專利名稱：一種硅方端面磨邊機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅方端面邊角磨削用裝置，特別涉及一種硅方端面磨邊機(jī)。
背景技術(shù)：
在晶硅太陽能硅片制造工序中，硅通過直拉或區(qū)熔的方法先制作成圓柱體形的晶硅或長(zhǎng)方體的硅錠，再通過開方、切片等過程制作成正方硅片。開方后，成為立柱形的硅方，多使用金剛石帶鋸對(duì)硅方進(jìn)行切割去頭尾，因?yàn)閹т徢懈畹墓逃刑攸c(diǎn)，使用鋸條切割時(shí)，硅方切割端面會(huì)存在凹凸不平或出刀口出現(xiàn)毛邊、崩邊的情況，若不處理平整，容易導(dǎo)致在切片環(huán)節(jié)中出現(xiàn)大崩邊、掛線斷線等不良現(xiàn)象，以致影響切片合格率。目前，一般采用銼刀手工打磨或用倒角機(jī)處理硅方切割端面邊角不平、毛邊。但是，銼刀手工打磨容易導(dǎo)致更大的崩邊。倒角機(jī)是專門用于處理硅方側(cè)面棱角倒角的設(shè)備，現(xiàn)有的倒角機(jī)主要由機(jī)臺(tái)、位于機(jī)臺(tái)上用于打磨硅方側(cè)面棱角的砂輪裝置和可沿機(jī)臺(tái)橫向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)的機(jī)架組成，機(jī)架具有用于承載硅方的長(zhǎng)形工作槽，工作槽的兩端分別為外端和內(nèi)端，放置硅方時(shí)，硅方自外端進(jìn)入工作槽中，砂輪裝置位于工作槽內(nèi)端的旁側(cè)，工作槽內(nèi)端的槽底面自水平向下呈45°傾斜，硅方側(cè)面棱角伸出在砂輪工作面的上方，此時(shí)，硅方側(cè)面棱角與砂輪的工作面呈45°夾角。現(xiàn)有倒角機(jī)處理硅方端面毛邊時(shí)存在以下缺陷:⑴由于硅方側(cè)面棱角與砂輪的工作面呈45°夾角，砂輪容易磨掉硅方兩端有效部分的硅料而造成浪費(fèi)；⑵對(duì)于硅方端面毛邊凹凸起伏比較嚴(yán)重的情況，需要人工往下按住硅方以便磨削，然而，因?yàn)槭艿降菇菣C(jī)工作槽的結(jié)構(gòu)、硅方切割端面凹凸程度的制約，即使人工下壓硅方，也會(huì)出現(xiàn)毛邊處理不到位、正常有效位置的硅料被多打磨的現(xiàn)象。因此，倒角機(jī)并不適合用來處理硅方兩切割端面的邊角。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可準(zhǔn)確定位硅方、使硅方端面磨邊均勻、確保硅方質(zhì)量、提高硅方切割端面邊角平整度的硅方端面邊角磨邊裝置。本實(shí)用新型的目的通過以下的技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn):一種硅方端面磨邊機(jī)，包括機(jī)臺(tái)、設(shè)于機(jī)臺(tái)上的砂輪裝置和可沿機(jī)臺(tái)橫向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)的機(jī)架，所述砂輪裝置的砂輪工作面朝上，所述機(jī)架具有用于承載硅方的長(zhǎng)形工作槽，所述工作槽的兩端分別為外端和內(nèi)端，其特征在于:所述工作槽的槽底呈水平以使硅方平放于其中，所述砂輪裝置位于所述工作槽內(nèi)端的前方，所述工作槽內(nèi)端的槽底端面是外凸弧形面以使硅方端面邊角外露在砂輪工作面的上方，隨著機(jī)架往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)硅方同步運(yùn)動(dòng)而使砂輪均勻打磨硅方端面邊角。本實(shí)用新型的砂輪位于工作槽內(nèi)端的前方，而且工作槽內(nèi)端的槽底端面是外凸弧形面以使硅方端面邊角充分外露在砂輪工作面的上方，即硅方端面邊角暴露在砂輪的可打磨范圍內(nèi)，實(shí)現(xiàn)充分打磨，使硅方端面磨邊均勻、提高硅方切割端面邊角平整度，減少后續(xù)切割過程中出現(xiàn)硅方切割端面毛邊、崩邊、不平等情況，確保后段切片質(zhì)量。[0008]作為本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式，所述工作槽包括槽底和設(shè)置在槽底兩側(cè)的側(cè)板，所述槽底主要由數(shù)個(gè)滾軸組成，所述滾軸沿工作槽的橫向設(shè)置且沿工作槽長(zhǎng)度方向并列排布，所述滾軸兩端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述側(cè)板上，位于工作槽內(nèi)端首個(gè)滾軸的外表面即為所述工作槽內(nèi)端的槽底端面。工作槽的槽底由滾軸組成，便于將硅方運(yùn)送至工作位置。作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施方式，所述機(jī)架包括設(shè)置在機(jī)臺(tái)上的支撐框架和長(zhǎng)形工作槽，所述支撐框架是立體框架結(jié)構(gòu)，所述長(zhǎng)形工作槽位于支撐框架內(nèi)底部并通過其側(cè)板與支撐框架連接，所述支撐框架與所述機(jī)臺(tái)通過滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)相連以實(shí)現(xiàn)所述支撐框架和長(zhǎng)形工作槽的共同往復(fù)運(yùn)動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)硅方位置角度的調(diào)整而使其處于最佳工作位，作為本實(shí)用新型的一種改進(jìn)，所述工作槽的側(cè)板與所述支撐框架之間增設(shè)有用于調(diào)節(jié)工作槽的方位以實(shí)現(xiàn)硅方位置角度調(diào)整的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。作為本實(shí)用新型的推薦實(shí)施方式，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)主要由至少一對(duì)對(duì)應(yīng)分布在工作槽兩側(cè)的調(diào)節(jié)桿和調(diào)節(jié)部件組成，所述調(diào)節(jié)桿豎向設(shè)置，調(diào)節(jié)桿的下端固定在工作槽的側(cè)板上，調(diào)節(jié)桿的上端則與支撐框架頂部通過調(diào)節(jié)部件連接，所述調(diào)節(jié)桿上端具有豎向的長(zhǎng)條形調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)部件穿過調(diào)節(jié)孔固定并以位于調(diào)節(jié)孔不同部位中實(shí)現(xiàn)工作槽方位的調(diào)節(jié)?？筛鶕?jù)硅方切割端面邊角的凹凸程度對(duì)工作槽的方位角度進(jìn)行調(diào)整，使得硅方端面邊角能夠被充分打磨。作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述硅方端面磨邊機(jī)還包括用于將硅方定位的定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由水平設(shè)置的氣缸和豎立的擋板組成，所述擋板固定在支撐框架的頂部上并沿支撐框架橫向延伸，所述擋板向下伸至支撐框架內(nèi)砂輪裝置的上方空間中并靠近所述工作槽的內(nèi)端，所述氣缸的一端固定在支撐框架的中部，另一端是活塞桿，所述活塞桿伸向擋板而將娃方緊抵在氣缸與擋板之間以便定位娃方。氣缸和擋板能夠夾緊娃方進(jìn)行準(zhǔn)確定位，防止在磨邊過程中發(fā)生滑動(dòng)位移或磨邊不充分。本實(shí)用新型還可以做以下改進(jìn)，所述工作槽側(cè)板的內(nèi)板面、所述擋板與硅方接觸的板面、氣缸活塞桿的端部分別覆蓋有用于防止硅方損傷的緩沖墊，緩沖墊采用彈性材料制成，彈性材料可具體采用橡膠。本實(shí)用新型還具有以下實(shí)施方式:所述支撐框架為長(zhǎng)形，所述長(zhǎng)形工作槽與所述滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)分設(shè)在支撐框架的前后部，所述滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)采用滑動(dòng)導(dǎo)軌和滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌沿機(jī)架橫向設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上，所述滑動(dòng)槽設(shè)置在支撐框架的后部，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌與滑動(dòng)槽相適配，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌卡合在滑動(dòng)槽中使支撐框架可沿滑動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。所述滑動(dòng)導(dǎo)軌兩端設(shè)有用于限位滑動(dòng)導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動(dòng)行程的限位開關(guān)，以便使砂輪始終處于打磨硅方端面邊角的有效工作狀態(tài)。所述砂輪的工作面是其上輪面的邊緣圓周，所述砂輪的工作面緊貼于硅方內(nèi)端面底部邊角中部，而所述氣缸的活塞桿頂觸在硅方外端面的中部。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有如下顯著的效果:⑴本實(shí)用新型的砂輪位于工作槽內(nèi)端的前方，而且工作槽內(nèi)端的槽底端面是外凸弧形面以使硅方端面邊角充分外露在砂輪工作面的上方，即硅方端面邊角暴露在砂輪的可打磨范圍內(nèi)，實(shí)現(xiàn)充分打磨，使硅方端面磨邊均勻、提高硅方切割端面邊角平整度，減少后續(xù)切割過程中出現(xiàn)硅方切割端面毛邊、崩邊、不平等情況，確保后段切片質(zhì)量。⑵本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，工作槽的槽底由滾軸組成，硅方采用氣缸和擋板線、面結(jié)合進(jìn)行定位，定位機(jī)構(gòu)容易實(shí)現(xiàn)，能夠防止在磨邊過程中發(fā)生滑動(dòng)位移或磨邊不充分。⑶本實(shí)用新型的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)可根據(jù)硅方切割端面邊角的凹凸程度對(duì)其方位角度進(jìn)行調(diào)整，使硅方處于最佳工作位，確保砂輪對(duì)硅方端面邊角的充分打磨。⑷本實(shí)用新型的緩沖墊可避免對(duì)硅方造成損傷，確保硅方的質(zhì)量不受影響。(5)本實(shí)用新型的滑動(dòng)導(dǎo)軌可由現(xiàn)有倒角機(jī)中原有的導(dǎo)軌替代，而無需另外設(shè)置，滑動(dòng)導(dǎo)軌運(yùn)行平穩(wěn)、勻速，減少崩邊的發(fā)生；限位開關(guān)可采用現(xiàn)有倒角機(jī)的限位開關(guān)，減少不必要的工時(shí)浪費(fèi)，大幅提高工作效率。(6)本實(shí)用新型的砂輪高速運(yùn)轉(zhuǎn)，根據(jù)待處理硅方端面實(shí)際情況，可將硅方端面的凹凸、毛邊處理得的均勻光滑且不浪費(fèi)硅料。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。


圖1是本實(shí)用新型的側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖(沒有畫出機(jī)臺(tái))；圖2是本實(shí)用新型的俯視示意圖。
具體實(shí)施方式
如
圖1、2所示，是本實(shí)用新型一種硅方端面磨邊機(jī)，包括機(jī)臺(tái)、設(shè)于機(jī)臺(tái)上的砂輪裝置I和可沿機(jī)臺(tái)橫向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)的機(jī)架2，砂輪裝置I的砂輪11工作面朝上，機(jī)架2具有用于承載硅方3的長(zhǎng)形工作槽4，工作槽4的兩端分別為外端和內(nèi)端，工作槽4的槽底呈水平以使硅方3平放于其中，砂輪裝置I位于工作槽4內(nèi)端的前方，工作槽4內(nèi)端的槽底端面是外凸弧形面以使硅方3端面邊角外露在砂輪11工作面的上方，隨著機(jī)架2往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)硅方3同步運(yùn)動(dòng)而使砂輪11均勻打磨硅方3端面邊角。工作槽4包括槽底和設(shè)置在槽底兩側(cè)的側(cè)板44，槽底主要由數(shù)個(gè)滾軸45組成，滾軸45沿工作槽4的橫向設(shè)置且沿工作槽4長(zhǎng)度方向并列排布，滾軸45兩端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在側(cè)板44上，位于工作槽4內(nèi)端首個(gè)滾軸的外表面即為工作槽內(nèi)端的槽底端面。工作槽的槽底由滾軸組成，便于將硅方運(yùn)送至工作位置。機(jī)架2包括設(shè)置在機(jī)臺(tái)上的支撐框架21和長(zhǎng)形工作槽4，支撐框架21是長(zhǎng)形的立體框架結(jié)構(gòu),長(zhǎng)形工作槽4位于支撐框架21內(nèi)底部并通過其側(cè)板44與支撐框架21連接，支撐框架21與機(jī)臺(tái)通過滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)相連以實(shí)現(xiàn)支撐框架和長(zhǎng)形工作槽的共同往復(fù)運(yùn)動(dòng)。長(zhǎng)形工作槽與滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)分設(shè)在支撐框架21的前后部，滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)采用滑動(dòng)導(dǎo)軌8和滑動(dòng)槽，滑動(dòng)導(dǎo)軌8沿機(jī)架橫向設(shè)置在機(jī)臺(tái)上，滑動(dòng)槽設(shè)置在支撐框架21的后部，滑動(dòng)導(dǎo)軌與滑動(dòng)槽相適配，滑動(dòng)導(dǎo)軌卡合在滑動(dòng)槽中使支撐框架21可沿滑動(dòng)導(dǎo)軌8移動(dòng)?；瑒?dòng)導(dǎo)軌8兩端設(shè)有用于限位滑動(dòng)導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動(dòng)行程的限位開關(guān)，可防止滑動(dòng)導(dǎo)軌向砂輪工作的區(qū)間外運(yùn)動(dòng)，以便使砂輪11始終處于打磨硅方端面邊角的有效工作狀態(tài)，進(jìn)而對(duì)硅方進(jìn)行準(zhǔn)確定位并打磨，減少不必要的運(yùn)行，縮短工作時(shí)間。工作槽的側(cè)板44與支撐框架21之間增設(shè)有用于調(diào)節(jié)工作槽4的方位以實(shí)現(xiàn)硅方位置角度調(diào)整的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中，調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)由兩對(duì)調(diào)節(jié)桿46和調(diào)節(jié)部件組成，調(diào)節(jié)部件采用鎖緊螺絲47，每對(duì)調(diào)節(jié)桿46對(duì)應(yīng)分布在工作槽4兩側(cè)，調(diào)節(jié)桿46豎向設(shè)置，調(diào)節(jié)桿46的下端固定在工作槽的側(cè)板44上，調(diào)節(jié)桿46的上端則與支撐框架21頂部通過鎖緊螺絲47連接，調(diào)節(jié)桿46上端具有豎向的長(zhǎng)條形調(diào)節(jié)孔，鎖緊螺絲47穿過調(diào)節(jié)孔固定并以位于調(diào)節(jié)孔不同部位中實(shí)現(xiàn)工作槽方位的調(diào)節(jié)?？筛鶕?jù)硅方切割端面邊角的凹凸程度對(duì)工作槽的方位角度進(jìn)行調(diào)整，使得硅方端面邊角能夠被充分打磨。還包括用于將硅方定位的定位機(jī)構(gòu)，定位機(jī)構(gòu)由水平設(shè)置的氣缸5和豎立的擋板6組成,擋板6固定在支撐框架21的頂部上并沿支撐框架21橫向延伸,擋板6向下伸至支撐框架21內(nèi)砂輪裝置的上方空間中并靠近工作槽的內(nèi)端，氣缸5的一端固定在支撐框架21的中部，另一端是活塞桿，活塞桿伸向擋板而將硅方3緊抵在氣缸5與擋板6之間以便定位硅方3。砂輪11的工作面是其上輪面的邊緣圓周12，砂輪的工作面緊貼于硅方3內(nèi)端面底部邊角中部，而氣缸的活塞桿頂觸在硅方外端面的中部。氣缸和擋板能夠夾緊硅方進(jìn)行準(zhǔn)確定位，防止在磨邊過程中發(fā)生滑動(dòng)位移或磨邊不充分。工作槽側(cè)板的內(nèi)板面、擋板與硅方接觸的板面、氣缸活塞桿的端部分別覆蓋有用于防止硅方損傷的緩沖墊，緩沖墊采用彈性材料制成，彈性材料具體采用橡膠。本實(shí)用新型的工作過程是:⑴將待磨硅方放在工作槽中部，根據(jù)硅方端面邊角的毛邊、凹凸程度通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)工作槽槽底的方位角度，同時(shí)調(diào)整硅方與工作槽側(cè)板的間距以確定待磨硅方位置與砂輪的最佳距離；⑵開啟氣缸，將硅方夾緊在氣缸和擋板之間實(shí)現(xiàn)硅方的準(zhǔn)確定位；開啟砂輪裝置，滑動(dòng)軌道承載機(jī)架左右往復(fù)運(yùn)動(dòng)，同時(shí)帶動(dòng)硅方同步運(yùn)動(dòng)，硅方端面邊角經(jīng)過高速旋轉(zhuǎn)的砂輪工作面，由砂輪打磨硅方端面邊角；⑶根據(jù)硅方端面邊角打磨情況可以判定是否需要調(diào)整硅方位置再進(jìn)行打磨，或者再次打磨以使硅方端面邊角符合要求。本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此，根據(jù)本實(shí)用新型的上述內(nèi)容，按照本領(lǐng)域的普通技術(shù)知識(shí)和慣用手段，本實(shí)用新型還可以做出其它多種形式的修改、替換或變更，均落在本實(shí)用新型權(quán)利保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅方端面磨邊機(jī)，包括機(jī)臺(tái)、設(shè)于機(jī)臺(tái)上的砂輪裝置和可沿機(jī)臺(tái)橫向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)的機(jī)架，所述砂輪裝置的砂輪工作面朝上，所述機(jī)架具有用于承載硅方的長(zhǎng)形工作槽，所述工作槽的兩端分別為外端和內(nèi)端，其特征在于:所述工作槽的槽底呈水平以使硅方平放于其中，所述砂輪裝置位于所述工作槽內(nèi)端的前方，所述工作槽內(nèi)端的槽底端面是外凸弧形面以使硅方端面邊角外露在砂輪工作面的上方，隨著機(jī)架往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)硅方同步運(yùn)動(dòng)而使砂輪均勻打磨硅方端面邊角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述工作槽包括槽底和設(shè)置在槽底兩側(cè)的側(cè)板，所述槽底主要由數(shù)個(gè)滾軸組成，所述滾軸沿工作槽的橫向設(shè)置且沿工作槽長(zhǎng)度方向并列排布，所述滾軸兩端可轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述側(cè)板上，位于工作槽內(nèi)端首個(gè)滾軸的外表面即為所述工作槽內(nèi)端的槽底端面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述機(jī)架包括設(shè)置在機(jī)臺(tái)上的支撐框架和長(zhǎng)形工作槽，所述支撐框架是立體框架結(jié)構(gòu)，所述長(zhǎng)形工作槽位于支撐框架內(nèi)底部并通過其側(cè)板與支撐框架連接，所述支撐框架與所述機(jī)臺(tái)通過滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)相連以實(shí)現(xiàn)所述支撐框架和長(zhǎng)形工作槽的共同往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述工作槽的側(cè)板與所述支撐框架之間增設(shè)有用于調(diào)節(jié)工作槽的方位以實(shí)現(xiàn)硅方位置角度調(diào)整的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)主要由至少一對(duì)對(duì)應(yīng)分布在工作槽兩側(cè)的調(diào)節(jié)桿和調(diào)節(jié)部件組成，所述調(diào)節(jié)桿豎向設(shè)置，調(diào)節(jié)桿的下端固定在工作槽的側(cè)板上，調(diào)節(jié)桿的上端則與支撐框架頂部通過調(diào)節(jié)部件連接，所述調(diào)節(jié)桿上端具有豎向的長(zhǎng)條形調(diào)節(jié)孔，所述調(diào)節(jié)部件穿過調(diào)節(jié)孔固定并以位于調(diào)節(jié)孔不同部位中實(shí)現(xiàn)工作槽方位的調(diào)節(jié)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述硅方端面磨邊機(jī)還包括用于將硅方定位的定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)由水平設(shè)置的氣缸和豎立的擋板組成，所述擋板固定在支撐框架的頂部上并沿支撐框架橫向延伸，所述擋板向下伸至支撐框架內(nèi)砂輪裝置的上方空間中并靠近所述·工作槽的內(nèi)端，所述氣缸的一端固定在支撐框架的中部，另一端是活塞桿，所述活塞桿伸向擋板而將硅方緊抵在氣缸與擋板之間以便定位硅方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述工作槽側(cè)板的內(nèi)板面、所述擋板與硅方接觸的板面、氣缸活塞桿的端部分別覆蓋有用于防止硅方損傷的緩沖墊，所述緩沖墊采用彈性材料制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述支撐框架為長(zhǎng)形，所述長(zhǎng)形工作槽與所述滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)分設(shè)在支撐框架的前后部，所述滑動(dòng)連接結(jié)構(gòu)采用滑動(dòng)導(dǎo)軌和滑動(dòng)槽，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌沿機(jī)架橫向設(shè)置在所述機(jī)臺(tái)上，所述滑動(dòng)槽設(shè)置在支撐框架的后部，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌與滑動(dòng)槽相適配，所述滑動(dòng)導(dǎo)軌卡合在滑動(dòng)槽中使支撐框架可沿滑動(dòng)導(dǎo)軌移動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述滑動(dòng)導(dǎo)軌兩端設(shè)有用于限位滑動(dòng)導(dǎo)軌往復(fù)運(yùn)動(dòng)行程的限位開關(guān)，以便使砂輪始終處于打磨硅方端面邊角的有效工作狀態(tài)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅方端面磨邊機(jī)，其特征在于:所述砂輪的工作面是其上輪面的邊緣圓周，所述砂輪的工作面緊貼于硅方內(nèi)端面底部邊角中部，而所述氣缸的活塞桿頂觸在硅方外端面的中部 。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種硅方端面磨邊機(jī)，包括機(jī)臺(tái)、設(shè)于機(jī)臺(tái)上的砂輪裝置和可沿機(jī)臺(tái)橫向做往復(fù)運(yùn)動(dòng)的機(jī)架，砂輪裝置的砂輪工作面朝上，機(jī)架具有用于承載硅方的長(zhǎng)形工作槽，所述工作槽的兩端分別為外端和內(nèi)端，所述工作槽的槽底呈水平以使硅方平放于其中，所述砂輪裝置位于所述工作槽內(nèi)端的前方，所述工作槽內(nèi)端的槽底端面是外凸弧形面以使硅方端面邊角外露在砂輪工作面的上方，隨著機(jī)架往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)硅方同步運(yùn)動(dòng)而使砂輪均勻打磨硅方端面邊角。本實(shí)用新型可使硅方端面邊角暴露在砂輪的可打磨范圍內(nèi)，實(shí)現(xiàn)充分打磨，使硅方端面磨邊均勻、提高硅方切割端面邊角平整度，減少后續(xù)切割過程中出現(xiàn)硅方切割端面毛邊、崩邊、不平等情況，確保后段切片質(zhì)量。
文檔編號(hào)B24B9/06GK203156498SQ20132002288
公開日2013年8月28日 申請(qǐng)日期2013年1月16日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月16日
發(fā)明者顏頡頏, 寇恒尚, 張欣 申請(qǐng)人:晶海洋半導(dǎo)體材料(東海)有限公司