專利名稱：等離子化學氣相沉積設備用掛鉤的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及材料表面處理設備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種板式等離子化學氣相沉積設備用掛鉤。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)的板式等離子化學氣相沉積(PECVD)鍍膜掛鉤由于結(jié)構(gòu)存在的問題，存在的缺陷是，使用時硅片在裝卸過程容易與石墨板產(chǎn)生摩擦甚至碰撞，產(chǎn)生不合格品甚至廢品，電池片上掛鉤印面積大、電池片不美觀，容易生成背面氮化硅，背電場附著力差，縮短了電池片壽命。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足；提供一種等離子化學氣相沉積設備用掛鉤；提高成品率，減少背面氮化硅的生成，增強背電場附著力，延長電池片壽命。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:一種等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，包括左掛鉤、右掛鉤，所述左掛鉤、右掛鉤為薄板，左掛鉤、右掛鉤通過中間薄板連接，掛鉤的頂部設有凸臺，凸臺下部設有卡槽，掛鉤下部設有折彎鉤，折彎鉤的末端設有尖角。
所述左掛鉤、右掛鉤、中間薄板的厚度為0.5_。所述折彎鉤高度為5mm，所述尖角高度為1mm。所述左掛鉤、右掛鉤的寬度為1.25mm。所述左掛鉤、右掛鉤的內(nèi)端面與掛鉤中心線的距離為3mm。本實用新型的有益效果是:1、使硅片在裝卸的過程中減少與石墨板的摩擦，降低碎片發(fā)生的幾率，提高成品率;.[0012]2、減小電池片上掛鉤印的面積，使電池片更美觀；3、減少背面氮化硅的生成，有利于增強背電場附著力，使電池片壽命更能保證；

圖1為本實用新型的主視圖；其中，1、右掛鉤，2、左掛鉤，3、凸臺，4、卡槽，5、中間薄板，6、掛鉤中心線，7、內(nèi)端
面，8、尖角，9、折彎鉤。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖與實施例對本實用新型做進一步說明。一種等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，結(jié)合圖1，包括左掛鉤2、右掛鉤1，所述左掛鉤2、右掛鉤I為薄板，左掛鉤2、右掛鉤I通過中間薄板5連接，掛鉤的頂部設有凸臺3，凸臺下部設有卡槽4，掛鉤下部設有折彎鉤9，折彎鉤9的末端設有尖角8。所述左掛鉤2、右掛鉤1、中間薄板5的厚度為0.5mm。折彎鉤9高度D為5mm，尖角8高度C為1mm。左掛鉤2、右掛鉤I的寬度B為1.25mm。左掛鉤2、右掛鉤I的內(nèi)端面7與掛鉤中心線6的距離A為3mm。上述雖然結(jié)合 附圖對本實用新型的具體實施方式
進行了描述，但并非對本實用新型保護范圍的限制，所屬領(lǐng)域技術(shù)人員應該明白，在本實用新型的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性勞動即可做出的各種修改或變形仍在本實用新型的保護范圍以內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，包括左掛鉤、右掛鉤，所述左掛鉤、右掛鉤為薄板，左掛鉤、右掛鉤通過中間薄板連接，掛鉤的頂部設有凸臺，凸臺下部設有卡槽，掛鉤下部設有折彎鉤，折彎鉤的末端設有尖角。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述左掛鉤、右掛鉤、中間薄板的厚度為0.5mm。
3.如權(quán)利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述折彎鉤高度為5mm,所述尖角高度為1mm。
4.如權(quán)利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述左掛鉤、右掛鉤的寬度為1.25mm。
5.如權(quán)利要求1所述的等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，其特征是，所述左掛鉤、右掛鉤的內(nèi)端面與掛 鉤中心線的距離為3mm。
專利摘要本實用新型公開了一種等離子化學氣相沉積設備用掛鉤，包括左掛鉤、右掛鉤，所述左掛鉤、右掛鉤為薄板，左掛鉤、右掛鉤通過中間薄板連接，掛鉤的頂部設有凸臺，凸臺下部設有卡槽，掛鉤下部設有折彎鉤，折彎鉤的末端設有尖角，所述左掛鉤、右掛鉤、中間薄板的厚度為0.5mm，所述折彎鉤高度為5mm，所述尖角高度為1mm，所述左掛鉤、右掛鉤的寬度為1.25mm，所述左掛鉤、右掛鉤的內(nèi)端面與掛鉤中心線的距離為3mm；提高成品率，減少背面氮化硅的生成，增強背電場附著力，延長電池片壽命。
文檔編號C23C16/00GK203144510SQ20132006792
公開日2013年8月21日 申請日期2013年2月5日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月5日
發(fā)明者任軍利, 馬章彥, 溫奎, 邢國政, 楊雷, 王步峰, 陳斌 申請人:潤峰電力有限公司