專利名稱：蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一個種蒸鍍設(shè)備，特別是涉及一個種蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的一個種蒸鍍隔離元件是將ー個坩鍋置于ー個銅制爐床中，并將蒸鍍材料置于該坩鍋內(nèi)，將電子束打向蒸鍍材料使蒸鍍材料蒸發(fā)進行蒸鍍作業(yè)，在此同時，由于蒸鍍材料呈現(xiàn)溶融狀態(tài)，因此容易與該坩鍋產(chǎn)生共金焊接的現(xiàn)象，進而造成蒸鍍功率變高、膜值純度降低、蒸發(fā)速率不穩(wěn)、坩鍋壽命降低等等問題，雖然將蒸鍍材料直接放置于該爐床中可以避免共金焊接的問題，但由于該爐床與冷卻系統(tǒng)相連將會使得蒸鍍材料 溫度冷卻，大幅增加蒸鍍時所需要的功率。因此，一種可以避免共金焊接且可避免蒸鍍功率大幅増加的蒸鍍隔離元件，為目前相關(guān)業(yè)者的研發(fā)目標(biāo)之一。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，克服現(xiàn)有的蒸鍍裝置存在的缺陷，而提供一種可以避免共金焊接且可避免蒸鍍功率大幅増加的蒸鍍隔離元件，及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置。本發(fā)明的目的與所要解決的技術(shù)問題是通過以下的技術(shù)方案實現(xiàn)本發(fā)明蒸鍍隔離元件，用于ー個爐床內(nèi)承載蒸鍍材料；該蒸鍍隔離元件包含ー個耐熱本體、ー個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及ー個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣，該耐熱本體包括ー個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al2O3, BeO, BN、MgO, TiC/C合金、TiB2-BN, SiC、ThO2及ZrO2所構(gòu)成的群組制成。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，還包括一個立柱部，該立柱部自該耐熱本體底部中心向下延伸，該凹室繞該立柱部呈環(huán)狀空間。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該防溢緣形成于該耐熱本體的底緣。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，還包括一個立環(huán)部，該立環(huán)部自該耐熱本體底面周緣向下延伸，該凹室呈圓盤狀。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該防溢緣形成于該承載盤與該立環(huán)部外周緣。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該耐熱本體截面呈弧狀拱起，該頂面周緣高度低于該頂面的中心部。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該防溢緣形成于該耐熱本體底緣。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該頂面周緣高度與該頂面的中心部高度相同，該防溢緣形成于該頂面周緣，該凹室呈弧凸?fàn)?。本發(fā)明具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置，包含ー個爐床、一個蒸鍍源、ー個裝設(shè)于該爐床的冷卻裝置，及一個蒸鍍隔離元件，該蒸鍍隔離元件包括一個耐熱本體、ー個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及ー個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣，該耐熱本體具有ー個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部。本發(fā)明具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置，該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、A1203、BeO,BN、MgO、TiC/C 合金、TiB2-BN, SiC、ThO2 及 ZrO2 所構(gòu)成的群組制成。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，用于ー個爐床內(nèi)承載蒸鍍材料；該蒸鍍隔離元件包含ー個耐熱本體、ー個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及ー個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣。本發(fā)明蒸鍍隔離元件，該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、Al2O3, BeO, BN、MgO, TiC/C合金、TiB2-BN, SiC、ThO2及ZrO2所構(gòu)成的群組制成。本發(fā)明的有益效果在干通過該耐熱本體的材質(zhì)選擇，達到避免與蒸鍍材料共金焊接的功效，且通過該耐熱本體隔絕蒸鍍材料與該爐床，達到避免蒸鍍材料溫度冷卻、避免 蒸鍍功率大幅増加的功效。


圖I是本發(fā)明一個種蒸鍍隔離元件的第一較佳實施例的剖視圖；圖2是本發(fā)明一個種蒸鍍隔離元件的第二較佳實施例的剖視圖；圖3是本發(fā)明一個種蒸鍍隔離元件的第三較佳實施例的剖視圖；圖4是本發(fā)明一個種蒸鍍隔離元件的第四較佳實施例的剖視圖；圖5是本發(fā)明一個種蒸鍍隔離元件的第五較佳實施例的剖視圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖及實施例對本發(fā)明進行詳細說明。參閱圖1，本發(fā)明蒸鍍隔離元件I及具有蒸鍍隔離元件I的蒸鍍裝置的第一較佳實施例，該蒸鍍裝置包含ー個爐床2、一個蒸鍍源、ー個冷卻裝置4，及一個蒸鍍隔離元件1，該冷卻裝置4裝設(shè)于該爐床2底部，該蒸鍍隔離元件I用于ー個爐床2內(nèi)承載蒸鍍材料3，該蒸鍍隔離元件I包含一個耐熱本體11、一個頂面12，及ー個防溢緣13。該耐熱本體11 是由石墨、陶瓷、Al203、Be0、BN、Mg0、TiC/C 合金、TiB2-BN、SiC、Th02及ZrO2等材料制成，前述材料具有不易與蒸鍍材料3共金焊接的特性，且可以承受蒸鍍過程中的高溫，此外，該耐熱本體11的導(dǎo)熱特性不佳，因此可以避免該爐床2的冷卻系統(tǒng)降低蒸鍍材料3的溫度，進而避免了蒸鍍功率大幅增加的缺失。在本第一較佳實施例中，該耐熱本體11呈T字型，該蒸鍍隔離元件I還包括ー個立柱部112，該立柱部112自該耐熱本體11底部中心向下延伸，該凹室114繞該立柱部112呈環(huán)狀空間。該頂面12形成于該耐熱本體11頂部，該頂面12周緣高度不高于該頂面12的中心部，在本第一較佳實施例中，該頂面12周緣高度與該頂面12的中心部高度相同。該防溢緣13形成于該耐熱本體11且抵接于該爐床2內(nèi)側(cè)面21，用于避免蒸鍍材料3溢出，在本第一較佳實施例中，該防溢緣13形成于該耐熱本體11的底緣。參閱圖2，本發(fā)明蒸鍍隔離元件I的第二較佳實施例與該第一較佳實施例構(gòu)件與組裝方式大致相同，不同處在于該第二較佳實施例中，該蒸鍍隔離元件I還包括一個立環(huán)部113，該立環(huán)部113自該耐熱本體11底面周緣向下延伸，該凹室114呈圓盤狀，且該防溢緣13形成于該耐熱本體11與該立環(huán)部113外周緣。參閱圖3，本發(fā)明蒸鍍隔離元件I的第三較佳實施例與該第一較佳實施例構(gòu)件與組裝方式大致相同，不同處在于該第三較佳實施例中，該耐熱本體11截面呈弧狀拱起，該頂面12周緣高度低于該頂面12的中心部，且該防溢緣13形成于該耐熱本體底緣，該凹室114呈弧凸?fàn)睢㈤唸D4，本發(fā)明蒸鍍隔離元件I的第四較佳實施例與該第一較佳實施例構(gòu)件與組裝方式大致相同，不同處在于該第四較佳實施例中，該凹室114呈弧凸?fàn)?，且該頂?2周緣高度與該頂面12的中心部高度相同，該防溢緣13形成于該頂面12周緣。參閱圖5，本發(fā)明蒸鍍隔離元件I的第五較佳實施例與該第一較佳實施例構(gòu)件與組裝方式大致相同，不同處在于該第五較佳實施例中，該蒸鍍隔離元件I不包含該凹室 114，且該頂面12周緣高度高于該頂面12的中心部高度。綜上所述，通過該耐熱本體11的材質(zhì)選擇，達到避免與蒸鍍材料3共金焊接的功效，且通過該耐熱本體11隔絕蒸鍍材料3與該爐床2，達到避免蒸鍍材料3溫度冷卻、避免蒸鍍功率大幅增加的功效，所以確實能達成本發(fā)明的目的。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述掲示的方法及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一個種蒸鍍隔離元件，用于ー個爐床內(nèi)承載蒸鍍材料；其特征在于該蒸鍍隔離元件包含一個耐熱本體、ー個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及ー個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣，該耐熱本體包括ー個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、A1203、BeO, BN、MgO, TiC/C 合金、TiB2-BN, SiC、ThO2 及 ZrO2 所構(gòu)成的群組制成。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該蒸鍍隔離元件還包括ー個立柱部，該立柱部自該耐熱本體底部中心向下延伸，該凹室繞該立柱部呈環(huán)狀空間。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該防溢緣形成于該耐熱本體的底緣。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該蒸鍍隔離元件還包括ー個立環(huán)部，該立環(huán)部自該耐熱本體底面周緣向下延伸，該凹室呈圓盤狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該防溢緣形成于該承載盤與該立環(huán)部外周緣。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該耐熱本體截面呈弧狀拱起，該頂面周緣高度低于該頂面的中心部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該防溢緣形成于該耐熱本體底緣。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該頂面周緣高度與該頂面的中心部高度相同，該防溢緣形成于該頂面周緣，該凹室呈弧凸?fàn)睢?br> 10.ー個種具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置，包含ー個爐床、一個蒸鍍源、ー個裝設(shè)于該爐床的冷卻裝置，及一個蒸鍍隔離元件；其特征在于該蒸鍍隔離元件包括一個耐熱本體、ー個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及ー個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣，該耐熱本體具有ー個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的之蒸鍍隔離元件，其特征在于該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、A1203、BeO, BN、MgO, TiC/C 合金、TiB2-BN, SiC、ThO2 及 ZrO2 所構(gòu)成的群組制成。
12.一個種蒸鍍隔離元件，用于ー個爐床內(nèi)承載蒸鍍材料；其特征在于該蒸鍍隔離元件包含一個耐熱本體、ー個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及ー個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣，該頂面周緣高度高于該頂面的中心部。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的蒸鍍隔離元件，其特征在于該耐熱本體是選自石墨、陶瓷、A1203、BeO, BN、MgO, Ti C/C 合金、TiB2-BN, SiC、ThO2 及 ZrO2 所構(gòu)成的群組制成。
全文摘要
本發(fā)明有關(guān)一種蒸鍍隔離元件及具有蒸鍍隔離元件的蒸鍍裝置。其中的蒸鍍裝置包含一個爐床、一個蒸鍍源、一個冷卻裝置，及一個蒸鍍隔離元件，該冷卻裝置裝設(shè)于該爐床，該蒸鍍隔離元件包括一個耐熱本體、一個形成于該耐熱本體頂部的頂面，及一個形成于該耐熱本體且抵接于該爐床內(nèi)側(cè)面的防溢緣，該耐熱本體具有一個形成于底部的凹室，該頂面周緣高度不高于該頂面的中心部，通過該耐熱本體的材質(zhì)選擇，達到避免與蒸鍍材料共金焊接的功效，且通過該耐熱本體隔絕蒸鍍材料與該爐床，達到避免蒸鍍材料溫度冷卻、避免蒸鍍功率大幅增加的功效。
文檔編號C23C14/24GK102864416SQ201210181728
公開日2013年1月9日 申請日期2012年5月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月5日
發(fā)明者周子弘, 張謙成, 林耀輝 申請人:隆達電子股份有限公司