技術(shù)特征：
1.一種鈮管狀靶材的生產(chǎn)方法，包括以下步驟：將鈮管坯進(jìn)行第一次加熱，所述第一次加熱的溫度為700℃～950℃；向加熱后的鈮管坯表面第一次噴涂玻璃粉，所述第一次噴涂玻璃粉的厚度為1mm～2mm；將第一次噴涂玻璃粉后的鈮管坯進(jìn)行第二次加熱，向第二次加熱后的鈮管坯表面第二次噴涂玻璃粉，所述第二次噴涂玻璃粉的厚度為1～2mm；將噴涂玻璃粉后的鈮管坯進(jìn)行熱擠壓；將熱擠壓后的鈮管坯進(jìn)行酸洗；將酸洗后的鈮管坯進(jìn)行熱處理，得到鈮管狀靶材。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述第二次加熱的溫度為1000℃～1300℃，所述第二次加熱的時間為1min～15min。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述熱擠壓的溫度為1000℃～1300℃，所述擠壓比大于等于4.5。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述酸洗的酸液為氫氟酸和硝酸的混合溶液，所述酸液的溫度為55℃～75℃。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的生產(chǎn)方法，其特征在于，所述熱處理的溫度為930℃～1300℃，所述熱處理的時間為60min～100min。6.一種由權(quán)利要求1～5任一項(xiàng)所生產(chǎn)的鈮管狀靶材，所述鈮管狀靶材的晶粒度為5級～6.5級。