專(zhuān)利名稱(chēng)：研磨裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
研磨裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001 ] 本實(shí)用新型涉及用于對(duì)薄板工件進(jìn)行研磨拋光的研磨裝置。
背景技術(shù)：
[0002]固體攝像元件在手機(jī)、移動(dòng)攝像裝置等領(lǐng)域被廣泛應(yīng)用。在固體攝像元件中，玻璃 蓋板、色修正濾鏡等都是由薄板玻璃制造的。目前主要使用的薄板玻璃的厚度為O. 5mm 1.1_，但是隨著固體攝像元件不斷小型化，期望固體攝像元件中的玻璃蓋板、色修正濾鏡 等的厚度更薄，達(dá)到O. 3mm以下。[0003]在制造玻璃蓋板、色修正濾鏡等薄板玻璃元件時(shí)，需要對(duì)玻璃板工件進(jìn)行一系列 處理，并最后通過(guò)研磨加工對(duì)其表面拋光。通常使用如專(zhuān)利文獻(xiàn)I 3中記載的研磨裝置 進(jìn)行研磨拋光。該研磨裝置使用上定盤(pán)和下定盤(pán)夾持薄板工件，并驅(qū)動(dòng)上定盤(pán)和下定盤(pán)相 對(duì)于玻璃板工件在水平方向上移動(dòng)，用上定盤(pán)和下定盤(pán)上的研磨皮研磨拋光工件的上下表 面。[0004]當(dāng)制造厚度為O. 3mm以下的薄板玻璃時(shí)，研磨加工后的薄板玻璃表面會(huì)有條紋不 良、凸凹不良以及損傷不良等，嚴(yán)重影響薄板玻璃的生產(chǎn)率，提高薄板玻璃的成本。[0005]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)[0006]專(zhuān)利文獻(xiàn)[0007]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2010-221348號(hào)公報(bào)[0008]專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2011-152622號(hào)公報(bào)[0009]專(zhuān)利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2011-194517號(hào)公報(bào)實(shí)用新型內(nèi)容[0010]為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的在于提供一種研磨裝置，其能夠 有效地提高對(duì)厚度極薄的薄板工件進(jìn)行研磨加工時(shí)的產(chǎn)品生產(chǎn)率。[0011]本實(shí)用新型的研磨裝置，其用于對(duì)薄板工件進(jìn)行研磨處理，其特征在于，具有下 定盤(pán)，其上表面上裝載待研磨的所述薄板工件，上定盤(pán)，其設(shè)置于所述下定盤(pán)的上方，其下 表面與所述下定盤(pán)的上表面對(duì)置，上定盤(pán)升降機(jī)構(gòu)，其用于升降所述上定盤(pán)，以在所述上定 盤(pán)的下表面和所述下定盤(pán)的上表面之間夾持所述薄板工件，設(shè)置于所述上定盤(pán)的下表面和 所述下定盤(pán)的上表面的研磨皮，以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其在所述上定盤(pán)和所述下定盤(pán)夾持所述薄 板工件的狀態(tài)下進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使所述研磨皮研磨所述薄板工件。其中，所述研磨皮的邵氏硬度 HA的值為75以上。


[0012]圖1為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式的薄板玻璃制作工序的流程圖。[0013]圖2為薄板玻璃制作工序中的切割工序的示意圖。[0014]圖3為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式的研磨裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。[0015]圖4為表示損傷不良的發(fā)生率與研磨皮的硬度的關(guān)系的曲線。[0016]圖5是表示研磨皮的結(jié)構(gòu)的圖。[0017]圖6是用于說(shuō)明本實(shí)用新型的原理的示意圖。
具體實(shí)施方式
[0018]
以下結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
。[0019]以下，以薄板玻璃為本實(shí)用新型中的“薄板工件”的具體例子進(jìn)行說(shuō)明。[0020](薄板玻璃的制造工序)[0021]圖1為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式的薄板玻璃制作工序的流程圖。[0022]本實(shí)施方式的薄板玻璃的制造工序適用于制造厚度為O. 3mm以下的薄板玻璃,能 夠有效提高薄板玻璃的生產(chǎn)率，降低生產(chǎn)成本。[0023]以下，以加工厚度為O. 200mm的薄板玻璃為例，說(shuō)明本實(shí)施方式的薄板玻璃的制造流程。[0024]在本實(shí)施方式中,假定制作薄板玻璃使用的原料為玻璃塊(glass block)。[0025]首先，在工序SlOl中，對(duì)玻璃塊實(shí)施切割加工。[0026]圖2為該切割工序的示意圖。在圖2中，原料玻璃塊GB被切割成多個(gè)具有一定厚 度的玻璃板W。[0027]在工序SlOl中，將玻璃塊GB切割成厚度比最終產(chǎn)品略大的多個(gè)玻璃板(切片工 序)，并將玻璃板裁切成與最終產(chǎn)品相近的外周尺寸(裁切工序)，得到玻璃板工件W。例如玻 璃板工件W的厚度O. 7mm左右，每個(gè)玻璃板工件W通過(guò)后續(xù)的制作工序被加工成最終產(chǎn)品 的薄板玻璃。[0028]在工序S102中，利用倒角裝置對(duì)在工序SlOl中得到的玻璃板工件W的四角以及 棱線進(jìn)行倒角加工。[0029]在工序S103中，利用專(zhuān)利文獻(xiàn)I 3中記載的雙面研磨裝置，通過(guò)在上定盤(pán)和下 定盤(pán)表面設(shè)置砂磨盤(pán)，對(duì)玻璃板工件W的兩面進(jìn)行砂磨加工。[0030]在工序S102中得到的玻璃板工件W的上下表面均為在工序SlOl中切割加工后的 表面，因此其表面平整度差，并且切割加工的厚度尺寸與所要求的厚度相差大。因此，利用 S103的砂磨加工，去除玻璃板工件W上因切割加工形成的起伏，并使玻璃板工件W的厚度接 近所要求的厚度。例如在本實(shí)施方式中，在S103的砂磨加工中，玻璃板W的厚度被加工至 O. 260mmo[0031]在工序S104中，利用后述的本實(shí)施方式的研磨裝置，由研磨皮對(duì)經(jīng)過(guò)砂磨加工的 玻璃板工件W進(jìn)行研磨加工，并對(duì)玻璃板工件W的上下表面進(jìn)行拋光，使其成為鏡面表面， 從而得到最終的薄板玻璃。比如，研磨加工的加工量為O. 060_，最終的薄板玻璃的厚度為 O. 200mm。[0032]在工序S105中對(duì)薄板玻璃進(jìn)行清洗，完成薄板玻璃的制造工序。[0033]在本實(shí)施方式的薄板玻璃制造工序中，由于在進(jìn)行砂磨加工(工序S203)和研磨加 工(工序S204)前進(jìn)行倒角加工(工序S202)，因此，在制造厚度為O. 3mm以下的薄板玻璃時(shí)， 玻璃板工件W與砂磨盤(pán)或研磨皮之間不會(huì)產(chǎn)生額外的阻力，因此可避免在砂磨加工和研磨 加工中造成玻璃板工件W的缺口、破損等不良，提高生產(chǎn)率。[0034](研磨裝置)[0035]下面，詳細(xì)說(shuō)明在本實(shí)施方式的薄板玻璃制造工序的研磨加工(S104 )中使用的研磨裝置。[0036]圖3為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式的研磨裝置的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。[0037]如圖3所示，本實(shí)施方式的研磨裝置I具有底座B，設(shè)置在底座B上的下定盤(pán)11， 設(shè)置在下定盤(pán)11上方，與下定盤(pán)11對(duì)置的上定盤(pán)13，以及升降驅(qū)動(dòng)上定盤(pán)13的上定盤(pán)升降機(jī)構(gòu)15。在下定盤(pán)11的上表面設(shè)置有研磨皮17a，在上定盤(pán)13的下表面設(shè)置有研磨皮 17b。以下，為方便說(shuō)明，必要時(shí)將研磨皮17a和研磨皮17b合稱(chēng)為研磨皮17。[0038]在下定盤(pán)11的上表面裝載經(jīng)砂磨加工后的玻璃板工件W，利用上定盤(pán)升降機(jī)構(gòu)15 驅(qū)動(dòng)上定盤(pán)13向下移動(dòng)，將玻璃板工件W夾持于下定盤(pán)11與上定盤(pán)13之間。利用未圖示的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)使上定盤(pán)13和下定盤(pán)11相對(duì)工件W移動(dòng)，使研磨皮17a和研磨皮17b與玻璃板工件W接觸并相對(duì)玻璃板工件W滑動(dòng)來(lái)研磨玻璃板工件W，將玻璃板工件W表面拋光成鏡面。[0039]在本實(shí)施方式中，可以使用如專(zhuān)利文獻(xiàn)I 3中公開(kāi)的驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使研磨皮17a、17b研磨玻璃板工件W表面并進(jìn)行拋光。[0040]為提高制造O. 3mm以下薄板玻璃的生產(chǎn)率，本實(shí)用新型的發(fā)明人進(jìn)行了大量實(shí)驗(yàn)研究，發(fā)現(xiàn)研磨皮17的硬度影響薄板玻璃的不良率。[0041]造成薄板玻璃樣品不良的原因主要有條紋(^ 7)、凸凹(> ^ >肌)以及損傷。條紋不良是指在利用紋影法(Schlieren Method)檢查薄板玻璃樣品時(shí)觀察到的黑色的條紋。 凸凹不良是指在薄板玻璃樣品表面觀察到的細(xì)小的凸凹。損傷不良是指在薄板玻璃樣品表面觀察到的損傷、劃痕等。[0042]圖4為表示損傷不良的發(fā)生率與研磨皮17的硬度的關(guān)系的曲線。[0043]但如圖4所示，當(dāng)研磨皮17的硬度增大到一定程度以后，損傷不良的發(fā)生幾率急劇升高。[0044]如參照?qǐng)D6所進(jìn)行的說(shuō)明，在制造厚度為O. 5 1.1mm的薄板玻璃時(shí)，很少發(fā)生條紋不良和凸凹不良，損傷不良為影·響不良率的最主要因素。因此，在制造O. 5 1.1mm厚度的薄板玻璃時(shí)，只要采用市售的不太硬的研磨皮進(jìn)行研磨拋光，即能夠得到良好的研磨拋光效果，保證較高的生產(chǎn)率。[0045]但是，在制造厚度為O. 3mm以下的薄板玻璃時(shí)，使用通常的研磨裝置時(shí)會(huì)觀察到條紋不良，凸凹不良、損傷不良同時(shí)發(fā)生，對(duì)薄板玻璃的生產(chǎn)率造成嚴(yán)重影響。[0046]本發(fā)明人在進(jìn)行了大量的研究和實(shí)驗(yàn)，對(duì)現(xiàn)有的研磨裝置進(jìn)行改進(jìn)，得到適用于制造O. 3mm以下厚度的薄板玻璃的本實(shí)用新型的研磨裝置。[0047]圖5是表示研磨皮17的結(jié)構(gòu)的圖。[0048]如圖5所示，研磨皮17通常為兩層結(jié)構(gòu)，包括基底層171和NAP層172?；讓?171用于將研磨皮17粘貼于下定盤(pán)11或上定盤(pán)13的表面，可由PET樹(shù)脂、聚氨酯、無(wú)紡布等構(gòu)成。NAP層172與玻璃板工件W接觸并相對(duì)滑動(dòng)，研磨玻璃板工件W表面。為了提高研磨效率，需要確保在研磨皮17與玻璃板工件W表面之間有足夠的研磨液，因此NAP層172 為多孔結(jié)構(gòu)。[0049]在實(shí)驗(yàn)中，本發(fā)明人使用本實(shí)施方式的薄板玻璃的制造工序制造大量厚度為O. 200mm的薄板玻璃樣品，并檢驗(yàn)和評(píng)價(jià)該薄板玻璃樣品的次品率。本發(fā)明人使用了市售的邵氏硬度不同的多種研磨皮，具體如下表I所示。[0050]表I[0051]
權(quán)利要求1.一種研磨裝置，其用于對(duì)薄板工件進(jìn)行研磨處理，其特征在于， 具有: 下定盤(pán)，其上表面上裝載待研磨的所述薄板工件， 上定盤(pán)，其設(shè)置于所述下定盤(pán)的上方，其下表面與所述下定盤(pán)的上表面對(duì)置， 上定盤(pán)升降機(jī)構(gòu)，其用于升降所述上定盤(pán)，以在所述上定盤(pán)的下表面和所述下定盤(pán)的上表面之間夾持所述薄板工件， 設(shè)置于所述上定盤(pán)的下表面和所述下定盤(pán)的上表面的研磨皮，以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其在所述上定盤(pán)和所述下定盤(pán)夾持所述薄板工件的狀態(tài)下進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使所述研磨皮研磨所述薄板工件， 其中， 所述研磨皮的邵氏硬度HA的值為75以上。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于 所述研磨皮的邵氏硬度HA的值為79以下。
3.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于 所述研磨皮的邵氏硬度HA的值為75。
4.如權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于 所述研磨皮的邵氏硬度HA的值為79。
5.如權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于 所述薄板工件為薄板玻璃。
6.如權(quán)利要求5所述的研磨裝置，其特征在于 所述薄板玻璃的厚度為0. 3mm以下。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種研磨裝置，其用于對(duì)薄板工件進(jìn)行研磨處理，其特征在于，具有下定盤(pán)，其上表面上裝載待研磨的所述薄板工件，上定盤(pán)，其設(shè)置于所述下定盤(pán)的上方，其下表面與所述下定盤(pán)的上表面對(duì)置，上定盤(pán)升降機(jī)構(gòu)，其用于升降所述上定盤(pán)，以在所述上定盤(pán)的下表面和所述下定盤(pán)的上表面之間夾持所述薄板工件，設(shè)置于所述上定盤(pán)的下表面和所述下定盤(pán)的上表面的研磨皮，以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其在所述上定盤(pán)和所述下定盤(pán)夾持所述薄板工件的狀態(tài)下進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，使所述研磨皮研磨所述薄板工件，其中，所述研磨皮的邵氏硬度HA的值為75以上。根據(jù)本實(shí)用新型的研磨裝置，可適用于制造厚度為0.3mm以下的薄板玻璃，提高薄板玻璃的生產(chǎn)率。
文檔編號(hào)B24B37/04GK202846332SQ20122042653
公開(kāi)日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年8月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月24日
發(fā)明者王祥奎 申請(qǐng)人:青島豪雅光電子有限公司