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磁控濺射鍍膜機(jī)的工件轉(zhuǎn)動裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3277503

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本實(shí)用新型涉及鍍膜機(jī)的,具體涉及磁控濺射鍍膜機(jī)的工件轉(zhuǎn)動裝置。背景技術(shù)隨著科技的不斷發(fā)展,在對空和對地目標(biāo)觀測方面,隨著觀測精度以及分辨率的不斷提高,被鍍零件尺寸越來越大,這就要求鍍膜設(shè)備的尺寸越來越大,來滿足鍍制大型光學(xué)元件的需要。此類光學(xué)元件基本應(yīng)用于特殊的領(lǐng)域,像航空、航天、遙感、探測、監(jiān)控領(lǐng)域,這些領(lǐng)域?qū)鈱W(xué)元件的工程配套比要求也比較高,比如能夠?qū)Φ赜^測和對空觀測有高的分辨率。因此也就對大型光學(xué)真空鍍膜設(shè)備有更高的要求。而現(xiàn)有光學(xué)元件重量大,差不多...
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