專利名稱：磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及鍍膜機的技術領域，具體涉及磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置。
背景技術：
隨著科技的不斷發(fā)展，在對空和對地目標觀測方面，隨著觀測精度以及分辨率的不斷提高，被鍍零件尺寸越來越大，這就要求鍍膜設備的尺寸越來越大，來滿足鍍制大型光學元件的需要。此類光學元件基本應用于特殊的領域，像航空、航天、遙感、探測、監(jiān)控領域，這些領域對光學元件的工程配套比要求也比較高，比如能夠對地觀測和對空觀測有高的分辨率。因此也就對大型光學真空鍍膜設備有更高的要求。而現(xiàn)有光學元件重量大，差不多有3噸多重，翻面非常困難，還容易造成元件變形。在大型光學真空鍍膜設備中一個必要的裝置就是工件轉動裝置，以實現(xiàn)光學元件的自動翻面?，F(xiàn)有工件轉動裝置只能實現(xiàn)朝固定方向轉動，無法人工控制工件轉動的方向，帶來操作上的局限性，阻礙型光學真空鍍膜設備向更高水平發(fā)展，讓真空系統(tǒng)由有油系統(tǒng)發(fā)展到無油系統(tǒng)，被鍍鏡片從原有的特種光學玻璃發(fā)展到輕量化的碳化硅(SIC)材料。設備的控制系統(tǒng)也從原有的簡單程序控制變?yōu)楝F(xiàn)在的計算機自動控制。

實用新型內容本實用新型克服了現(xiàn)有技術的不足，提供了磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，解決了現(xiàn)有技術中工件轉動裝置只能朝一個方向轉動，無法實現(xiàn)任意方向的轉動的缺陷。為解決上述的技術問題，本實用新型采用以下技術方案:一種磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，包括承片結構、轉盤、連接塊、大齒輪、軸承和動力裝置，所述的轉盤通過連接塊與軸承一端連接，所述的軸承另一端與動力裝置連接，所述的大齒輪固定在轉盤和軸承之間，大齒輪和轉盤兩端分別用承片結構相連接，還包括與大齒輪垂直連接的自轉大齒輪、襯套和大齒輪轉動裝置，所述的襯套位于自轉大齒輪和軸承之間，所述的大齒輪轉動裝置與自轉大齒輪一端連接，大齒輪轉動裝置內分布有電機。襯套的設計用以保護軸承，同時也起到固定軸承的作用，防止軸承發(fā)生偏轉。上述的大齒輪轉動裝置則專門用來為大齒輪提供動力。上述的所有的承片結構外側分布有屏蔽板，屏蔽板與轉盤平行且位于轉盤的斜上方。通過屏蔽板的設計將鍍膜器件阻擋在承片結構外側，阻止鍍膜器件的灰塵或是其它部件對工件轉動裝置的損壞，影響工件轉動裝置的正常運轉。上述的動力裝置和軸承之間安裝有引入座，動力裝置內部依次連接有連接柱、聯(lián)軸器和步進電機。通過連接軸將步進電機與上面的軸承連接，帶動軸轉動，給轉盤提供動力。上述的連接柱的一個側面上依次連接有支架和傳感器支架，傳感器支架露于動力裝置的對應位置的外側。通過傳感器支架的設計，安裝上相應的傳感器，通過軟件就可實現(xiàn)對步進電機工作狀態(tài)的隨時監(jiān)控，觀察其運行狀態(tài)。[0008]上述的轉盤和大齒輪相互平行，軸承位于轉盤和大齒輪的垂直平分線上。上述的軸承與襯套之間依次連接有壓蓋和支撐座。該設計用以保護和固定軸承，減小軸承的摩擦。上述的襯套一側緊挨自轉大齒輪。與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是:本實用新型通過給轉盤和大齒輪分別設置電機提供動力，來實現(xiàn)轉盤和大齒輪的轉動，從而就可通過調節(jié)大齒輪的轉動方向來控制轉盤實現(xiàn)順時針運動、逆時針運動和相對靜止狀態(tài)，從而實現(xiàn)對轉盤運動方向的有效控制，能更好的實現(xiàn)對大型光學元件的鍍膜操作。

圖1為本實用新型的剖視圖。圖中附圖標記分別表示為:1、承片結構；2、轉盤；3、連接塊；4、屏蔽板；5、大齒輪轉動裝置；6、大齒輪；7、自轉大齒輪；8、襯套；9、壓蓋；10、支撐座；11、引入座；12、動力裝置；13、連接柱；14、聯(lián)軸器；15、軸承；16、步進電機；17、傳感器支架；18、支板。
具體實施方式
以下結合附圖1對本實用新型作進一步闡述，該實用新型的實施例不限于此。實施例:本實用新型包括承片結構1、轉盤2、連接塊3、大齒輪6、軸承15和動力裝置12。轉盤2通過連接塊3與軸承15 —端連接，所述的軸承15另一端與動力裝置12連接，所述的大齒輪6固定在轉盤2和軸承15之間，大齒輪6和轉盤2兩端分別用承片結構I相連接。該實用新型還包括與大齒輪6垂直連接的自轉大齒輪7、襯套8和大齒輪轉動裝置5，所述的襯套8位于自轉大齒輪7和軸承15之間，所述的大齒輪轉動裝置5與自轉大齒輪7一端連接，大齒輪轉動裝置5內分布有電機，自轉大齒輪7和大齒輪6連接部分也設置有壓蓋9。本實施例的所有的承片結構I外側分布有屏蔽板4，屏蔽板4與轉盤2平行且位于轉盤2的斜上方，轉盤2和大齒輪6相互平行，軸承15位于轉盤2和大齒輪6的垂直平分線上。本實施例的動力裝置12和軸承15之間安裝有引入座11，動力裝置12內部依次連接有連接柱13、聯(lián)軸器14和步進電機16，連接柱13的一個側面上依次連接有支架18和傳感器支架17，傳感器支架17露于動力裝置12的對應位置的外側，這些部件之間的連接處還放有墊圈、J形密封圈和J形密封壓套，使部件與部件之間的連接更加緊固。襯套8 —側緊挨自轉大齒輪7，軸承15與襯套8之間依次連接有壓蓋9和支撐座10。本實施例中的各個部件之間主要是通過螺栓和螺釘進行連接的，然后用墊圈和螺帽進行固定。該實施例的大齒輪轉動裝置給大齒輪提供動力的原理與步進電機給轉盤提供動力的原理相同，只是大齒輪轉動裝置是通過給自傳大齒輪提供動力帶動大齒輪轉動，下面就以步進電機給轉盤提供動力過程加以說明。轉盤通過連接塊與軸承連接，軸承里面有軸，軸承又和下面的步進電機通過連接柱和聯(lián)軸器連接，當步進電機轉動就可帶動軸轉動，從而帶動上方的轉盤轉動，實現(xiàn)電機控制。旁邊設有相應的傳感器來隨時觀測步進電機的運行情況，保證設備的正常工作。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例，并非對本實用新型做任何形式上的限制，凡是依據本實用新型的技術、方法實質上對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化，均落入本實用新型的保護范圍之內。
權利要求1.一種磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，包括承片結構(I)、轉盤(2)、連接塊(3)、大齒輪(6)、軸承(15)和動力裝置(12)，所述的轉盤(2)通過連接塊(3)與軸承(15) —端連接，所述的軸承(15)另一端與動力裝置(12)連接，所述的大齒輪(6)固定在轉盤(2)和軸承(15)之間，大齒輪(6)和轉盤(2)兩端分別用承片結構(I)相連接，其特征在于:還包括與大齒輪(6 )垂直連接的自轉大齒輪(7 )、襯套(8 )和大齒輪轉動裝置(5 )，所述的襯套(8 )位于自轉大齒輪(7)和軸承(15)之間，所述的大齒輪轉動裝置(5)與自轉大齒輪(7) —端連接，大齒輪轉動裝置(5)內分布有電機。
2.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于:所述的所有的承片結構(I)外側分布有屏蔽板(4)，屏蔽板(4)與轉盤(2)平行且位于轉盤(2)的斜上方。
3.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于:所述的動力裝置(12)和軸承(15)之間安裝有引入座(11)，動力裝置(12)內部依次連接有連接柱(13)、聯(lián)軸器(14)和步進電機(16)。
4.根據權利要求3所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于:所述的連接柱(13)的一個側面上依次連接有支架(18)和傳感器支架(17)，傳感器支架(17)露于動力裝置(12)的對應位置的外側。
5.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于:所述的轉盤(2)和大齒輪(6)相互平行，軸承(15)位于轉盤(2)和大齒輪(6)的垂直平分線上。
6.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于:所述的軸承(15)與襯套(8)之間依次連接有壓蓋(9)和支撐座(10)。
7.根據權利要求1所述的磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，其特征在于:所述的襯套(8 ) 一側緊挨自轉大齒輪(7 )。
專利摘要本實用新型公開了一種磁控濺射鍍膜機的工件轉動裝置，包括承片結構(1)、轉盤(2)、連接塊(3)、大齒輪(6)、軸承(15)和動力裝置(12)，所述的轉盤(2)通過連接塊(3)與軸承(15)一端連接，所述的軸承(15)另一端與動力裝置(12)連接，所述的大齒輪(6)固定在轉盤(2)和軸承(15)之間，大齒輪(6)和轉盤(2)兩端分別用承片結構(1)相連接，還包括與大齒輪(6)垂直連接的自轉大齒輪(7)、襯套(8)和大齒輪轉動裝置(5)，所述的襯套(8)位于自轉大齒輪(7)和軸承(15)之間，所述的大齒輪轉動裝置(5)與自轉大齒輪(7)一端連接，大齒輪轉動裝置(5)內分布有電機。本實用新型通過上述結構，即可實現(xiàn)工件轉動裝置向任意方向的轉動，能夠更好的發(fā)揮鍍膜機的功能，實現(xiàn)大型光學原件的多方向鍍膜。
文檔編號C23C14/35GK202925091SQ20122066949
公開日2013年5月8日 申請日期2012年12月7日 優(yōu)先權日2012年12月7日
發(fā)明者溫旭輝, 潘明元 申請人:成都南光機器有限公司