一種蒸鍍裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型實施例提供了一種蒸鍍裝置，涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】；可改善蒸鍍源加熱和降溫過程中，蒸發(fā)出來的材料沉積到腔體內(nèi)部引起腔體污染的問題。該蒸鍍裝置，包括腔體，設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍源、待鍍基板以及蒸鍍遮擋裝置，所述蒸鍍遮擋裝置包括：中空的遮擋主體和與所述遮擋主體匹配且固定的遮擋蓋；所述遮擋蓋設(shè)置在所述遮擋主體靠近所述待鍍基板的上表面；所述遮擋主體的中空部分的截面面積大于等于所述蒸鍍源的面積；在所述蒸鍍源的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源的降溫過程中，所述蒸鍍遮擋裝置設(shè)置在所述蒸鍍源與所述待鍍基板之間，且靠近所述蒸鍍源設(shè)置。用于需要蒸鍍沉積薄膜的顯示【技術(shù)領(lǐng)域】中，所述蒸鍍裝置的制造。
【專利說明】一種蒸鍍裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及顯示【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種蒸鍍裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，蒸鍍工藝被廣泛應(yīng)用于電子器件的鍍膜生產(chǎn)過程中，其原理是將待成膜的源材料放置于真空環(huán)境中，通過電阻加熱或電子束加熱使源材料加熱到一定溫度發(fā)生蒸發(fā)或升華，氣化后的源材料凝結(jié)沉積在待成膜的基板表面而完成鍍膜。
[0003]例如，在有機電致發(fā)光顯示器(簡稱0LED)的制備工藝中，需要在蒸鍍裝置01的腔體10內(nèi)蒸鍍多層有機薄膜，從而在待鍍基板30上形成各個有機發(fā)光單元。如圖1所示，在蒸鍍前，需要通過加熱器50對蒸鍍源20進行加熱以使其達到設(shè)定的溫度，在此過程中，蒸鍍源20中的一部分蒸鍍材料受熱會蒸發(fā)出來，由于這部分蒸鍍材料沒有被加熱到預(yù)設(shè)溫度，蒸汽攜帶的能量不足以使蒸鍍材料到達待鍍基板30的蒸鍍區(qū)30a，因而會沉積在靠近蒸鍍源20的腔體10內(nèi)部；在蒸鍍源20達到預(yù)設(shè)溫度后，通過設(shè)置在待鍍基板30與蒸鍍源20之間的擋板60，對待鍍基板30的蒸鍍區(qū)30a進行選擇性蒸鍍；當(dāng)待鍍基板30完成蒸鍍后，蒸鍍源20停止加熱，然而，在蒸鍍源20的降溫過程中，仍然會有一部分材料受熱繼續(xù)蒸發(fā)出來；這樣，在蒸鍍源20的加熱和降溫過程中，已經(jīng)蒸發(fā)出來但未參與蒸鍍的材料會沉積到腔體10內(nèi)部對腔體10造成污染，影響下一次蒸鍍，從而使得蒸鍍質(zhì)量下降。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型的實施例提供一種蒸鍍裝置，可以改善在蒸鍍源的加熱和降溫過程中，蒸鍍源蒸發(fā)出來的蒸鍍材料沉積到腔體內(nèi)部引起污染的問題。
[0005]為達到上述目的，本實用新型的實施例采用如下技術(shù)方案:
[0006]本實用新型實施例提供了一種蒸鍍裝置，包括腔體，設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍源和待鍍基板，所述蒸鍍裝置還包括設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍遮擋裝置，所述蒸鍍遮擋裝置包括:中空的遮擋主體和與所述遮擋主體匹配且固定的遮擋蓋；其中，所述遮擋蓋設(shè)置在所述遮擋主體靠近所述待鍍基板的上表面；所述遮擋主體的中空部分的截面面積大于等于所述蒸鍍源的面積；在所述蒸鍍源的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源的降溫過程中，所述蒸鍍遮擋裝置設(shè)置在所述蒸鍍源與所述待鍍基板之間，且靠近所述蒸鍍源設(shè)置。
[0007]優(yōu)選的，所述蒸鍍裝置還包括冷凝裝置、以及設(shè)置在所述遮擋主體外表面的加熱絲；其中，所述冷凝裝置包括設(shè)置在所述遮擋蓋靠近所述待鍍基板的上表面的冷卻水管路、與所述冷卻水管路相連的冷卻水進水管和冷卻水出水管、以及與所述冷卻水進水管和所述冷卻水出水管連接的供水裝置。
[0008]優(yōu)選的，所述冷卻水管路以盤旋方式均勻的平鋪在所述遮擋蓋的上表面。
[0009]進一步優(yōu)選的，所述遮擋主體的中空部分的形狀為圓柱體；所述遮擋蓋包括:一個底面以及與所述底面連接的側(cè)面，且所述底面的面積大于等于所述遮擋主體的截面面積，所述側(cè)面具有外螺紋；其中，所述遮擋主體靠近所述遮擋蓋的一側(cè)具有內(nèi)螺紋，所述遮擋主體上的內(nèi)螺紋與所述遮擋蓋的所述側(cè)面的外螺紋相吻合。
[0010]在此基礎(chǔ)上優(yōu)選的，所述冷卻水管路固定在所述遮擋蓋的上表面。
[0011]優(yōu)選的，所述冷卻水管路固定在一個金屬板上，所述金屬板與所述遮擋蓋的上表面固定在一起；其中，所述金屬板上包括至少兩個均勻分布的固定螺絲孔，與所述金屬板對應(yīng)的所述遮擋蓋的上表面上具有相應(yīng)的固定螺絲孔，所述金屬板與所述遮擋蓋的上表面通過與所述固定螺絲孔相匹配的螺絲固定。
[0012]優(yōu)選的，所述蒸鍍裝置還包括:與冷卻水進水管和/或冷卻水出水管連接的傳動絲杠，以及與所述傳動絲杠連接的驅(qū)動裝置。
[0013]進一步優(yōu)選的，所述驅(qū)動裝置設(shè)置在所述蒸鍍裝置腔體的外部；其中，所述傳動絲杠的一部分位于所述腔體內(nèi)，另一部分位于所述腔體外；所述驅(qū)動裝置通過與所述驅(qū)動裝置連接的連接桿與位于所述腔體外的所述傳動絲杠連接。
[0014]在此基礎(chǔ)上優(yōu)選的，所述冷卻水進水管和所述冷卻水出水管設(shè)置在所述腔體內(nèi)側(cè)，所述供水裝置設(shè)置在所述腔體外部；其中，所述供水裝置通過穿過所述腔體的第一供水管與所述冷卻水進水管相連，通過穿過所述腔體的第二供水管與所述冷卻水出水管相連。
[0015]本實用新型實施例提供了一種蒸鍍裝置，包括腔體，設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍源和待鍍基板，所述蒸鍍裝置還包括設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍遮擋裝置，所述蒸鍍遮擋裝置包括:中空的遮擋主體和與所述遮擋主體匹配且固定的遮擋蓋；其中，所述遮擋蓋設(shè)置在所述遮擋主體靠近所述待鍍基板的上表面；所述遮擋主體的中空部分的截面面積大于等于所述蒸鍍源的面積；在所述蒸鍍源的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源的降溫過程中，所述蒸鍍遮擋裝置設(shè)置在所述蒸鍍源與所述待鍍基板之間，且靠近所述蒸鍍源設(shè)置。可以改善在蒸鍍源的加熱和降溫過程中，蒸鍍源蒸發(fā)出來的蒸鍍材料沉積到腔體內(nèi)部引起污染的問題。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中蒸鍍裝置的腔體內(nèi)部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實用新型實施例提供的一種蒸鍍裝置的腔體內(nèi)部剖面結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3a為本實用新型實施例提供的一種蒸鍍裝置的冷凝裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖
[0020]圖3b為本實用新型實施例提供的一種蒸鍍裝置的冷凝裝置的俯視結(jié)構(gòu)示意圖-* ;
[0021]圖4為本實用新型實施例提供的一種蒸鍍裝置的遮擋蓋的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖5為本實用新型實施例提供的一種蒸鍍裝置中冷卻水管路與遮擋蓋的可拆卸固定方式示意圖；
[0023]圖6為本實用新型實施例提供的一種蒸鍍裝置的蒸鍍遮擋裝置與驅(qū)動裝置連接方式示意圖。
[0024]附圖標記:
[0025]01-蒸鍍裝置；10_腔體；20_蒸鍍源；30_待鍍基板；30a_蒸鍍區(qū)；40_蒸鍍遮擋裝置；401_遮擋主體；402_遮擋蓋；4021_底面；4022_側(cè)面；403_加熱絲；404_冷卻水管路；405-冷卻水進水管；406_冷卻水出水管；50_加熱器；60_擋板；70_供水裝置；701_第一供水管；702_第二供水管；80_金屬板；801_固定螺絲孔；90_傳動絲杠；91_連接桿；92_驅(qū)動
>j-U ρ?α裝直。
【具體實施方式】
[0026]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0027]本實用新型實施例提供了一種蒸鍍裝置01，如圖2所示，包括腔體10，設(shè)置在所述腔體10內(nèi)的蒸鍍源20、待鍍基板30以及蒸鍍遮擋裝置40，所述蒸鍍遮擋裝置40包括:中空的遮擋主體401和與所述遮擋主體401匹配且固定的遮擋蓋402。
[0028]其中，所述遮擋蓋402設(shè)置在所述遮擋主體401靠近所述待鍍基板30的上表面；所述遮擋主體401的中空部分的截面面積大于等于所述蒸鍍源20的面積。
[0029]在所述蒸鍍源20的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源20的降溫過程中，所述蒸鍍遮擋裝置40設(shè)置在所述蒸鍍源20與所述待鍍30基板之間，且靠近所述蒸鍍源20設(shè)置。
[0030]當(dāng)然，參考圖2所示，所述蒸鍍裝置01還包括:用于對所述蒸鍍源20進行加熱的加熱器50，以及用于對待鍍基板30的蒸鍍區(qū)30a進行選擇的擋板60。
[0031]這里，為了更好的闡述本實用新型實施例提供的所述蒸鍍裝置01，首先解釋一下上述蒸鍍裝置01中的所述蒸鍍遮擋裝置40的使用目的:
[0032]在所述蒸鍍裝置01的使用中，根據(jù)所述蒸鍍源20所采用的蒸鍍材料的不同，所述蒸鍍源20的預(yù)蒸鍍溫度也不相同，例如，在所述蒸鍍源20所采用的蒸鍍材料為有機材料的情況下，所述預(yù)蒸鍍溫度通常為100~200°C，而在所述蒸鍍源20所采用的蒸鍍材料為無機以及金屬單質(zhì)或金屬合金材料的情況下，所述預(yù)蒸鍍溫度可達200~2500°C ;因此，在所述蒸鍍裝置01中，需要對所述蒸鍍源20進行一定時間的預(yù)加熱來達到預(yù)蒸鍍溫度，以使在蒸鍍開始后，所述蒸鍍源20中的蒸鍍材料能夠均勻氣化，從而保持凝固到所述待鍍基板30上的蒸鍍區(qū)30a的薄膜組分均一。
[0033]然而，在上述的預(yù)加熱過程中，所述蒸鍍源20中的一部分蒸鍍材料會蒸發(fā)出來，而這部分蒸發(fā)出來的蒸鍍材料不能到達待鍍基板30，而沉積到所述腔體10的內(nèi)部，對所述腔體10造成污染，影響蒸鍍質(zhì)量。
[0034]同樣的，當(dāng)對所述待鍍基板30的蒸鍍完成后，所述腔體10內(nèi)的加熱器50就停止了對所述蒸鍍源20的加熱，然而由于所述蒸鍍源20具有較高的蒸鍍溫度，降溫的過程需要一定的時間，在此過程中，所述蒸鍍源20中的一部分蒸鍍材料仍會繼續(xù)蒸發(fā)；這部分蒸發(fā)出來的蒸鍍材料不能到達待鍍基板30，也會沉積到所述腔體10的內(nèi)部對所述腔體10造成污染。
[0035]因此，當(dāng)在上述兩個過程中，即蒸鍍源20的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度的過程中，以及所述待鍍基板30蒸鍍完成后蒸鍍源20的降溫過程中，通過在所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間并且靠近所述蒸鍍源20的正上方設(shè)置所述蒸鍍遮擋裝置40，可以將這兩個過程中蒸發(fā)出來的蒸鍍材料吸收到蒸鍍遮擋裝置40中，從而可以改善在蒸鍍源的加熱和降溫過程中，蒸鍍源20蒸發(fā)出來的蒸鍍材料沉積到腔體內(nèi)部引起污染的問題。
[0036]需要說明的是，第一，不對所述遮擋主體401與所述遮擋蓋402的固定方式進行限定，優(yōu)選為可拆卸固定方式。
[0037]第二，所述遮擋主體401具有中空結(jié)構(gòu)是指，沿垂直所述遮擋主體401的上表面的方向看過去，視線能穿過該遮擋主體401的中空部分而看到所述遮擋主體401以外的畫面。
[0038]第三，當(dāng)所述蒸鍍遮擋裝置40設(shè)置在所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間時，所述遮擋主體401的中空部分正對所述蒸鍍源20設(shè)置，以能最大化的吸收蒸鍍材料。
[0039]第四，在所述蒸鍍源20的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度開始蒸鍍到蒸鍍結(jié)束這一過程中，為了不影響對所述待鍍基板30的蒸鍍，所述蒸鍍遮擋裝置40并未設(shè)置在所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間；而只在所述蒸鍍源20的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源20的降溫過程中，將所述蒸鍍遮擋裝置40設(shè)置在所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間。
[0040]其中，為了實現(xiàn)整個蒸鍍過程中所述蒸鍍遮擋裝置40的移動，本領(lǐng)域技術(shù)人員在未做出創(chuàng)造性的條件下應(yīng)該明白，可以通過設(shè)置與所述蒸鍍遮擋裝置40連接的驅(qū)動裝置，來使蒸鍍遮擋裝置40根據(jù)不同蒸鍍階段的需求進行相應(yīng)的移動。這里，不對所述驅(qū)動裝置，以及驅(qū)動裝置與所述蒸鍍遮擋裝置40的連接方式進行限制。
[0041]基于上述描述，可選的，所述遮擋主體401的形狀為圓柱體，相應(yīng)的，所述中空部分的形狀也為圓柱體。當(dāng)然，所述遮擋主體401的形狀也可以為長方體，相應(yīng)的，所述中空部分的形狀也為長方體；為了使所述遮擋主體401的制作工藝復(fù)雜程度最小化，優(yōu)選的，所述遮擋主體401的形狀為圓柱體，相對應(yīng)的，與所述遮擋主體401匹配的遮擋蓋402的橫截面的圖形也為圓形。
[0042]進一步地，參考圖2所示，所述蒸鍍裝置01還包括冷凝裝置、以及設(shè)置在所述遮擋主體401外表面的加熱絲403 ;其中，所述冷凝裝置包括設(shè)置在所述遮擋蓋402靠近所述待鍍基板30上表面的冷卻水管路404、與所述冷卻水管路404相連的冷卻水進水管405和冷卻水出水管406、以及與所述冷卻水進水管404和所述冷卻水出水管406連接的供水裝置70。
[0043]其中，所述供水裝置70用來給所述冷凝裝置提供穩(wěn)定的冷卻水，其工作原理如下:在所述供水裝置70中存儲有一定體積的水，通過設(shè)置在所述供水裝置70中的制冷裝置將這些水維持在一個較低的恒定溫度內(nèi)，從而使得這部分溫度較低的冷凝水進入所述冷卻水進水管405，來給與所述冷卻水管路404相接觸的所述遮擋蓋402的上表面降溫，由于熱交換效應(yīng)，完成冷卻作用的這部分冷凝水溫度會升高，再通過所述冷卻水出水管406回到所述供水裝置70中，所述供水裝置70中的所述制冷裝置能將這部分具有較高溫度的冷凝水降溫，再進入所述冷卻水進水管405中，從而完成對所述遮擋蓋402的上表面的循環(huán)冷凝過程。[0044]需要說明的是，圖2中僅示意性的畫出了冷卻水進水管405、冷卻水出水管406以及供水裝置70的相對位置，但本實用新型實施例并不限于此，所述冷卻水進水管405、所述冷卻水出水管406以及所述供水裝置70可以均設(shè)置在所述腔體10中，或者可以按圖2的方式，將所述供水裝置70設(shè)置在所述腔體10外，將所述冷卻水進水管405以及所述冷卻水出水管406設(shè)置在所述腔體10內(nèi)，并通過額外設(shè)置的連接管將所述供水裝置70與所述冷卻水進水管405、所述冷卻水出水管406連接。
[0045]進一步優(yōu)選的，如圖3a所示，所述冷卻水管路404以盤旋方式平鋪在所述遮擋蓋402的上表面，這樣可以最大限度地增加所述冷卻水管路404與所述遮擋蓋402的接觸面積，提高冷卻效果；當(dāng)然，所述冷卻水管路404也可按照如圖3b所示的方式平鋪在所述遮擋蓋402的上表面。
[0046]然而，本實用新型實施例提供的所述冷卻水管路404并不限于上述兩種排布方式，以能夠?qū)崿F(xiàn)使所述冷卻水管路404與所述遮擋蓋402的充分接觸，并給所述遮擋蓋402降溫為準。
[0047]對于所述加熱絲403的設(shè)置，優(yōu)選為均勻地纏繞在所述遮擋主體401的外表面。
[0048]其中，設(shè)置所述加熱絲403是用來保持所述遮擋主體401具有較高的溫度，設(shè)置所述冷凝裝置是用來保持所述遮擋蓋402具有較低的溫度；這樣，當(dāng)蒸鍍材料通過該蒸鍍遮擋裝置40時，由于所述遮擋主體401具有較高的溫度，蒸鍍材料從遮擋主體401經(jīng)過時，不會凝結(jié)在所述遮擋主體401的內(nèi)壁上，而會繼續(xù)向上蒸發(fā)，并到達遮擋蓋402，由于設(shè)置在所述遮擋蓋402上表面的所述冷卻水管路404的冷卻作用，相對于所述遮擋主體401，所述遮擋蓋402具有較低的溫度，上述的蒸鍍材料會在所述遮擋蓋402的內(nèi)側(cè)凝結(jié)，然后可以通過例如刮取、剝離等方式回收該蒸鍍材料，這樣就可以將這部分蒸鍍材料收集起來，從而提高了所述蒸鍍源20的利用率。
[0049]需要說明的是，首先，由于所述遮擋主體401需要通過加熱絲403來進行加熱，因此，所述遮擋主體401所采用的材料應(yīng)該是具有導(dǎo)熱性且在受熱過程中不會分解或者釋放出其他物質(zhì)的材料，本實用新型實施例中不對所述遮擋主體401所采用的材料以及所述加熱絲401的加熱方式進行限制，以能夠?qū)崿F(xiàn)上述目的為準。
[0050]其次，不對所述加熱絲403的加熱溫度進行限制，以蒸鍍材料經(jīng)過所述遮擋主體401時，不凝結(jié)在所述遮擋主體401上為準。
[0051]進一步地，考慮到需要對凝結(jié)在所述遮擋蓋402的內(nèi)側(cè)的蒸鍍材料進行回收，若將所述遮擋蓋402和所述遮擋主體401采用不可拆卸的方式固定在一起，則不利于該回收過程；因此，為實現(xiàn)所述遮擋蓋402與所述遮擋主體401的可拆卸固定，優(yōu)選的，可以將所述遮擋主體401的中空部分的形狀設(shè)置為圓柱體，并將所述遮擋蓋402設(shè)置為如下的結(jié)構(gòu):
[0052]如圖4所示，所述遮擋蓋402可以包括:一個底面4021，與所述底面4021連接的側(cè)面4022，且所述側(cè)面4022具有外螺紋；其中，所述底面4021的面積大于等于所述遮擋主體401的截面面積，所述側(cè)面4022圍成的截面面積略小于所述遮擋主體401的中空部分的面積；在此基礎(chǔ)上，可以在所述遮擋主體401靠近所述遮擋蓋402的一側(cè)具有與所述外螺紋相吻合的內(nèi)螺紋，這樣，所述遮擋蓋402便可以通過旋轉(zhuǎn)方式將其側(cè)面4022旋入所述遮擋主體401內(nèi)部，實現(xiàn)二者的固定。
[0053]基于上述描述，考慮到在不同蒸鍍階段內(nèi)，需要將所述蒸鍍遮擋裝置40移動到不同的位置，為了實現(xiàn)在移動過程中使遮擋主體401、遮擋蓋402、以及冷凝裝置可穩(wěn)定地同步移動，優(yōu)選的，可以將所述冷卻水管路404固定在所述遮擋蓋402的上表面。
[0054]進一步地，考慮到后續(xù)對凝結(jié)在所述遮擋蓋402內(nèi)側(cè)的蒸鍍材料要進行回收，雖然遮擋蓋402和遮擋主體401可進行分離，從而在一定程度上方便操作，但是若將所述冷卻水管路404以不可拆卸方式固定在所述遮擋蓋402的上表面，在對蒸鍍材料進行回收時，還是會影響回收操作。
[0055]因此，優(yōu)選的，所述冷卻水管路404與所述遮擋蓋402以可拆卸固定方式固定，如圖5所示，二者之間的固定方式為:
[0056]將所述冷卻水管路404采用例如焊接的方式固定在一個金屬板80上，所述金屬板80與所述遮擋蓋402的上表面固定在一起；其中，所述金屬板80上包括至少兩個均勻分布的固定螺絲孔801，與所述金屬板80對應(yīng)的所述遮擋蓋402的上表面上具有相應(yīng)的固定螺絲孔801，所述金屬板80與所述遮擋蓋402的上表面通過與所述固定螺絲孔801相匹配的螺絲固定。
[0057]這里，為了在所述金屬板80上設(shè)置固定螺絲孔801，所述金屬板80的面積應(yīng)略大于所述冷卻水管路404的底面面積；此外，為了不影響所述冷卻水管路404對所述遮擋蓋402的冷卻作用，所述金屬板80的厚度應(yīng)盡可能的小。
[0058]通過上述描述可知，當(dāng)不需要對凝結(jié)在所述遮擋蓋402上的蒸鍍材料進行回收時，所述蒸鍍遮擋裝置40與所述冷凝裝置固定在一起，在此基礎(chǔ)上，為實現(xiàn)所述蒸鍍遮擋裝置40與所述冷凝裝置整體的移動，所述蒸鍍裝置01還可以包括:與所述冷卻水進水管405和/或所述冷卻水出水管406連接的傳動絲杠90，以及與所述傳動絲杠連接的驅(qū)動裝置92。
[0059]此處，所述傳動絲杠90可以與所述冷卻水進水管405或所述冷卻水出水管406連接，來實現(xiàn)對所述蒸鍍遮擋裝置40的移動；考慮到所述傳動絲杠90移動的穩(wěn)定性，所述傳動絲杠90也可以與所述冷卻水進水管405和所述冷卻水出水管406均連接，從而使所述冷凝裝置能夠更穩(wěn)定地移動。
[0060]需要說明的是，此處不對所述驅(qū)動裝置92進行限定，例如可以是馬達、直流電機
坐寸ο
[0061]進一步地，如圖6所示，考慮到所述驅(qū)動裝置92往往具有較大的體積，若放置在所述腔體10內(nèi)必然會導(dǎo)致腔體10的體積增大，優(yōu)選的，所述驅(qū)動裝置92設(shè)置在所述蒸鍍裝置01腔體的外部。
[0062]其中，可以將所述傳動絲杠90的一部分設(shè)置在所述腔體10內(nèi)，另一部分設(shè)置在所述腔體10外；所述驅(qū)動裝置92通過與所述驅(qū)動裝置92連接的連接桿91與位于所述腔體10外的所述傳動絲杠90連接。
[0063]這里，在所述腔體10上設(shè)置有穿孔，用來使所述傳動絲杠90穿過所述腔體10的一側(cè)，進而與所述連接桿91相連，以實現(xiàn)所述驅(qū)動裝置92對所述傳動絲杠90的移動控制。
[0064]此外，對于所述冷凝裝置的供水裝置70，由于其體積一般比較大，若放置在所述腔體10內(nèi)也必然會導(dǎo)致腔體10的體積增大，因此，參考圖2或圖6所示，優(yōu)選的，所述冷卻水進水管405和所述冷卻水出水管406設(shè)置在所述腔體10內(nèi)側(cè)，所述供水裝置70設(shè)置在所述腔體10外部。[0065]其中，所述供水裝置70可以通過穿過所述腔體10的第一供水管701與所述冷卻水進水管405相連，通過穿過所述腔體10的第二供水管702與所述冷卻水出水管406相連。
[0066]下面提供一個具體的實施例，用來詳細描述上述的蒸鍍裝置01:
[0067]本實用新型實施例提供了 一種蒸鍍裝置OI，參考圖6所示，包括腔體10，設(shè)置在所述腔體10內(nèi)的蒸鍍源20、待鍍基板30以及蒸鍍遮擋裝置40，所述蒸鍍遮擋裝置40包括:中空的遮擋主體401和與所述遮擋主體401匹配且固定的遮擋蓋402。
[0068]其中，所述遮擋主體401的形狀為圓柱體，相應(yīng)的，遮擋主體401的中空部分也為圓柱體，與所述遮擋主體401匹配的遮擋蓋402的橫截面的圖形為圓形。此外，為了充分保證在所述蒸鍍源20的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源20的降溫過程中，蒸發(fā)出來的材料能夠盡量多的進入所述遮擋主體401的內(nèi)部，所述遮擋主體401的中空部分的截面面積大于所述蒸鍍源20的面積，且所述遮擋蓋402設(shè)置在所述遮擋主體401靠近所述待鍍基板30的上表面。
[0069]在此基礎(chǔ)上，所述蒸鍍裝置01還可以包括冷凝裝置、以及均勻地纏繞在在所述遮擋主體401外表面的加熱絲403 ;其中，所述冷凝裝置包括設(shè)置在所述遮擋蓋402靠近所述待鍍基板30上表面的冷卻水管路404、與所述冷卻水管路404相連的冷卻水進水管405和冷卻水出水管406、以及與所述冷卻水進水管404和所述冷卻水出水管406連接的供水裝置70。
[0070]其中，冷卻水管路404固定在所述遮擋蓋402的上表面；所述冷卻水進水管405和冷卻水出水管406設(shè)置在所述腔體10內(nèi)部；所述供水裝置70設(shè)置在所述腔體10外部，并通過穿過所述腔體10的第一供水管701與所述冷卻水進水管405相連，以及通過穿過所述腔體10的第二供水管702與所述冷卻水出水管相連406。
[0071 ] 此外，為了最大限度地增加所述冷卻水管路404與所述遮擋蓋402的接觸面積，提高冷卻效果，所述冷卻水管路404可以以圖3a所示的盤旋方式平鋪在所述遮擋蓋402的上表面。
[0072]通過上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)在所述蒸鍍源20的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源20的降溫過程中，所述蒸鍍遮擋裝置40設(shè)置在所述蒸鍍源20與所述待鍍30基板之間，且靠近所述蒸鍍源20設(shè)置時，便將蒸鍍材料收集在所述遮擋蓋402的內(nèi)側(cè)，以便進行回收利用。
[0073]基于上述的描述可知，考慮到后續(xù)工藝需要對凝結(jié)在所述遮擋蓋402的內(nèi)側(cè)的蒸鍍材料進行回收，參考圖4所示，所述遮擋蓋402與所述遮擋主體401采用以下的可拆卸的方式固定在一起:所述遮擋蓋402包括:一個底面4021，與所述底面4021連接的側(cè)面4022，且所述側(cè)面4022具有外螺紋；其中，所述底面4021的面積大于等于所述遮擋主體401的截面面積，所述側(cè)面4022圍成的截面面積略小于所述遮擋主體401的中空部分的面積；在此基礎(chǔ)上，可以在所述遮擋主體401靠近所述遮擋蓋402的一側(cè)具有與所述外螺紋相吻合的內(nèi)螺紋。這樣，所述遮擋蓋402便可以通過旋轉(zhuǎn)方式將其側(cè)面4022旋入所述遮擋主體401內(nèi)部，實現(xiàn)二者的固定。
[0074]進一步地，參考圖5所示，所述冷卻水管路404與所述遮擋蓋402可以采用以下的可拆卸固定方式固定:所述冷卻水管路404焊接在一個金屬板80上，所述金屬板80與所述遮擋蓋402的上表面固定在一起；其中，所述金屬板80上包括四個均勻分布的固定螺絲孔801，與所述金屬板80對應(yīng)的所述遮擋蓋402的上表面上具有相應(yīng)的固定螺絲孔801，所述金屬板80與所述遮擋蓋402的上表面通過與所述固定螺絲孔801相匹配的螺絲固定。這樣，通過所述螺絲與所述固定螺絲孔801的連接和分離，便可以靈活地實現(xiàn)所述冷卻水管路404與所述遮擋蓋402的固定和分離。
[0075]基于上述描述，當(dāng)不需要對凝結(jié)在所述遮擋蓋402上的蒸鍍材料進行回收時，可以將所述遮擋主體401、遮擋蓋402以及冷凝裝置固定成一體結(jié)構(gòu)，這樣可以實現(xiàn)不同階段整體的移動。
[0076]在此基礎(chǔ)上，所述蒸鍍裝置01還包括:與所述冷卻水進水管405和所述冷卻水出水管406均連接的傳動絲杠90，以及與所述傳動絲杠90連接的驅(qū)動裝置92。
[0077]其中，所述驅(qū)動裝置92設(shè)置在所述蒸鍍裝置01腔體的外部，且所述傳動絲杠90的一部分位于所述腔體10內(nèi)，另一部分位于所述腔體10外；所述驅(qū)動裝置92通過與所述驅(qū)動裝置92連接的連接桿91與位于所述腔體10外的所述傳動絲杠90連接。
[0078]基于上述描述的蒸鍍裝置01，現(xiàn)提供一個具體的操作過程:
[0079]步驟1、在蒸鍍開始前，通過所述驅(qū)動裝置92控制所述傳動絲桿90的移動，即，將與所述傳動絲桿90連接的蒸鍍遮擋裝置40和冷凝裝置移動至所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間、且靠近所述蒸鍍源20的位置，并將所述遮擋主體401的中空部分正對著所述蒸鍍源20。
[0080]步驟2、通過所述供水裝置70，先給所述冷卻水進水管405通入冷卻水，再給所述加熱絲403加熱使所述遮擋主體401具有較高的溫度；通過所述加熱器50給所述蒸鍍源20加熱，使得蒸發(fā)出的材料能夠進入所述遮擋主體401的內(nèi)部。
[0081 ] 步驟3、當(dāng)所述蒸鍍源20加熱到預(yù)設(shè)溫度后，同樣的，通過所述驅(qū)動裝置92控制所述傳動絲桿90的移動，即，將與所述傳動絲桿90連接的蒸鍍遮擋裝置40移動至除所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間的其他位置，停止對所述加熱絲403的加熱以及停止給所述冷卻水管路404通入冷卻水；通過所述擋板60將蒸發(fā)出的材料選擇性地蒸鍍到所述待鍍基板30的所述蒸鍍區(qū)30a。
[0082]此處，當(dāng)不需要對凝結(jié)在所述遮擋蓋402上的蒸鍍材料進行回收時，所述蒸鍍遮擋裝置40移動的位置以不影響所述待鍍基板30的蒸鍍?yōu)闇省?br> [0083]步驟4、完成蒸鍍后，停止所述加熱器50給所述蒸鍍源20的加熱，再次通過所述驅(qū)動裝置92控制所述傳動絲桿90的移動，即，將與所述傳動絲桿90連接的蒸鍍遮擋裝置40移動至所述蒸鍍源20與所述待鍍基板30之間、且靠近所述蒸鍍源20的位置，并將所述遮擋主體401的中空部分正對著所述蒸鍍源20，以使由于所述蒸鍍源20的高溫作用而仍然繼續(xù)蒸發(fā)的材料進入所述遮擋主體401的內(nèi)部；并在移動過程中同時給所述冷卻水管路404通入冷卻水以及對所述加熱絲403進行加熱，以使上述的材料凝結(jié)在所述遮擋蓋402的內(nèi)部。
[0084]步驟5、在所述蒸鍍源20降溫至室溫后，將所述遮擋主體401與所述遮擋蓋402、遮擋蓋402與冷凝器裝置分離開來，通過刮取的方式獲得凝結(jié)在所述底面4021上的材料，便于這部分未參與蒸鍍的原材料的回收和再利用。
[0085]需要說明的是，本實用新型所有附圖是蒸鍍裝置的簡略的示意圖，只為清楚描述本方案體現(xiàn)了與發(fā)明點相關(guān)的結(jié)構(gòu)，對于其他的與發(fā)明點無關(guān)的結(jié)構(gòu)是現(xiàn)有結(jié)構(gòu)，在附圖中并未體現(xiàn)或只體現(xiàn)部分。
[0086]以上所述，僅為本實用新型的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護范圍為準。
【權(quán)利要求】
1.一種蒸鍍裝置，包括腔體，設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍源和待鍍基板，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括設(shè)置在所述腔體內(nèi)的蒸鍍遮擋裝置，所述蒸鍍遮擋裝置包括:中空的遮擋主體和與所述遮擋主體匹配且固定的遮擋蓋； 其中，所述遮擋蓋設(shè)置在所述遮擋主體靠近所述待鍍基板的上表面；所述遮擋主體的中空部分的截面面積大于等于所述蒸鍍源的面積； 在所述蒸鍍源的溫度達到預(yù)蒸鍍溫度之前、以及蒸鍍完成后所述蒸鍍源的降溫過程中，所述蒸鍍遮擋裝置設(shè)置在所述蒸鍍源與所述待鍍基板之間，且靠近所述蒸鍍源設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括冷凝裝置、以及設(shè)置在所述遮擋主體外表面的加熱絲； 其中，所述冷凝裝置包括設(shè)置在所述遮擋蓋靠近所述待鍍基板的上表面的冷卻水管路、與所述冷卻水管路相連的冷卻水進水管和冷卻水出水管、以及與所述冷卻水進水管和所述冷卻水出水管連接的供水裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述冷卻水管路以盤旋方式均勻的平鋪在所述遮擋蓋的上表面。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述遮擋主體的中空部分的形狀為圓柱體； 所述遮擋蓋包括:一個底面以及與所述底面連接的側(cè)面，且所述底面的面積大于等于所述遮擋主體的截面面積，所述側(cè)面具有外螺紋； 其中，所述遮擋主體靠近所述遮擋蓋的一側(cè)具有內(nèi)螺紋，所述遮擋主體上的內(nèi)螺紋與所述遮擋蓋的所述側(cè)面的外螺紋相吻合。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述冷卻水管路固定在所述遮擋蓋的上表面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述冷卻水管路固定在一個金屬板上，所述金屬板與所述遮擋蓋的上表面固定在一起； 其中，所述金屬板上包括至少兩個均勻分布的固定螺絲孔，與所述金屬板對應(yīng)的所述遮擋蓋的上表面上具有相應(yīng)的固定螺絲孔，所述金屬板與所述遮擋蓋的上表面通過與所述固定螺絲孔相匹配的螺絲固定。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置還包括:與冷卻水進水管和/或冷卻水出水管連接的傳動絲杠，以及與所述傳動絲杠連接的驅(qū)動裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置設(shè)置在所述蒸鍍裝置腔體的外部； 其中，所述傳動絲杠的一部分位于所述腔體內(nèi)，另一部分位于所述腔體外；所述驅(qū)動裝置通過與所述驅(qū)動裝置連接的連接桿與位于所述腔體外的所述傳動絲杠連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，所述冷卻水進水管和所述冷卻水出水管設(shè)置在所述腔體內(nèi)側(cè)，所述供水裝置設(shè)置在所述腔體外部； 其中，所述供水裝置通過穿過所述腔體的第一供水管與所述冷卻水進水管相連，通過穿過所述腔體的第二供水管與所述冷卻水出水管相連。
【文檔編號】C23C14/24GK203582959SQ201320802641
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2013年12月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月6日
【發(fā)明者】趙德江, 張家奇 申請人:京東方科技集團股份有限公司