專(zhuān)利名稱(chēng)：一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種旋轉(zhuǎn)管的制作裝置及其工藝，特別是涉及一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其工藝。
背景技術(shù)：
自美國(guó)鍍膜設(shè)備供應(yīng)商開(kāi)發(fā)出旋轉(zhuǎn)陰極靶材，靶材的利用率由傳統(tǒng)矩形平面靶的40%提高到80%，大量節(jié)約鍍膜成本，從此旋轉(zhuǎn)靶材在大面積鍍膜行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。然而，制備長(zhǎng)達(dá)4米的矩形平面靶尚且不易，而制備相同長(zhǎng)度、直徑Φ15(Γ 90πιπι的中空?qǐng)A柱靶，更為不易，現(xiàn)有旋轉(zhuǎn)SruSiSruZnAl等低熔點(diǎn)的靶材一般都是采用澆鑄和噴涂工藝。在實(shí)際的使用過(guò)程中，存在著澆鑄工藝制備的管型管不可避免晶粒的過(guò)分長(zhǎng)大，影響鍍膜的均勻性；噴涂工藝得到的管型管材料0、N含量都較高，且致密度較低，導(dǎo)致膜層品質(zhì)與靶材壽命相對(duì)較低。由此可見(jiàn)，上述現(xiàn)有的低熔點(diǎn)的靶材的制作工藝，顯然仍存在有不便與缺陷，而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決低熔點(diǎn)的靶材的制作工藝存在的問(wèn)題，相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道，但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成，而一般工藝又未能解決上述問(wèn)題，因此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。有鑒于上述現(xiàn)有的低熔點(diǎn)的靶材的制作工藝存在的缺陷，本發(fā)明人基于多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專(zhuān)業(yè)知識(shí)，并配合學(xué)理的運(yùn)用，積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其工藝，能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的低熔點(diǎn)的靶材的制作工藝，使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì)，并經(jīng)反復(fù)試驗(yàn)，終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于，克服現(xiàn)有的低熔點(diǎn)靶材制作工藝存在的缺陷，而提供一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其可以制作帶有內(nèi)襯管的旋轉(zhuǎn)靶材，使用具有冷卻作用的環(huán)形模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細(xì)化，進(jìn)而得到晶粒細(xì)致的旋轉(zhuǎn)靶材，從而更加適于實(shí)用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。本發(fā)明的另一目的在于，提供一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄工藝，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其制作的帶有內(nèi)襯管的旋轉(zhuǎn)靶材，晶粒細(xì)致，從而更加適于實(shí)用。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具，所述模具內(nèi)設(shè)置有胚料管和內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管固定在所述胚料管內(nèi)，它還包括設(shè)置在模具底部的電機(jī)，所述電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)絲桿與所述胚料管相連接，所述電機(jī)帶動(dòng)所述胚料管上下運(yùn)動(dòng)。前述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其中，所述模具的中部設(shè)置有卡槽，所述卡槽與所述胚料管之間液密封，在所述模具的側(cè)壁上設(shè)置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
前述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其中，所述胚料管的底部設(shè)置有法蘭，通過(guò)法蘭固定所述內(nèi)襯管。本發(fā)明的另一目的在于，提供一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄工藝，所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其制作的帶有內(nèi)襯管的旋轉(zhuǎn)靶材，晶粒細(xì)致，從而更加適于實(shí)用。本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄工藝，應(yīng)用于低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟
A、將坩堝熔湯倒入帶有內(nèi)襯管的胚料管內(nèi)，所述胚料管通過(guò)所述電機(jī)勻速上升，并保持模具內(nèi)熔湯的在卡槽上部的高度不變；
B、從設(shè)置在模具側(cè)壁上的入水口注入冷卻水，從模具側(cè)壁上的出水口流出。借由上述技術(shù)方案，本發(fā)明低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其方法至少具有下列優(yōu)點(diǎn)
本發(fā)明使用具有冷卻作用的模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細(xì)化，并減少內(nèi)部縮孔的形成，進(jìn)而得到缺陷較少，晶粒細(xì)致的旋轉(zhuǎn)靶材。綜上所述，本發(fā)明特殊結(jié)構(gòu)的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值，并在同類(lèi)產(chǎn)品中未見(jiàn)有類(lèi)似的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)公開(kāi)發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結(jié)構(gòu)上或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果，且較現(xiàn)有的低熔點(diǎn)的靶材的制作工藝具有增進(jìn)的多項(xiàng)功效，從而更加適于實(shí)用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值，誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段，并可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本發(fā)明的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如后。本發(fā)明的具體實(shí)施方式
由以下實(shí)施例及其附圖詳細(xì)給出。


圖1為本發(fā)明所述的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其工藝其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說(shuō)明如后。請(qǐng)參閱圖1所示，本發(fā)明較佳實(shí)施例的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具1，模具1內(nèi)設(shè)置有胚料管3和內(nèi)襯管2，內(nèi)襯管2固定在胚料管3內(nèi)，胚料管3的底部設(shè)置有法蘭6，通過(guò)法蘭6固定內(nèi)襯管2。它還包括設(shè)置在模具1底部的電機(jī)5，電機(jī)5通過(guò)傳動(dòng)絲桿4與胚料管3相連接，電機(jī)5帶動(dòng)胚料管3上下運(yùn)動(dòng)。模具1的中部設(shè)置有卡槽10，卡槽10與胚料管3之間液密封，在模具1的側(cè)壁上設(shè)置有入水口 7和出水口 8，入水口 7和出水口 8位于卡槽10的上部，入水口 7位于出水口 8的下部。本發(fā)明的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄工藝，應(yīng)用于低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟A、將坩堝9熔湯倒入帶有內(nèi)襯管2的胚料管3內(nèi)，胚料管3通過(guò)電機(jī)5勻速上升，并保持模具1內(nèi)熔湯的在卡槽10上部的高度不變；
B、從設(shè)置在模具1側(cè)壁上的入水口7注入冷卻水，從模具1側(cè)壁上的出水口 8流出。上述如此結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本發(fā)明一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其工藝的技術(shù)創(chuàng)新，對(duì)于現(xiàn)今同行業(yè)的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)均具有許多可取之處，而確實(shí)具有技術(shù)進(jìn)步性。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例，但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具，其特征在于，所述模具內(nèi)設(shè)置有胚料管和內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管固定在所述胚料管內(nèi)，它還包括設(shè)置在模具底部的電機(jī)，所述電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)絲桿與所述胚料管相連接，所述電機(jī)帶動(dòng)所述胚料管上下運(yùn)動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其特征在于，所述模具的中部設(shè)置有卡槽，所述卡槽與所述胚料管之間液密封，在所述模具的側(cè)壁上設(shè)置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其特征在于，所述胚料管的底部設(shè)置有法蘭，通過(guò)法蘭固定所述內(nèi)襯管。
4.一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄工藝，其特征在于，應(yīng)用于如權(quán)利要求1所述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟A、將坩堝熔湯倒入帶有內(nèi)襯管的胚料管內(nèi)，所述胚料管通過(guò)所述電機(jī)勻速上升，并保持模具內(nèi)熔湯的在卡槽上部的高度不變；B、從設(shè)置在模具側(cè)壁上的入水口注入冷卻水，從模具側(cè)壁上的出水口流出。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具，所述模具內(nèi)設(shè)置有胚料管和內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管固定在所述胚料管內(nèi)，它還包括設(shè)置在模具底部的電機(jī)，所述電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)絲桿與所述胚料管相連接，所述電機(jī)帶動(dòng)所述胚料管上下運(yùn)動(dòng)。本發(fā)明使用具有冷卻作用的模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細(xì)化，并減少內(nèi)部縮孔的形成，進(jìn)而得到缺陷較少，晶粒細(xì)致的旋轉(zhuǎn)靶材。
文檔編號(hào)B22D11/00GK102554149SQ20111044178
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者莊世雄, 朱振華 申請(qǐng)人:昆山全亞冠環(huán)?？萍加邢薰?br>