類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法
【專利摘要】一種類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法，包括如下步驟：對(duì)等離子反應(yīng)器抽真空；向所述等離子反應(yīng)器中通入含碳?xì)怏w、含硅氣體和工作氣體；開啟所述等離子反應(yīng)器使所述工作氣體形成等離子以撞擊所述含碳?xì)怏w和含硅氣體，所述含碳?xì)怏w和含硅氣體在所述等離子的撞擊下裂解產(chǎn)生的碳和硅反應(yīng)生成碳化硅沉積形成類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜。
【專利說明】類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002]光學(xué)耦合連接器的材料一般為PEI樹脂，并且采用射出成型方式制造，即使射出成型機(jī)的螺桿溫度已達(dá)到合適的溫度，PEI樹脂仍具有相當(dāng)?shù)恼硿?，容易在模具上衍生殘料問題。
[0003]另外，由于光學(xué)耦合連接器的體積較小，也使得模具的模穴體積較小，從而使樹脂在豐旲穴中的流動(dòng)不易，使得廣品上容易留有流紋現(xiàn)象。
[0004]在模具上鍍上類金剛石(DLC, Diamond-like Carbon)薄膜可以提高模具的抗粘性，但是，類金剛石薄膜很難在金屬模具上沉積，需要設(shè)置中間層以提高類金剛石薄膜與模具的結(jié)合強(qiáng)度，然而，薄膜的生長(zhǎng)工藝復(fù)雜，通常需要多個(gè)過程。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，有必要提供一種類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法，復(fù)合薄膜可以有效解決類金剛石薄膜與金屬模具之間結(jié)合問題。
[0006]一種類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法，包括如下步驟:對(duì)等離子反應(yīng)器抽真空；向所述等離子反應(yīng)器中通入含碳?xì)怏w、含硅氣體和工作氣體；開啟所述等離子反應(yīng)器使所述工作氣體形成等離子以撞擊所述含碳?xì)怏w和含娃氣體，所述含碳?xì)怏w和含娃氣體在所述等離子的撞擊下裂解產(chǎn)生的碳和硅反應(yīng)生成碳化硅沉積形成類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜。
[0007]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)施例的制備方法制備的類金剛石-碳化硅的復(fù)合薄膜，由于類金剛石-碳化硅的內(nèi)部鑲嵌作用，同時(shí)由于碳化硅與金屬基體之間好的結(jié)合強(qiáng)度，提高了類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜與金屬模具的結(jié)合強(qiáng)度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)施例類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法的示意圖。
[0009]主要元件符號(hào)說明

【權(quán)利要求】
1.一種類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜的制備方法，包括如下步驟: 對(duì)等離子反應(yīng)器抽真空； 向所述等離子反應(yīng)器中通入含碳?xì)怏w、含硅氣體和工作氣體； 開啟所述等離子反應(yīng)器使所述工作氣體形成等離子以撞擊所述含碳?xì)怏w和含硅氣體，所述含碳?xì)怏w和含硅氣體在所述等離子的撞擊下裂解產(chǎn)生的碳和硅反應(yīng)生成碳化硅沉積形成類金剛石-碳化硅復(fù)合薄膜。
2.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述含碳?xì)怏w為乙炔或甲烷。
3.如權(quán)利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述含硅氣體為六甲基硅氧烷或硅甲燒。
4.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述含硅氣體與含碳?xì)怏w比值為5:100。
5.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述復(fù)合薄膜的厚度為300納米。
6.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述復(fù)合薄膜的水接觸角大于100度。
7.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述復(fù)合薄膜的表面粗糙度小于10納米。
8.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述復(fù)合薄膜的硬度為3000HV。
9.如權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述復(fù)合薄膜的摩擦系數(shù)為0.01。
10.權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述等離子反應(yīng)器的背壓為1-3 -1O-5 托。
【文檔編號(hào)】C23C16/50GK104131264SQ201310158139
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2013年5月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月2日
【發(fā)明者】許嘉麟 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司