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多功能恒溫管式退火爐裝置的制作方法

文檔序號(hào):3278696閱讀:188來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱(chēng):多功能恒溫管式退火爐裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型屬于工業(yè)退火爐,尤其是指一種用于多種人工合成晶體退火的退火爐
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)
人工生長(zhǎng)的晶體有較大的內(nèi)應(yīng)力,具有一個(gè)對(duì)稱(chēng)的開(kāi)裂面,稍加敲擊即會(huì)自行碎裂,不利于任意切割加工,通過(guò)管式退火爐可以消除晶體應(yīng)力、提高晶體光學(xué)透過(guò)率。目前管式退火只有一個(gè)退火腔,對(duì)于不同品種人工合成晶體,不能同時(shí)退火,且在小批量晶體退火時(shí),也需開(kāi)啟全部加熱體,造成了退火爐利用率低下,電能浪費(fèi)嚴(yán)重。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種多功能恒溫管式退火爐裝置,以解決目前管式退火只有一個(gè)退火腔,造成了退火爐利用率低下,電能浪費(fèi)嚴(yán)重的問(wèn)題。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:兩個(gè)氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板分別與隔熱板插槽插接,將爐體內(nèi)部等分成三個(gè)退火腔,高純氧化鋁管與爐體插接,高純氧化鋁管的內(nèi)壁上有高純氧化鋁管插槽,氧化鋁隔板與高純氧化鋁管插槽插接,三個(gè)電源分別與爐體內(nèi)部下端固定連接,三個(gè)溫度程序控制儀分別與爐體表面固定連接,三個(gè)溫度程序控制儀分別與三個(gè)電源電連接,U型硅鑰棒與爐體頂部穿接,U型硅鑰棒位于與爐體退火腔中的高純氧化鋁管兩側(cè),U型硅鑰棒與電源電連接,三個(gè)鉬銠熱電偶分別位于爐體退火腔內(nèi),并分別與三個(gè)溫度程序控制儀相連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于:結(jié)構(gòu)新穎,可變式退火腔,通過(guò)氧化鋁隔板對(duì)退火腔尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié),可對(duì)不同直徑的晶體退火,退火腔空間得到最大程度的利用。分段控溫、恒溫,可以有效的利用電能避免不必要的電能消耗。U型硅鑰棒加熱,最高可提供1350°C恒溫,可對(duì)多種晶體進(jìn)行退火。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3是圖1的A-A剖視圖。
具體實(shí)施方式
兩個(gè)氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板I分別與隔熱板插槽2插接,將爐體4內(nèi)部等分成三個(gè)退火腔,高純氧化鋁管3與爐體4插接,高純氧化鋁管3的內(nèi)壁上有高純氧化鋁管插槽6,氧化鋁隔板5與高純氧化鋁管插槽6插接,三個(gè)電源9分別與爐體4內(nèi)部下端固定連接,三個(gè)溫度程序控制儀8分別與爐體4表面固定連接,三個(gè)溫度程序控制儀8分別與三個(gè)電源9電連接,U型硅鑰棒10與爐體 4頂部穿接,U型硅鑰棒10位于與爐體4退火腔中的高純氧化鋁管3兩側(cè),U型硅鑰棒10與電源9電連接,三個(gè)鉬銠熱電偶7分別位于爐體4退火腔內(nèi),并分別與三個(gè)溫度程序控制儀8相連接。使用時(shí),通過(guò)氧化鋁復(fù)合高溫隔熱纖維板將爐體退火腔分割成三部分,通過(guò)三組電源各與18個(gè)U型硅鑰棒電連接,每部分由獨(dú)立的溫度程序控制儀進(jìn)行調(diào)節(jié)控制。將不同品種的人工合成晶體分別置于不同的爐體分割腔內(nèi),根據(jù)不同晶體的需要對(duì)溫度程序控制儀進(jìn)行單獨(dú)的程序編程,使得不同間隔區(qū)域產(chǎn)生不同的溫度梯度,從而對(duì)不同品種的人工晶體進(jìn)行退火。當(dāng)晶體尺寸較小時(shí),通過(guò)氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板將小尺寸晶體分別放置于晶體上下兩側(cè)。當(dāng)晶體尺寸偏大時(shí),將氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板撤掉。
權(quán)利要求1.一種多功能恒溫管式退火爐裝置,其特征在于:兩個(gè)氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板分別與隔熱板插槽插接,將爐體內(nèi)部等分成三個(gè)退火腔,高純氧化鋁管與爐體插接,高純氧化鋁管的內(nèi)壁上有高純氧化鋁管插槽,氧化鋁隔板與高純氧化鋁管插槽插接,三個(gè)電源分別與爐體內(nèi)部下端固定連接,三個(gè)溫度程序控制儀分別與爐體表面固定連接,三個(gè)溫度程序控制儀分別與三個(gè)電源電連接,U型硅鑰棒與爐體頂部穿接,U型硅鑰棒位于與爐體退火腔中的高純氧化鋁管兩側(cè),U型硅鑰棒與電源電連接,三個(gè)鉬銠熱電偶分別位于爐體退火腔內(nèi),并分別與三個(gè)溫度程序控制儀相連接。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種多功能恒溫管式退火爐裝置,屬于工業(yè)退火爐。兩個(gè)氧化鋁復(fù)合耐高溫隔熱纖維板分別與隔熱板插槽插接,將爐體內(nèi)部等分成三個(gè)退火腔,高純氧化鋁管與爐體插接,氧化鋁隔板與高純氧化鋁管插槽插接,三個(gè)溫度程序控制儀分別與三個(gè)電源電連接,U型硅鉬棒與電源電連接,三個(gè)鉑銠熱電偶分別與三個(gè)溫度程序控制儀相連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)新穎,可變式退火腔,通過(guò)氧化鋁隔板對(duì)退火腔尺寸進(jìn)行調(diào)節(jié),可對(duì)不同直徑的晶體退火,退火腔空間得到最大程度的利用。分段控溫、恒溫,可以有效的利用電能避免不必要的電能消耗。U型硅鉬棒加熱,最高可提供1350℃恒溫,可對(duì)多種晶體進(jìn)行退火。
文檔編號(hào)C21D1/26GK203021610SQ201220732650
公開(kāi)日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年12月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月27日
發(fā)明者劉碩, 林柏松, 肖昊堃 申請(qǐng)人:劉碩, 林柏松, 肖昊堃
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