專利名稱：高頻感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型與真空卷繞鍍膜機(jī)的金屬蒸發(fā)源有關(guān)。
背景技術(shù)：
真空卷繞鍍膜機(jī)是在塑料薄膜上蒸鍍一層金屬膜，使膜材熔化的蒸發(fā)源有電阻加熱、感應(yīng)加熱、電子束加熱方式。感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源的優(yōu)點(diǎn)是1)蒸發(fā)速率大，2)蒸發(fā)溫度穩(wěn)定，不易產(chǎn)生膜材飛濺，3)膜材安裝簡(jiǎn)單，4)膜材純度要求低。已有的高頻感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源與塑料膜之間的距離調(diào)節(jié)不便，蒸發(fā)源之間的水平距離調(diào)節(jié)不便，感應(yīng)線圈和坩堝在安裝座上易發(fā)生晃動(dòng)，感線圈溫度過聞而影響使用壽命。石墨纟甘禍容易損壞。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種安裝和調(diào)節(jié)方便，使用壽命長(zhǎng)的高頻感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型、高頻感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源，安裝座6上部圓盤上有同心凸臺(tái)11，外坩鍋2位于凸臺(tái)上，外坩堝2的外表面有感應(yīng)線圈5，壓塊10上端有凸緣壓在線圈5上端，壓塊10通過螺栓與安裝座上的支架連接，安裝座6下面的軸與調(diào)節(jié)桿8的內(nèi)腔豎向滑動(dòng)配合，由鎖緊螺釘7固定，調(diào)節(jié)桿8的下端與安裝導(dǎo)軌9水平滑動(dòng)配合，有固定螺栓12，內(nèi)坩堝I位于外坩堝2內(nèi)，內(nèi)、外坩堝之間有隔熱層3。所述的感應(yīng)線圈5為銅管，與水管接頭4連接。
本實(shí)用新型有如下優(yōu)點(diǎn)1、蒸發(fā)的膜材放置在內(nèi)坩鍋I里，感應(yīng)線圈5通入高頻感應(yīng)電流，膜材在高頻電磁場(chǎng)感應(yīng)下產(chǎn)生強(qiáng)大的渦流，使膜材升溫熔化，直至蒸發(fā)。2、內(nèi)坩鍋I為石墨坩鍋，為防止損壞，導(dǎo)致膜材流出，增加一個(gè)材料為陶瓷外坩鍋2，內(nèi)外坩鍋之間有隔熱層3。3、通過升降高度調(diào)節(jié)桿8，可以調(diào)節(jié)坩鍋與膜材的距離，使膜厚均勻，調(diào)節(jié)到需要高度后，用鎖緊螺釘7固定。4、感應(yīng)線圈5為銅管，并安裝水管接頭4，可以在線圈5內(nèi)通冷卻水，防止線圈溫度過聞。5、坩鍋可以在安裝導(dǎo)軌9上移動(dòng)，調(diào)節(jié)坩鍋間的距離，使膜厚均勻，移到需要的位置后，用螺栓12固定。6、線圈壓塊10用螺釘固定在安裝座6上，用于壓住感應(yīng)線圈5，防止線圈晃動(dòng)；坩鍋直接放在安裝座6上，不需要固定，通過安裝座凸臺(tái)11對(duì)線圈定位，從而達(dá)到限制坩鍋位置，使用方便。


圖1為本實(shí)用新型的主視圖。圖2為圖1的右視圖。
具體實(shí)施方式
[0021]外坩堝2由陶瓷制成，內(nèi)坩堝I為石墨坩堝位于外坩堝內(nèi)，內(nèi)、外坩堝之間有
隔熱層3，感應(yīng)線圈5為銅管與水管接頭4連接，感應(yīng)線圈位于外坩堝表面，壓塊10壓住感應(yīng)線圈，用螺釘固定在安裝座6上，安裝座6上的凸臺(tái)11對(duì)線圈定位，安裝座6與調(diào)節(jié)桿8連接，有鎖緊螺釘7。調(diào)節(jié)桿8與安裝導(dǎo)軌滑動(dòng)配合，用螺栓12固定。
權(quán)利要求1.高頻感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源，其特征在于安裝座(6)上部圓盤上有同心凸臺(tái)(11)，外坩鍋(2)位于凸臺(tái)上，外坩堝(2)的外表面有感應(yīng)線圈(5)，壓塊(10)上端有凸緣壓在線圈(5) 上端，壓塊(10 )通過螺栓與安裝座上的支架連接，安裝座(6 )下面的軸與調(diào)節(jié)桿(8 )的內(nèi)腔豎向滑動(dòng)配合，由鎖緊螺釘(7)固定，調(diào)節(jié)桿(8)的下端與安裝導(dǎo)軌(9)水平滑動(dòng)配合，有固定螺栓(12)，內(nèi)坩堝(I)位于外坩堝(2)內(nèi)，內(nèi)、外坩堝之間有隔熱層(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)源，其特征在于所述的感應(yīng)線圈(5)為銅管，與水管接頭 (4)連接。
專利摘要本實(shí)用新型為高頻感應(yīng)加熱式蒸發(fā)源，安裝座(6)上部圓盤上有同心凸臺(tái)(11)，外坩堝(2)位于凸臺(tái)上，外坩堝(2)的外表面有感應(yīng)線圈(5)，壓塊(10)上端有凸緣壓在線圈(5)上端，壓塊(10)通過螺栓與安裝座上的支架連接，安裝座(6)下面的軸與調(diào)節(jié)桿(8)的內(nèi)腔豎向滑動(dòng)配合，由鎖緊螺釘(7)固定，調(diào)節(jié)桿(8)的下端與安裝導(dǎo)軌(9)水平滑動(dòng)配合，有固定螺栓(12)，內(nèi)坩堝(1)位于外坩堝(2)內(nèi)，內(nèi)、外坩堝之間有隔熱層(3)。本實(shí)用新型解決已有蒸發(fā)源蒸鍍膜厚不均，調(diào)節(jié)不便，安裝不穩(wěn)定，使用壽命短，易損壞的問題。
文檔編號(hào)C23C14/20GK202881374SQ201220545430
公開日2013年4月17日 申請(qǐng)日期2012年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月24日
發(fā)明者張果, 王偉, 姜玉倫, 晉照春 申請(qǐng)人:愛發(fā)科東方真空(成都)有限公司