一種鍍鎳廢液的二次利用方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種鍍鎳廢液的二次利用方法。該方法是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成?；蛟谑褂眠^的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用。本發(fā)明利用廢鍍液通過添加廢液恢復(fù)劑生成新鍍液，不用再將使用過的剩余廢鍍液倒掉，既避免了資源浪費，又降低了污水處理成本，取得了較好的有益效果。
【專利說明】一種鍍鎳廢液的二次利用方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種鍍鎳廢液的二次利用方法，屬于半導(dǎo)體鍍鎳【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)中需要對硅片表面進(jìn)行鍍鎳，作為管芯與電極之間燒結(jié)的焊料，以便與硅形成良好的歐姆接觸。常用的鍍鎳方法一般有兩種，一種是采用酸性鍍鎳，另一種是堿性鍍液。
[0003]目前無論是采用酸性鍍鎳還是采用堿性鍍液，其鍍液只使用一次，剩余的廢鍍液就倒掉了，這些剩余的廢鍍液中含有有害物質(zhì)，按照環(huán)保要求是不能直接排入江河的，需要花費大量的人力物力進(jìn)行處理之后符合環(huán)保要求之后才能排放，不但造成了資源浪費，還增加了污水處理成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于，提供一種鍍鎳廢液的二次利用方法。使廢鍍液重新煥發(fā)活力，能夠再次使用，既右減少資源浪費，也可降低污水處理成本。
[0005]本發(fā)明的技術(shù)方案:
一種鍍鎳廢液的二次利用 方法，該方法是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；或在使用過的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成；堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。
[0006]前述方法中，所述酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:硫酸鎳23-35份、次亞磷酸鈉16-24份、乙酸鈉7-11份和水800-1200份。
[0007]前述方法中，所述酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:硫酸鎳29份、次亞磷酸鈉20份、乙酸鈉9份和水1000份。
[0008]前述方法中，所述堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:氯化鎳26-40份、氯化銨43-65份、檸檬酸三銨54-80份、次亞磷酸鈉8_12份、水800-1200份。
[0009]前述方法中，所述堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:氯化鎳33份、氯化銨54份、檸檬酸三銨67份、次亞磷酸鈉10份、水1000份。
[0010]前述方法中，所述堿性廢液恢復(fù)劑溫度< 40°C，與廢鍍液混合后配置的新鍍液溫度控制在62~68°C。
[0011]前述方法中，所述硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨和次亞磷酸鈉均采用分析純以上原料。
[0012]前述方法中，所述配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合。
[0013]前述方法中，所述配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合；混合之前檢測PH值，通過氨水將PH調(diào)節(jié)在8~9之間。
[0014]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成?；蛟谑褂眠^的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用。本發(fā)明利用廢鍍液通過添加廢液恢復(fù)劑生成新鍍液，不用再將使用過的剩余廢鍍液倒掉，既避免了資源浪費，又降低了污水處理成本，取得了較好的有益效果。
【具體實施方式】
[0015]一種鍍鎳廢液的二次利用方法，該方法是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；或在使用過的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成；配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合。配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合；混合之前檢測PH值，通過氨水將PH調(diào)節(jié)在8~9之間。堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:硫酸鎳23-35份、次亞磷酸鈉16-24份、乙酸鈉7_11份和水800-1200份。所述酸性廢液恢復(fù)劑最好按以下重量份配制:硫酸鎳29份、次亞磷酸鈉20份、乙酸鈉9份和水1000份。堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:氯化鎳26-40份、氯化銨43-65份、朽1檬酸三銨54-80份、次亞磷酸鈉8-12份、水800-1200份。所述堿性廢液恢復(fù)劑最好按以下重量份配制:氯化鎳33份、氯化銨54份、檸檬酸三銨67份、次亞磷酸鈉10份、水1000份。堿性廢液恢復(fù)劑溫度< 40°C，與廢鍍液混合后配置的新鍍液溫度控制在62~68°C。
[0016]在進(jìn)行配制時，所述硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨和次亞磷酸鈉均采用分析純以上原料。
【權(quán)利要求】
1.一種鍍鎳廢液的二次利用方法，其特征在于:該方法是在使用過的酸性鍍鎳廢液加入20-30%的酸性廢液恢復(fù)劑；或在使用過的堿性鍍鎳廢液中加入20-30%堿性廢液恢復(fù)劑；使廢液重新煥發(fā)活力作為新鍍液再次使用；酸性廢液恢復(fù)劑由硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉加水配制而成；堿性廢液恢復(fù)劑由氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨、次亞磷酸鈉加水配制而成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述方法，其特征在于:前述酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:硫酸鎳23-35份、次亞磷酸鈉16-24份、乙酸鈉7_11份和水800-1200份。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述方法，其特征在于:前述酸性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:硫酸鎳29份、次亞磷酸鈉20份、乙酸鈉9份和水1000份。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述方法，其特征在于:前述堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:氯化鎳26-40份、氯化銨43-65份、檸檬酸三銨54-80份、次亞磷酸鈉8_12份、水800-1200份。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述方法，其特征在于:前述堿性廢液恢復(fù)劑按以下重量份配制:氯化鎳33份、氯化銨54份、檸檬酸三銨67份、次亞磷酸鈉10份、水1000份。
6.根據(jù)權(quán)利要求4和5所述方法，其特征在于:前述堿性廢液恢復(fù)劑溫度<40°C，與廢鍍液混合后配置的新鍍液溫度控制在62~68°C。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述方法，其特征在于:前述硫酸鎳、次亞磷酸鈉、乙酸鈉、氯化鎳、氯化銨、檸檬酸三銨和次亞磷酸鈉均采用分析純以上原料。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述方法，其特征在于:前述配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng)過濾后與鍍鎳廢液混合。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述方法，其特征在于:前述配制過程中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚪?jīng) 過濾后與鍍鎳廢液混合；混合之前檢測PH值，通過氨水將PH調(diào)節(jié)在8~9之間。
【文檔編號】C23C18/36GK103866301SQ201210546304
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2012年12月17日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月17日
【發(fā)明者】賀波, 劉態(tài)銘, 朱建凱, 楊輝 申請人:中國振華集團永光電子有限公司