專利名稱：特氣管路及具有其的等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣體設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種特氣管路及具有其的等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
在等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備生產(chǎn)過程中，需要特氣和微波，在高頻低壓的工藝環(huán)境下，在350度的高溫下將從管路通入的特氣(硅烷和氨氣)經(jīng)過微波打成等離子狀態(tài)，然后附著到硅片表面，完成工藝。特氣在經(jīng)過特氣管路時，形成的氮化硅粉末會在管內(nèi)慢慢沉積到管壁和特氣孔的側(cè)壁上，經(jīng)過長時間的累積，使特氣管路和特氣孔的氣體流路變窄，影響氣流流量的穩(wěn)定性。
圖I示出了等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備的特氣管路的剖視結(jié)構(gòu)示意圖，特氣管路包括進氣管2和分氣管1，進氣管2連接到分氣管I的中部，分氣管I的兩端封閉，側(cè)壁上設(shè)置有多個特氣孔13。目前，在對等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備的特氣管路進行維護時，一般是對分氣管I上的特氣孔13進行鉆頭擴孔清理，清理后，特氣孔13的孔徑較為一致，但是依然不能很好清除分氣管I內(nèi)壁沉積的氮化硅粉末，這使得氣流量穩(wěn)定性難以得到保證。由于長時間的使用，管路內(nèi)部氮化硅積累得會越來越多，最終會在特氣供應(yīng)時在吹掃作用下使得氮化硅被堆積在管路內(nèi)兩端，造成特氣管路無法工作，從而需要對特氣管路進行更換。

實用新型內(nèi)容本實用新型旨在提供一種特氣管路及具有其的等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中特氣管路內(nèi)氮化硅粉末難以清除的問題。為了實現(xiàn)上述目的，根據(jù)本實用新型的一個方面，提供了一種特氣管路，包括分氣管，內(nèi)部具有氣體容納腔，側(cè)壁上設(shè)置有與氣體容納腔相通的特氣孔；進氣管，一端與分氣管內(nèi)部的氣體容納腔連通，另一端與氣源連通；分氣管的兩端部分別具有一個開口，分氣管還包括用于封堵開口的第一封堵件和第二封堵件，第一封堵件和第二封堵件可拆卸地連接在分氣管上。進一步地，上述開口設(shè)置在分氣管的末端端面上。進一步地，上述開口設(shè)置在分氣管的兩端部的側(cè)壁上。進一步地，兩個上述開口的開口朝向相反。進一步地，上述開口的內(nèi)壁上具有螺紋，第一封堵件和第二封堵件為與螺紋相匹配的螺栓。進一步地，上述開口的外壁上具有外螺紋，第一封堵件和第二封堵件為與外螺紋相匹配的封堵帽。進一步地，上述進氣管包括第一橫管，兩端分別與分氣管連通；第二橫管，一端與第一橫管連通，另一端與氣源連通。[0012]進一步地，上述開口與和其最近的特氣孔之間的距離不小于相鄰的特氣孔之間的距離。根據(jù)本實用新型的另一方面，還提供了一種等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備，包括特氣管路，該特氣管路為上述的特氣管路。應(yīng)用本實用新型的技術(shù)方案，在分氣管的兩端部設(shè)置兩個開口，在特氣管路工作時利用第一封堵件和第二封堵件將開口密封；當(dāng)需要對特氣管路進行維護時，通過其中一個開口向分氣管的氣體容納腔內(nèi)充氣以吹掃附著在分氣管的內(nèi)壁和特氣孔的側(cè)壁上的氮化硅粉末等雜質(zhì)，取得較好的清理效果，保證了在不更換管路的前提下通過簡單的吹掃處理即能保持特氣管路的通暢性和氣流量的穩(wěn)定性，延長了特氣管路的使用壽命，節(jié)約了更換特氣管路的成本。
構(gòu)成本申請的一部分的說明書附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構(gòu)成對本實用新型的不當(dāng)限定。在附圖中圖I示出了現(xiàn)有技術(shù)中的特氣管路的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出了根據(jù)本實用新型的一種實施例的特氣管路的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3示出了根據(jù)本實用新型的另一種實施例的特氣管路的結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖4示出了根據(jù)本實用新型的又一種實施例的特氣管路中分氣管的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實施例來詳細說明本實用新型。一種特氣管路，包括分氣管I和進氣管2，分氣管I的內(nèi)部具有氣體容納腔，側(cè)壁上設(shè)置有與氣體容納腔相通的特氣孔13 ;進氣管2的一端與分氣管I內(nèi)部的氣體容納腔連通，另一端與氣源連通；上述分氣管I的兩端部分別具有一個開口，分氣管I還包括用于封堵開口的第一封堵件11和第二封堵件12，第一封堵件11和第二封堵件12可拆卸地連接在分氣管I上。如圖2至4所示，具有上述結(jié)構(gòu)的特氣管路，采用在分氣管I的兩端部設(shè)置兩個開口，在特氣管路工作時利用第一封堵件11和第二封堵件12將開口密封；當(dāng)需要對特氣管路進行維護時，通過其中一個開口向分氣管I的氣體容納腔內(nèi)充氣以吹掃附著在分氣管I的內(nèi)壁和特氣孔13的側(cè)壁上的氮化硅粉末等雜質(zhì)，取得較好的清理效果，保證了在不更換管路的前提下通過簡單的吹掃處理即能保持特氣管路的通暢性和氣流量的穩(wěn)定性，延長了特氣管路的使用壽命，節(jié)約了更換特氣管路的成本。上述特氣管路的開口設(shè)置在分氣管I的兩端部可以對整個特氣管路進行清掃，開口的具體設(shè)置方式有多種，在本實用新型一種優(yōu)選的實施例中，如圖2所示，開口設(shè)置在分氣管I的末端端面上。當(dāng)采用上述方式設(shè)置開口時，吹掃時氣體可以對整個分氣管I的側(cè)壁每個部位進行強力清理，效果較好。在本實用新型另一種優(yōu)選的實施例中，上述開口設(shè)置在分氣管I的兩端部的側(cè)壁上。直接在分氣管I的側(cè)壁上設(shè)置開口，加工方式簡單，對兩端部進行集中強力的吹掃，清理效果也較好。如圖3所示，上述實施例中的開口可以選擇任意的開口方向，優(yōu)選兩個開口的開口朝向相反。既能實現(xiàn)較好的清理效果又能保證吹掃時氣流的穩(wěn)定性。上述第一封堵件11和第二封堵件12的作用是用于封堵位于分氣管I兩端部的開口，只要能實現(xiàn)封堵作用都可作為本實用新型的封堵件。在本實用新型的又一種優(yōu)選的實施例中，開口的內(nèi)壁上具有螺紋，第一封堵件11和第二封堵件12為與螺紋相匹配的螺栓。將螺栓插入開口中并擰緊即可實現(xiàn)對開口的封堵作用。在本實用新型又一種優(yōu)選的實施例中，上述開口的外壁上具有外螺紋，第一封堵件11和第二封堵件12為與外螺紋相匹配的封堵帽。將開口設(shè)置在分氣管I的末端且與 分氣管I的軸線平行時，采用具有與開口的螺紋相匹配的封堵帽即可實現(xiàn)對開口的封堵作用。上述的第一封堵件11和第二封堵件12處理采用上述方式設(shè)置外，也可以設(shè)置成與開口過盈配合的柱塞的形式。在本實用新型又一種優(yōu)選的實施例中，如圖4所示，特氣管路的進氣管2包括第一橫管21和第二橫管22，第一橫管21的兩端分別與分氣管I連通；第二橫管22的一端與第一橫管21連通，另一端與氣源連通。將進氣管2與分氣管I通過兩個端口相連，使從氣源而來的特氣在分氣管I中更均勻地分布，從而避免了的氮化硅粉末因為特氣分布不均對分氣管I的造成嚴重的局部堵塞增加后續(xù)的維護過程的難度的弊端。在對分氣管I進行維護時，由于分氣管I的管壁上分布有特氣孔13，為了避免維護所用的氣體過早地從特氣孔13中沖出，優(yōu)選開口與和其最近的特氣孔13之間的距離不小于相鄰的特氣孔13之間的距離。在本實用新型的另一種典型的實施例中，提供了一種等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備，包括特氣管路，該特氣管路為上述的特氣管路。具有上述結(jié)構(gòu)的特氣管路便于維護，因此也避免了由于特氣管路的更換給整個等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)帶來復(fù)雜的拆卸問題，進而節(jié)約了等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備的使用成本。以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種特氣管路,包括 分氣管(1)，內(nèi)部具有氣體容納腔，側(cè)壁上設(shè)置有與所述氣體容納腔相通的特氣孔(13)； 進氣管(2)，一端與所述分氣管(I)內(nèi)部的氣體容納腔連通，另一端與氣源連通； 其特征在于，所述分氣管(I)的兩端部分別具有一個開口，所述分氣管(I)還包括用于封堵所述開口的第一封堵件(11)和第二封堵件(12)，所述第一封堵件(11)和第二封堵件(12)可拆卸地連接在所述分氣管(I)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的特氣管路，其特征在于，所述開口設(shè)置在所述分氣管(I)的末端端面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的特氣管路，其特征在于，所述開口設(shè)置在所述分氣管(I)的兩端部的側(cè)壁上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的特氣管路，其特征在于，兩個所述開口的開口朝向相反。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任一項所述的特氣管路，其特征在于，所述開口的內(nèi)壁上具有螺紋，所述第一封堵件(11)和第二封堵件(12)為與所述螺紋相匹配的螺栓。
6.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的特氣管路，其特征在于，所述開口的外壁上具有外螺紋，所述第一封堵件(11)和第二封堵件(12)為與所述外螺紋相匹配的封堵帽。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的特氣管路，其特征在于，所述進氣管(2)包括 第一橫管(21)，兩端分別與所述分氣管(I)連通； 第二橫管(22)，一端與所述第一橫管(21)連通，另一端與所述氣源連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的特氣管路，其特征在于，所述開口與和其最近的所述特氣孔(13)之間的距離不小于相鄰的所述特氣孔(13)之間的距離。
9.一種等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備，包括特氣管路，其特征在于，所述特氣管路為權(quán)利要求I至8中任一項所述的特氣管路。
專利摘要本實用新型提供了一種特氣管路及具有其的等離子體增強化學(xué)氣相帶電沉積設(shè)備。該特氣管路包括分氣管，內(nèi)部具有氣體容納腔，側(cè)壁上設(shè)置有與氣體容納腔相通的特氣孔；進氣管，一端與分氣管內(nèi)部的氣體容納腔連通，另一端與氣源連通；分氣管的兩端部分別具有一個開口，分氣管還包括用于封堵開口的第一封堵件和第二封堵件，第一封堵件和第二封堵件可拆卸地連接在分氣管上。本實用新型的特氣管路的分氣管的兩端部設(shè)置兩個開口，在特氣管路工作時利用第一封堵件和第二封堵件將開口密封；當(dāng)需要對特氣管路進行維護時，通過其中一個開口向分氣管的氣體容納腔內(nèi)充氣以吹掃附著在分氣管的內(nèi)壁和特氣孔的側(cè)壁上的氮化硅粉末等雜質(zhì)，取得較好的清理效果。
文檔編號C23C16/50GK202688437SQ201220349119
公開日2013年1月23日 申請日期2012年7月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月18日
發(fā)明者李智洋 申請人:保定天威英利新能源有限公司