靶材組件的制作方法
【專利摘要】一種靶材組件，應(yīng)用于磁控濺射，包括：靶材和背板，所述靶材和背板無間隙貼合；所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有兩個(gè)靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括與背板貼合的第一貼合面、與第一貼合面相對(duì)的第一表面，所述第一表面為平面；所述背板包括與所述靶材貼合的第二貼合面，與所述第二貼和面相對(duì)的第二表面，所述第二表面為平面，所述第一表面與第二表面平行。采用本實(shí)用新型的靶材組件，在制作靶材組件的過程中，可以節(jié)省靶材坯料的原料。
【專利說明】靶材組件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及一種靶材組件。
【背景技術(shù)】
[0002]磁控濺射是以一定能量的粒子(離子或中性原子、分子)轟擊固體表面，使固體近表面的粒子獲得足夠大的能量而最終逸出固體表面，在此過程中，被轟擊的固體稱為靶材組件，靶材組件由靶材與背板組成。
[0003]對(duì)于大型靶材組件，大型背板的精度要求遠(yuǎn)低于大型靶材的精度要求。因此，相對(duì)于大型背板，加工出符合要求的大型靶材的難度系數(shù)很大。為了能夠加工出大型靶材組件，將至少兩塊靶材坯料拼接并焊接在背板上形成大型靶材組件，其中，至少兩塊靶材坯料拼接形成大型靶材。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)中，參考圖1至圖3，大型靶材組件I由靶材2和背板3焊接而成。背板3為長(zhǎng)方體。靶材2由四塊體積相同的靶材坯料21拼接而成。靶材坯料也為長(zhǎng)方體。這四塊靶材坯料21沿背板3的長(zhǎng)邊方向排列，所述四塊靶材坯料21的寬邊對(duì)齊?，F(xiàn)有技術(shù)中的背板3的與靶材貼合面為平面、與靶材貼合面的相對(duì)面也為平面，且背板3的這兩個(gè)平面平行，因此背板3各處的厚度相等，靶材2的與背板貼合面為平面、與背板貼合面的相對(duì)面(濺射面)也為平面，靶材2的這兩個(gè)平面也平行，因此靶材2各處的厚度也相等，這樣，靶材組件I中的背板3與靶材2的堆疊處中各處的厚度也相等。
[0005]將上述大型靶材組件I應(yīng)用于濺射工藝后，靶材2會(huì)出現(xiàn)不均勻轟擊現(xiàn)象，也就是說，部分靶材2幾乎被轟擊穿，靶材2的其余部分還處于幾乎未轟擊狀態(tài)，因此，上述大型靶材組件I的靶材利用率很低,造成靶材材料的浪費(fèi)。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0006]本實(shí)用新型解決的問題是現(xiàn)有技術(shù)中的大型靶材組件中的靶材的利用率很低，造成靶材材料的浪費(fèi)。
[0007]為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種靶材組件，應(yīng)用于磁控濺射，包括:
[0008]靶材和背板，所述靶材和背板無間隙貼合；
[0009]所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有兩個(gè)靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括與背板貼合的第一貼合面、與第一貼合面相對(duì)的第一表面，所述第一表面為平面；
[0010]所述背板包括與所述靶材貼合的第二貼合面，與所述第二貼和面相對(duì)的第二表面，所述第二表面為平面，所述第一表面與第二表面平行。
[0011]可選的，位于背板邊緣的靶材坯料的厚度大于位于背板中心的靶材坯料的厚度。
[0012]可選的，所述背板為長(zhǎng)方體，所述靶材坯料為長(zhǎng)方體，所述靶材坯料有六塊，呈三行兩列分布，中間行的所述靶材坯料的厚度小于第一行、第三行的靶材坯料的厚度。
[0013]可選的，所述背板為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
[0014]可選的，所述靶材為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):
[0016]靶材由靶材坯料拼接而成，至少有兩塊靶材坯料的厚度不同，可以根據(jù)實(shí)際需要，將靶材組件中被轟擊多的位置處的靶材坯料的厚度設(shè)置成等于現(xiàn)有技術(shù)中的靶材坯料的厚度，靶材組件中被轟擊少的位置處的靶材坯料的厚度被減薄，小于現(xiàn)有技術(shù)中的靶材坯料的厚度，而此處的背板的厚度被加厚，并且還要滿足，第一表面和第二表面都為平面且平行，也就是說使得靶材的濺射面與背板的第二表面都為平面且平行，這樣才能保證本實(shí)用新型的靶材組件也能應(yīng)用于現(xiàn)有技術(shù)中的磁控濺射條件，而且，靶材坯料的成本比較高，將靶材坯料減薄，能夠減小制作靶材組件的成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是現(xiàn)有技術(shù)靶材組件的俯視示意圖；
[0018]圖2是圖1沿Y方向的側(cè)面示意圖；
[0019]圖3是圖1沿X方向的側(cè)面示意圖；
[0020]圖4是本實(shí)用新型的靶材組件的平面示意圖；
[0021]圖5是圖4沿Y方向的側(cè)面示意圖；
[0022]圖6是圖4沿X方向的側(cè)面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]參考圖4至圖6，本實(shí)施例中，靶材組件10由靶材20和背板30組成，并且靶材20與背板30無間隙貼合。背板30為長(zhǎng)方體。參考圖4，靶材20由六塊靶材坯料拼接而成，這六塊靶材坯料都為長(zhǎng)方體，且分為兩種類型，靶材坯料A和靶材坯料B。靶材坯料A長(zhǎng)邊和靶材坯料B的長(zhǎng)邊相同。靶材坯料A的寬邊大于靶材坯料B的寬邊。靶材坯料B的厚度與現(xiàn)有技術(shù)中的靶材坯料的厚度相同，靶材坯料A的厚度小于現(xiàn)有技術(shù)中的靶材坯料的厚度，因此，靶材坯料A的厚度小于靶材坯料B的厚度。本實(shí)施例中的磁控濺射條件會(huì)使靶材的中間位置的轟擊較多，靶材的邊緣位置轟擊較小。因此，本實(shí)施例的靶材組件10中，厚度較薄的靶材坯料A位于背板30邊緣，厚度較厚的靶材坯料B位于背板30的中心。具體為:靶材坯料A有四塊，靶材坯料B有兩塊。背板30上的靶材坯料呈三行兩列分布，中間行為靶材坯料B，第一行、第三行為靶材坯料A.。
[0024]需要說明的是，為了使得本實(shí)用新型的靶材組件適用于現(xiàn)有技術(shù)中的磁控濺射條件，本實(shí)用新型的靶材組件的厚度等于現(xiàn)有技術(shù)中的靶材組件的厚度。而且還要滿足下列條件:(1)靶材即使是由靶材坯料拼接而成，也要保證濺射面是平面。所述濺射面是指:靶材20包括與背板30貼合的第一貼合面，與所述第一貼合面相對(duì)的第一表面為濺射面。(2)背板30包括與所述靶材20貼合的第二貼合面，與所述第二貼合面相對(duì)的第二表面也為平面。(3)第一表面與第二表面平行。
[0025]因此，參考圖6，在所述第一表面、所述第二表面都為平面且相互平行的基礎(chǔ)上，厚度小的靶材坯料A處的背板被加厚，也就是說，與靶材坯料A貼合的背板表面離所述靶材坯料A表面的距離減小。
[0026]本實(shí)施例中，在相同的真空濺射條件下，由于靶材坯料A的厚度減小，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)來說，可以減小靶材坯料的成本。何況靶材坯料的成本要比背板貴重許多。[0027]在其他實(shí)施例中，磁控濺射條件也會(huì)使靶材的邊緣位置處轟擊較多，靶材的中心位置處轟擊較小，相應(yīng)的，靶材組件中，靶材坯料A位于靶材中間，靶材坯料B位于靶材的邊緣處。
[0028]其他實(shí)施例中，靶材坯料A和靶材坯料B的形狀也可以為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
[0029]其他實(shí)施例中，背板30可以為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
[0030]雖然本實(shí)用新型披露如上，但本實(shí)用新型并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種靶材組件，應(yīng)用于磁控濺射，其特征在于，包括: 靶材和背板，所述靶材和背板無間隙貼合； 所述靶材由靶材坯料拼接而成，至少有兩個(gè)靶材坯料的厚度不同，所述靶材包括與背板貼合的第一貼合面、與第一貼合面相對(duì)的第一表面，所述第一表面為平面； 所述背板包括與所述靶材貼合的第二貼合面，與所述第二貼和面相對(duì)的第二表面，所述第二表面為平面，所述第一表面與第二表面平行。
2.如權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于，位于背板邊緣的靶材坯料的厚度大于位于背板中心的靶材坯料的厚度。
3.如權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述背板為長(zhǎng)方體，所述靶材坯料為長(zhǎng)方體，所述靶材坯料有六塊，呈三行兩列分布，中間行的所述靶材坯料的厚度小于第一行、第三行的靶材坯料的厚度。
4.如權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述背板為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
5.如權(quán)利要求4所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材為圓柱體、橢圓柱體或多角柱體。
【文檔編號(hào)】C23C14/35GK203474886SQ201320616531
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月30日
【發(fā)明者】姚力軍, 相原俊夫, 大巖一彥, 潘杰, 王學(xué)澤, 宋佳 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司