專利名稱：一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋頭裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種金屬有機化學氣相沉積設(shè)備，尤其是一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋頭裝置。
背景技術(shù)：
金屬有機物化學氣相沉積設(shè)備(Metal-OrganicChemical Vapor Deposition 簡稱MOCVD)是制備高亮度發(fā)光二級管、大功率激光器和搞電子遷移率晶體管等薄膜器件的關(guān)鍵工藝設(shè)備。組份均勻、厚度均勻、界面陡峭是薄膜生長的基本要求，因此提高薄膜生長的均勻性一直是MOCVD反應(yīng)器持續(xù)改進的核心任務(wù)之一。均勻性控制直接關(guān)系到材料外延生長質(zhì)量的優(yōu)劣，它包括流速均勻、組份均勻、溫度均勻三個方面“流速均勻性”要求在端蓋噴射面上噴射氣體的流速具有較好的一致性，這就要求氣體在到達噴射面前，在噴淋頭內(nèi)部就已經(jīng)形成單向、均勻、穩(wěn)定的流場。“組份均勻性”要求向反應(yīng)室內(nèi)噴射的各種組份混合均勻，但通常反應(yīng)室內(nèi)部流場環(huán)境會導致組份的波動，因此控制噴淋頭輸運氣體的溫度與組份非常關(guān)鍵，要求反應(yīng)氣體在到達基片前盡量不發(fā)生反應(yīng)，而到達基片后能夠混合均勻，并發(fā)生化學反應(yīng)?！皽囟染鶆蛐浴币蠓磻?yīng)氣體在到達基片前，在反應(yīng)室內(nèi)部同一高度水平面保持溫度均勻，這樣才能保證不同基片的外延生長環(huán)境幾乎相同，同時，基于抑制寄生反應(yīng)的考慮，要控制腔室內(nèi)溫場的梯度分布，盡可能形成薄的熱邊界層。以上三種均勻性指標相互牽連，相互制約，若流速不一致，進入反應(yīng)室后等體積的組份不可能很均勻；而溫度不均勻則可能導致局部區(qū)域寄生反應(yīng)弱，而其他區(qū)域寄生反應(yīng)強，在到達襯底同一高度的平面內(nèi)，氣體組份不但不均勻，而且還衍生出其他物質(zhì)。綜上分析不難看出，MOCVD噴淋頭裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計必須緊扣“三個均勻性”指標的實現(xiàn)。因此，主流MOCVD設(shè)備的開發(fā)商無不在噴淋頭裝置的結(jié)構(gòu)設(shè)計上持續(xù)改進，不斷升級。而每一代新產(chǎn)品的出現(xiàn)很大程度上都圍繞提高“三個均勻性”指標提出的。中國專利文獻CN201099698Y公開的“三重氣流金屬有機物氣相沉積設(shè)備反應(yīng)腔體”提出的“穿管分層焊接、均勻分布”的方法(見圖11所示)，從根本上解決了 III族與V族氣體的相互隔離， 且較好的實現(xiàn)了流速與組份的均勻性；獨立連續(xù)的水冷層為兩種氣體的均勻冷卻提供了最優(yōu)的解決方案。但由于這種穿管熔焊技術(shù)只有少數(shù)加工商能夠完成，價格極其昂貴，嚴重阻礙了國內(nèi)該技術(shù)對MOCVD開發(fā)應(yīng)用的推廣。此外，中國專利文獻CN101122012A公開的《用于金屬有機物化學氣相淀積設(shè)備的大面積梳狀噴淋頭》(見圖12)，介紹了一種大面積梳狀形式的噴淋頭，可實現(xiàn)III族與V族氣體分別從噴淋頭整體結(jié)構(gòu)兩側(cè)獨立送氣，并在反應(yīng)腔襯底方均勻噴射，其實現(xiàn)的方法采用總管進氣，支管送氣，兩類氣源支管交錯排列，并在同側(cè)加工均勻布置的噴淋孔。該結(jié)構(gòu)盡管實現(xiàn)獨立送氣，但氣體從總管接口到達每個支管末端一定存在壓力不均，使得從各支管小孔噴出氣體的流速不均，影響流場的均勻性，另外，該結(jié)構(gòu)很難增加獨立的水冷層，因此未知其如何解決溫度均勻這一問題。
此外申請?zhí)枮閁S2009/0098276A1公開了發(fā)明名稱為《Multi-GAS Straight Channel Showerhead》美國專利，提出了目前MOCVD最通用的噴淋頭結(jié)構(gòu)(見圖13、14所示)。從圖13、14表達的結(jié)構(gòu)形式看出它的結(jié)構(gòu)特點為III、V族氣源的氣體分別從兩個進氣口進入噴淋頭裝置104的第一進氣總通道和第二進氣總通道，并隨后通過第一支路通道和第二支路通道，最終進入混合通道由噴淋出口向襯底噴射。該裝置的特點是1)氣體分配通道為水平分層直通道，并采用焊接的金屬空心管連通噴射室，保證兩路反應(yīng)氣體的獨立輸送；幻噴射室內(nèi)氣路通道之間相間設(shè)有與之平行的水冷通道，用以輸送制冷氣體提高溫度均勻性。其缺陷是1)裝置受水平分式層進氣通道的限制，通道之間的鏈接只能采用金屬空心管焊接構(gòu)成，但噴射室的小孔成千上萬，且數(shù)量隨面積增加而迅速增加，要求穿管焊接的點太多、太密集，現(xiàn)有的焊接工藝極難保證具有百分之百的焊接質(zhì)量。一旦出現(xiàn)焊接質(zhì)量問題會導致整個裝置報廢?；貌捎每拷磻?yīng)壁處的大孔或密集空提高噴射氣體的流速，這部分氣體包含有反應(yīng)氣體，勢必會造成反應(yīng)氣體耗氣量增加，同時相間的水冷通道也難于保證周邊流場的穩(wěn)定性和均勻性。此外，中國專利文獻公開了同樣用于MOCVD設(shè)備的《一種MOCVD設(shè)備新型噴淋頭裝置》(見附圖15)，該裝置包括一氣體分配單元和一噴射室圍設(shè)形成一密閉空間，通過設(shè)置在氣體分配單元上的進氣端面和若干進氣分組隔板構(gòu)成的若干氣體通過區(qū)和若干氣體阻擋區(qū)，并通過設(shè)有出氣端面和若干出氣擱板、并在隔板上設(shè)有的若干貫通型出氣孔構(gòu)成的噴射室，使所述氣體分配單元的氣體通過和所述噴射室的出氣孔構(gòu)成若干垂直分割氣路單元，使同一進氣體分組隔板內(nèi)的垂直分隔氣路單元構(gòu)成輸送特定氣體的噴淋頭專用氣路。 該裝置的缺陷在于裝配時需要嚴格注意上下兩層環(huán)形部的對位，否則將會因錯位而造成上下氣路之間的通暢。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的旨在提出一種結(jié)構(gòu)更為簡單、安裝使用更為可靠易行的MOCVD設(shè)備噴淋頭裝置。這種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，包括壓蓋1、端蓋2、底座3及經(jīng)緊固螺釘 7固定于端蓋與底座中心的噴淋頭，所述的壓蓋上設(shè)有供不同種類流體進入的進口，所述的噴淋頭包括設(shè)有槽道和筋板的氣體分隔環(huán)8、設(shè)有槽道和筋板的氣體分配單元4和噴射室 5，并按照氣體分隔環(huán)8、軟性多孔材料6、氣體分配單元4和噴射室5自上而下的順序組裝構(gòu)成噴淋機構(gòu)，其特征在于所述的噴淋機構(gòu)內(nèi)至少設(shè)有一層能在較大壓力作用下產(chǎn)生塑性變形、形成類似橡膠或金屬一樣的密封結(jié)構(gòu)，而在未受擠壓部位則構(gòu)成流體通道的軟性多孔材料6。所述的軟性多孔材料6設(shè)置在氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4之間，并與上述兩者之間對應(yīng)設(shè)置的槽道構(gòu)成流體通道，同時也經(jīng)兩者之間對應(yīng)設(shè)置的筋板構(gòu)成密封面。所述的軟性多孔材料6設(shè)置在氣體分配單元4與噴射室5之間，其受擠壓部構(gòu)成氣體分配單元4與噴射室5連接面的密封結(jié)構(gòu)，其未受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元4下部通向噴射室5噴出口的流體通道。所述的軟性多孔材料6為金屬材料或非金屬材料制成的網(wǎng)狀多孔結(jié)構(gòu)，其材質(zhì)采用銅合金絲、鎳合金絲、特殊不銹鋼合金絲或聚四氟乙烯絲中的任一種通過編織而形成。
所述的氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4的筋板之間呈凹凸槽型結(jié)構(gòu)，所述的軟性多孔材料6在氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4之間呈凹凸裝設(shè)置，兩者的槽道部為流道，兩者的結(jié)合邊部和筋板凹凸結(jié)合部為密封面。所述的氣體分隔環(huán)8的內(nèi)平面呈“西瓜片狀”分隔，所述圓片型氣體分隔環(huán)表面由中心向兩邊形成“西瓜片狀”槽道8. 2，槽道與槽道之間為弧形筋板8. 1所述的氣體分配單元4內(nèi)平面呈“西瓜片狀”分隔，所述圓片型氣體分隔環(huán)表面由中心向兩邊形成“西瓜片狀”槽道4. 2，槽道與槽道之間為弧形筋板4. 1。根據(jù)以上技術(shù)方案提出的這種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，通過在MOCVD 設(shè)備噴淋頭裝置中設(shè)置帶有軟性多孔材料組成均勻?qū)樱壤镁W(wǎng)孔材料內(nèi)部的密集網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)具有較好的透過能力，使之成為實現(xiàn)全體均化的流體通道，同時也通過擠壓變形，使處于上下構(gòu)件結(jié)合部為網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)層形成致密的密封層，起到相鄰槽道之間的隔離密封作用。應(yīng)用這種材料噴淋頭裝置，不僅可以摒棄現(xiàn)有通功能裝置中的采用穿管結(jié)構(gòu)所存在的焊接加工難度、可靠度難度等問題，同時具有非常好的可維護性，噴淋頭自上而下幾乎都能拆卸， 有利于噴淋頭內(nèi)部清潔維護，重復使用。


圖1為本發(fā)明的基本設(shè)計結(jié)構(gòu)示意圖(一)；圖2為圖IBB段剖視圖；圖3為本發(fā)明的基本設(shè)計結(jié)構(gòu)示意圖(二)；圖4圖3中氣體分隔環(huán)與氣體分配單元結(jié)合面放大圖；圖5為本發(fā)明組裝后的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本發(fā)明“西瓜片狀”實施的解析結(jié)構(gòu)示意圖；圖7為“西瓜片狀”結(jié)構(gòu)中氣體分隔環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8為“西瓜片狀”結(jié)構(gòu)中氣體分配環(huán)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9為擠壓前的軟性材料示意圖；圖10為擠壓后的軟性材料示意圖；圖11為現(xiàn)有技術(shù)1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖12為現(xiàn)有技術(shù)2的結(jié)構(gòu)示意圖；圖13為現(xiàn)有技術(shù)3的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14為圖13的局部放大的結(jié)構(gòu)示意圖；圖15為現(xiàn)有技術(shù)4的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1-壓蓋2-端蓋3-底座4-氣體分配單元4. 1_分配單元筋板4. 2_分配單元槽道4.3-A族輸氣通道4.4-B族輸氣通道4.5-B族噴出孔4.6-A族噴出孔5-噴射室6-軟性多孔材料6. 1-流道孔6. 2-柔性網(wǎng)孔筋板6. 2-密實后的密封邊7-緊固螺釘 7.1-螺孔8-氣體分隔環(huán)8.1-分隔環(huán)筋板8. 2-分隔環(huán)槽道9-A族氣體進口 IO-B族氣體進口 11-筋板12-槽道13-壓力氣體進口 14-冷卻腔15-噴淋口 16-載片盤17-襯底18-反應(yīng)腔19-加熱器20-排氣口 21-腔體外殼22-緩沖腔23-擋板M-III族氣體進氣口 25-111族氣體總輸氣管沈-III族氣體輸氣支管27-V族氣體總輸氣管觀-V族氣體輸氣支管四-V族氣體氣口 A-A族氣體進口 B-B族氣體進口 C-水進、出口 104-噴淋頭直ο
具體實施例方式以下結(jié)合附圖進一步闡述本發(fā)明，并給出本發(fā)明的是實施例。圖1-圖4為本發(fā)明所涉及的實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置的核心模塊的結(jié)構(gòu)原理圖。其中圖1、2為氣體分隔環(huán)與氣體分配單元呈平面狀連接組合狀態(tài)時的實際結(jié)構(gòu)示意圖。其中圖3、4為氣體分隔環(huán)與氣體分配單元呈凹凸契合狀連接組合狀態(tài)時的實際結(jié)構(gòu)示意圖。這種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，包括壓蓋1、端蓋2、底座3及經(jīng)緊固螺釘 7固定于端蓋1與底座3中心的噴淋頭，所述的壓蓋1上設(shè)有供不同種類流體進入的進口， 所述的噴淋頭包括設(shè)有槽道8. 2和筋板8. 1的氣體分隔環(huán)8、設(shè)有槽道4. 2和筋板4. 1的氣體分配單元4和噴射室5，并按照氣體分隔環(huán)8、氣體分配單元4和噴射室5自上而下的順序組裝構(gòu)成噴淋機構(gòu)；所述的噴淋機構(gòu)內(nèi)至少設(shè)有一層能在較大壓力作用下產(chǎn)生塑性變形、形成類似橡膠或金屬一樣的密封結(jié)構(gòu)，而在未受擠壓部位則構(gòu)成流體通道的軟性多孔材料6。在實際應(yīng)用中上述軟性多孔材料6在氣體隔離和均勻化的噴淋裝置中的設(shè)置可以采用以下兩種基本形式其一，將軟性多孔材料6設(shè)置在氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4之間，并與上述兩者之間對應(yīng)設(shè)置的一組上下槽道構(gòu)成流體通道，同時也經(jīng)兩者之間對應(yīng)設(shè)置的一組上下筋板及環(huán)體邊緣結(jié)合部構(gòu)成密封面。 其二，將軟性多孔材料6設(shè)置在氣體分配單元4與噴射室5之間，其受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元4與噴射室5結(jié)合面的密封結(jié)構(gòu)，其未受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元4下部通向噴射室5噴出口的流體通道。通過上述設(shè)置，將氣體隔離和均勻化的噴淋裝置中內(nèi)腔形成具有隔離功能軟性多孔材料6構(gòu)成的均勻化流道。在實際應(yīng)用中，可以根據(jù)設(shè)計需要利用設(shè)置多層氣體分隔環(huán)、 或者氣體分配單元的結(jié)構(gòu)形式增設(shè)軟性多孔材料。在本技術(shù)方案中采用在氣體分配單元4 與噴射室5之間設(shè)置一層軟性多孔材料6。此外，在本技術(shù)方案中，考慮到氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4之間可能采取的兩種基本結(jié)構(gòu)面a、平面型連接結(jié)構(gòu)；b、凹凸槽道型連接結(jié)構(gòu)。因此給出了附圖1和附圖3兩種基本結(jié)構(gòu)形式。在圖1給出的本發(fā)明中所述的軟性多孔材料6設(shè)置在平面狀結(jié)合的氣體分隔環(huán) 8與氣體分配單元4之間，并與上述兩者之間對應(yīng)設(shè)置的一組上下槽道構(gòu)成流體通道，同時也經(jīng)兩者之間對應(yīng)設(shè)置的一組上下筋板及環(huán)體邊緣結(jié)合部構(gòu)成密封面。同時，又將所述的軟性多孔材料6設(shè)置在氣體分配單元4與噴射室5之間，其受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元4 與噴射室5結(jié)合面的密封結(jié)構(gòu)，其未受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元4下部通向噴射室5噴出口的流體通道。在圖1、2給出的技術(shù)方案中，氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4之氣體分配單元4 間呈平面結(jié)合，要求上部氣體分隔環(huán)8中的筋板8. 1、槽道8. 2應(yīng)該和下部氣體分配單元4 中的筋板4. 1、槽道4. 2對應(yīng)設(shè)置，形成筋板對筋板、槽道對槽道形式。這樣才能保證該流通的槽道處于暢通狀態(tài)，而該處于密封的部位處于嚴格密封狀態(tài)。同時在圖2中可以看出 所述的A族氣體可以由進氣口進入后分隔環(huán)8中槽道形成的通氣道4. 3，隨后通過軟性多孔材料6構(gòu)成的孔道自B族噴出孔4. 6噴出。而所述的B族氣體自進氣口 B進入后，首先進入橫向貫通的氣體通道4. 4，而后才能通過軟性多孔材料6構(gòu)成的孔道自A族噴出孔4. 5 噴出在圖3、4給出的技術(shù)方案中，氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4之氣體分配單元4 間呈凹凸契合面結(jié)合，此時，上部氣體分隔環(huán)8中的筋板8. 1設(shè)計成向下凸出型，而下部氣體分配單元4的筋板4. 1部位則設(shè)計成與之配合的凹槽型。所述氣體分隔環(huán)8與氣體分配單元4的槽道8. 2和槽道4. 2依然如舊對應(yīng)設(shè)置。這種結(jié)構(gòu)既通過對應(yīng)槽道結(jié)合、保持槽道暢通狀態(tài)，同時又通過壓緊在凹凸狀結(jié)合面上的軟性多孔材料6，使該處于密封的部位處于嚴格密封狀態(tài)。圖6-圖10給出的實施本技術(shù)方案的一種采用“西瓜片狀”槽道分隔的實施例。這種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，由壓蓋1、端蓋2、底座3、氣體分隔環(huán)8、 氣體分配單元4和本發(fā)明提出的軟性多孔材料6組成，在采用槽道分隔方式進氣方式時，將對應(yīng)的氣體分隔環(huán)8的結(jié)構(gòu)設(shè)計成典型的“西瓜片狀”的分隔方式，即將氣體分隔環(huán)8圓形薄板由中心向兩邊加工出若干“西瓜片狀”的槽道，使相鄰的分隔環(huán)槽道8. 2之間形成一定寬度的分隔環(huán)弧形筋板8. 1，而氣體分配單元4與之配合的上表面上也加工出對應(yīng)尺寸與形狀的分配單元槽道4. 2和分配單元筋板4. 1，氣體進入分配單元4后，進入噴射室5完成二次分配。在上述技術(shù)方案中設(shè)有兩層軟性多孔材料6，上層設(shè)置在氣體分隔環(huán)8和氣體分配單元4之間，下層設(shè)置在氣體分配單元4與噴射室5之間。上述兩層軟性多孔材料6，處于上層的軟性多孔材料6在組裝后，由于受到上層氣體分隔環(huán)8和和下層氣體分配單元4 的擠壓作用，在材料表面自然形成擠壓區(qū)域與未擠壓區(qū)域(見圖10)。受到擠壓的邊緣與筋板對接處被完全填實，起到密封隔離作用；而未受到擠壓的“西瓜片區(qū)域”仍然為自然狀態(tài) (見圖9)，氣體可均化通過。即軟性材料被擠壓后也呈現(xiàn)“西瓜片狀”結(jié)構(gòu)。處于下層的軟性多孔材料6設(shè)置在分配單元4和噴射室5之間，其被擠壓部分受壓后產(chǎn)生形變，因此形成緊密型圈狀密封面6. 3，而其未受到擠壓部分則保持正常的網(wǎng)孔型流道。在本發(fā)明的技術(shù)方案中選用的軟性材料為為金屬材料或非金屬材料制成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，其材質(zhì)為銅合金絲、鎳合金絲、特殊不銹鋼合金絲或聚四氟乙烯絲，或其它具有類似特性的材料中的任一種。由于這些軟性材料具有較好的擠壓延展性，受到擠壓后材料很容易填實密封面，起到隔離作用。因此選用該材料設(shè)計的噴淋頭裝置，將其代替金屬穿管， 內(nèi)部不需要任何焊接工藝，就能實現(xiàn)氣體的隔離輸送。與同功能噴淋頭比較，具有非常好的可維護性，噴淋頭自上而下幾乎都能拆卸，有利于噴淋頭內(nèi)部清潔維護，重復使用。
權(quán)利要求
1.一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，包括壓蓋(1)、端蓋O)、底座C3)及經(jīng)緊固螺釘(7)固定于端蓋(1)與底座(3)中心的噴淋頭，所述的壓蓋(1)上設(shè)有供不同種類流體進入的進口，所述的噴淋頭包括設(shè)有槽道(8. 和筋板(8. 1)的氣體分隔環(huán)(8)、設(shè)有槽道(4.2)和筋板(4. 1)的氣體分配單元(4)和噴射室(5)，并按照氣體分隔環(huán)(8)、氣體分配單元(4)和噴射室(5)自上而下的順序組裝構(gòu)成噴淋機構(gòu)，其特征在于所述的噴淋機構(gòu)內(nèi)至少設(shè)有一層能在較大壓力作用下產(chǎn)生塑性變形、形成類似橡膠或金屬一樣的密封結(jié)構(gòu)，而在未受擠壓部位則構(gòu)成流體通道的軟性多孔材料(6)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，其特征在于所述的軟性多孔材料(6)設(shè)置在平面狀結(jié)合的氣體分隔環(huán)(8)與氣體分配單元(4)之間，并與上述兩者之間對應(yīng)設(shè)置的一組上下槽道構(gòu)成流體通道，同時也經(jīng)兩者之間對應(yīng)設(shè)置的一組上下筋板環(huán)體邊緣結(jié)合部構(gòu)成密封面。
3.如權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，其特征在于所述的氣體分隔環(huán)(8)與氣體分配單元(4)的筋板之間呈凹凸槽型結(jié)構(gòu)，所述的軟性多孔材料(6) 在氣體分隔環(huán)(8)與氣體分配單元(4)之間呈凹凸狀設(shè)置，兩者的槽道部為流道，兩者的結(jié)合邊部和筋板凹凸結(jié)合部，以及環(huán)體邊緣結(jié)合部為密封面。
4.如權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，其特征在于所述的軟性多孔材料(6)設(shè)置在氣體分配單元(4)與噴射室( 之間，其受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元(4)與噴射室(5)結(jié)合面的密封結(jié)構(gòu)，其未受擠壓部位構(gòu)成氣體分配單元(4)下部通向噴射室( 噴出口的流體通道。
5.如權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，其特征在于所述的軟性多孔材料(6)為金屬材料或非金屬材料制成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)體，其材質(zhì)為銅合金絲、鎳合金絲、特殊不銹鋼合金絲或聚四氟乙烯絲中的任一種。
6.如權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，其特征在于所述的氣體分隔環(huán)(8)的內(nèi)平面呈“西瓜片狀”分隔，所述圓片型氣體分隔環(huán)表面由中心向兩邊形成“西瓜片狀”槽道(8.幻，槽道與槽道之間為弧形筋板(8. 1)。
7.如權(quán)利要求1所述的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，其特征在于所述的氣體分配單元內(nèi)平面呈“西瓜片狀”分隔，所述圓片型氣體分隔環(huán)表面由中心向兩邊形成“西瓜片狀”槽道(4.幻，槽道與槽道之間為弧形筋板(4. 1)。
全文摘要
本發(fā)明涉及的一種實現(xiàn)氣體隔離和均勻化的噴淋裝置，包括壓蓋(1)、端蓋(2)、底座(3)及經(jīng)緊固螺釘(7)固定于端蓋(1)與底座(3)中心的噴淋頭，所述的壓蓋(1)上設(shè)有供不同種類流體進入的進口，所述的噴淋頭包括設(shè)有槽道(8.2)和筋板(8.1)的氣體分隔環(huán)(8)、設(shè)有槽道(4.2)和筋板(4.1)的氣體分配單元(4)和噴射室(5)，并按照氣體分隔環(huán)(8)、氣體分配單元(4)和噴射室(5)自上而下的順序組裝構(gòu)成噴淋機構(gòu)，其特征在于所述的噴淋機構(gòu)內(nèi)至少設(shè)有一層能在較大壓力作用下產(chǎn)生塑性變形、形成類似橡膠或金屬一樣的密封結(jié)構(gòu)，而在未受擠壓部位則構(gòu)成流體通道的軟性多孔材料(6)。
文檔編號C23C16/455GK102418086SQ201110363029
公開日2012年4月18日 申請日期2011年11月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月16日
發(fā)明者張瑜, 龔岳俊 申請人:上海卓銳材料科技有限公司