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一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:3383908閱讀:227來源:國知局
專利名稱:一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng)。
背景技術(shù)
金屬粗鎵一般通過電解、結(jié)晶等工藝精煉成高純鎵,而結(jié)晶的方法由于其能耗小, 周期相對較短,備受研究和生產(chǎn)人員的重視。現(xiàn)有的技術(shù)和發(fā)明中已經(jīng)針對高純鎵的結(jié)晶提純公開了很多有意義的資料,特別是針對結(jié)晶提純的理論有著比較深入的研究,但是從目前所公開的資料上看,目前的主要瓶頸有兩點,一是結(jié)晶裝置小,一般一次只能結(jié)晶幾千克,或者幾十千克,對于實驗室研究尚可,但無法實現(xiàn)工業(yè)化量產(chǎn),經(jīng)濟(jì)效益差。二是結(jié)晶裝置的可靠性差,結(jié)晶的溫度控制要求高,溫度的波動將會導(dǎo)致提純的效果大相徑庭,而氣氛的控制更會影響結(jié)晶提純的純度,目前所有可見的結(jié)晶裝置仍比較粗放,尚不能保證溫度的高均勻性,以及氣氛的嚴(yán)格控制,難以達(dá)到高純鎵提純產(chǎn)品的一致性,難以工業(yè)化。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng),以克服現(xiàn)有結(jié)晶裝置小、結(jié)晶裝置的可靠性差和結(jié)晶的溫度控制要求高等不足。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng),包括無頂?shù)木匦魏銣厮?,所述恒溫水箱?nèi)部設(shè)有一組冷熱循環(huán)管道,恒溫水箱頂端設(shè)有高導(dǎo)熱平臺,高導(dǎo)熱平臺中部設(shè)有凹槽,高導(dǎo)熱平臺頂部設(shè)有弧形的氣氛保護(hù)罩,氣氛保護(hù)罩、恒溫水箱及高導(dǎo)熱平臺的兩端通過法蘭固定,所述高導(dǎo)熱平臺與恒溫水箱之間形成有空腔,所述空腔中部均勻設(shè)有若干熱交換器,所述空腔內(nèi)部填充有冷凍液。本實用新型的有益效果為操作方便,可行性高,穩(wěn)定性強(qiáng),處理量大,擴(kuò)產(chǎn)簡單, 且由于高導(dǎo)熱平臺是由金屬制成的,使得高導(dǎo)熱平臺的溫度均勻性高,同時由于高導(dǎo)熱平臺上安裝有氣氛保護(hù)罩,使其提高了高純鎵的品質(zhì),減少了污染,保證了純度。

下面根據(jù)附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。圖1是本實用新型實施例所述的一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、恒溫水箱;2、高導(dǎo)熱平臺;3、凹槽;4、氣氛保護(hù)罩;5、法蘭;6、熱交換器;7、冷凍液。
具體實施方式
如圖1所示,本實用新型實施例所述的一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng),包括無頂?shù)木匦魏銣厮?,所述恒溫水箱1內(nèi)部設(shè)有一組冷熱循環(huán)管道,恒溫水箱1頂端設(shè)有高導(dǎo)熱平臺2,高導(dǎo)熱平臺2中部設(shè)有凹槽3,高導(dǎo)熱平臺2頂部設(shè)有弧形的氣氛保護(hù)罩4,氣氛保護(hù)罩4、恒溫水箱1及高導(dǎo)熱平臺2的兩端通過法蘭5固定,所述高導(dǎo)熱平臺2與恒溫水箱1之間形成有空腔,所述空腔中部均勻設(shè)有若干熱交換器6,所述空腔內(nèi)部填充有冷凍液7。具體使用時,高導(dǎo)熱平臺2可由黃銅、紫銅、純鋁等高導(dǎo)熱金屬制成。實例1 將裝置按照要求各部分相連,把待處理的高純鎵1T,分裝在50個結(jié)晶容器內(nèi),均勻放置在本實用新型的高導(dǎo)熱平臺2上,將恒溫水箱1、高導(dǎo)熱平臺2及氣氛保護(hù)罩4 兩端通過法蘭5密封連接好,通過冷熱循環(huán)管道向恒溫水箱1中沖入高純氮氣,開啟冷源, 冷卻恒溫水箱1內(nèi)的冷凍液7至25攝氏度,開始結(jié)晶操作。待結(jié)晶比例達(dá)到要求后,關(guān)閉冷源,將結(jié)晶容器內(nèi)的剩余液態(tài)鎵吸出,結(jié)晶提純好的固態(tài)鎵留置在容器內(nèi)。再通過熱交換器 6切換成熱源,開啟熱源,使得結(jié)晶好的高純鎵融化,以便傾倒,結(jié)晶后的鎵可以作為高純度鎵,再進(jìn)行其它提純流程操作。實例2 將裝置按照要求各部分相連。把待處理的高純鎵2T,分別裝入100個結(jié)晶容器內(nèi),均勻放置在本實用新型的高導(dǎo)熱平臺2上,將恒溫水箱1、高導(dǎo)熱平臺2及氣氛保護(hù)罩4兩端通過法蘭5密封連接好,通過冷熱循環(huán)管道向恒溫水箱1中沖入高純氬氣。開啟熱源,將所有的鎵先加熱至陽攝氏度,再關(guān)閉熱源,通過熱交換器6切換成冷源,開啟冷源, 冷卻恒溫水箱1內(nèi)的冷凍液7至10攝氏度溫度,開始結(jié)晶操作。待結(jié)晶達(dá)到一定比例后, 關(guān)閉冷源,將結(jié)晶容器內(nèi)的剩余液態(tài)鎵吸出,結(jié)晶提純好的固態(tài)鎵留置在容器內(nèi),再通過熱交換器6切換成熱源,開啟熱源,使得結(jié)晶好的高純鎵融化,以便傾倒?jié)茶T成錠,結(jié)晶后的鎵可以作為超純度鎵產(chǎn)品。本實用新型不局限于上述最佳實施方式,任何人在本實用新型的啟示下都可得出其他各種形式的產(chǎn)品,但不論在其形狀或結(jié)構(gòu)上作任何變化,凡是具有與本申請相同或相近似的技術(shù)方案,均落在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1. 一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng),包括無頂?shù)木匦魏銣厮?1),其特征在于所述恒溫水箱(1)內(nèi)部設(shè)有一組冷熱循環(huán)管道,恒溫水箱(1)頂端設(shè)有高導(dǎo)熱平臺(2),高導(dǎo)熱平臺(2)中部設(shè)有凹槽(3),高導(dǎo)熱平臺(2)頂部設(shè)有弧形的氣氛保護(hù)罩(4),氣氛保護(hù)罩 (4)、恒溫水箱(1)及高導(dǎo)熱平臺(2)的兩端通過法蘭(5)固定,所述高導(dǎo)熱平臺(2)與恒溫水箱(1)之間形成有空腔,所述空腔中部均勻設(shè)有若干熱交換器(6),所述空腔內(nèi)部填充有冷凍液(7)。
專利摘要本實用新型涉及一種高純鎵提純用結(jié)晶平臺系統(tǒng),包括無頂?shù)木匦魏銣厮洌龊銣厮鋬?nèi)部設(shè)有一組冷熱循環(huán)管道,恒溫水箱頂端設(shè)有高導(dǎo)熱平臺,高導(dǎo)熱平臺中部設(shè)有凹槽,高導(dǎo)熱平臺頂部設(shè)有弧形的氣氛保護(hù)罩,氣氛保護(hù)罩、恒溫水箱及高導(dǎo)熱平臺的兩端通過法蘭固定,所述高導(dǎo)熱平臺與恒溫水箱之間形成有空腔,所述空腔中部均勻設(shè)有若干熱交換器,所述空腔內(nèi)部填充有冷凍液。本實用新型的有益效果為操作方便,可行性高,穩(wěn)定性強(qiáng),處理量大,擴(kuò)產(chǎn)簡單,且由于高導(dǎo)熱平臺是由金屬制成的,使得高導(dǎo)熱平臺的溫度均勻性高,同時由于高導(dǎo)熱平臺上安裝有氣氛保護(hù)罩,使其提高了高純鎵的品質(zhì),減少了污染,保證了純度。
文檔編號C22B58/00GK202226902SQ20112032604
公開日2012年5月23日 申請日期2011年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月1日
發(fā)明者喬文, 康云飛, 鐘曉露 申請人:南京隆潤半導(dǎo)體材料有限公司
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