專利名稱：修整器裝置及其檢測方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體技術領域，特別涉及一種修整器裝置及其檢測方法。
背景技術：
在半導體工藝領域，化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)技術兼具有機械式拋光與化學式研磨兩種作用，可以使整個晶圓表面達到平坦化，以便于后續(xù)進行薄膜沉積等工藝。在研磨過程中，由于漿料輸送裝置無法使輸送的研磨漿料均勻地分布在所述研磨墊上，從而可能會影響晶圓的研磨效果，因此在現(xiàn)有技術中，通常在靠近所述研磨墊附近設置一個或者多個修整器裝置來對所述研磨墊進行修整。所述修整通常為包括1)通過對所述研磨墊上的研磨漿料分布位置的調(diào)整，使所述研磨漿料均勻地分布在所述研磨墊上；2)在研磨過程中，通過對所述研磨墊隨時修整，從而使所述研磨墊始終保持一種多孔、微觀上凹凸不平的結構，保證其研磨晶圓的效果。更多關于研磨墊修整器的資料可以參考中國專利申請?zhí)枮?00710184835. 7公開的一種化學機械研磨用的研磨墊修整
ο在使用過程中，修整器內(nèi)的圓環(huán)上的隔膜以及控制裝置內(nèi)的連接部件常常會發(fā)生破損，從而影響修整器的正常工作。但是，現(xiàn)有技術中，由于修整器裝置的條件所限，需要人工逐一拆下隔膜以及各個連接部件，并檢查具體哪個出現(xiàn)破損。這樣的檢測方法往往需要花費大量的時間成本、人力成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問題是節(jié)省檢測修整器裝置的時間成本和人力成本，提高生產(chǎn)效率。
為解決上述問題，本發(fā)明實施例提供了一種修整器裝置，包括至少一個修整器和控制裝置；所述控制裝置包括真空測量器、適于將所述真空測量器連通至真空環(huán)境的第一真空管、分別連通至所述至少一個修整器且與所述修整器的數(shù)量匹配的第三真空管、分別連接至所述第三真空且與所述第三真空管的數(shù)量匹配的連接部件、以及連接至所述第一真空管、真空測量器和一個連接部件的第二真空管；還包括在連接部件為兩個以上時連通所述連接部件的中間真空管；其中，所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)?？蛇x地，所述第二真空管的長度大于其與第一真空管、真空測量器的連接點和與其連接的連接部件之間的距離?？蛇x地，在連接部件為兩個以上時所述中間真空管的長度大于其兩端連接的連接部件之間的距離?？蛇x地，所述修整器的數(shù)量為一個?？蛇x地，所述修整器的數(shù)量為兩個以上。可選地，在所述修整器和連接部件之間還設置有控制閥門，所述控制閥門用于控制所述第三真空管的開啟和關閉。根據(jù)本發(fā)明實施例提供的修整器裝置，還提供了一種修整器裝置的檢測方法，包括確定所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)；如對真空測量器進行檢測，關閉所述第二真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述真空測量器正常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述真空測量器異常；如對任一修整器及其對應的連接部件進行檢測，關閉連接至修整器的第三真空管，且在連接部件為兩個以上時關閉連接至對應該修整器的連接部件的、處于修整器和真空測量器之間的氣路外的中間真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述連接部件正常，所述修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述連接部件異常?？蛇x地，關閉所述第二真空管、關閉所述中間真空管的方式包括如下任一種折疊所述第二真空管、所述中間真空管，以使所述第二真空管、所述中間真空管處于關閉狀態(tài)；在所述第二真空管、所述中間真空管上設置開關閥門，并將所述開關閥門調(diào)至關閉狀態(tài)，以使所述第二真空管、所述中間真空管處于關閉狀態(tài)?？蛇x地，所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)為第一真空管、第二真空管、第三真空管以及中間真空管內(nèi)的真空壓強值。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明的技術方案具有以下優(yōu)點提供一種修整器裝置，包括至少一個修整器和控制裝置；所述控制裝置包括真空測量器、適于將所述真空測量器連通至真空環(huán)境的第一真空管、分別連通至所述至少一個修整器且與所述修整器的數(shù)量匹配的第三真空管、分別連接至所述第三真空管且與所述第三真空管的數(shù)量匹配的連接部件、以及連接至所述第一真空管、真空測量器和一個連接部件的第二真空管；還包括在連接部件為兩個以上時連通所述連接部件的中間真空管；其中，所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)。由于所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)，這樣當修整器裝置發(fā)生損壞時，技術人員可以通過控制所述中間真空管和第二真空管的開啟或關閉，并根據(jù)真空測量器的測量數(shù)據(jù)的變化檢測出發(fā)生損壞的部件，從而減少了檢測耗費的時間成本和人力成本，提高了生產(chǎn)效率。


圖1為本發(fā)明的一種修整器裝置的第一實施例的結構示意圖；圖2是針對圖1所示的一種修整器裝置的檢測方法的第一具體實施方式
的流程示意圖；圖3為本發(fā)明的一種修整器裝置的第二實施例的結構示意圖；圖4是針對圖3所示的一種修整器裝置的檢測方法的第二具體實施方式
的流程示意圖。
具體實施例方式發(fā)明人經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn)，通常，修整器裝置包括修整器和控制裝置，控制裝置用于控制修整器的向上或者向下位置的變化。當需要修整器對研磨墊進行修整時，控制裝置控制修整器下壓，使之與研磨墊接觸；當不需要修整器對研磨墊進行修整時，控制裝置控制修整器抬起，使之與研磨墊之間沒有接觸。具體地，控制裝置內(nèi)包括多個真空管、連接部件以及控制真空管開啟關閉的閥門；修整器內(nèi)包括帶有隔膜的圓環(huán)，該圓環(huán)與控制裝置內(nèi)相對應的真空管相連通。通過閥門的開關來控制真空管內(nèi)是否處于真空環(huán)境，從而實現(xiàn)修整器的上下位置變化。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的修整器裝置由于自身條件所限，當修整器裝置發(fā)生故障(主要是修整器無法正常落下、抬起)時，往往需要人工逐一檢查各個零部件是否出現(xiàn)破損，通常修整器內(nèi)的圓環(huán)上的隔膜以及控制裝置內(nèi)的連接部件可能會發(fā)生損壞。但是這樣的檢測方法需要耗費大量的時間成本和人力成本，影響生產(chǎn)效率。針對上述問題，本發(fā)明提供了一種修整器裝置，包括至少一個修整器和控制裝置； 所述控制裝置包括真空測量器、適于將所述真空測量器連通至真空環(huán)境的第一真空管、分別連通至所述至少一個修整器且與所述修整器的數(shù)量匹配的第三真空管、分別連接至所述第三真空管且與所述第三真空管的數(shù)量匹配的連接部件、以及連接至所述第一真空管、真空測量器和一個連接部件的第二真空管；還包括在連接部件為兩個以上時連通所述連接部件的中間真空管；其中，所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)。由于所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)，這樣當修整器裝置發(fā)生損壞時， 技術人員可以通過控制所述中間真空管和第二真空管的開啟或關閉，并根據(jù)真空測量器的測量數(shù)據(jù)的變化檢測出發(fā)生損壞的部件，從而減少了檢測耗費的時間成本和人力成本，提高了生產(chǎn)效率。為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更為明顯易懂，下面結合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做詳細的說明。實施例一圖1是本發(fā)明的一種修整器裝置的第一實施例的結構示意圖。參考圖 1，所述修整器裝置1包括修整器11和控制裝置12，其中所述控制裝置12包括真空測量器124、適于將所述真空測量器IM連通至真空環(huán)境的第一真空管121、連通至所述修整器 11的第三真空管123、連接至所述第三真空管123的連接部件125、連接至所述第一真空管 121、真空測量器IM和連接部件125的第二真空管122。并且所述第二真空管122具有開啟和關閉兩種狀態(tài)，其中所述開啟狀態(tài)是常態(tài)，即當所述修整器裝置1正常工作時，所述第二真空管122均為開啟狀態(tài)；所述關閉狀態(tài)是在當所述修整器裝置1發(fā)生故障時，在對其進行檢測過程中所述第二真空管122所處的狀態(tài)。關于控制所述第二真空管122進入開啟狀態(tài)/關閉狀態(tài)的實現(xiàn)方式將在下文的檢測方法中描述。進一步地，在所述修整器11和連接部件125之間還設置有控制閥門(未示出)，所述控制閥門用于控制所述第三真空管123的開啟和關閉。所述修整器裝置1的工作原理如下所述第一真空管121、第二真空管122以及第三真空管123之間互相連通，并處于真空環(huán)境。通過所述真空測量器1 可以測量所述第一真空管121、第二真空管122以及第三真空管123內(nèi)的真空壓強值。通常所述真空壓強值低于一個標準大氣壓(101. 325kPa)。進一步地，通過設置于所述修整器11和連接部件125之間的控制閥門可以控制所述第三真空管123的開啟和關閉，當所述第三真空管123開啟時，與所述第三真空管123相連通的修整器11也處于真空環(huán)境中，這樣可以使所述修整器11產(chǎn)生向上的力；而當所述第三真空管123關閉時，與所述第三真空管123相連通的修整器11則處于非真空環(huán)境中， 這樣可以使所述修整器11產(chǎn)生向下的力。通過上述控制過程可以實現(xiàn)所述修整器11的抬起和落下，即當需要使用修整器11對研磨墊進行修整時，則控制其落下并與研磨墊表面接觸；當修整完畢后，則控制所述修整器11抬起，使其與研磨墊之間沒有接觸。在所述修整器裝置1的使用過程中，所述修整器11、所述控制裝置12內(nèi)的真空測量器124以及連接部件125比較容易發(fā)生損壞，從而無法控制所述修整器11正常的工作。 針對上述問題，在本實施例中，所述控制裝置12中的第二真空管122具有開啟和關閉兩種狀態(tài)，這樣通過控制所述第二真空管122的開啟和關閉，以及所述真空測量器IM的測量數(shù)據(jù)的變化來判斷具體是哪個部件發(fā)生損壞。參考圖2，針對本實施例所述的修整器裝置1的檢測方法包括步驟Sll 確定所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)。步驟S12 關閉所述第二真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述真空測量器正常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述真空測量器異
堂
巾ο步驟S13 關閉連接至修整器的第三真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述連接部件正常，所述修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述連接部件異常。結合圖1和圖2，當所述修整器11或者所述控制裝置12內(nèi)的真空測量器IM或者所述連接部件125發(fā)生損壞時，所述真空測量器IM的測量數(shù)據(jù)將比正常工作時減小，其中所述真空測量器124的測量數(shù)據(jù)為第一真空管121、第二真空管122、第三真空管123內(nèi)的真空壓強值。技術人員可以根據(jù)所述真空測量器1 的測量數(shù)據(jù)判斷修整器裝置1發(fā)生故障，同時記錄下所述真空測量器124的測量數(shù)據(jù)(即步驟Sll)。然后，檢查所述真空測量器IM是否異常，具體方法是通過關閉所述第二真空管 122，觀察所述真空測量器124的測量數(shù)據(jù)是否發(fā)生改變。若所述測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述真空測量器124正常；反之，若所述真空測量器124的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述真空測量器124異常(即步驟S12)。在本實施例中，關閉所述第二真空管122可以通過如下任意一種方式來實現(xiàn)。例如，可以通過折疊所述第二真空管122，以使所述第二真空管122處于關閉狀態(tài)。由于所述第二真空管122的長度大于所述第二真空管122與第一真空管121的連接點和所述第二真空管122與連接部件125的連接點之間的距離，換句話說，所述第二真空管122的長度足夠適于折疊，折疊后其實起到了關閉所述第二真空管122的作用。又例如，還可以在所述第二真空管122上設置開關閥門(圖1中未示出)，并將所述開關閥門調(diào)至關閉狀態(tài)，以使所述第二真空管122處于關閉狀態(tài)。在實際應用中，并不局限于上述關閉方式，本領域技術人員還可以利用其他不同的方式來實現(xiàn)關閉所述第二真空管122的效果，在此不予贅述。接著，關閉連接至修整器11的所述第三真空管123，若所述真空測量器IM的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述連接部件125正常，所述修整器11異常；若所述真空測量器IM 的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述連接部件125異常(即步驟S13)。與上述步驟S12相類似，本步驟中的關閉連接至修整器11的所述第三真空管123也可以通過如上所述的方式來實現(xiàn)，在此不予贅述，但在實際應用中，并不局限于上述關閉方式。與現(xiàn)有技術相比，通過本實施例所述的檢測方法可以便捷地檢測出修整器裝置1 中發(fā)生損壞的部件，節(jié)省了時間和人力成本，提高生產(chǎn)效率。需要說明的是，當所述修整器裝置1發(fā)生故障時，并不表示只有本發(fā)明實施例所述的修整器11、控制裝置12中的真空測量器1 和連接部件125發(fā)生損壞，本發(fā)明實施例提供的檢測方法主要用于檢測上述部件是否發(fā)生損壞，對于其他可能出現(xiàn)故障的部件，本領域技術人員可以利用其他方式進行檢測。本實施例中描述的是修整器裝置內(nèi)僅包括一個修整器的情形。在實際應用中，通常一個研磨機臺上設有三個研磨墊，而每個研磨墊都會配有一個修整器，相應地，那么在修整器裝置內(nèi)將包括三個修整器，同時控制裝置也將有所改變。針對上述情形，具體如圖3所示的是本發(fā)明的一種修整器裝置的第二實施例的結構示意圖。實施例二 參考圖3，所述修整器裝置1'包括三個修整器，分別是第一修整器 11'、第二修整器11〃、第三修整器11〃 ‘以及控制裝置12'。其中，所述控制裝置12' 包括真空測量器131'、適于將所述真空測量器131'連通至真空環(huán)境的第一真空管121'； 分別連通至所述第一修整器11'的第三真空管123'、連通至所述第二修整器11"的第三真空管125'、連通至所述第三修整器11" ’的第三真空管127'；分別連接至所述第三真空管123'的第一連接部件128'、連接至所述第三真空管125'的第二連接部件129'、 連接至所述第三真空管127'的第三連接部件130'，以及連接至所述第一真空管121'、 真空測量器131'和所述第一連接部件128'的第二真空管122'；還包括連通所述第一連接部件128'和所述第二連接部件129'的第一中間真空管124'、連通所述第二連接部件 129'和所述第三連接部件130'的第二中間真空管126'。其中，所述第二真空管122'、所述第一中間真空管124'以及所述第二中間真空管126'具有開啟和關閉兩種狀態(tài)。具體地，其中所述開啟狀態(tài)是常態(tài)，即當所述修整器裝置1正常工作時，所述第二真空管122'、所述第一中間真空管124'以及所述第二中間真空管126'均為開啟狀態(tài)；所述關閉狀態(tài)是在當所述修整器裝置1發(fā)生故障時，在對其進行檢測過程中所述第二真空管122'、所述第一中間真空管124'以及所述第二中間真空管 126'所處的狀態(tài)。關于控制所述第二真空管122'、所述第一中間真空管124'以及所述第二中間真空管126'進入開啟狀態(tài)/關閉狀態(tài)的實現(xiàn)方式將在下文的檢測方法中描述。所述修整器裝置1'的工作原理與實施例一相類似，在本實施例中，所述第一真空管121'、所述第二真空管122'、所述第三真空管123' ,125' ,127'、所述第一中間真空管124'以及第二中間真空管126'之間互相連通，并處于真空環(huán)境。通過所述真空測量器 IM可以測量上述各個真空管內(nèi)的真空壓強值。進一步地，通過設置于所述第一修整器11'和所述第一連接部件128'之間的控制閥門(未示出)可以控制所述第三真空管123'的開啟和關閉；通過設置于所述第二修整器11"和所述第二連接部件129'之間的控制閥門(未示出)可以控制所述第三真空管 125'的開啟和關閉；以及通過設置于所述第三修整器11"‘和所述第三連接部件130' 之間的控制閥門(未示出)可以控制所述第三真空管127'的開啟和關閉。以設置于所述第一修整器11'和所述第一連接部件128'之間的控制閥門為例，當所述控制閥門開啟時(即所述第三真空管123'開啟時)，與所述第三真空管123'相連通的第一修整器11'也處于真空環(huán)境中，這樣可以使所述第一修整器11'產(chǎn)生向上的力， 控制所述第一修整器11'抬起；而當所述控制閥門關閉時(即所述第三真空管123'關閉時)，與所述第三真空管123'相連通的第一修整器11'則處于非真空環(huán)境中，這樣可以使所述第一修整器11'產(chǎn)生向下的力，控制所述第一修整器11'落下。依此類推，控制所述第二修整器11"和所述第三修整器11"‘的抬起和落下的工作原理可參考上文的描述， 在此不予贅述。在所述修整器裝置Γ的使用過程中，所述第一修整器1Γ、所述第二修整器 11〃、所述第三修整器11"‘、控制裝置12'內(nèi)的真空測量器131'、所述第一連接部件 128'、所述第二連接部件129'以及所述第三連接部件130'比較容易發(fā)生損壞，從而使所述修整器裝置1'無法正常工作。針對上述問題，在本實施例中，所述控制裝置12'內(nèi)的所述第一中間真空管124'、所述第二中間真空管126'以及所述第二真空管122'均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)，這樣通過控制上述這些真空管的開啟和關閉，以及真空測量器131' 的測量數(shù)據(jù)的變化判斷具體哪個部件發(fā)生損壞。參考圖4，針對本實施例所述的修整器裝置1 ‘的檢測方法包括步驟S21 確定所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)。步驟S22 關閉所述第二真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述真空測量器正常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述真空測量器異
堂
巾ο步驟S23 關閉連接至所述第一修整器的第三真空管以及所述第一中間真空管， 若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述第一連接部件正常，所述第一修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述第一連接部件異常。步驟S24:關閉連接至所述第二修整器的第三真空管以及所述第二中間真空管， 若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述第二連接部件正常，所述第二修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述第二連接部件異常。步驟S25 關閉連接至所述第三修整器的第三真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述第三連接部件正常，所述第三修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述第三連接部件異常。結合圖3和圖4，當所述第一修整器11'或者所述第二修整器11〃或者所述第三修整器11"‘或者所述控制裝置12'內(nèi)的所述真空測量器131'或者所述第一連接部件 128'或者所述第二連接部件129'或者所述第三連接部件130'發(fā)生損壞時，所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)將比正常工作時減小，其中所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)為所述第一真空管121'、所述第二真空管122'、所述第三真空管123' ,125' ,127'、所述第一中間真空管124'、第二中間真空管126'內(nèi)的真空壓強值。技術人員可以根據(jù)所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)判斷修整器裝置1'發(fā)生故障，同時記錄下所述真空測量器131' 的測量數(shù)據(jù)(即步驟S21)。然后，檢查所述真空測量器131'是否異常，具體方法是關閉所述第二真空管 122'，若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述真空測量器131'正常； 若所述真空測量器131丨的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述真空測量器131 ‘異常(即步驟S22)。與實施例一相類似，在本實施例中，關閉所述第二真空管122'也可以通過如下任意一種方式來實現(xiàn)。例如，可以通過折疊所述第二真空管122'，以使所述第二真空管 122'處于關閉狀態(tài)。又例如，還可以在所述第二真空管122'上設置開關閥門(圖3中未示出)，并將所述開關閥門調(diào)至關閉狀態(tài)，以使所述第二真空管122'處于關閉狀態(tài)。具體可參考實施例一中的描述，在此不作贅述。接著，關閉連接至修整器的第三真空管，且同時關閉連接至對應該修整器的連接部件的、處于修整器和真空測量器之間的氣路外的中間真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述連接部件正常，所述修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述連接部件異常。具體地，在本實施例中，上述過程包括首先，關閉連接至所述第一修整器1Γ的第三真空管123'以及所述第一中間真空管124'，若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述第一連接部件 128'正常，所述第一修整器1Γ異常；若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述第一連接部件128'異常(即步驟S23)。然后，關閉連接至所述第二修整器11"的第三真空管125'以及所述第二中間真空管126'，若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述第二連接部件 129'正常，所述第二修整器11"異常；若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述第二連接部件129'異常(即步驟S24)。最后，關閉連接至所述第三修整器11"‘的第三真空管127'，若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述第三連接部件130'正常，所述第三修整器 11"‘異常；若所述真空測量器131'的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述第三連接部件 130'異常(即步驟S25)。與上述步驟S22相類似，所述步驟S23、步驟S24以及步驟S25中所述的“關閉”也可以通過如上所述的方式來實現(xiàn)，在此不予贅述，但在實際應用中，并不局限于上述關閉方式。根據(jù)本發(fā)明實施例提供的修整器裝置及其檢測方法，可以節(jié)省檢測修整器裝置的時間成本和人力成本，提高生產(chǎn)效率。需要說明的是，上述實施例一和實施例二中分別描述了當修整器裝置中包含一個修整器和三個修整器時，所述修整器裝置的結構以及相對應的檢測方法。但在實際應用中， 并不限于上述這兩種情況，并且當所述修整器裝置中包括兩個以上的修整器時，均可以參考如實施例二所述的修整器裝置的結構以及檢測方法并作相應的變化，這并不影響本發(fā)明的實質(zhì)。本發(fā)明雖然已以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領域技術人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術內(nèi)容對本發(fā)明技術方案做出可能的變動和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術方案的保護范圍。
權利要求
1.一種修整器裝置，包括至少一個修整器和控制裝置；其特征在于，所述控制裝置包括真空測量器、適于將所述真空測量器連通至真空環(huán)境的第一真空管、分別連通至所述至少一個修整器且與所述修整器的數(shù)量匹配的第三真空管、分別連接至所述第三真空管且與所述第三真空管的數(shù)量匹配的連接部件、以及連接至所述第一真空管、真空測量器和一個連接部件的第二真空管；還包括在連接部件為兩個以上時連通所述連接部件的中間真空管；其中，所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)。
2.根據(jù)權利要求1所述的修整器裝置，其特征在于，所述第二真空管的長度大于其與第一真空管、真空測量器的連接點和與其連接的連接部件之間的距離。
3.根據(jù)權利要求1所述的修整器裝置，其特征在于，在連接部件為兩個以上時所述中間真空管的長度大于其兩端連接的連接部件之間的距離。
4.根據(jù)權利要求1所述的修整器裝置，其特征在于，所述修整器的數(shù)量為一個。
5.根據(jù)權利要求1所述的修整器裝置，其特征在于，所述修整器的數(shù)量為兩個以上。
6.根據(jù)權利要求1所述的修整器裝置，其特征在于，在所述修整器和連接部件之間還設置有控制閥門，所述控制閥門用于控制所述第三真空管的開啟和關閉。
7.一種根據(jù)權利要求1所述的修整器裝置的檢測方法，其特征在于，包括確定所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)；如對真空測量器進行檢測，關閉所述第二真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述真空測量器正常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述真空測量器異常；如對任一修整器及其對應的連接部件進行檢測，關閉連接至修整器的第三真空管，且在連接部件為兩個以上時關閉連接至對應該修整器的連接部件的、處于修整器和真空測量器之間的氣路外的中間真空管，若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)沒有改變，則確定所述連接部件正常，所述修整器異常；若所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)發(fā)生改變，則確定所述連接部件異常。
8.根據(jù)權利要求7所述的修整器裝置的檢測方法，其特征在于，關閉所述第二真空管、 關閉所述中間真空管的方式包括如下任一種折疊所述第二真空管、所述中間真空管，以使所述第二真空管、所述中間真空管處于關閉狀態(tài)；在所述第二真空管、所述中間真空管上設置開關閥門，并將所述開關閥門調(diào)至關閉狀態(tài)，以使所述第二真空管、所述中間真空管處于關閉狀態(tài)。
9.根據(jù)權利要求7所述的修整器裝置的檢測方法，其特征在于，所述真空測量器的測量數(shù)據(jù)為第一真空管、第二真空管、第三真空管以及中間真空管內(nèi)的真空壓強值。
全文摘要
一種修整器裝置及其檢測方法，其中所述修整器裝置包括至少一個修整器和控制裝置；所述控制裝置包括真空測量器、適于將所述真空測量器連通至真空環(huán)境的第一真空管、分別連通至所述至少一個修整器且與所述修整器的數(shù)量匹配的第三真空管、分別連接至所述第三真空管且與所述第三真空管的數(shù)量匹配的連接部件、以及連接至所述第一真空管、真空測量器和一個連接部件的第二真空管；還包括在連接部件為兩個以上時連通所述連接部件的中間真空管；其中，所述中間真空管和第二真空管均具有開啟和關閉兩種狀態(tài)。本技術方案減少了對現(xiàn)有修整器裝置進行檢測所述耗費的時間成本和人力成本，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號B24B53/12GK102343553SQ20111030014
公開日2012年2月8日 申請日期2011年9月28日 優(yōu)先權日2011年9月28日
發(fā)明者劉波, 陳洪雷 申請人:上海宏力半導體制造有限公司