專利名稱：靶材裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
靶材裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及一種濺鍍設(shè)備，特別是涉及一種濺鍍設(shè)備的靶材裝置。
技術(shù)背景[0002]一般濺鍍裝置包含一個腔體、一個安裝在腔體內(nèi)的背板、一個與該背板結(jié)合的 靶材，及一個待濺鍍表面。在施行濺鍍時，是利用高電壓在該靶材與該待濺鍍表面間產(chǎn) 生電漿，而該靶材在經(jīng)過電漿撞擊后會產(chǎn)生游離而飛濺的原子，并沉積在該待濺鍍表面 上，進而產(chǎn)生薄膜，達到在該待濺鍍表面鍍上預(yù)定材料層的目的。靶材受到電漿撞擊 后，會產(chǎn)生高溫，因此為了降低靶材的溫度，該背板會包括數(shù)個流道，并在流道內(nèi)灌注 冷卻液以達到降低靶材溫度的功能。而在待濺鍍面積較大而需要較大靶材的情況下，流 道的長度也隨之變長，并且增加了每一單位冷卻液在流道內(nèi)的時間，使得鄰近流道末端 的冷卻液的溫度過高，而無法發(fā)揮冷卻效果。因此，一般濺鍍裝置運用在濺鍍大面積 時，的確具有冷卻不平均，及冷卻效率低的情形。發(fā)明內(nèi)容[0003]本實用新型的目的在于提供一種可均勻地冷卻而提高冷卻效率，并且具有良好 適應(yīng)性的靶材裝置。[0004]本實用新型的靶材裝置包含一個第一背板機構(gòu)，該第一背板機構(gòu)包括一個第 一板單元，及一個安裝在該第一板單元上的第一靶材，該第一板單元具有一個第一上板 面、一個與該第一靶材貼靠的第一下板面、數(shù)個自該第一上板面凹陷且彼此連通地并排 的第一主流道，及數(shù)個貫穿該第一上板面而與所述第一主流道連通的第一注水口；其特 征在于該靶材裝置還包含一個與該第一背板機構(gòu)拼接的第二背板機構(gòu)，及一個可卡合 地位在該第一背板機構(gòu)與該第二背板機構(gòu)間的第一接合機構(gòu)，該第二背板機構(gòu)包括一個 可利用該第一接合機構(gòu)地與該第一板單元拼接的第二板單元，及一個安裝在該第二板單 元上的第二靶材，該第二板單元具有一個第二上板面、一個與該第二靶材貼靠的第二下 板面、數(shù)個自該第二上板面凹陷且彼此連通地并排的第二主流道，及兩個貫穿該第二上 板面地與所述第二主流道連通的第二注水口。[0005]本實用新型靶材裝置還包含一個第三背板機構(gòu)，及一個可卡合地拼接該第一背 板機構(gòu)與第三背板機構(gòu)的第二接合機構(gòu)，該第三背板機構(gòu)包括一個第三板單元，及一個 安裝在該第三板單元上的第三靶材，該第三板單元具有一個第三上板面、一個第三下板 面、數(shù)個自該第三上板面凹陷且彼此連通地并排的第三主流道，及兩個貫穿該第三上板 面地連通所述第三主流道的第三注水口。[0006]本實用新型靶材裝置的第一板單元還具有兩條平行的第一橫邊，及兩條平行的 第一縱邊，所述第一縱邊與所述第一主流道平行，該第二板單元還具有兩條平行的第二 橫邊，及兩條平行的第二縱邊，所述第二縱邊與所述第二主流道平行，該第一接合機構(gòu) 包括一個位在其中一個第一縱邊與其中一個第二縱邊中之一者的第一接合溝，及一個設(shè)置在該第一縱邊與該第二縱邊其中之另一者上的第一接合條，且該第一接合條可與該第 一接合溝卡合。[0007]本實用新型靶材裝置的第三板單元還具有兩條平行的第三橫邊，及兩條平行的 第三縱邊，所述第三縱邊與所述第三主流道平行，該第二接合機構(gòu)包括一個設(shè)置在另一 個第一縱邊與其中一個第三縱邊中之一者的第二接合溝，及一個設(shè)置在該另一個第一縱 邊與該第三縱邊其中之另一者上的第二接合條，且該第二接合條可與該第二接合溝卡合。[0008]本實用新型靶材裝置的第一板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第一橫邊且連通兩 相鄰的第一主流道的第一彎流道，該第二板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第二橫邊且連 通兩相鄰的第二主流道的第二彎流道，所述第一注水口分別位在其中一個第一橫邊的兩 相反端，所述第二注水口分別位在其中一個第二橫邊的兩相反端。[0009]本實用新型靶材裝置的第三板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第三橫邊且連通兩 相鄰的第三主流道的第三彎流道，所述第三注水口分別位在其中一個第三橫邊的兩相反 端。[0010]本實用新型的有益效果在于因為該第一背板機構(gòu)與該第二背板機構(gòu)利用該第 一接合機構(gòu)而拼接成一體，并具有可獨立冷卻的第一主流道及第二主流道，因此可均勻 地冷卻該第一靶材與第二靶材，而提高冷卻效率，并具有良好適應(yīng)性。


[0011]圖1是一個俯視圖，顯示本實用新型靶材裝置的一個較佳實施例，及其未裝設(shè) 數(shù)個流道蓋的情形；[0012]圖2是一個部分剖視側(cè)視圖，顯示該靶材裝置的一個第一背板機構(gòu)的其中一個 第一注水口與其中一個第一主流道連通的情形；[0013]圖3是一個部分立體分解圖，顯示該第一背板機構(gòu)；[0014]圖4是一個部分剖視分解圖，主要顯示該靶材裝置的一個第一接合機構(gòu)與一個 第二接合機構(gòu)。
具體實施方式
[0015]
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。[0016]參閱圖1、2、3，本實用新型靶材裝置，可在濺鍍時與一個濺鍍腔體(圖未示) 組裝，并可與冷卻液(圖未示)配合達到冷卻功能，該靶材裝置包含一個矩形的第一 背板機構(gòu)1、一個位在該第一背板機構(gòu)1 一側(cè)且與該第一背板機構(gòu)1拼接的第二背板機構(gòu) 2、一個位在該第一背板機構(gòu)1另一側(cè)的第三背板機構(gòu)3、一個可卡合地位在該第一背板 機構(gòu)1與第二背板機構(gòu)2間的第一接合機構(gòu)4，及一個可卡合地位在該第一背板機構(gòu)1與 第三背板機構(gòu)3間的第二接合機構(gòu)5。[0017]該第一背板機構(gòu)1包括一個第一板單元11，及一個安裝在該第一板單元11上的 第一靶材12。該第一板單元11是矩形，并且具有兩條平行的分別對應(yīng)長邊的第一橫邊 111、兩條平行的分別對應(yīng)短邊的第一縱邊112、一個朝上的第一上板面113、一個朝下 并與該第一靶材12貼靠的第一下板面114、數(shù)條自該第一上板面113凹陷且彼此連通地并排的第一主流道115、數(shù)條弧形彎曲地連通兩相鄰的第一主流道115的第一彎流道116、 兩個貫穿該第一上板面113的第一注水口 117、一個裝設(shè)在該第一上板面113上的第一流 道蓋118，及數(shù)個沿所述第一橫邊111間隔排列的第一組裝孔119。[0018]所述第一注水口 117是間隔地位在其中一個第一橫邊111的兩相反端，并鄰近該 第一上板面113的轉(zhuǎn)角處，且分別與鄰近所述第一縱邊112的第一主流道115相連通。所 述第一主流道115都沿所述第一縱邊112方向延伸，并且彼此間隔地沿所述第一橫邊111 方向并列。所述第一彎流道116是沿所述第一橫邊111設(shè)置，且彼此交錯地分別位在所 述第一主流道115的兩端，并將所述第一主流道115連通成一條蜿蜒且固定路徑的流道。 所述第一流道蓋118是用以密封所述第一主流道115與第一彎流道116，并使該第一板單 元11的表面平整。所述第一組裝孔119是貫穿該第一上板面113與第一下板面114，并 可與數(shù)個螺絲(圖未示)配合，而將該第一背板機構(gòu)1安裝在該濺鍍腔體(圖未示)上。 在使用時，可從其中一個第一注水117將冷卻液(圖未示)灌入該第一板單元11內(nèi)，此 時冷卻液會沿著所述第一主流道115與第一彎流道116流動，再由另一個第一注水117排 出。因為冷卻液是沿著一條流道蜿蜒地流動，因此可平均地冷卻該第一靶材12。[0019]參閱圖1、3、4，該第二背板機構(gòu)2及第三背板機構(gòu)3的結(jié)構(gòu)與外型與該第一 背板機構(gòu)1相同，并且該第二背板機構(gòu)2對應(yīng)該第一背板機構(gòu)1而包括一個第二板單元 21，及一個安裝在該第二板單元21上的第二靶材22。該第二板單元21是對應(yīng)該第一板 單元11，而同樣地具有兩條平行的第二橫邊211、兩條平行的第二縱邊212、一個第二上 板面213、一個與該第二靶材22貼靠的第二下板面214、數(shù)條自該第二上板面213凹陷且 彼此連通地并排的第二主流道215、數(shù)條彎曲且分別交錯地連通相鄰的第二主流道215的 第二彎流道216、兩個貫穿該第二上板面213且與所述第二主流道215連通的第二注水口 217、一個第二流道蓋218，及數(shù)個第二組裝孔219。另一方面，該第三背板機構(gòu)3包括一 個第三板單元31，及一個安裝在該第三板單元31上的第三靶材32。該第三板單元31對 應(yīng)該第一板單元11，也具有兩條平行的第三橫邊311、兩條平行的第三縱邊312、一個第 三上板面313、一個第三下板面314、數(shù)條自該第三上板面313凹陷且彼此連通地并排的 第三主流道315、數(shù)條分別鄰近所述第三橫邊311且連通兩相鄰的第三主流道315的第三 彎流道316、兩個分別位在其中一個第三橫邊311的兩相反端的第三注水口 317、一個第 三流道蓋318，及數(shù)個第三組裝孔319。因此該第二背板機構(gòu)2與第三背板機構(gòu)3同樣可 利用所述第二注水口 217與第三注水口 317，及所述第二主流道215與第三主流道315， 并與所述第二彎流道216、第三彎流道316相配合，使冷卻液(圖未示)可蜿蜒地自其中 一個第二注水口 217向另一個第二注水口 217流動，且自其中一個第三注水口 317向另一 個第三注水口 317流動，達到平均冷卻的目的。[0020]本實施例的第一接合機構(gòu)4包括一個位在其中一個第二縱邊212上的第一接合溝 41，及一個位在其中一個第一縱邊112上的第一接合條42。該第一接合條42是長條形延 伸，并且與該第一上板面113齊平地突出其中一個第一縱邊112。而該第一接合溝41是 長條形，并自該第二上板面213向下凹陷，且可容置該第一接合條42而彼此卡合。需要 說明的是，所述第一接合溝41與第一接合條42的位置不以本實施例為限，也可以將該第 一接合溝41設(shè)置在其中一個第一縱邊112上，而將該第一接合條42設(shè)置在其中一個第二 縱邊212上。[0021]該第二接合機構(gòu)5的結(jié)構(gòu)與該第一接合機構(gòu)4相同，且分別與該第一接合機構(gòu)4 位在該第一板單元11的兩相反側(cè)，并也包括一個第二接合溝51，及一個第二接合條52。 所述第二接合條52是位在該第一板單元11的另一個第一縱邊112上，而該第二接合溝51 是位在該第三板單元31的其中一個第三縱邊312上。[0022]在組裝時，是先將該第一接合條42卡設(shè)在該第一接合溝41內(nèi)，使該第二板單元 21與第一板單元11以其中一個第一縱邊112與第二縱邊212并靠的方式，拼接成一體， 此時，所述第一橫邊111與第二橫邊211平整地銜接。再以同樣的方式，將該第二接合 條52卡設(shè)在該第二接合溝51內(nèi)，而將該第一板單元11與第三板單元31拼接成一體，此 時所述第一注水口 117、第二注水口 217及第三注水口 317是呈一直線地排列。本實用新 型是利用該第一接合機構(gòu)4與第二接合機構(gòu)5將所述第二背板機構(gòu)2及第三背板機構(gòu)3定 位在該第一背板機構(gòu)1的兩相反側(cè)，借此擴大濺鍍面積。因為該第一接合機構(gòu)4及第二 接合機構(gòu)5主要是用來定位，因此可以是任意可互相卡設(shè)的裝置，并不以本實施例的長 條形為限。[0023]需要說明的是，在該第一接合條42與第二接合溝51是設(shè)置在該第一板單元11 上，或該第一接合溝41與第二接合條52是設(shè)置在該第一板單元11上的情況下，也就是 該第一板單元11的兩側(cè)是互補的形式，此時，該第一背板機構(gòu)1的數(shù)目不需以所述實施 例為限，也可以多個第一背板機構(gòu)1彼此拼接，再與所述的第二與第三背板機構(gòu)2、3組 裝，并配合濺鍍面積來調(diào)整拼接的數(shù)目，使本實用新型具有適應(yīng)性高的優(yōu)點。[0024]此外，所述第一背板機構(gòu)1、第二背板機構(gòu)2及第三背板機構(gòu)3都具有獨立的用 以冷卻的裝置，也就是所述的第一主流道115、第二主流道215及第三主流道315，與該 第一彎流道116、第二彎流道216及第三彎流道316，而可克服濺鍍面積過大時冷卻液在 末端因溫度過高而無法有效發(fā)揮冷卻效果的缺點，因此本實用新型還可達到提高冷卻均 勻度及冷卻效率的目的。[0025]值得一提的是，本實用新型的所述第一主流道115、第二主流道215、第三主流 道315分別相連通地平均分布在所述第一板單元11、第二板單元21、第三板單元31內(nèi)， 并且所述冷卻液可沿所述第一彎流道116、第二彎流道216、第三彎流道316而蜿蜒地流 動，進而可更均勻地冷卻所述第一靶材12、第二靶材22、第三靶材32。權(quán)利要求1.一種靶材裝置，包含一個第一背板機構(gòu)，該第一背板機構(gòu)包括一個第一板單 元，及一個安裝在該第一板單元上的第一靶材，該第一板單元具有一個第一上板面、一 個與該第一靶材貼靠的第一下板面、數(shù)個自該第一上板面凹陷且彼此連通地并排的第一 主流道，及數(shù)個貫穿該第一上板面地與所述第一主流道連通的第一注水口；其特征在 于該靶材裝置還包含一個與該第一背板機構(gòu)拼接的第二背板機構(gòu)，及一個可卡合地 位在該第一背板機構(gòu)與該第二背板機構(gòu)間的第一接合機構(gòu)，該第二背板機構(gòu)包括一個可 利用該第一接合機構(gòu)而與該第一板單元拼接的第二板單元，及一個安裝在該第二板單元 上的第二靶材，該第二板單元具有一個第二上板面、一個與該第二靶材貼靠的第二下板 面、數(shù)個自該第二上板面凹陷且彼此連通地并排的第二主流道，及兩個貫穿該第二上板 面地與所述第二主流道連通的第二注水口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材裝置，其特征在于該第一板單元還具有兩條平行的 第一橫邊，及兩條平行的第一縱邊，所述第一縱邊與所述第一主流道平行，該第二板單 元還具有兩條平行的第二橫邊，及兩條平行的第二縱邊，所述第二縱邊與所述第二主流 道平行，該第一接合機構(gòu)包括一個位在其中一個第一縱邊與其中一個第二縱邊中之一者 的第一接合溝，及一個設(shè)置在該第一縱邊與該第二縱邊其中之另一者上的第一接合條， 且該第一接合條可與該第一接合溝卡合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材裝置，其特征在于該第一板單元還具有數(shù)個分別鄰 近所述第一橫邊且連通兩相鄰的第一主流道的第一彎流道，該第二板單元還具有數(shù)個分 別鄰近所述第二橫邊且連通兩相鄰的第二主流道的第二彎流道，所述第一注水口分別位 在其中一個第一橫邊的兩相反端，所述第二注水口分別位在其中一個第二橫邊的兩相反 端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材裝置，其特征在于該靶材裝置還包含一個第三背板 機構(gòu)，及一個可卡合地拼接該第一背板機構(gòu)與第三背板機構(gòu)的第二接合機構(gòu)，該第三背 板機構(gòu)包括一個第三板單元，及一個安裝在該第三板單元上的第三靶材，該第三板單元 具有一個第三上板面、一個第三下板面、數(shù)個自該第三上板面凹陷且彼此連通地并排的 第三主流道，及兩個貫穿該第三上板面地連通所述第三主流道的第三注水口。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的靶材裝置，其特征在于該第一板單元還具有兩條平行 的第一橫邊，及兩條平行的第一縱邊，所述第一縱邊與所述第一主流道平行，該第二板 單元還具有兩條平行的第二橫邊，及兩條平行的第二縱邊，所述第二縱邊與所述第二主 流道平行，該第一接合機構(gòu)包括一個設(shè)置在其中一個第一縱邊與其中一個第二縱邊中之 一者的第一接合溝，及一個設(shè)置在該第一縱邊與該第二縱邊其中之另一者上的第一接合 條，且該第一接合條可與該第一接合溝卡合，該第三板單元還具有兩條平行的第三橫 邊，及兩條平行的第三縱邊，所述第三縱邊與所述第三主流道平行，該第二接合機構(gòu)包 括一個設(shè)置在另一個第一縱邊與其中一個第三縱邊中之一者的第二接合溝，及一個設(shè)置 在該另一個第一縱邊與該第三縱邊其中之另一者上的第二接合條，且該第二接合條可與 該第二接合溝卡合
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靶材裝置，其特征在于該第一板單元還具有數(shù)個分別鄰 近所述第一橫邊且連通兩相鄰的第一主流道的第一彎流道，該第二板單元還具有數(shù)個分 別鄰近所述第二橫邊且連通兩相鄰的第二主流道的第二彎流道，該第三板單元還具有數(shù)個分別鄰近所述第三橫邊且連通兩相鄰的第三主流道的第三彎流道，所述第一注水口分 別位在其中一個第一橫邊的兩相反端，所述第二注水口分別位在其中一個第二橫邊的兩 相反端，所述第三注水口分別位在其中一個第三橫邊的兩相反端。
專利摘要一種靶材裝置包含一個第一背板機構(gòu)、一個可與該第一背板機構(gòu)拼接的第二背板機構(gòu)，及一個第一接合機構(gòu)。該第一背板機構(gòu)包括一個第一板單元，及一個安裝在該第一板單元上的第一靶材。該第一板單元具有一個第一上板面、一個第一下板面、數(shù)個自該第一上板面凹陷且彼此連通地并排的第一主流道，及數(shù)個貫穿該第一上板面而連通所述第一主流道的第一注水口。該第二背板機構(gòu)的結(jié)構(gòu)與外型與該第一背板機構(gòu)相同。所述第一接合機構(gòu)可卡合地拼接第一背板機構(gòu)的第一板單元與第二背板機構(gòu)的第二板單元，而提高適應(yīng)性，并達到均勻地冷卻的效果。
文檔編號C23C14/34GK201809435SQ20102056606
公開日2011年4月27日 申請日期2010年10月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月19日
發(fā)明者鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司