人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種六氯乙硅烷機(jī)臺及其保養(yǎng)維護(hù)方法。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是針對現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的六氯乙硅烷機(jī)臺保養(yǎng)維護(hù)的時間較長，且操作難度大等缺陷提供一種六氯乙硅烷機(jī)臺。
[0006]本發(fā)明之又一目的是針對現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的六氯乙硅烷機(jī)臺保養(yǎng)維護(hù)的時間較長，且操作難度大等缺陷提供一種六氯乙硅烷機(jī)臺的保養(yǎng)維護(hù)方法。
[0007]為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種六氯乙硅烷機(jī)臺，所述六氯乙硅烷機(jī)臺包括:工藝機(jī)臺，所述工藝機(jī)臺為六氯乙硅烷之工藝制程腔室；泵抽單元，所述泵抽單元通過具有主閥的管路與所述工藝機(jī)臺連接；冷阱裝置，所述冷阱裝置進(jìn)一步包括金屬隔離網(wǎng)以及設(shè)置在所述金屬隔離網(wǎng)外圍的冷卻裝置，且所述冷阱裝置設(shè)置在所述管路之異于所述泵抽單元的一端與所述主閥之間。
[0008]可選地，所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)活動設(shè)置在所述管路之異于所述泵抽單元的一端與所述主閥之間。
[0009]可選地，所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)為抽屜式設(shè)計。
[0010]可選地，所述冷阱裝置之冷卻裝置為循環(huán)冷卻水。
[0011]為實現(xiàn)本發(fā)明之又一目的，本發(fā)明提供一種六氯乙硅烷機(jī)臺的保養(yǎng)維護(hù)方法，所述六氯乙硅烷機(jī)臺的保養(yǎng)維護(hù)方法，包括:
[0012]執(zhí)行步驟S1:所述工藝機(jī)臺完成工藝制程；
[0013]執(zhí)行步驟S2:所述工藝機(jī)臺之工藝制程氣體在所述泵抽單元的作用下進(jìn)入所述管路；
[0014]執(zhí)行步驟S3:所述冷阱裝置之冷卻裝置將所述工藝制程氣體冷卻，并將所述副產(chǎn)物濺落在所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)上；
[0015]執(zhí)行步驟S4:在所述六氯乙硅烷機(jī)臺進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)時，抽出所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)，并進(jìn)行更換。
[0016]綜上所述，本發(fā)明所述六氯乙硅烷機(jī)臺通過在所述主閥和所述管路之間設(shè)置具有金屬隔離網(wǎng)和冷卻裝置的所述冷阱裝置，使得所述工藝機(jī)臺之工藝制程氣體進(jìn)入所述管路所產(chǎn)生的副產(chǎn)物濺落在所述活動設(shè)置的金屬隔離網(wǎng)上，而不會在所述管路內(nèi)聚集，在對所述六氯乙硅烷機(jī)臺進(jìn)行清理時不僅操作簡單、方便，而且提高保養(yǎng)效率，提高了所述六氯乙硅烷機(jī)臺的在線生產(chǎn)時間。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1所示為本發(fā)明六氯乙硅烷機(jī)臺的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0018]為詳細(xì)說明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實施例并配合附圖予以詳細(xì)說明。
[0019]請參閱圖1，圖1所示為本發(fā)明六氯乙硅烷機(jī)臺的結(jié)構(gòu)示意圖。所述六氯乙硅烷機(jī)臺1，包括:工藝機(jī)臺11，所述工藝機(jī)臺11為所述六氯乙硅烷之工藝制程腔室；泵抽單元12，所述泵抽單元12通過具有主閥13的所述管路14與所述工藝機(jī)臺11連接；冷阱裝置15，所述冷阱裝置15進(jìn)一步包括金屬隔離網(wǎng)151，以及設(shè)置在所述金屬隔離網(wǎng)151外圍的所述冷卻裝置152，且所述冷阱裝置15設(shè)置在所述管路14之異于所述泵抽單元12的一端與所述主閥13之間。
[0020]作為具體的實施方式，非限制性的列舉，所述冷阱裝置15之金屬隔離網(wǎng)151活動設(shè)置在所述管路14之異于所述泵抽單元12的一端與所述主閥13之間。更具體地，所述冷阱裝置15之金屬隔離網(wǎng)151為抽屜式設(shè)計。即，在對所述六氯乙硅烷機(jī)臺I進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)時，可獨(dú)立的抽出所述金屬隔離網(wǎng)151進(jìn)行副產(chǎn)物清理或進(jìn)行更換。優(yōu)選地，所述冷阱裝置15之冷卻裝置152為循環(huán)冷卻水。
[0021]為了更直觀的揭露本發(fā)明之技術(shù)方案，凸顯本發(fā)明之有益效果，現(xiàn)結(jié)合具體的實施方式為例進(jìn)行闡述，所述【具體實施方式】之具體結(jié)構(gòu)不應(yīng)視為對本技術(shù)方案的限制。
[0022]請繼續(xù)參閱圖1，詳述本發(fā)明六氯乙硅烷機(jī)臺的保養(yǎng)維護(hù)工作原理。所述六氯乙硅烷機(jī)臺的保養(yǎng)維護(hù)方法，包括:
[0023]執(zhí)行步驟S1:所述工藝機(jī)臺11完成工藝制程；
[0024]執(zhí)行步驟S2:所述工藝機(jī)臺11之工藝制程氣體在所述泵抽單元12的作用下進(jìn)入所述管路14 ；
[0025]執(zhí)行步驟S3:所述冷阱裝置15之冷卻裝置152將所述工藝制程氣體冷卻，并將所述副產(chǎn)物濺落在所述冷阱裝置15之金屬隔離網(wǎng)151上；
[0026]執(zhí)行步驟S4:在所述六氯乙硅烷機(jī)臺I進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)時，抽出所述冷阱裝置15之金屬隔離網(wǎng)151，并進(jìn)行更換。
[0027]顯然地，所述工藝機(jī)臺11之工藝制程氣體進(jìn)入所述管路14，其產(chǎn)生的副產(chǎn)物濺落在所述冷阱裝置15之金屬隔離網(wǎng)151上，而不會在所述管路14內(nèi)聚集。故在對所述六氯乙硅烷機(jī)臺I進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)時僅需更換所述冷阱裝置15之金屬隔離網(wǎng)151，不僅使得所述保養(yǎng)維護(hù)操作簡單、方便，而且提高保養(yǎng)效率，將保養(yǎng)維護(hù)時間縮短在Ih以內(nèi)，提高了所述六氯乙硅烷機(jī)臺I的在線生產(chǎn)時間。
[0028]綜上所述，本發(fā)明所述六氯乙硅烷機(jī)臺通過在所述主閥和所述管路之間設(shè)置具有金屬隔離網(wǎng)和冷卻裝置的所述冷阱裝置，使得所述工藝機(jī)臺之工藝制程氣體進(jìn)入所述管路所產(chǎn)生的副產(chǎn)物濺落在所述活動設(shè)置的金屬隔離網(wǎng)上，而不會在所述管路內(nèi)聚集，在對所述六氯乙硅烷機(jī)臺進(jìn)行清理時不僅操作簡單、方便，而且提高保養(yǎng)效率，提高了所述六氯乙硅烷機(jī)臺的在線生產(chǎn)時間。
[0029]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可以對本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時，認(rèn)為本發(fā)明涵蓋這些修改和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種六氯乙硅烷機(jī)臺，其特征在于，所述六氯乙硅烷機(jī)臺包括: 工藝機(jī)臺，所述工藝機(jī)臺為六氯乙硅烷之工藝制程腔室； 泵抽單元，所述泵抽單元通過具有主閥的管路與所述工藝機(jī)臺連接； 冷阱裝置，所述冷阱裝置進(jìn)一步包括金屬隔離網(wǎng)以及設(shè)置在所述金屬隔離網(wǎng)外圍的冷卻裝置，且所述冷阱裝置設(shè)置在所述管路之異于所述泵抽單元的一端與所述主閥之間。
2.如權(quán)利要求1所述的六氯乙硅烷機(jī)臺，其特征在于，所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)活動設(shè)置在所述管路之異于所述泵抽單元的一端與所述主閥之間。
3.如權(quán)利要求1所述的六氯乙硅烷機(jī)臺，其特征在于，所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)為抽屜式設(shè)計。
4.如權(quán)利要求1所述的六氯乙硅烷機(jī)臺，其特征在于，所述冷阱裝置之冷卻裝置為循環(huán)冷卻水。
5.一種如權(quán)利要求1所述的六氯乙硅烷機(jī)臺，其特征在于，所述六氯乙硅烷機(jī)臺的保養(yǎng)維護(hù)，包括: 執(zhí)行步驟S1:所述工藝機(jī)臺完成工藝制程； 執(zhí)行步驟S2:所述工藝機(jī)臺之工藝制程氣體在所述泵抽單元的作用下進(jìn)入所述管路； 執(zhí)行步驟S3:所述冷阱 裝置之冷卻裝置將所述工藝制程氣體冷卻，并將所述副產(chǎn)物濺落在所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)上； 執(zhí)行步驟S4:在所述六氯乙硅烷機(jī)臺進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)時，抽出所述冷阱裝置之金屬隔離網(wǎng)，并進(jìn)行更換。
【文檔編號】C23C16/44GK104073777SQ201410141318
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月8日
【發(fā)明者】陳志平, 俞瑋, 萬家俊 申請人:上海華力微電子有限公司