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磨削裝置的制作方法

文檔序號(hào):3381956閱讀:211來(lái)源:國(guó)知局
專利名稱:磨削裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及ー種磨削裝置。
背景技術(shù)
磨削裝置為了進(jìn)行大致方形(大致多邊形)的薄板狀的被加工物等、例如便攜式 電話等便攜式終端中使用的高脆性的薄板玻璃的端面磨削而使用。在該便攜式終端監(jiān)視器中,多使用大致方形的薄板狀的玻璃板。此種薄板狀的玻璃一般從大型的玻璃板切出大致的エ件形狀,通過(guò)利用磨削裝置的砂輪準(zhǔn)確地磨削該切出的玻璃板的端面,而形成規(guī)定的形狀。尤其是在該磨削時(shí),通過(guò)同時(shí)進(jìn)行倒角加工,而防止薄板狀的玻璃板的端面發(fā)生缺損。在上述磨削裝置的砂輪進(jìn)行磨削吋,從噴射噴嘴對(duì)加工時(shí)被加熱的砂輪噴射磨削液,而使砂輪冷卻。在如上所述磨削玻璃板的外形時(shí),通過(guò)使砂輪沿玻璃板的周圍相對(duì)移動(dòng)來(lái)進(jìn)行,因此從砂輪的旋轉(zhuǎn)軸方向觀察時(shí),砂輪與玻璃板所接觸的磨削加工位置變化成360度的任意的方向。即,例如在磨削大致方形的玻璃板的一條長(zhǎng)邊時(shí),若假定從旋轉(zhuǎn)軸方向觀察而磨削加工位置在位于12點(diǎn)鐘方向,則在磨削與該長(zhǎng)邊相鄰的短邊時(shí),磨削加工位置移動(dòng)到3點(diǎn)鐘方向,在磨削另ー長(zhǎng)邊時(shí),磨削加工位置移動(dòng)到6點(diǎn)鐘方向,在磨削另ー短邊時(shí),磨削加工位置移動(dòng)到9點(diǎn)鐘方向。并且,如上所述磨削加工位置在磨削作業(yè)時(shí)依次發(fā)生變化的情況下,為了向磨削加工位置適當(dāng)?shù)毓┙o磨削液,而在從砂輪的旋轉(zhuǎn)軸方向觀察下,磨削液的供給機(jī)構(gòu)也需要形成為360度方向。作為此種將磨削液向砂輪的周圍供給的機(jī)構(gòu)的ー種,(I)開(kāi)發(fā)有一種設(shè)置以砂輪為中心的環(huán)狀的供給管,并從該供給管朝向砂輪中心方向不間斷地供給磨削液的技術(shù)(參照日本國(guó)特開(kāi)2006-346803號(hào)公報(bào))。然而,在此種磨削液的供給方式下,存在需要大量的磨削液的問(wèn)題。對(duì)該點(diǎn)進(jìn)行詳細(xì)敘述的話,砂輪在帶著其周圍的空氣一起旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下進(jìn)行旋轉(zhuǎn),為了突破該空氣層將磨削液供給到砂輪,而需要以充分的壓カ和充分的流量來(lái)供給磨削液。因此,在上述那樣的從環(huán)狀的供給管供給磨削液時(shí),若不以磨削加工位置所需的磨削液的約近10倍的流量并確保相應(yīng)的壓力進(jìn)行連續(xù)供給,則無(wú)法將充分的磨削液供給到磨削加工位置。另外,當(dāng)要以此種供給方式向磨削加工位置供給充分的流量時(shí),會(huì)朝向砂輪噴射大量的磨削液,其結(jié)果是,在砂輪周圍會(huì)發(fā)生積水那樣的狀況,而成為砂輪在該積水中進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)。這種情況下,由砂輪的旋轉(zhuǎn)所形成的水膜會(huì)阻擋來(lái)自供給管的磨削液的噴射流,有可能會(huì)產(chǎn)生無(wú)法穩(wěn)定地向磨削加工位置供給必要的磨削液的現(xiàn)象,從而有可能無(wú)法發(fā)揮磨削液本來(lái)的功能。另外,作為其他的磨削液供給方法,(2)開(kāi)發(fā)有一種沿著被加工物即方形的玻璃板的周圍設(shè)置多個(gè)噴射噴嘴,并從接近磨削加工位置的噴射噴嘴噴射磨削液的技術(shù)(參照日本國(guó)特開(kāi)平5-162055號(hào)公報(bào))。然而,如此設(shè)置噴射噴嘴時(shí),根據(jù)玻璃板的尺寸而需要多個(gè)噴射噴嘴,不僅存在制造裝置自身成本變高的問(wèn)題,而且還存在需要確保噴射噴嘴的設(shè)置場(chǎng)所的問(wèn)題。此外,作為其他的磨削液供給方法,(3)考慮有使ー個(gè)噴射噴嘴追隨砂輪的切削加エ位置而變更移動(dòng)及噴射方向的結(jié)構(gòu)。然而,如此構(gòu)成吋,因該追隨的機(jī)構(gòu)而裝置變得復(fù)雜化,存在研磨裝置自身的成本變高的問(wèn)題,而且存在需要確保上述追隨機(jī)構(gòu)的設(shè)置空間的問(wèn)題。專利文獻(xiàn)I :日本國(guó)特開(kāi)2006-346803號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本國(guó)特開(kāi)平5-162055號(hào)公報(bào)
實(shí)用新型內(nèi)容 因此,本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠可靠且安全地對(duì)薄板狀的被加工物的端面進(jìn)行磨削加工的磨削裝置。本實(shí)用新型的磨削裝置具備工作臺(tái),其載置薄板狀的被加工物;砂輪,其在外周具有能夠磨削被加工物端面的磨削面,且能夠旋轉(zhuǎn);移動(dòng)機(jī)構(gòu),其使砂輪及被加工物進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),以利用該磨削面磨削被加工物的端面;多個(gè)噴射噴嘴,它們大致等角度間隔地配設(shè)在砂輪的周圍,對(duì)液體進(jìn)行微粒子化而向磨削面噴射;控制機(jī)構(gòu),其以與上述被加工物接觸的砂輪的磨削加工位置為基準(zhǔn),控制上述多個(gè)噴射噴嘴的噴射而將液體噴射到砂輪的旋轉(zhuǎn)方向后方。該磨削裝置能夠在工作臺(tái)上載置被加工物,通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)使被加工物和砂輪進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),利用砂輪磨削被加工物的端面。并且,在該磨削作業(yè)時(shí),噴射噴嘴將微粒子化的液體朝向砂輪噴射,因此該微粒子化的液體容易突破在砂輪的表面(磨削面)由砂輪的旋轉(zhuǎn)所帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的空氣層,而容易可靠地供給到砂輪的磨削面。而且,由于從噴射噴嘴將液體噴射到比磨削加工位置靠旋轉(zhuǎn)方向后方,因此到達(dá)了砂輪磨削面的液體在砂輪的旋轉(zhuǎn)的帶動(dòng)下,容易到達(dá)磨削加エ位置。尤其是在該磨削裝置中,即使隨著端面的磨削而磨削加工位置與砂輪的旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置發(fā)生了變更,在利用控制機(jī)構(gòu)控制噴射噴嘴的噴射的作用下,也能夠?qū)⒁后w噴射到比砂輪的磨削加工位置靠旋轉(zhuǎn)方向后方,而無(wú)需供給大量的液體。因此,根據(jù)該磨削裝置,能實(shí)現(xiàn)液體所需的成本的削減,而且能夠防止砂輪周圍發(fā)生積水那樣的狀況。此外,由于此種液體的噴射由配設(shè)在砂輪周圍的噴射噴嘴進(jìn)行,因此無(wú)需在被加エ物的整個(gè)端部設(shè)置多個(gè)噴射噴嘴。因此,與該裝置在被加工物的整個(gè)端部設(shè)置多個(gè)噴射噴嘴的情況相比,可以減少噴射噴嘴,能實(shí)現(xiàn)制造裝置自身的成本減少,且比較容易確保噴射噴嘴的設(shè)置場(chǎng)所。在該實(shí)用新型中,作為噴射噴嘴,優(yōu)選采用混合液體和氣體進(jìn)行噴射的雙流體噴嘴。由此,被微粒子化而噴射的流體能夠可靠地突破因砂輪的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的砂輪的周圍的
空氣層。 此外,在該實(shí)用新型中,噴射噴嘴的噴射中心軸可以沿著砂輪的外周的切線方向設(shè)置。而且,也可以與砂輪的旋轉(zhuǎn)軸大致交叉地設(shè)置。[0022]另外,在該實(shí)用新型中,控制機(jī)構(gòu)可以采用進(jìn)行如下控制的結(jié)構(gòu)磨削作業(yè)時(shí),在變更上述磨削加工位置與砂輪的旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置的情況下,對(duì)噴射的噴射噴嘴進(jìn)行切換。由此,在切削加工位置相對(duì)于砂輪的旋轉(zhuǎn)軸變更位置時(shí),控制機(jī)構(gòu)通過(guò)對(duì)多個(gè)噴射噴嘴中的進(jìn)行噴射的噴射噴嘴進(jìn)行切換,而能夠可靠地將液體噴射到比砂輪的磨削加工位置靠旋轉(zhuǎn)方向后方。此外,在采用上述結(jié)構(gòu)時(shí),可以采用如下的結(jié)構(gòu)還具備將上述砂輪的旋轉(zhuǎn)軸軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)的砂輪軸承部件和相對(duì)于該砂輪軸承部件進(jìn)行固定的噴嘴座,上述多個(gè)噴射噴嘴安裝在噴嘴座上。由此,能夠在固定于砂輪軸承部件的噴嘴座上容易且可靠地安裝多個(gè)噴射噴嘴,從而容易設(shè)置噴射噴嘴。此外,在采用上述結(jié)構(gòu)時(shí),優(yōu)選將同時(shí)噴射的噴射噴嘴控制在兩個(gè)以內(nèi),由此,能得到通過(guò)少量的液體進(jìn)行可靠的磨削作業(yè)的效果。 此外,在采用上述結(jié)構(gòu)時(shí),控制機(jī)構(gòu)優(yōu)選采用進(jìn)行如下控制的結(jié)構(gòu)在砂輪相對(duì)于被加工物沿一方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)吋,從ー噴射噴嘴噴射液體,在該噴射后,在砂輪相對(duì)于被加工物沿與上述一方向交叉的另一方向進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)時(shí),從另一噴射噴嘴噴射液體,在從上述一方向的相對(duì)移動(dòng)切換成上述另ー方向的相對(duì)移動(dòng)期間,從上述一噴射噴嘴及另ー噴射噴嘴這雙方噴射液體。由此,在被加工物的一方向的端面上,利用上述一噴射噴嘴進(jìn)行噴射,而且,在被加工物的另ー方向的端面上,利用上述另ー噴射噴嘴進(jìn)行噴射,從而能夠可靠地進(jìn)行磨削作業(yè),并且在被加工物的一方向的端面與另一方向的端面之間(例如拐角部),從上述一噴射噴嘴及另ー噴射噴嘴這雙方噴射液體,因此對(duì)于所述部分,能可靠地供給液體并進(jìn)行被加工物的磨削。[發(fā)明效果]如以上說(shuō)明所述,在本實(shí)用新型中,能夠通過(guò)噴射噴嘴可靠地使液體到達(dá)砂輪的磨削加工位置而進(jìn)行被加工物的磨削,因此,能夠可靠且安全地對(duì)薄板狀的被加工物的端面進(jìn)行磨削加工。

圖I是表示本實(shí)用新型的磨削裝置的ー實(shí)施方式的俯視圖。圖2是圖I的磨削裝置的主視圖。圖3是圖I的磨削裝置的側(cè)視圖。圖4是圖I的磨削裝置的搬運(yùn)機(jī)器人的三面圖,圖4(a)是主視圖,圖4(b)是側(cè)視圖,圖4(c)是俯視圖。圖5是說(shuō)明圖I的磨削裝置的搬運(yùn)機(jī)器人的搬運(yùn)時(shí)的動(dòng)作的圖,圖5(a)是表示基準(zhǔn)狀態(tài)至エ件保持開(kāi)始狀態(tài)的圖,圖5(b)是表示エ件保持開(kāi)始狀態(tài)至向加工臺(tái)搬運(yùn)エ件的狀態(tài)的圖。圖6是說(shuō)明圖I的磨削裝置的搬運(yùn)機(jī)器人的搬運(yùn)時(shí)的動(dòng)作的圖,圖6(c)是表示向加工臺(tái)搬運(yùn)エ件的狀態(tài)至相機(jī)攝影狀態(tài)的圖,圖6(d)是表示相機(jī)攝影狀態(tài)至下一個(gè)エ件的保持開(kāi)始狀態(tài)的圖。圖7是圖I的磨削裝置的第二加工單元的俯視圖。圖8是圖I的磨削裝置的第二加工單元的包含局部剖面的主視圖。[0036]圖9是圖I的磨削裝置的第二加工單元的包含局部剖面的側(cè)視圖。圖10是在圖I的磨削裝置中使用大徑的磨削工具時(shí)的包含局部剖面的詳細(xì)側(cè)視圖。圖11是在圖I的磨削裝置中使用小徑的磨削工具時(shí)的包含局部剖面的詳細(xì)側(cè)視圖。圖12是表示圖I的磨削裝置的控制方法的流程圖。圖13是表示圖I的磨削裝置的利用相機(jī)拍攝加工臺(tái)的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖14(a) (d)是說(shuō)明在圖I的磨削裝置中拍攝到的數(shù)據(jù)的處理及運(yùn)算方法的說(shuō)明圖。 圖15是用于說(shuō)明圖I的磨削裝置的噴射噴嘴單元的示意性俯視圖。圖16(a) (d)是表示圖I的磨削裝置的磨削エ件的狀態(tài)的示意性俯視圖。圖17(a) (d)是表示在本實(shí)用新型的磨削裝置的另ー實(shí)施方式中磨削エ件的狀態(tài)的不意性俯視圖。圖18(a) (C)是表示在本實(shí)用新型的磨削裝置的另ー實(shí)施方式中磨削エ件的狀態(tài)的不意性俯視圖。圖19(a) (d)是表示在本實(shí)用新型的磨削裝置的另ー實(shí)施方式中磨削エ件的狀態(tài)的不意性俯視圖。符號(hào)說(shuō)明M磨削裝置W エ件(薄板玻璃、被加工物)Wi未加工的エ件Wo加工完的エ件Wmエ件模型15電子控制單元(控制機(jī)構(gòu))23 相機(jī)30加工臺(tái)31磨削主軸33加工工作臺(tái)(工作臺(tái))61,161加工部(砂輪)71基準(zhǔn)銷100砂輪軸承部件110噴射噴嘴單元112(112a 112d)噴射噴嘴C 機(jī)械原點(diǎn)P エ件外形的重心位置Q 孔部形狀的重心位置
具體實(shí)施方式
以下,基于附圖,對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。[0067]首先,參照?qǐng)DI 圖3,對(duì)磨削裝置的整體結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。需要說(shuō)明的是,在各圖中,雖然未具體描繪,但在該磨削裝置中,眾所周知,為了確保操作者的安全性,而在周圍設(shè)置保護(hù)板。如圖2、圖3所 示,該研磨裝置M在下部具備大致矩形形狀且組裝成格子狀的基架1,在其上表面設(shè)有用于進(jìn)行磨削加工的各種單元?;躀通過(guò)將周知的鋼制的方形材料11、12、13沿左右方向、前后方向及上下方向組裝,而對(duì)上部的各單元進(jìn)行牢固的支承。在基架I的上表面載置固定有金屬制的平板材料14。通過(guò)該平板材料14進(jìn)行基架I的方形材料11、12、13之間的堵眼,并且能夠在基架I上設(shè)置各単元。此外,在基架I內(nèi)設(shè)有電子控制單元15(控制機(jī)構(gòu)),來(lái)進(jìn)行各種單元的控制,其中該各種単元是進(jìn)行磨削加工的単元。而且,雖然未作詳細(xì)記載,但在該電子控制單元15內(nèi)具備存儲(chǔ)加工信息等的存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)。此外,雖然未圖示,但還設(shè)有用于供操作者H對(duì)該電子控制單元15輸入信息的控制盤(pán)。如圖I所示,設(shè)置在磨削裝置M的上部(基架I上)的單元包括設(shè)置在中央的搬運(yùn)機(jī)器人2 ;設(shè)置在其周圍的四個(gè)加工單元3A、3B、3C、3D ;設(shè)置在搬運(yùn)機(jī)器人2前方的投入取出臺(tái)4 ;在搬運(yùn)機(jī)器人2的左右兩側(cè)位置設(shè)置成沿前后方向延伸的照明移動(dòng)單元5。上述的搬運(yùn)機(jī)器人2由所謂沿水平方向移動(dòng)的三關(guān)節(jié)的SCARA機(jī)器人構(gòu)成。在圖I 圖3中,表示了搬運(yùn)機(jī)器人2未移動(dòng)的基準(zhǔn)狀態(tài),但關(guān)于動(dòng)作狀態(tài),利用圖4 圖6在后面進(jìn)行說(shuō)明。在搬運(yùn)機(jī)器人2上的前端設(shè)有上下滑動(dòng)軸20。在該上下滑動(dòng)軸20的下端設(shè)有吸附手21,該吸附手21對(duì)被加工物(エ件)即大致方形(大致多邊形)的薄板玻璃W進(jìn)行吸附保持。而且,在上下滑動(dòng)軸20的上端經(jīng)由安裝托架安裝有攝入圖像用的相機(jī)23。該搬運(yùn)機(jī)器人2將薄板玻璃W(Wo、Wi)從投入取出臺(tái)4向各加工單元3A、3B、3C、3D搬運(yùn),而且從各加工単元3A、3B、3C、3D向投入取出臺(tái)4搬運(yùn)。該エ件W的搬運(yùn)作業(yè)利用上述的吸附手21進(jìn)行。而且,在該搬運(yùn)機(jī)器人2中,可以利用上述的相機(jī)23從加工単元3A、3B、3C、3D的上方拍攝載置的エ件W。上述的四個(gè)加工單元分別設(shè)置在搬運(yùn)機(jī)器人2的前后左右,設(shè)置作為第一加工單元3A、第二加工単元3B、第三加工単元3C以及第四加工単元3D。各加工單元3A、3B、3C、3D的結(jié)構(gòu)要素全部設(shè)定為相同,全部進(jìn)行相同的磨削作業(yè)。例如,以第一加工単元3A來(lái)表示,其結(jié)構(gòu)要素具備將エ件W吸附保持成供磨削狀態(tài)的加工臺(tái)30 ;從加工臺(tái)30的上方磨削エ件W的磨削主軸31 ;與加工臺(tái)30相鄰而保持多個(gè)磨削工具(砂輪)的工具庫(kù)32 ;朝安裝在磨削主軸31上的砂輪噴射磨削液的噴射噴嘴単元110。并且,其中,在加工臺(tái)30上設(shè)有使中央的加工臺(tái)33沿左右方向滑動(dòng)移動(dòng)的左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34 (移動(dòng)機(jī)構(gòu))。在加工臺(tái)33的左右兩側(cè)設(shè)有樹(shù)脂制的褶皺保護(hù)罩35 (加工臺(tái)33的右側(cè)的褶皺保護(hù)罩被磨削主軸等遮擋而未圖示)。通過(guò)該褶皺保護(hù)罩35,防止磨削液進(jìn)入左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34。而且,在加工臺(tái)33的上表面設(shè)有矩形箱狀且上方打開(kāi)的收集盤(pán)36,通過(guò)該收集盤(pán)36防止磨削液分散。另外,磨削主軸31具備沿前后方向滑動(dòng)移動(dòng)的前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38 (移動(dòng)機(jī)構(gòu))。并且,在磨削主軸31與前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38之間設(shè)有沿上下方向移動(dòng)的上下引導(dǎo)機(jī)構(gòu)39。如此,磨削主軸31不僅沿前后方向,而且沿上下方向也能自由移動(dòng)。此外,如圖2所示,前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38相對(duì)于沿前后方向延伸的大型方形材料的側(cè)架16牢固地固定。由此,提高磨削主軸31的支承剛性,而能夠提高磨削精度。工具庫(kù)32最多能夠保持五個(gè)磨削工具(砂輪)6、…(參照?qǐng)D2、圖3)。在工具庫(kù)32中保持有直徑不同 的砂輪或研磨材料不同的砂輪等多個(gè)磨削工具6。根據(jù)加工內(nèi)容選擇這多個(gè)磨削工具6而將其安裝在磨削主軸31上。上述的投入取出臺(tái)4具備操作者H進(jìn)行開(kāi)閉操作的開(kāi)閉門(mén)40 ;與開(kāi)閉門(mén)40連動(dòng)而移動(dòng)的長(zhǎng)方形形狀的盒設(shè)置臺(tái)41 ;拆裝自如地設(shè)置于盒設(shè)置臺(tái)41的エ件盒42。開(kāi)閉門(mén)40由在下端設(shè)有沿水平方向延伸的鉸鏈軸43 (參照?qǐng)D3)的橫向比縱向長(zhǎng)的長(zhǎng)方形的鋼板構(gòu)成,在上部外表面設(shè)有俯視大致U形的把手部44。操作者H通過(guò)把持把手部44以鉸鏈軸43為中心將該開(kāi)閉門(mén)40向跟前側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng),而能夠打開(kāi)投入取出臺(tái)4,能夠進(jìn)行エ件W向磨削裝置M內(nèi)的存取。盒設(shè)置臺(tái)41的兩側(cè)端與連桿機(jī)構(gòu)45連結(jié),該連桿機(jī)構(gòu)45與開(kāi)閉門(mén)40的上部連結(jié)。而且,盒設(shè)置臺(tái)41的下部以可滑動(dòng)的方式載置在沿前后方向延伸的滑軌46 (參照?qǐng)D3)上。因此,操作者H對(duì)開(kāi)閉門(mén)40進(jìn)行打開(kāi)操作吋,經(jīng)由連桿機(jī)構(gòu)45而與開(kāi)閉門(mén)40連結(jié)的盒設(shè)置臺(tái)41向磨削裝置M的外側(cè)方向進(jìn)行滑動(dòng)移動(dòng)。而且,操作者H對(duì)開(kāi)閉門(mén)40進(jìn)行關(guān)閉操作時(shí),盒設(shè)置臺(tái)41向磨削裝置M的內(nèi)側(cè)方向進(jìn)行滑動(dòng)移動(dòng)。エ件盒42具備四個(gè)由樹(shù)脂壁47分隔而成的層疊部48,以使エ件W的層疊體沿左右方向排列成四列。其中,在右側(cè)兩個(gè)層疊部48中層疊未加工的エ件Wi,而在左側(cè)兩個(gè)層疊部48中層疊加工完的エ件Wo。該エ件盒42將搬運(yùn)時(shí)的把持部49設(shè)置在兩端,以便于操作者H能夠容易從盒設(shè)置臺(tái)41上將其取下。操作者H將未加工的エ件W安放(載置)于該エ件盒42,通過(guò)將該安放有エ件W的エ件盒42放置于盒設(shè)置臺(tái)41,并關(guān)閉開(kāi)閉門(mén)40,而能夠完成加工前準(zhǔn)備。上述的照明移動(dòng)單元5具備在搬運(yùn)機(jī)器人2的兩側(cè)位置沿前后方向延伸的移動(dòng)滑軌50 ;經(jīng)由上下移動(dòng)機(jī)構(gòu)51支承在該移動(dòng)滑軌50上的大致四邊形的照明框52。移動(dòng)滑軌50將前端和后端經(jīng)由支承托架50a、50a固定設(shè)置在金屬制的平板件14上。該移動(dòng)滑軌50的后端延伸設(shè)置到后側(cè)的加工単元(第二加工単元3B、第四加工単元3D)的工具庫(kù)32的位置。因此,照明框52向磨削裝置M的后側(cè)移動(dòng)得較大。在未使用照明框52的待機(jī)時(shí)間(利用各加工単元3A、3B、3C、3D進(jìn)行磨削加工等的時(shí)間)中,能夠使照明框52后退到后側(cè)的位置。照明框52通過(guò)在各框部52a、…的內(nèi)周面埋入多個(gè)未圖示的LED,而對(duì)框內(nèi)進(jìn)行照射。在利用相機(jī)23拍攝エ件W吋,該照明框52向加工臺(tái)30的收集盤(pán)36移動(dòng),通過(guò)利用LED從側(cè)方照射エ件W,而使エ件W的外形形狀(輪廓)浮現(xiàn),從而容易進(jìn)行エ件W的攝影。接下來(lái),利用圖4 圖6,對(duì)搬運(yùn)機(jī)器人2進(jìn)行說(shuō)明。圖4是搬運(yùn)機(jī)器人的三面圖,圖4(a)是主視圖,圖4(b)是側(cè)視圖,圖4(c)是俯視圖。圖5、圖6是說(shuō)明搬運(yùn)機(jī)器人進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)的動(dòng)作的圖,圖5(a)是表示基準(zhǔn)狀態(tài)至エ件保持開(kāi)始狀態(tài)的圖,圖5(b)是表示エ件保持開(kāi)始狀態(tài)至向加工臺(tái)搬運(yùn)エ件的狀態(tài)的圖,圖6(c)是表示向加工臺(tái)搬運(yùn)エ件的狀態(tài)至相機(jī)攝影狀態(tài)的圖,圖6(d)是表示相機(jī)攝影狀態(tài)至下一個(gè)エ件的保持開(kāi)始狀態(tài)的圖。[0091]如上所述,搬運(yùn)機(jī)器人2由沿水平方向移動(dòng)的三關(guān)節(jié)的SCARA機(jī)器人構(gòu)成,能夠沿水平方向移動(dòng)。具體而言,如圖4(b)所示,搬運(yùn)機(jī)器人2設(shè)置成在第一關(guān)節(jié)2Ja、第二關(guān)節(jié)2Jb及第三關(guān)節(jié)2Jc能夠轉(zhuǎn)動(dòng),并設(shè)置成能夠沿左右方向移動(dòng)。由此,前側(cè)臂24的前端的上下滑動(dòng)軸20能夠沿水平方向移動(dòng)。該上下滑動(dòng)軸20沿上下方向貫通前側(cè)臂24前端設(shè)置,沿上下方向進(jìn)行滑動(dòng)移動(dòng)。在上下滑動(dòng)軸20的下端設(shè)有上述的吸附手21。該吸附手21在長(zhǎng)方形的平板狀的底板25上設(shè)有朝向下側(cè)的四個(gè)吸盤(pán)26、…。通過(guò)使負(fù)壓作用于該吸盤(pán)26,而產(chǎn)生吸附力,從而吸附保持エ件即薄板玻璃W。如圖4(c)所示,這四個(gè)吸盤(pán)26、 在左右兩個(gè)部位各配設(shè)兩個(gè)。分別利用兩個(gè)吸盤(pán)26吸附保持一個(gè)エ件W。因此,能夠利用一個(gè)吸附手21 —次搬運(yùn)兩個(gè)エ件W。另外,在該吸附手21中,在底板25的兩端設(shè)有向下突出的銷27。該銷27、27是與エ件W抵接的抵接部件。即,在搬運(yùn)エ件W之前,通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人2的移動(dòng)而利用該銷27暫時(shí)將エ件W壓入エ件盒42內(nèi),并使エ件W在エ件盒42內(nèi)排列。如上所述,在上下滑動(dòng)軸20的上端設(shè)有相機(jī)23。該相機(jī)23設(shè)置在從吸附手21的エ件W的保持位置(底板25的突出部分)偏離了約90°的位置。這是為了在利用相機(jī)23拍攝時(shí),以免底板25成為干擾。該相機(jī)23由一般的(XD相機(jī)構(gòu)成,攝入ニ維的圖像數(shù)據(jù)。另外,該相機(jī)23經(jīng)由安裝托架22而安裝于上下滑動(dòng)軸20。該安裝托架22包括稍向下彎曲的腕部22a、能夠調(diào)整上下方向位置的相機(jī)安裝部22b、呈筒狀地固定于上下滑動(dòng)軸20的軸固定部22c。相機(jī)23經(jīng)由腕部22a固定于上下滑動(dòng)軸20,因此位于從上下滑動(dòng)軸20分離的位置,在攝影時(shí),防止照入前側(cè)臂24。接下來(lái),利用圖5及圖6,說(shuō)明搬運(yùn)機(jī)器人2進(jìn)行搬運(yùn)時(shí)的動(dòng)作。如圖5(a)所示,搬運(yùn)機(jī)器人2首先從基準(zhǔn)狀態(tài)使各關(guān)節(jié)繞逆時(shí)針稍轉(zhuǎn)動(dòng),利用吸附手21吸附層疊在エ件盒42中的未加工的エ件Wi。此時(shí),通過(guò)使上下滑動(dòng)軸20繞逆時(shí)針較大地轉(zhuǎn)動(dòng),而使吸附手21的底板25轉(zhuǎn)動(dòng),利用左側(cè)的吸盤(pán)26來(lái)吸附未加工的エ件Wi。然后,如圖5(b)所示,搬運(yùn)機(jī)器人2使各關(guān)節(jié)繞逆時(shí)針較大地轉(zhuǎn)動(dòng),而將エ件Wi向第一加工単元的加工臺(tái)30搬運(yùn)。此時(shí),エ件Wi被搬運(yùn)到大致的位置,而載置于加工臺(tái)30。即,不用進(jìn)行嚴(yán)格的位置確認(rèn),而將エ件Wi向加工臺(tái)30搬運(yùn),并將其載置在大致的位置。并且,如圖6(c)所示,搬運(yùn)機(jī)器人2使前側(cè)臂24進(jìn)ー步繞逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),并使上下滑動(dòng)軸20繞順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),從而可靠地使相機(jī)23位于エ件Wi的上方(正上方)。如此,搬運(yùn)機(jī)器人2利用相機(jī)23對(duì)自己搬運(yùn)而載置的エ件Wi進(jìn)行拍攝。需要說(shuō)明的是,關(guān)于エ件W的攝影步驟,在后面進(jìn)行敘述。并且,最后,如圖6 (d)所示,搬運(yùn)機(jī)器人2在エ件Wi的攝影結(jié)束后,為了搬運(yùn)下一個(gè)未加工的エ件W,而使各關(guān)節(jié)繞順時(shí)針?lè)祷兀ㄟ^(guò)底板25的左側(cè)的吸盤(pán)26來(lái)吸附下ー個(gè)エ件W。并且,之后,搬運(yùn)機(jī)器人2反復(fù)進(jìn)行圖5(b)的動(dòng)作,從エ件盒42向下ー個(gè)加工臺(tái)搬運(yùn)未加工的エ件W。這樣,不斷地將未加工的エ件W向空的加工単元的加工臺(tái)搬運(yùn)。此外,具體而言,雖然未圖示,但搬運(yùn)機(jī)器人2利用右側(cè)的吸盤(pán)26對(duì)加工結(jié)束后的加工完的エ件Wo進(jìn)行吸附,而從加工臺(tái)30向エ件盒42搬運(yùn)。搬運(yùn)機(jī)器人2在圖5(b)的動(dòng)作之前,通過(guò)從加工臺(tái)30提起加工完的エ件Wo,而同時(shí)進(jìn)行未加工的エ件Wi的搬運(yùn)和加エ完的エ件Wo的搬運(yùn)。接下來(lái),對(duì)加工単元進(jìn)行說(shuō)明。圖7是加工単元的俯視圖,圖8是加工単元的包含局部剖面的主視圖,圖9是加工単元的包含局部剖面的側(cè)視圖。如圖7所示,加工単元3B (為了簡(jiǎn)便起見(jiàn),以第二加工単元進(jìn)行說(shuō)明)具備保持上述的エ件W的加工臺(tái)30 ;對(duì)エ件W進(jìn)行磨削的磨削主軸31 ;保持磨削工具6的工具箱32。并且,其中,在加工臺(tái)30中具備如上所述矩形的加工工作臺(tái)33 (工作臺(tái));使加エ工作臺(tái)33左右移動(dòng)的左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34 ;覆蓋左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34的褶皺保護(hù)罩35 ;設(shè)置在加工工作臺(tái)33上表面的收集盤(pán)36 ;噴射磨削液的噴射噴嘴単元110。 此外,如圖8所示,該加工工作臺(tái)30還具備各種結(jié)構(gòu)要素。首先,在加工工作臺(tái)33的上表面設(shè)有吸附臺(tái)70,該吸附臺(tái)70用于在收集盤(pán)36的內(nèi)側(cè)中央吸附保持エ件W。該吸附臺(tái)70由上表面(承受面)70a成為長(zhǎng)方形(參照?qǐng)D7)的大致T字狀的塊形狀的底座構(gòu)成。為了施加負(fù)壓,而在吸附臺(tái)70的上表面70a上設(shè)有多個(gè)吸氣ロ 70b(參照?qǐng)D10、圖11)。而且,為了不使薄板玻璃即エ件W的表面產(chǎn)生傷痕,而對(duì)吸附臺(tái)的上表面70a實(shí)施平滑加工。用于算出磨削加工時(shí)的機(jī)械原點(diǎn)的兩個(gè)基準(zhǔn)銷71、71以朝向相機(jī)23側(cè)(上方側(cè))的方式豎立設(shè)置在上述吸附臺(tái)70的周圍。在將エ件W載置(保持)于吸附臺(tái)70的狀態(tài)下,該基準(zhǔn)銷71、71配置在與エ件W不重疊的位置,以便于能夠從上述相機(jī)23進(jìn)行拍攝。此外,在エ件W完全透明的情況下,基準(zhǔn)銷的位置也可以設(shè)定成與エ件W重疊。并且,如圖8所示,基準(zhǔn)銷71的前端部71a設(shè)定成其高度hp與吸附臺(tái)70的上表面70a的高度hs為相同高度。通過(guò)如此設(shè)定,在利用相機(jī)23進(jìn)行拍攝時(shí),在エ件W與基準(zhǔn)銷71之間不會(huì)產(chǎn)生焦點(diǎn)的偏差,因此能夠可靠地進(jìn)行圖像數(shù)據(jù)的攝入。另外,在收集盤(pán)36的內(nèi)部設(shè)有懸空底產(chǎn)生了傾斜的大致四邊形的背景板72。該背景板72對(duì)整面進(jìn)行消光并涂上黒色,防止映入相機(jī)23時(shí)的反射,而使エ件W和基準(zhǔn)銷71的映入顯眼。而且,通過(guò)將背景板72傾斜設(shè)置,而使磨削液立即流落。而且,在該背景板72上形成有用于供基準(zhǔn)銷71和吸附臺(tái)70插通的插通孔(具體情況未圖示)。在收集盤(pán)36的相鄰位置上設(shè)有用于將流落到收集盤(pán)36上的磨削液排出的排水管73和排水筒74。通過(guò)設(shè)置該排水管73和排水筒74,而防止磨削液滯留在收集盤(pán)36內(nèi)。左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34通過(guò)周知的直線導(dǎo)軌而使加工工作臺(tái)33自由地沿左右方向進(jìn)行滑動(dòng)移動(dòng)。并且,該左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34通過(guò)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)34M來(lái)控制滑動(dòng)量。S卩,通過(guò)左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34來(lái)控制加工工作臺(tái)33的左右方向的位置。由此,在后述的磨削加工時(shí),左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34限定磨削路徑的左右位置。褶皺保護(hù)罩35如所謂的手風(fēng)琴那樣沿左右方向伸縮。因此,即使加工工作臺(tái)33在左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34的作用下沿左右進(jìn)行了移動(dòng),在加工工作臺(tái)33與褶皺保護(hù)罩35之間也不會(huì)產(chǎn)生間隙,從而能夠防止磨削液流入左右滑動(dòng)機(jī)構(gòu)34。如上所述,收集盤(pán)36構(gòu)成為上方打開(kāi)的矩形箱狀,并設(shè)定為防止磨削液向外部漏出。具體而言,如圖8所示,將收集盤(pán)36的側(cè)壁36a延伸至比基準(zhǔn)銷71 (hp)或吸附臺(tái)70 (hs)高的位置h,以免磨削液的漏出。[0117]磨削主軸31具備產(chǎn)生進(jìn)行磨削時(shí)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力的電動(dòng)機(jī)31a ;將磨削工具(砂輪)固定在電動(dòng)機(jī)31a的主軸上的卡盤(pán)31b。[0118]如上所述,磨削主軸31具有前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38。該前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38具備沿前后方向延伸的滑軌38a ;在滑軌38a上移動(dòng)的滑動(dòng)件38b。該前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38通過(guò)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)38M控制滑動(dòng)件38b的移動(dòng)量,通過(guò)該前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38控制磨削主軸31的前后位置。由此,在磨削加工時(shí),對(duì)該前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38的磨削路徑的前后方向位置進(jìn)行限定。另外,在磨削主軸31與前后滑動(dòng)機(jī)構(gòu)38之間設(shè)有如上所述的上下滑動(dòng)機(jī)構(gòu)39。該上下滑動(dòng)機(jī)構(gòu)39具備沿上下方向延伸的軌道39a ;在軌道上移動(dòng)的移動(dòng)部件3%。此夕卜,該上下滑動(dòng)機(jī)構(gòu)39通過(guò)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)39M控制移動(dòng)部件39b的上下移動(dòng)量。通過(guò)該上下滑動(dòng)機(jī)構(gòu)39控制磨削主軸31的上下位置。由此,在將磨削工具6與エ件W進(jìn)行位置對(duì)合時(shí),使用該上下滑動(dòng)機(jī)構(gòu)39,進(jìn)行位置調(diào)整。另外,在砂輪軸承部件100上安裝有后述的噴射噴嘴單元110的噴嘴座111,該砂輪軸承部件100固定在上述移動(dòng)部件39b上且將上述磨削主軸31軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)。如上所述,工具庫(kù)32最多能夠保持五個(gè)磨削工具6、…。具體而言,如圖9所示,保持磨削工具6、…的五個(gè)工具保持部32a、…沿前后方向排成一列,在該工具保持部32a與磨削主軸31之間,自動(dòng)地進(jìn)行磨削工具6的互換。因此,在該磨削裝置M中,根據(jù)磨削部位,能夠自動(dòng)地更換多個(gè)磨削工具6、 ,能夠提高磨削自由度。通過(guò)圖10、圖11,對(duì)磨削主軸31的磨削工具6進(jìn)行說(shuō)明。圖10是使用大徑的磨削工具時(shí)的詳細(xì)側(cè)視圖,圖11是使用小徑的磨削工具時(shí)的詳細(xì)側(cè)視圖。如上所述,該磨削主軸31通過(guò)卡盤(pán)31b能夠拆裝磨削工具6,能夠切換并安裝圖10所示的大徑的磨削工具6A和圖11所示的小徑的磨削工具6B。圖10所示的大徑的磨削工具6A具備在表面(磨削面)上附著有金剛石粒子60的大徑圓柱狀的加工部61 (砂輪)和固定在卡盤(pán)31b上的沿上下方向延伸的軸部62,在加エ部61的上側(cè)設(shè)有向外方變寬的凸緣部63。而且,在加工部61的下部形成有三條呈筋狀凹陷的凹部64。利用磨削主軸31使該大徑的磨削工具6A旋轉(zhuǎn),使凹部64與エ件W的外緣(外形)Wa抵接,從而能夠進(jìn)行エ件W的外形磨削或倒角。需要說(shuō)明的是,70是吸附臺(tái)。如此,通過(guò)利用大徑的磨削工具6A磨削エ件,而在磨削加工時(shí),磨削工具6A能穩(wěn)定地進(jìn)行切削,因此能夠提高加工精度。而且,由于磨削工具6A為大徑,因此能夠延長(zhǎng)工具的工具壽命,從而能夠大量地連續(xù)磨削エ件W。圖11所示的小徑的磨削工具6B具備在表面(磨削面)上附著有金剛石粒子160的小徑圓柱狀的加工部161 (砂輪)和固定在卡盤(pán)31b上的軸部162,在加工部161的上側(cè)設(shè)有凸緣部163。而且,在加工部161的下部形成有三條呈筋狀凹陷的凹部164。在該小徑的磨削工具6B中,由于直徑小,因此將磨削工具6插入到エ件W的孔部Wb內(nèi),使凹部164與孔部Wb的內(nèi)緣Wc抵接,從而能夠進(jìn)行エ件W的孔部Wb的內(nèi)形磨削或倒角。如此,通過(guò)利用小徑的磨削工具6B磨削エ件W的孔部Wb的內(nèi)形,即使在難以將孔部Wb的直徑加工得較小的情況下,也能夠可靠地進(jìn)行磨削加工。[0131]利用圖15,對(duì)噴射噴嘴單元110進(jìn)行說(shuō)明。圖15是用于說(shuō)明噴射噴嘴單元的示意性俯視圖。噴射噴嘴單元110具備如上所述安裝在砂輪軸承部件100上的噴嘴座111 ;安裝在該噴嘴座111上的多個(gè)噴射噴嘴112。上述噴射噴嘴112等角度間隔地配設(shè)在砂輪61 (カロエ部)的周圍。在本實(shí)施方式中,該噴射噴嘴112以包圍砂輪61外周的方式配設(shè)四個(gè),這四個(gè)噴射噴嘴112相互以90度的間隔配設(shè)。在本實(shí)施方式中,在將對(duì)置的ー對(duì)噴射噴嘴112連結(jié)的假想線與エ件W的邊(長(zhǎng)邊)成約45度的角度的位置上配設(shè)有噴射噴嘴112。需要說(shuō)明的是,如圖17所示,也可以使上述假想線與エ件W的邊平行的方式配設(shè)噴射噴嘴112。另外,在本實(shí)施方式中,噴射噴嘴112朝向砂輪61的旋轉(zhuǎn)軸噴射磨削液,以使噴射噴嘴112的噴射中心軸與砂輪61的旋轉(zhuǎn)軸交叉的方式固定噴射噴嘴112。需要說(shuō)明的是,可以使噴射中心軸沿著砂輪的外周的切線方向的方式固定噴射噴嘴112。而且,為了變更噴射中心軸的方向(噴射方向)而將噴射噴嘴112設(shè)置成可轉(zhuǎn)動(dòng),通過(guò)上述電子控制単元15 對(duì)該噴射中心軸的方向進(jìn)行變更控制。各噴射噴嘴112分別通過(guò)上述電子控制單元控制其噴射、停止。具體的控制方法在后面敘述。另外,在本實(shí)施方式中,各噴射噴嘴112使用混合液體和氣體進(jìn)行噴射的雙流體噴嘴。該雙流體噴嘴利用由壓榨空氣構(gòu)成的高速氣流將以高壓狀態(tài)供給的液體粉碎而進(jìn)行微粒子化,并將該液體和氣體一起噴射。而且,噴射噴嘴単元110具備用于向各噴射噴嘴112供給液體(磨削液)及氣體(空氣)的液體連接ロ 113及氣體連接ロ 114,該液體連接ロ 113及氣體連接ロ 114分別與磨削液收容部(未圖示)及壓縮器(未圖示)連接。此外,作為從上述噴射噴嘴112噴射的磨削液,可以采用各種磨削液。作為磨削液,可以具有使砂輪冷卻的冷卻功能、除去磨削屑的清洗功能、用于減少磨削阻力的潤(rùn)滑功能、以及防止砂輪生銹的防銹功能中的任一個(gè)功能或同時(shí)具有多個(gè)功能。而且,還有由界面活性剤、乳化劑等構(gòu)成且透明或半透明地溶解于水的可溶系磨削液(水溶性類型)、或者燈油等的単體或在其中混合有硫、氯等極壓添加劑后的物質(zhì)等的油基系磨削液(礦物油類型)、或者除了礦物油、乳化劑之外由合成系的物質(zhì)等構(gòu)成的介于上述可溶系磨削液與油基系磨削液之間的乳劑系磨削液等。所述多種磨削液中,可以根據(jù)磨削條件等采用適當(dāng)優(yōu)選的磨削液。接下來(lái),關(guān)于磨削裝置M的控制方法,首先利用圖12 圖14說(shuō)明運(yùn)算エ件W的磨削路徑時(shí)的控制方法。圖12是表示磨削裝置的控制方法的流程圖,圖13是表示利用相機(jī)拍攝加工臺(tái)的狀態(tài)的側(cè)視圖,圖14是說(shuō)明拍攝到的數(shù)據(jù)的處理及運(yùn)算方法的說(shuō)明圖。如圖12的流程圖所示,在開(kāi)始后,首先,在SI中,將エ件W的模型數(shù)據(jù)(外形、孔部等)向電子控制単元15輸入(建立)。在該輸入作業(yè)中,例如將加工完工件Wo的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)(CAD數(shù)據(jù))臨時(shí)取入到其他的軟件中,在轉(zhuǎn)換成磨削路徑等的磨削數(shù)據(jù)之后,向電子控制單元15輸入(建立)。此種輸入作業(yè)結(jié)束后,接著,在S2中,將實(shí)際的エ件Wi (以下稱為實(shí)際エ件)向加エ臺(tái)30載置(搬入)。該載置作業(yè)通過(guò)上述的搬運(yùn)機(jī)器人2進(jìn)行。通過(guò)該載置作業(yè)而將未加工的實(shí)際エ件Wi載置在加工臺(tái)30的吸附臺(tái)70上。[0140]然后,在S3中,利用相機(jī)23攝入實(shí)際エ件Wi和基準(zhǔn)銷71、71的圖像。圖13表示該相機(jī)進(jìn)行的攝影狀態(tài)。如該圖13所示,在磨削裝置M中,通過(guò)安裝在搬運(yùn)エ件Wi的搬運(yùn)機(jī)器人2的高位置上的相機(jī)23,拍攝加工臺(tái)30的エ件Wi和基準(zhǔn)銷71、71。如此,通過(guò)從上方的離開(kāi)的位置拍攝加工臺(tái)30,而能夠盡可能地減少攝入的エ件Wi或基準(zhǔn)銷17、17的圖像數(shù)據(jù)的變形。圖14(a)是表示如此攝入的圖像數(shù)據(jù)的例子的圖。取入エ件Wi和兩個(gè)基準(zhǔn)銷71、71作為圖像數(shù)據(jù),算出各自的位置數(shù)據(jù)。然后,在S4中,根據(jù)基準(zhǔn)銷71、71的位置,算出加工臺(tái)30的機(jī)械原點(diǎn)C。在此,機(jī)械原點(diǎn)C是用于進(jìn)行磨削加工的機(jī)械坐標(biāo)的基準(zhǔn),通過(guò)對(duì)該機(jī)械原點(diǎn)進(jìn)行限定,而能夠進(jìn)行準(zhǔn)確的磨削加工。如圖14(b)所示,機(jī)械原點(diǎn)C由將兩個(gè)基準(zhǔn)銷71、71連結(jié)的線L的中點(diǎn)來(lái)確定。此夕卜,作為其他例子,如虛線所示,也可以再追加兩個(gè)基準(zhǔn)銷71’、71’,并將上述線L與連結(jié)這兩個(gè)基準(zhǔn)銷71,、71,的線N的交點(diǎn)規(guī)定作為機(jī)械原點(diǎn)C。 然后,在S5中,根據(jù)實(shí)際エ件Wi的數(shù)據(jù),算出實(shí)際エ件Wi的外形Wa的重心位置P和孔部Wb的重心位置Q。在此,重心位置是圖形的重心的位置,由エ件W的外形形狀和孔部形狀來(lái)決定。圖14(b)所示的黑圈P、Q是實(shí)際エ件W的外形Wa的重心位置和孔部Wb的
重心位置。然后,在S6中,使實(shí)際エ件Wi的重心位置(外形的重心位置P和孔部的重心位置Q)與模型Wm的重心位置(外形的重心位置Pm和孔部的重心位置Qm) —致。通過(guò)使實(shí)際エ件的重心位置P、Q與模型Wm的重心位置Pm、Qm —致,而明確實(shí)際エ件Wi與模型Wm的差(位置數(shù)據(jù)的差)。圖14(c)所示的狀態(tài)是使實(shí)際エ件Wi與模型Wm(單點(diǎn)劃線)的重心位置P、Q、Pm、Qm 一致的狀態(tài)。如此,通過(guò)使重心位置P、Q、Pm、Qm 一致,能夠明確實(shí)際エ件Wi與模型Wm的差。然后,在S7中,對(duì)加工臺(tái)30的機(jī)械原點(diǎn)C與實(shí)際エ件Wi的重心位置P進(jìn)行比較,運(yùn)算機(jī)械原點(diǎn)C與實(shí)際エ件Wi的重心位置P的偏移量(橫向的偏移量X、縱向的偏移量Y、旋轉(zhuǎn)方向的偏移量の。并且,對(duì)實(shí)際エ件Wi與模型Wm進(jìn)行比較,根據(jù)外形差來(lái)運(yùn)算削入量Aw。如此,能夠明確實(shí)際エ件Wi的磨削量等。圖14(d)表示各個(gè)偏移量或削入量。例如該圖所示,實(shí)際エ件Wi的重心位置P距加工臺(tái)的機(jī)械原點(diǎn)C的偏移量向左側(cè)偏移X,向上側(cè)偏移Y,而且向右側(cè)傾斜0。并且,削入量中,寬度方向的削入量Awl通過(guò)從實(shí)際エ件Wi的寬度尺寸rl減去模型的寬度尺寸Tl后除以2來(lái)算出,長(zhǎng)度方向的削入量A W2通過(guò)從實(shí)際エ件Wi的長(zhǎng)度尺寸r2減去模型的長(zhǎng)度尺寸T2后除以2來(lái)算出。如此,在求出寬度方向和長(zhǎng)度方向的削入量Awl、Aw2后,決定其中大的值作為最終的削入量Aw。如此決定是因?yàn)椋M(jìn)行磨削加工時(shí),通過(guò)與模型形狀相似的軌跡,以一定的削入量磨削エ件整周,因此通過(guò)預(yù)先決定成大的值,能夠可靠地產(chǎn)生削入,而能夠磨削成更接近模型形狀的形狀。然后,在S8中,根據(jù)X、Y、0的偏移量及削入量Aw,算出エ件Wi的磨削路徑。該磨削路徑根據(jù)實(shí)際エ件Wi的形狀或?qū)嶋Hエ件Wi的載置位置的變動(dòng)而進(jìn)行變化,在各個(gè)エ件W中不同。[0151]然后,在S9中,按照算出的磨削路徑來(lái)磨削實(shí)際エ件Wi。該磨削作業(yè)通過(guò)使磨削主軸31和加工臺(tái)30(加工工作臺(tái)33)分別移動(dòng)來(lái)進(jìn)行。在該エ件W的磨削作業(yè)中,根據(jù)磨削部位,使用上述的大徑的磨削工具6A或小徑的磨削工具6B來(lái)進(jìn)行。接下來(lái),利用圖16說(shuō)明磨削作業(yè)時(shí)的從噴射噴嘴噴射磨削液的控制方法。圖16是表示對(duì)エ件進(jìn)行磨削的狀態(tài)的示意性俯視圖。需要說(shuō)明的是,在圖16中,為了區(qū)別四個(gè)噴射噴嘴而使用112a 112d作為噴射噴嘴的符號(hào)。如圖16(a)所示,對(duì)エ件W的一條長(zhǎng)邊的端面進(jìn)行磨削時(shí),從比磨削加工位置(エ件W的端面與砂輪61的接觸點(diǎn))靠砂輪61的旋轉(zhuǎn)方向后方側(cè)的第一噴射噴嘴112a噴射 磨削液。此時(shí),從其他三個(gè)噴射噴嘴112b、…不噴射磨削液。然后,如圖16(b)所示,在對(duì)エ件W的上述的一條長(zhǎng)邊和與該長(zhǎng)邊相鄰的短邊之間的拐角部進(jìn)行磨削吋,不僅從上述第一噴射噴嘴112a,而且從第二噴射噴嘴112b(比第一噴射噴嘴112a靠砂輪61的旋轉(zhuǎn)方向后方側(cè)的噴射噴嘴)也噴射磨削液。此時(shí),從其他兩個(gè)噴射噴嘴112c、112d不噴射磨削液。然后,如圖16(c)所示,在磨削エ件W的短邊時(shí),使來(lái)自上述第一噴射噴嘴112a的磨削液的噴射停止,從比磨削加工位置靠砂輪61的旋轉(zhuǎn)方向后方側(cè)的上述第二噴射噴嘴112b噴射磨削液。此時(shí),從其他兩個(gè)噴射噴嘴112c、112d不噴射磨削液。如圖16(d)所示,在磨削エ件W的另一條長(zhǎng)邊的端面時(shí),從比磨削加工位置靠砂輪61的旋轉(zhuǎn)方向后方側(cè)的第三噴射噴嘴112c噴射磨削液。此時(shí),從其他三個(gè)噴射噴嘴112a、…不噴射磨削液。需要說(shuō)明的是,在圖16(c)及16(d)之間的拐角部中,與上述的拐角部(圖16(b))同樣地,不僅從上述第二噴射噴嘴112b,而且從第三噴射噴嘴112c也噴射磨削液。需要說(shuō)明的是,在上述說(shuō)明中,僅說(shuō)明了使用大徑的磨削工具6A進(jìn)行エ件W的外形磨削的情況,但使用小徑的磨削工具6B磨削エ件W的孔部的內(nèi)形時(shí),可以通過(guò)與上述同樣的控制方法控制噴射、停止并進(jìn)行磨削作業(yè)。即,可以從比磨削加工位置靠砂輪的旋轉(zhuǎn)方向后方側(cè)的ー個(gè)噴射噴嘴噴射磨削液而進(jìn)行磨削作業(yè)。而且,在拐角部中,可以從接下來(lái)使用的預(yù)定的噴射噴嘴和到目前為止一直在噴射的噴射噴嘴這雙方噴射磨削液,進(jìn)行磨削作業(yè)。最后,在SlO中,從加工臺(tái)30取出(搬出)實(shí)際エ件Wi。該取出作業(yè)通過(guò)上述的搬運(yùn)機(jī)器人2進(jìn)行,從加工臺(tái)30取出加工完的エ件Wo。 然后,接下來(lái),在Sll中,判斷作業(yè)是否結(jié)束,在作業(yè)繼續(xù)時(shí)(判斷為否),為了加工下一個(gè)エ件W而向S2移動(dòng)。另ー方面,在作業(yè)結(jié)束時(shí)(判斷為是電源斷開(kāi)時(shí)),原封不動(dòng)地向結(jié)束移動(dòng)。以上,根據(jù)此種步驟,控制本實(shí)施方式的磨削裝置M。在本實(shí)施方式的磨削エ序中,由雙流體噴嘴構(gòu)成的噴射噴嘴112將微粒子化后的磨削液朝向砂輪61噴射,因此該微粒子化后的磨削液容易突破在砂輪61的表面(磨削面)因砂輪61的旋轉(zhuǎn)而帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)的空氣層,容易可靠地供給到砂輪61的磨削面。而且,由于從噴射噴嘴112向比磨削加工位置靠旋轉(zhuǎn)方向后方噴射磨削液,因此到達(dá)砂輪61的磨削面的液體被砂輪61的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng),容易到達(dá)磨削加工位置。另外,從雙流體噴嘴112噴射的磨削液與液體飛沫的干涉少,高效率地依次到達(dá)砂輪61的磨削面,反復(fù)與砂輪61的磨削面及磨削屑這雙方碰撞,其中該液體飛沫在先到達(dá)的磨削液的液體粒被砂輪61產(chǎn)生的離心カ排出時(shí)產(chǎn)生。該碰撞對(duì)于砂輪61的磨削面的磨粒間的空間中存在的氣體,顯示出與一般的液體供給方式時(shí)(從整面將氣體蓋住的狀態(tài)那樣的液體的供給方式吋)不同的作用。即,通過(guò)使液體粒分別作用于各個(gè)空間的氣體塊,而發(fā)揮將氣體從該磨粒間的空間壓出的作用,從而產(chǎn)生將停滯在空間內(nèi)的氣體置換成液體的效果。并且,到達(dá)了該磨粒間的磨削液在與其周邊的表面張カ的作用下留在該空間中。因此,在磨粒間穩(wěn)定且適量地保持磨削液,如此保持磨削液的空間伴隨砂輪61的旋轉(zhuǎn)而到達(dá)磨削加工位置,從而穩(wěn)定且有效地將空間的磨削液進(jìn)行供給。此外,若該磨削液具有冷卻功能,則使磨削加工位置上的磨粒的冷卻狀態(tài)穩(wěn)定化,并對(duì)于從磨削加工位置的周圍出去磨削熱量起到較大的作用,其結(jié)果是,具有防止磨粒的 過(guò)熱而減少其磨沒(méi)的效果。此外,伴隨此種冷卻效果,減少磨削屑的加熱,有效地防止磨削屑向磨粒或磨粒間的空間熔敷現(xiàn)象,并在熱方面使其加工狀態(tài)穩(wěn)定。因此,在加工熱脆弱、熱過(guò)敏的材料時(shí),能實(shí)現(xiàn)其加工品質(zhì)的穩(wěn)定。另外,磨削液具有潤(rùn)滑功能等時(shí),通過(guò)向砂輪61、磨粒及磨粒間的空間充分供給磨削液,能起到非附著性作用及潤(rùn)滑作用,能得到磨削屑的附著減少效果和磨粒的加熱防止效果。此外,根據(jù)該磨削裝置,能夠發(fā)揮由液體粒的斷續(xù)的碰撞、沖擊力產(chǎn)生的清洗效果。這是對(duì)通過(guò)上述的效果而減少了向磨粒間附著的磨削屑進(jìn)行進(jìn)一歩清除的效果。對(duì)于雖說(shuō)如上所述減少但繼續(xù)生成而產(chǎn)生滯留、附著的磨粒間的空間及磨粒面的磨削屑,通過(guò)直接使液體粒碰撞,而磨削屑受到?jīng)_擊,從固定的部位被剝離,與磨削液一起被有效地清除。而且,根據(jù)上述的具有潤(rùn)滑功能的磨削液的效果,會(huì)產(chǎn)生包含附著物的固著狀態(tài)減少在內(nèi)的成倍的對(duì)磨削屑附著的效果。另外,根據(jù)該磨削裝置,在磨削作業(yè)中,當(dāng)磨削加工位置與砂輪61的旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置變更時(shí),通過(guò)利用控制機(jī)構(gòu)15控制噴射噴嘴112的噴射,能夠可靠地向比砂輪61的磨削加工位置靠旋轉(zhuǎn)方向后方噴射磨削液,無(wú)需進(jìn)行多余的磨削液的供給。因此,根據(jù)該磨削裝置,能減少磨削液所需的成本,而且能夠防止在砂輪61的周圍發(fā)生積水那樣的狀況。此外,根據(jù)該磨削裝置,在磨削作業(yè)時(shí),噴射噴嘴112與砂輪61 —起移動(dòng),因此無(wú)需在被加工物的整個(gè)端部設(shè)置噴射噴嘴112。因此,與在被加工物的整個(gè)端部設(shè)置噴射噴嘴的情況相比,能減少噴射噴嘴,減少裝置的成本,且比較容易確保噴射噴嘴的設(shè)置場(chǎng)所。而且,該磨削裝置以包圍砂輪61外周的方式配設(shè)四個(gè)噴射噴嘴112,各噴射噴嘴112以不改變與砂輪61的旋轉(zhuǎn)軸的相對(duì)位置的方式設(shè)置,因此能簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu),減少裝置的成本,且容易確保噴射噴嘴的設(shè)置場(chǎng)所。另外,根據(jù)該磨削裝置,能夠根據(jù)エ件W的長(zhǎng)邊及短邊從適當(dāng)?shù)膰娚鋰娮?12噴射磨削液,能夠可靠地進(jìn)行磨削作業(yè),并且在エ件W的拐角部上從兩個(gè)噴射噴嘴112噴射磨削液,因此即使在這些部分上,也能夠可靠地供給液體并同時(shí)進(jìn)行被加工物的磨削。而且,如此通過(guò)控制機(jī)構(gòu)15將同時(shí)噴射的噴射噴嘴112控制成兩個(gè)以內(nèi),因此根據(jù)該磨削裝置,通過(guò)少量的液體就會(huì)起到能進(jìn)行可靠的磨削作業(yè)的效果。此外,通過(guò)根據(jù)砂輪的轉(zhuǎn)速、砂輪的種類、磨粒的大小等各種條件適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各雙流體噴嘴的流體各自(磨削液及空氣)的流體供給量比/壓カ比及混合流體的供給量、供給壓カ等,利用本實(shí)施方式的磨削裝置的磨削方法,在板厚0. 2mm 3. Omm的薄板玻璃的磨削加工中,能夠進(jìn)行端面仰傾量20 以下的高效率的磨削。這與利用通常的磨削方法進(jìn)行的情況相比,具有約5倍 10倍的磨削速度提高效果。[0170]另外,該實(shí)施方式的磨削裝置M是進(jìn)行薄板玻璃(W)的端面磨削的磨削裝置M,預(yù)先建立(存儲(chǔ))薄板玻璃的模型Wm的數(shù)據(jù)(SI),根據(jù)由相機(jī)23攝入的基準(zhǔn)銷71、71的攝影數(shù)據(jù),算出加工臺(tái)30的機(jī)械原點(diǎn)C(S4)。然后,根據(jù)相機(jī)23攝入的薄板玻璃(實(shí)際エ件Wi)的攝影數(shù)據(jù),求出薄板玻璃(實(shí)際エ件Wi)的重心位置P(S5),對(duì)加工臺(tái)30的機(jī)械原點(diǎn)C與薄板玻璃(W)的重心位置P進(jìn)行比較,算出薄板玻璃的偏移量(縱向的偏移量X、橫向的偏移量Y、旋轉(zhuǎn)方向的偏移量e)(S7),根據(jù)該偏移量,運(yùn)算磨削路徑(S8),按照該運(yùn)算出的磨削路徑,使磨削主軸31工作(S9)。因此,即使未在薄板玻璃(W)自身上形成“成為基準(zhǔn)的標(biāo)記(記號(hào))”等,也能夠通過(guò)設(shè)置在加工臺(tái)30上的基準(zhǔn)銷71、71來(lái)求出“機(jī)械原點(diǎn)C”,能夠把握薄板玻璃(W)的偏移量(X、Y、0 ),根據(jù)該把握的偏移量,即使是沒(méi)有標(biāo)記(記號(hào))等的薄板玻璃(W)也能夠準(zhǔn)確地進(jìn)行磨削加工。由此,在進(jìn)行使用在便攜式電話等便攜式終端的顯示畫(huà)面中的薄板玻璃(W)的端面磨削的磨削裝置M中,通過(guò)利用相機(jī)23的攝影數(shù)據(jù)進(jìn)行磨削加工,而能夠高精度地進(jìn)行加工,且無(wú)需在薄板玻璃(W)的表面上設(shè)置記號(hào)等就能夠進(jìn)行磨削加工。需要說(shuō)明的是,雖然在該實(shí)施方式中利用多個(gè)基準(zhǔn)銷71、71求出機(jī)械原點(diǎn),但除此之外,也可以通過(guò)使局部突出的基準(zhǔn)突出部來(lái)求出機(jī)械原點(diǎn),而且,還可以通過(guò)局部著色的基準(zhǔn)部來(lái)求出機(jī)械原點(diǎn)。另外,在該實(shí)施方式中,使薄板玻璃(W)的重心位置P與模型Wm的重心位置Pm —致,對(duì)薄板玻璃(W)與模型Wm進(jìn)行比較,而運(yùn)算磨削主軸31的削入量Aw。S卩,判斷薄板玻璃(W)相對(duì)于模型Wm大多少(例如,檢測(cè)長(zhǎng)度方向的差量和寬度方向的差量,而判斷該“差量”的大小),根據(jù)該大小,使削入量Aw變化。因此,薄板玻璃(W)的削入量A w按各エ件進(jìn)行變化,從而能夠?qū)⒈“宀A?W)加エ成更準(zhǔn)確的形狀及尺寸。由此,更準(zhǔn)確地把握按各エ件進(jìn)行變化的薄板玻璃的削入量Aw來(lái)進(jìn)行磨削作業(yè),因此能夠高精度地加工多個(gè)玻璃板。另外,在該實(shí)施方式中,求出薄板玻璃的外形Wa的重心位置P和孔部Wb形狀的重心位置Q,而算出エ件Wi的重心位置。由此,通過(guò)算出薄板玻璃(W)的外形Wa的重心位置P和薄板玻璃的孔部Wb形狀的重心位置Q,即使是具有孔部的薄板玻璃,也能夠可靠地以符合模型Wm的形狀進(jìn)行磨削。由此,即使是具有孔部Wb的復(fù)雜形狀的薄板玻璃(W),也能夠準(zhǔn)確地運(yùn)算磨削路徑,能夠高精度地進(jìn)行磨削。另外,在該實(shí)施方式中,在隔著薄板玻璃(W)的兩側(cè)位置設(shè)置基準(zhǔn)銷71、71。由此,能夠?qū)C(jī)械原點(diǎn)C形成在接近薄板玻璃(W)的重心位置P的位置,其中該機(jī)械原點(diǎn)C形成在連結(jié)至少兩個(gè)基準(zhǔn)銷71、71的線L上。因此,能夠更準(zhǔn)確地運(yùn)算薄板玻璃(W)的偏移量。即,通過(guò)使機(jī)械原點(diǎn)C接近薄板玻璃(W)的重心位置P,而能夠減少偏移量時(shí)的誤差,因此能夠運(yùn)算出準(zhǔn)確的偏移量。[0183]由此,能夠進(jìn)行更高精度的磨削加工。另外,在該實(shí)施方式中,通過(guò)將基準(zhǔn)銷71的前端部71a設(shè)定成與吸附臺(tái)70的上表面70a為相同高度(hp = hs),而使其距相機(jī)23的距離與薄板玻璃(W)大體一致。由此,基準(zhǔn)銷71的被拍攝點(diǎn)(前端部71a)與薄板玻璃(W)的高度方向的位置大體一致,因此能夠可靠地將相機(jī)23的焦點(diǎn)與兩者對(duì)合。由此,能夠可靠地同時(shí)拍攝基準(zhǔn)銷71和薄板玻璃(W),從而能夠更準(zhǔn)確地運(yùn)算薄板玻璃(W)的偏移量。以上,本實(shí)用新型并不局限于該實(shí)施方式,而包含適用于所有磨削裝置的實(shí)施方式。在該實(shí)施方式的磨削裝置中,以エ件W為便攜式電話用的薄板玻璃,但也可以是例如便攜式音響設(shè)備用的薄板玻璃,或便攜式游戲機(jī)用的薄板玻璃。此外,還可以是便攜式導(dǎo)航儀用的薄板玻璃、便攜式TV的薄板玻璃等。需要說(shuō)明的是,在上述實(shí)施方式中,設(shè)置了四個(gè)噴射噴嘴112,因此能起到通過(guò)各噴射噴嘴112可靠地將液體供給到大致方形形狀的各邊的端部并同時(shí)進(jìn)行磨削作業(yè)的優(yōu)點(diǎn),但本實(shí)用新型的噴射噴嘴的個(gè)數(shù)并不局限于四個(gè)。例如圖18所示,也可以設(shè)置八個(gè)噴射噴嘴112。在圖18所示的磨削裝置中,等角度間隔地配設(shè)八個(gè)噴射噴嘴112,具體而言配設(shè)在相互隔開(kāi)45度的位置。此外,也可以將六個(gè)噴射噴嘴(等角度間隔地)配設(shè)在相互隔開(kāi)60度的位置。需要說(shuō)明的是,在該圖18所示的磨削裝置中,關(guān)于エ件W的長(zhǎng)邊及短邊的磨削,與上述實(shí)施方式同樣地分別從ー個(gè)噴射噴嘴112噴射磨削液。而且,在拐角部的磨削時(shí),也可以僅從配設(shè)在進(jìn)行上述長(zhǎng)邊及短邊的磨削時(shí)分別使用的噴射噴嘴112之間的噴射噴嘴112噴射磨削液。另外,即使在設(shè)置四個(gè)噴射噴嘴112的情況下,也不局限于上述實(shí)施方式(圖16)及圖17所示的形態(tài),也可以例如圖19所示,在連結(jié)對(duì)置的ー對(duì)噴射噴嘴112的假想線與エ件W的邊(長(zhǎng)邊)成規(guī)定角度的位置上配設(shè)噴射噴嘴112。在此,規(guī)定的角度是指即使對(duì)エ件W的拐角部進(jìn)行磨削也能夠可靠地供給磨削液的位置,例如可以是30度。此外,多個(gè)噴射噴嘴112的控制機(jī)構(gòu)的控制方法并不局限于上述實(shí)施方式,在本實(shí)用新型的宗g的范圍內(nèi)可以進(jìn)行適當(dāng)設(shè)計(jì)變更。例如,可以進(jìn)行控制,以使位于比磨削加工位置靠砂輪的旋轉(zhuǎn)方向前方側(cè)的噴射噴嘴112也噴射磨削液,由此,通過(guò)上述旋轉(zhuǎn)方向前方側(cè)的噴射噴嘴112,能夠除去附著在砂輪61的磨削面上的磨削屑。這種情況下,比切削加工位置靠旋轉(zhuǎn)方向的前方側(cè)的噴射噴嘴112和靠后方側(cè)的噴射噴嘴112可以使用不同的磨削液(例如,從后方側(cè)的噴射噴嘴噴射具有冷卻功能的磨削液,而從前方側(cè)的噴射噴嘴噴射具有清洗功能的磨削液)。但是,當(dāng)砂輪的直徑小吋,由于兩種磨削液的相互干涉而存在有損功能的情況,因此優(yōu)選僅在砂輪的直徑大的情況下采用上述兩種磨削液的使用。另外,在上述實(shí)施方式中說(shuō)明了使用雙流體噴嘴作為噴射噴嘴的情況,但例如也可以使用超聲波重疊式噴嘴,該超聲波重疊式噴嘴噴射通過(guò)超聲波振動(dòng)件使超聲波振動(dòng)與液體重疊而微粒子化了的液體。[0196]如此通過(guò)使用超聲波重疊式噴嘴,以從噴嘴向?qū)ο笪?砂輪的切削面及エ件)的噴射水流作為超聲波傳遞介質(zhì),能夠?qū)⒃撃ハ饕簜鞑サ某暡ㄕ駝?dòng)加速度產(chǎn)生的強(qiáng)的振動(dòng)作用力施加給砂輪的磨削面的附著物及磨粒間空間的空氣層。因此,根據(jù)超聲波重疊式噴嘴,具有能得到如下效果的優(yōu)點(diǎn),這些效果是使附著物及磨粒間空間的空氣層振動(dòng),通過(guò)振動(dòng)有效地使磨削液向與其周圍接觸的接觸點(diǎn)浸透的楔形效果及清除、置換效果。(然而,在噴嘴跟前需要超聲波振動(dòng)件,并且來(lái)自噴嘴的水流在與對(duì)象物之間不能中斷,因此存在如下缺點(diǎn)裝置的設(shè)置方法(超聲波振動(dòng)件的收容容積、與對(duì)象物的距離等)或運(yùn)用上會(huì)產(chǎn)生制約、以及包含超聲波振蕩裝置在內(nèi)的裝置費(fèi)用負(fù)擔(dān)增加)此外,在上述實(shí)施方式中,僅對(duì)エ件的外形的端面加工及エ件的孔部的內(nèi)形的端面加工進(jìn)行了說(shuō)明,但根據(jù)上述實(shí)施方式的裝置,例如可以使用鉆頭作為磨削工具,進(jìn)行鉆孔加工。需要說(shuō)明的是,在進(jìn)行鉆孔加工吋,由于需要磨削液的切削加工位置成為被加工物的內(nèi)部,因此在磨削加工中無(wú)法得到雙流體噴嘴的直接的效果,但在鉆孔加工后,通過(guò)在去除鉆頭的堵眼的目的下進(jìn)行適用,而能得到雙流體噴嘴的清洗效果。而且,磨削中排出的磨削屑因附著在被加工物的表面而有可能會(huì)降低品質(zhì),但通過(guò)始終將具有雙流體噴嘴的效果的磨削液供給到加工附近表面,而能夠迅速地排除磨削屑,從而能得到維持表面品質(zhì)的效果。而且,通過(guò)雙流體的沖擊カ能夠使鉆頭主體產(chǎn)生微小的振動(dòng),雖然不能說(shuō)振動(dòng)量、振動(dòng)數(shù)都充分,但具有與通過(guò)上述的超聲波重疊噴嘴得到的效果同樣的作用效果,因而可以期待一定的效果。另外,在上述實(shí)施方式中,在磨削作業(yè)時(shí),說(shuō)明了砂輪61沿エ件W的長(zhǎng)邊方向移動(dòng)且エ件W沿エ件W的短邊方向移動(dòng)的情況,但在該磨削裝置中,在エ件W的平面方向上使エ件與砂輪61相對(duì)移動(dòng)即可,例如不僅可以使砂輪沿エ件的長(zhǎng)邊方向移動(dòng),而且也可以使其沿短邊方向移動(dòng)。另外,在磨削裝置的整體結(jié)構(gòu)中,并不局限于該實(shí)施方式,例如,也可以適用于加エ單元為ー個(gè)、或相反地為五個(gè)或六個(gè)等設(shè)有多個(gè)加工単元的情況。此外,關(guān)于磨削工具6,并不局限于該實(shí)施方式中列舉的工具,例如也可以是球形的磨削工具、圓盤(pán)形的磨削工具或圓錐形的磨削工具。而且,關(guān)于砂輪材料,也并不局限于金剛石。[エ業(yè)實(shí)用性]如以上所述,本實(shí)用新型的磨削裝置通過(guò)噴射噴嘴能夠可靠地使液體到達(dá)砂輪的磨削加工位置而進(jìn)行被加工物的磨削,因此,能夠可靠且安全地對(duì)薄板狀的被加工物的端面進(jìn)行磨削加工。
權(quán)利要求1.一種磨削裝置,其具備 工作臺(tái),其載置薄板狀的被加工物; 砂輪,其在外周具有能夠磨削被加工物端面的磨削面,且能夠旋轉(zhuǎn); 移動(dòng)機(jī)構(gòu),其使砂輪及被加工物進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),以利用該磨削面磨削被加工物的端面; 多個(gè)噴射噴嘴,它們等角度間隔地配設(shè)在砂輪的周圍,對(duì)液體進(jìn)行微粒子化而向磨削面噴射; 控制機(jī)構(gòu),其以與上述被加工物接觸的砂輪的磨削加工位置為基準(zhǔn),控制上述多個(gè)噴射噴嘴的噴射而將液體噴射到砂輪的旋轉(zhuǎn)方向后方。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磨削裝置,其中, 上述噴射噴嘴是混合液體和氣體進(jìn)行噴射的雙流體噴嘴。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磨削裝置,其中, 上述噴射噴嘴的噴射中心軸沿著砂輪的外周的切線方向設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磨削裝置,其中, 上述噴射噴嘴的噴射中心軸以與砂輪的旋轉(zhuǎn)軸交叉的方式設(shè)置。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的磨削裝置,其中, 還具備將上述砂輪的旋轉(zhuǎn)軸軸支承為能夠旋轉(zhuǎn)的砂輪軸承部件和相對(duì)于該砂輪軸承部件進(jìn)行固定的噴嘴座, 上述多個(gè)噴射噴嘴安裝在噴嘴座上。
專利摘要本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠可靠且安全地對(duì)薄板狀的被加工物的端面進(jìn)行磨削加工的磨削裝置。本實(shí)用新型的磨削裝置具備砂輪(61),其在外周具有能夠磨削被加工物(W)端面的磨削面,且進(jìn)行旋轉(zhuǎn);移動(dòng)機(jī)構(gòu),其使砂輪(61)及被加工物(W)進(jìn)行相對(duì)移動(dòng),以利用該磨削面磨削被加工物(W)的端面;多個(gè)噴射噴嘴(112),它們大致等角度間隔地配設(shè)在砂輪(61)的周圍,對(duì)液體進(jìn)行微粒子化而向磨削面噴射;控制機(jī)構(gòu),其以與被加工物(W)接觸的砂輪(61)的磨削加工位置為基準(zhǔn),控制多個(gè)噴射噴嘴(112)的噴射而將液體噴射到砂輪(61)的旋轉(zhuǎn)方向后方。
文檔編號(hào)B24B7/16GK202411983SQ20112023352
公開(kāi)日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年7月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月5日
發(fā)明者佐田博, 林田徹, 青山博司 申請(qǐng)人:哈里斯股份有限公司
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