基片架專用玻璃載具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型給出了一種基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和至少一個(gè)支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個(gè)平行放置的框架桿構(gòu)成，四個(gè)框架桿首尾相連構(gòu)成閉合的平行四邊形結(jié)構(gòu)，所述的支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個(gè)框架桿上或第二框架組件的兩個(gè)框架桿上，至少一組框架組件和至少一個(gè)支撐桿的材料為耐熱金屬材料。利用耐熱金屬材料替代原有材料，使得基片架專用玻璃載具在鍍膜作業(yè)的環(huán)境下具有耐熱性好、耐腐蝕性好，而且在生產(chǎn)加工中不會(huì)產(chǎn)生形變和裂紋。
【專利說(shuō)明】基片架專用玻璃載具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種基片架專用玻璃載具。
【背景技術(shù)】
[0002]鍍膜生產(chǎn)線中磁控濺射是為了在低氣壓下進(jìn)行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率的方法，而其中需要一種基片架專用玻璃載具來(lái)固定玻璃，達(dá)到鍍膜的目的。
[0003]目前所使用的基片架的玻璃載具包括四個(gè)框架桿和多個(gè)支撐桿，四個(gè)框架桿首尾相連圍成正方形，支撐桿分別與相對(duì)的兩個(gè)框架桿固定連接，多個(gè)支撐桿將第一框架組件和第二框架組件劃分為若干個(gè)載物格，每個(gè)載物格四面都有載物槽口，玻璃載具放置在載物槽口內(nèi)，并送入鍍膜生產(chǎn)線中鍍膜作業(yè)。
[0004]基片架的玻璃載具通常采用鋁合金或者不銹鋼材質(zhì)，具有成本低，易獲取等優(yōu)點(diǎn)，但是鍍膜生產(chǎn)線的生產(chǎn)環(huán)境為高溫?zé)o塵環(huán)境，普通的基片架的玻璃載具有重量重、耐熱性差、耐腐蝕性差等缺點(diǎn)，而且在生產(chǎn)加工中容易產(chǎn)生形變，容易使玻璃發(fā)生擠壓，影響鍍膜玻璃的正常生產(chǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種受熱均勻、耐熱性強(qiáng)，而且不易受熱形變的基片架專用玻璃載具。
[0006]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和至少一個(gè)支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個(gè)平行放置的框架桿構(gòu)成，四個(gè)框架桿首尾相連構(gòu)成閉合的平行四邊形結(jié)構(gòu)，所述的支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個(gè)框架桿上或第二框架組件的兩個(gè)框架桿上，第一框架組件、第二框架組件和支撐桿端面上有載物槽口，至少一組框架組件和至少一個(gè)支撐桿的材料為耐熱金屬材料。
[0007]采用這樣的結(jié)構(gòu)后，用耐熱金屬材料替代原有材料，使得基片架專用玻璃載具在鍍膜作業(yè)的環(huán)境下具有耐熱性好、耐腐蝕性好，而且在生產(chǎn)加工中不會(huì)產(chǎn)生形變和裂紋。
[0008]本基片架專用玻璃載具采用的耐熱金屬材料為金屬鈦；采用這樣的結(jié)構(gòu)后，金屬鈦材質(zhì)的框架組件和支撐桿有著重量輕、強(qiáng)度大、耐腐蝕性強(qiáng)，而且使得基片架專用玻璃載具具有良好的耐熱膠著性、耐裂紋性、表面平滑。
[0009]本基片架專用玻璃載具的支撐桿為四個(gè)，分別是第一支撐桿、第二支撐桿、第三支撐桿和第四支撐桿，第一支撐桿兩端和第二支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個(gè)框架桿上，第三支撐桿兩端和第四支撐桿兩端分別固定在第二框架組件的兩個(gè)框架桿上，第三支撐桿和第四支撐桿的材料采用金屬鈦；
[0010]所述的第二框架組件的材料采用金屬鈦。
[0011]采用這樣的結(jié)構(gòu)后，第三支撐桿、第四支撐桿和第二框架組件的材料采用金屬鈦，可以節(jié)約本本基片架專用玻璃載具中金屬鈦的用量，但可以達(dá)到同樣使本基片架專用玻璃載具在高溫條件下不易產(chǎn)生形變的目的。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1是本基片架專用玻璃載具實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是圖1沿A-A方向的放大剖視圖。
[0014]圖3是圖1沿B-B方向的放大剖視圖。
[0015]圖4是本基片架專用玻璃載具實(shí)施例基片架的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖1至3所示
[0017]本基片架專用玻璃載具包括兩組框架組件和四個(gè)支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件由水平放置的第一框架桿11和水平放置的第二框架桿12構(gòu)成，第一框架桿11第二框架桿12的結(jié)構(gòu)相同，第一框架桿11的前端面下部有第一載物槽口 I la，第一框架桿11兩側(cè)分別有耳板15，耳板15上有安裝孔15a，第二框架桿12的前端面上部有第二載物槽口 12a，第二框架桿12兩側(cè)分別有耳板15，耳板15上有安裝孔15a，第二框架組件由豎直放置的第三框架桿13和豎直放置的第四框架桿14構(gòu)成，第三框架桿13第四框架桿14的結(jié)構(gòu)相同，第三框架桿13的前端面右側(cè)有第三載物槽口 13a，第三框架桿13的上、下兩端有安裝凹槽16，第三框架桿13前端面的三分之一長(zhǎng)度位置和三分之二長(zhǎng)度位置處也分別有安裝凹槽16，安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向，第四框架桿14的前端面左側(cè)有第四載物槽口 14a，第四框架桿14的上、下兩端有安裝凹槽16,第四框架桿14的三分之一長(zhǎng)度位置和三分之二長(zhǎng)度位置處也分別有安裝凹槽16，安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向。
[0018]第一框架桿11、第二框架桿12、第三框架桿13和第四框架桿14依次首尾相連構(gòu)成長(zhǎng)方形。
[0019]四個(gè)支撐桿分別是第一支撐桿21、第二支撐桿22、第三支撐桿23和第四支撐桿24，第一支撐桿21和第二支撐桿22都平行于第三框架桿13，第一支撐桿21和第二支撐桿22結(jié)構(gòu)相同，第一支撐桿21兩端有安裝凹槽16，第一支撐桿21前端面的三分之一長(zhǎng)度位置和三分之二長(zhǎng)度位置處也分別有安裝凹槽16,安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向，第一支撐桿21上端的安裝凹槽16與第一框架桿11配合，并通過(guò)螺栓固定在第一框架桿11的三分之一長(zhǎng)度位置，第一支撐桿21下端的安裝凹槽16與第二框架桿12配合，并通過(guò)螺栓固定在第二框架桿12的三分之一長(zhǎng)度位置，第一支撐桿21前端面左側(cè)和前端面右側(cè)分別開有第五載物槽口 21a。
[0020]第二支撐桿22兩端有安裝凹槽16，第二支撐桿22前端面的三分之一長(zhǎng)度位置和三分之二長(zhǎng)度位置處也分別有安裝凹槽16，安裝凹槽16的深度等于第一框架桿11的高度，安裝凹槽16的走向都為水平方向，第二支撐桿22上端的安裝凹槽16與第一框架桿11配合，并通過(guò)螺栓固定在第一框架桿11的三分之二長(zhǎng)度位置，第二支撐桿22下端的安裝凹槽16與第二框架桿12配合，并通過(guò)螺栓固定在第二框架桿12的三分之二長(zhǎng)度位置，第二支撐桿22前端面左側(cè)和前端面右側(cè)分別開有第六載物槽口 22a。
[0021 ] 第三支撐桿23和第四支撐桿24都平行于第一框架桿11，第三支撐桿23和第四支撐桿24結(jié)構(gòu)相同，第三支撐桿23的高度和第四支撐桿24的高度等于第一框架桿11的高度，第三支撐桿23的左端通過(guò)螺栓固定在第三框架桿13三分之一長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23的三分之一長(zhǎng)度位置通過(guò)螺栓固定在第一支撐桿21三分之一長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23的三分之二長(zhǎng)度位置通過(guò)螺栓固定在第二支撐桿22三分之一長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23的右端通過(guò)螺栓固定在第四框架桿14三分之一長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第三支撐桿23前端面上側(cè)和前端面下側(cè)分別開有第七載物槽口 23a。
[0022]第四支撐桿24的左端通過(guò)螺栓固定在第三框架桿13三分之二長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24的三分之一長(zhǎng)度位置通過(guò)螺栓固定在第一支撐桿21三分之二長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24的三分之二長(zhǎng)度位置通過(guò)螺栓固定在第二支撐桿22三分之二長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24的右端通過(guò)螺栓固定在第四框架桿14三分之二長(zhǎng)度位置處的安裝凹槽16內(nèi)，第四支撐桿24前端面上部和前端面下部分別開有第八載物槽口 24a。
[0023]第一框架桿11第一載物槽口 Ila的中心線、第二框架桿12第二載物槽口 12a的中心線、第三框架桿13第三載物槽口 13a的中心線、第四框架桿14第四載物槽口 14a的中心線、第一支撐桿21第五載物槽口 21a的中心線、第二支撐桿22第六載物槽口 22a的中心線、第三支撐桿23第七載物槽口 23a的中心線和第四支撐桿24第八載物槽口 24a的中心線在同一平面內(nèi)。
[0024]第三框架桿13和第四框架桿14的材質(zhì)采用金屬鈦材料，第三支撐桿23和第四支撐桿24的材質(zhì)采用金屬鈦材料。
[0025]如圖4所示
[0026]基片架包括基片架專用玻璃載具、左立柱31、右立柱32、上邊框41、下邊框42和導(dǎo)桿5，基片架專用玻璃載具的第一框架桿11和第二框架桿12兩側(cè)的耳板15分別與左立柱31和右立柱32螺栓連接，左立柱31上側(cè)和右立柱32上側(cè)分別通過(guò)螺栓固定有上邊框41，左立柱31下側(cè)和右立柱32下側(cè)分別通過(guò)螺栓固定有下邊框42，下邊框42下側(cè)焊接有導(dǎo)桿5,
[0027]使用時(shí)，將帶鍍膜的玻璃放置在本基片架專用玻璃載具內(nèi)，再將基片架流入鍍膜生產(chǎn)線中進(jìn)行鍍膜作業(yè)，本基片架專用玻璃載具在作業(yè)過(guò)程中承受高溫、無(wú)塵的環(huán)境，具有耐熱性好、耐腐蝕性好，而且在生產(chǎn)加工中不會(huì)產(chǎn)生形變和裂紋。
[0028]以上所述的僅是本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.基片架專用玻璃載具，包括兩組框架組件和若干個(gè)支撐桿，兩組框架組件分別為第一框架組件和第二框架組件，第一框架組件和第二框架組件分別是由兩個(gè)平行放置的框架桿構(gòu)成，四個(gè)框架桿首尾相連構(gòu)成閉合的平行四邊形結(jié)構(gòu)，每個(gè)支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個(gè)框架桿上或第二框架組件的兩個(gè)框架桿上，第一框架組件、第二框架組件和支撐桿端面上有載物槽口，其特征在于:至少一組框架組件和至少一個(gè)支撐桿的材料為耐熱金屬材料。
2.根據(jù)權(quán)利要求1中所述的基片架專用玻璃載具，其特征為:所述的耐熱金屬材料為金屬鈦。
3.根據(jù)權(quán)利要求2中所述的基片架專用玻璃載具，其特征為:所述的支撐桿為四個(gè)，分別是第一支撐桿、第二支撐桿、第三支撐桿和第四支撐桿，第一支撐桿兩端和第二支撐桿兩端分別固定在第一框架組件的兩個(gè)框架桿上，第三支撐桿兩端和第四支撐桿兩端分別固定在第二框架組件的兩個(gè)框架桿上，第三支撐桿和第四支撐桿的材料采用金屬鈦； 所述的第二框架組件的材料采用金屬鈦。
【文檔編號(hào)】C23C14/50GK203582961SQ201320471008
【公開日】2014年5月7日 申請(qǐng)日期:2013年8月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月2日
【發(fā)明者】郭祖華 申請(qǐng)人:蚌埠雷諾真空技術(shù)有限公司