專利名稱：一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于加熱器，具體涉及一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器。
背景技術(shù)：
在用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(MOCVD)制備半導(dǎo)體薄膜材料時(shí)，所發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)都是在特定的溫度環(huán)境下進(jìn)行，溫度均勻性直接影響薄膜的品質(zhì)。為了適應(yīng)市場(chǎng)對(duì)設(shè)備腔體直徑不斷增大的需求，加熱器的直徑也會(huì)相對(duì)增加，加熱器隨著直徑的增加，設(shè)計(jì)難度將隨之增加?，F(xiàn)有的大直徑加熱器通常在爐體中部設(shè)有中心孔以便能夠安裝中心軸，驅(qū)動(dòng)石墨高速旋獲得更加均勻的加熱效果。這種加熱器存在的問(wèn)題是，爐體中心孔和周邊的發(fā)熱絲散熱較快，影響加熱溫度的均勻性，對(duì)加工產(chǎn)品的質(zhì)量帶來(lái)影響
發(fā)明內(nèi)容
`本發(fā)明的目的是提供一種加熱溫度均勻的可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器。實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的采用的技術(shù)方案如下
本發(fā)明提供的可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、爐體中間設(shè)有一中心孔，中心孔的周圍設(shè)有第一支架，爐體的周邊設(shè)有第二支架，爐體上位于第一支架和第二支架之間設(shè)有第三支架；所述第一支架的頭部上設(shè)有呈上下多層排列的發(fā)熱絲卡槽，第二支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有多個(gè)發(fā)熱絲卡槽，第三支架的頭部設(shè)有一個(gè)發(fā)熱絲卡槽，所述卡槽內(nèi)設(shè)有發(fā)熱絲。所述第二支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有3個(gè)橫向排列的發(fā)熱絲卡槽和2個(gè)或3個(gè)豎向排列的發(fā)熱絲卡槽。本發(fā)明加熱器的爐體中心孔周圍支架采用多層發(fā)熱絲卡槽結(jié)構(gòu)，可有效防止中心軸熱量散失而影響溫度均勻性，爐體周邊支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有多個(gè)發(fā)熱絲卡槽，可有效防止熱量向外散失而影響溫度均勻性。下面結(jié)合附圖進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。


附圖是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式見(jiàn)附圖，可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括設(shè)有支腳11的圓形爐體、爐體包括上下設(shè)置的負(fù)電極板8和正電極板10,正電極板10和負(fù)電極板8通過(guò)連接部件15相互固定并絕緣，負(fù)電極板8設(shè)有負(fù)電極12，正電極板10設(shè)有正電極14，正電極板10和負(fù)電極板8之間設(shè)有固定板9，負(fù)電極板8通過(guò)支撐部件13設(shè)有反射板5，爐體中間設(shè)有一中心孔1，從中心孔I到周邊分為A、B、C、D區(qū)(對(duì)于直徑較小的爐體可只有A，B, C三區(qū))，中心孔I周圍的A區(qū)設(shè)有第一支架2，爐體周邊的D區(qū)設(shè)有第二支架7，爐體上位于第一支架2和第二支架7之間的B、C區(qū)設(shè)有第三支架4 ;所述第一支架2的頭部上設(shè)有呈上下兩層排列的發(fā)熱絲卡槽，第二支架7的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有3個(gè)橫向排列的發(fā)熱絲卡槽和2個(gè)或3個(gè)豎向排列的發(fā)熱絲卡槽，第三支架4的頭部設(shè)有一個(gè)發(fā)熱絲卡槽，所述卡槽內(nèi)設(shè)有發(fā)熱絲3，在使用時(shí)爐體的發(fā)熱絲3上面設(shè)有石墨盤(或碳化硅盤或碳化硅包裹的石墨盤)6，石墨盤6由安裝在中心孔I內(nèi)的中心軸 驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。
權(quán)利要求
1.一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、爐體中間設(shè)有一中心孔，其特征是中心孔的周圍設(shè)有第一支架，爐體的周邊設(shè)有第二支架，爐體上位于第一支架和第二支架之間設(shè)有第三支架；所述第一支架的頭部上設(shè)有呈上下多層排列的發(fā)熱絲卡槽，第二支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有多個(gè)發(fā)熱絲卡槽，第三支架的頭部設(shè)有一個(gè)發(fā)熱絲卡槽，所述卡槽內(nèi)設(shè)有發(fā)熱絲。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，其特征是所述第二支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有3個(gè)橫向排列的發(fā)熱絲卡槽和2個(gè)或3個(gè)豎向排列的發(fā)熱絲卡槽。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種可用于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備的高功率加熱器，包括爐體、爐體中間設(shè)有一中心孔，中心孔的周圍設(shè)有第一支架，爐體的周邊設(shè)有第二支架，爐體上位于第一支架和第二支架之間設(shè)有第三支架；所述第一支架的頭部上設(shè)有呈上下多層排列的發(fā)熱絲卡槽，第二支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有多個(gè)發(fā)熱絲卡槽，第三支架的頭部設(shè)有一個(gè)發(fā)熱絲卡槽，所述卡槽內(nèi)設(shè)有發(fā)熱絲。由于爐體中心孔周圍支架采用多層發(fā)熱絲卡槽結(jié)構(gòu)，可有效防止中心軸熱量散失而影響溫度均勻性，爐體周邊支架的頭部上邊和外側(cè)邊分別設(shè)有多個(gè)發(fā)熱絲卡槽，可有效防止熱量向外散失而影響溫度均勻性。
文檔編號(hào)C23C16/46GK102943252SQ20121052086
公開(kāi)日2013年2月27日 申請(qǐng)日期2012年12月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月7日
發(fā)明者蒲勇 申請(qǐng)人:長(zhǎng)沙市博壘德電子科技有限公司