專利名稱：水浴沉積鍍膜槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及太陽能電池面板技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種應(yīng)用于太陽能電池面 板基板鍍膜工藝中的水浴沉積鍍膜槽，利用化學(xué)方法制備CdS、ZnS或Zn (OH)等薄膜。
背景技術(shù)：
太陽能作為一種綠色可再生能源，具有無污染、無地域限制、全天候利用等優(yōu) 點(diǎn)，越來越受到人們的青睞和重視。太陽能的利用方式之一是通過光電轉(zhuǎn)換器件將太陽 能轉(zhuǎn)換為電能，然后再對轉(zhuǎn)換后的電能加以利用。目前商業(yè)化的太陽能電池主要有單晶硅、多晶硅及薄膜電池，薄膜電池中主要 包括硅基薄膜、CdTe與CIGS。而薄膜電池由于其成本低、易集成、更容易大面積生產(chǎn) 而越來越受到關(guān)注?，F(xiàn)階段制約太陽能電池發(fā)展及推廣的主要因素就是生產(chǎn)成本，而其中生產(chǎn)設(shè)備 成本則占了相當(dāng)一部分比例。在太陽能電池生產(chǎn)中有許多步驟可以利用化學(xué)方法。如減 反射膜Si02、CdTe電池中的CdS、CIGS電池中的CdS、ZnS或ZnS (OH)等薄膜。因
而，有必要設(shè)計一種簡單、方便、成本低的裝置，以實(shí)現(xiàn)對基板進(jìn)行化學(xué)水浴鍍膜。

實(shí)用新型內(nèi)容因此，本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)水浴沉積鍍膜槽，本實(shí)用新型的鍍 膜槽結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，可應(yīng)用于太陽能電池面板基板的鍍膜工藝，以制備CdS、ZnS 或ZnS (OH)薄膜。本實(shí)用新型提供的一種化學(xué)水浴沉積鍍膜槽，應(yīng)用于太陽能電池薄膜的制備工 藝中；該鍍膜槽包括，由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側(cè)壁形成的凹槽，以及設(shè) 置于所述凹槽中的攪拌裝置，所述攪拌裝置對所述凹槽中的盛放物進(jìn)行攪拌。優(yōu)選的，所述凹槽為包括內(nèi)槽和外槽的雙層結(jié)構(gòu)，所述外槽套接于所述內(nèi)槽之 外，且所述內(nèi)槽的外壁和外槽的內(nèi)壁壁之間設(shè)置有距離，形成容置空間。優(yōu)選的，所述攪拌裝置為由其中一側(cè)壁中央向相對側(cè)壁延伸的攪拌手，所述攪 拌手的長度小于該兩相對側(cè)壁之間的距離，所述攪拌手以所述側(cè)壁中央為中心并沿所述 內(nèi)槽底面擺動的方式對內(nèi)槽中的盛放物攪拌?？蛇x的，所述攪拌手?jǐn)[動角為180度。優(yōu)選的，所述攪拌手為板狀結(jié)構(gòu)，且其板面垂直于所述內(nèi)槽的底面。優(yōu)選的，所述板狀結(jié)構(gòu)的攪拌手上沿其厚度方向還設(shè)置有通孔。優(yōu)選的，所述攪拌手的自由端為斜楔形結(jié)構(gòu)。優(yōu)選的，所述攪拌手的非擺動端設(shè)置有攪拌臂，所述攪拌臂的一端與攪拌手固 定連接，另一端沿所述凹槽的側(cè)壁向上并向外伸出所述凹槽。優(yōu)選的，所述攪拌臂伸出凹槽側(cè)壁之外的端部與一轉(zhuǎn)動軸固定連接，所述轉(zhuǎn)動 軸的軸線與所述凹槽底面垂直；所述轉(zhuǎn)動軸與一動力裝置連接。
4[0015]優(yōu)選的，所述動力裝置為步進(jìn)電機(jī)。優(yōu)選的，所述步進(jìn)電機(jī)動力輸出軸平行于所述凹槽底面設(shè)置，通過一對換向齒 輪副與所述轉(zhuǎn)動軸連接。可選的，所述步進(jìn)電機(jī)垂直放置，其動力輸出端直接與所述轉(zhuǎn)動軸連接?？蛇x的，所述內(nèi)槽的深度為10厘米，長度為130厘米，寬度為65厘米?？蛇x的，在所述水浴沉積鍍膜槽底壁下面還設(shè)置有加熱裝置?？蛇x的，所述加熱裝置為電爐絲。可選的，在所述凹槽的開口側(cè)的側(cè)壁上設(shè)置有墊片，用于對設(shè)置于其上的太陽 能電池面板基板提供支撐和密封?？蛇x的，所述容置空間中設(shè)置溶液作為加熱媒介?？蛇x的，還包括控制反饋系統(tǒng)，以設(shè)定控制水浴加熱的溫度、時間，設(shè)定控制 攪拌手?jǐn)嚢璧念l率、幅度及時間。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的水浴沉積鍍膜槽，包括由長方形底壁及沿 所述底壁邊緣圍置的側(cè)壁形成的凹槽，以及設(shè)置于所述凹槽中的攪拌裝置，所述攪拌裝 置對所述凹槽中的盛放物進(jìn)行攪拌，通過在所述水浴沉積鍍膜槽中設(shè)置鍍膜溶液，在水 浴沉積鍍膜槽槽口覆蓋基板，可實(shí)施對所述基板進(jìn)行鍍膜的工藝；本實(shí)用新型的水浴沉 積鍍膜槽結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，制造成本低；此外，該鍍膜槽還可以豎直放置進(jìn)行鍍膜操作，可以消除水平放置時化學(xué)溶液 對玻璃基板的不均勻覆蓋，提高在基板上鍍膜層的均勻性。在本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述攪拌裝置為攪拌手，且所述攪拌手為板 狀結(jié)構(gòu)，在所述板狀結(jié)構(gòu)上可以設(shè)置若干通孔，從而減少攪拌時的阻力，而且，所述攪 拌手的自由端還可以設(shè)置成斜楔形結(jié)構(gòu)，以減輕攪拌手?jǐn)[動時溶液泛起的波浪，避免溶 液四處濺射。在本實(shí)用新型的優(yōu)選技術(shù)方案中，所述攪拌手還可以通過攪拌臂與動力裝置連 接，所述動力裝置可以為步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)與攪拌臂之間通過換向齒輪副連接；步進(jìn) 電機(jī)動力輸出軸平行于凹槽底面設(shè)置，使得步進(jìn)電機(jī)的設(shè)置空間范圍擴(kuò)大，便于靈活設(shè) 置其位置，不必在限制于凹槽側(cè)壁旁邊；此外，由于中間過渡件換向齒輪副，步進(jìn)電機(jī) 自身的震動不會傳遞至轉(zhuǎn)動軸，有利于整個水浴沉積鍍膜槽機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性。

通過附圖中所示的本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例的更具體說明，本實(shí)用新型的上述 及其它目的、特征和優(yōu)勢將更加清晰。在全部附圖中相同的附圖標(biāo)記指示相同的部分。 并未刻意按比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。圖1為本實(shí)用新型的化學(xué)水浴沉積鍍膜槽的實(shí)施例的主視示意圖；圖2為本實(shí)用新型的化學(xué)水浴沉積鍍膜槽的實(shí)施例的俯視示意圖；圖3為本實(shí)用新型的化學(xué)水浴沉積鍍膜槽的實(shí)施例的左視示意圖；圖4為圖3中框A部分放大后的示意圖；圖5為圖1中所示的凹槽的其中一種的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，所述示意圖是說明性的，而非限制性的，在此不能過度限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對 本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于 充分理解本實(shí)用新型。但是本實(shí)用新型能夠以很多不同于在此描述的其它方式來實(shí)施， 本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在不違背本實(shí)用新型內(nèi)涵的情況下做類似推廣。因此本實(shí)用新型不 受下面公開的具體實(shí)施的限制。實(shí)施例一圖1為本實(shí)用新型的化學(xué)水浴沉積鍍膜槽的實(shí)施例的主視示意圖；圖2為本實(shí)用 新型的化學(xué)水浴沉積鍍膜槽的實(shí)施例的俯視示意圖；圖3為本實(shí)用新型的化學(xué)水浴沉積 鍍膜槽的實(shí)施例的左視示意圖。請參考圖1、圖2和圖3，本實(shí)用新型的實(shí)施例的水浴沉積鍍膜槽包括凹槽1和 攪拌裝置2。其中，所述凹槽1包括長方形的底壁以及沿所述底壁邊緣圍置的側(cè)壁。底壁和 側(cè)壁之間以及相鄰側(cè)壁之間無縫連接，使得中間形成可盛放溶液的凹槽。所述凹槽1用 于盛放應(yīng)用于太陽能電池面板基板的鍍膜工藝的溶液，以制備CdS、ZnS或ZnS(OH)薄膜。所述凹槽1的底壁以及側(cè)壁的材質(zhì)可以金屬材質(zhì)，也可以是非金屬介質(zhì)材質(zhì)。 所述凹槽1的深度以及長寬尺寸可以根據(jù)工藝需要以及太陽能電池面板基板的尺寸而設(shè) 計，例如，本實(shí)施例中，所述凹槽的深度可以是10厘米，凹槽1水平方向截面的長寬分 別為130厘米和65厘米。本實(shí)施例中，所述凹槽1水平方向截面為長方形。特殊的， 其也可以是正方形。此外，所述凹槽1可以雙層結(jié)構(gòu)。如圖5所示，本實(shí)施例中，所述凹槽1為包 括內(nèi)槽1-2和外槽1-1的雙層結(jié)構(gòu)，所述外槽1-1套接于所述內(nèi)槽1-2之外，在所述內(nèi)槽 1-2的外壁與所述外槽1-1的內(nèi)壁之間設(shè)置有一定的距離，從而在內(nèi)槽1-2和外槽1-1之 間形成一容置空間，該容置空間可以容置作為加熱媒介的溶液。所述內(nèi)槽1-2中可盛放 用于鍍膜的溶液，待鍍膜基板1-3覆蓋于所述內(nèi)槽1-2之上。該結(jié)構(gòu)通過中間容置空間 的加熱媒介，有利于控制鍍膜溶液的溫度以及溫度的均勻性，從而有利于提高鍍膜的質(zhì) 量。在下面的實(shí)施例中，以圖5所示的雙層結(jié)構(gòu)為例進(jìn)行說明。但是需要說明的是，本 實(shí)用新型中并不必然的選擇雙層結(jié)構(gòu)的凹槽，其也可以是單層結(jié)構(gòu)或者多層結(jié)構(gòu)或者其 它結(jié)構(gòu)。在本實(shí)施例中，所述內(nèi)槽中設(shè)置有攪拌裝置2，所述攪拌裝置2用于對盛放于內(nèi) 槽中的鍍膜溶液進(jìn)行攪拌。以保證溶液中溶質(zhì)濃度的均勻性以及在對溶液進(jìn)行加熱時溫 度的均勻性。本實(shí)施例中，所述攪拌裝置2為攪拌手2。所述攪拌手2在所述內(nèi)槽中的設(shè)置方 式如下所述攪拌手2由其中一側(cè)壁中央向相對側(cè)壁延伸，且該攪拌手2可以以所述側(cè)壁 中央為中心并沿所述內(nèi)槽的底面擺動的方式設(shè)置于所述內(nèi)槽中，其擺動方向如圖2中的 箭頭2-1所示。通過所述攪拌手2的擺動，可實(shí)現(xiàn)對內(nèi)槽中的盛放物(即鍍膜溶液)進(jìn)行攪拌。其中，所述攪拌手2的長度需要小于上述兩相對側(cè)壁之間的距離，以便其能夠 在內(nèi)槽中以足夠大的擺動角2-2 (其中所述擺動角2-2為所述攪拌手相兩邊擺動至最大角 度時的夾角)進(jìn)行擺動。所述攪拌手2的擺動角2-2以及擺動的頻率可以據(jù)工藝實(shí)際需 要而確定，這里不再詳細(xì)贅述。本實(shí)施例中，所述擺動角2-2為180度。所述的攪拌手2可以是板狀結(jié)構(gòu)，設(shè)置于內(nèi)槽中時，板面垂直于內(nèi)槽的底面， 在所述板狀結(jié)構(gòu)的攪拌手2上還可以設(shè)置若干通孔，以減小擺動時的阻力。所述攪拌手 2的自由端還可以設(shè)置成斜楔形結(jié)構(gòu)，以減輕攪拌手2擺動時溶液泛起的波浪，避免溶液 四處濺射。此外，所述攪拌手2還可以設(shè)置為平行的兩塊面板，當(dāng)面板設(shè)置于內(nèi)槽中央 時，兩面板平行設(shè)置，且面板的板面垂直于內(nèi)槽的底面。在擺動時，兩面板向相反方向 分離，至最大角度時，在相向擺動至中央。但是兩塊面板的結(jié)構(gòu)不如上述的一塊面板的 情形結(jié)構(gòu)簡單。本實(shí)施例中以所述攪拌手僅有一塊面板的情形為例進(jìn)行說明。此外，在所述攪拌手2的非擺動端還可以設(shè)置攪拌臂2-4。如圖4所示，其中， 圖4為圖3中框A部分放大后的示意圖。所述攪拌臂2-4的一端與所述攪拌手2固定連 接，另一端沿所述內(nèi)槽側(cè)壁向上并向外伸出所述凹槽1之外。所述攪拌臂2-4與攪拌手2 之間可以通過連接件固定連接，也可以一體成型。通過對攪拌臂2-4進(jìn)行控制，可以實(shí) 現(xiàn)攪拌手2的擺動。其中，控制攪拌臂2-4實(shí)現(xiàn)攪拌手2進(jìn)行擺動的方式之一是將攪拌臂2-4伸出所 述凹槽1側(cè)壁之外的端部與一轉(zhuǎn)動軸5-1固定連接為一體，所述轉(zhuǎn)動軸5-1的旋轉(zhuǎn)軸線與 所述凹槽1的底面相垂直。所述轉(zhuǎn)動軸5-1穿過一軸承5-2，并可以在所述軸承中轉(zhuǎn)動。 將所述轉(zhuǎn)動軸5-1與一動力裝置連接，通過該動力裝置驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸5-1往返轉(zhuǎn)動，從而使 得攪拌手2擺動。本實(shí)施例中，該動力裝置可以是步進(jìn)電機(jī)。當(dāng)然，也可以使用其它動 力裝置。通過步進(jìn)電機(jī)可以帶動轉(zhuǎn)動軸5-1做往返轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)動軸5-1進(jìn)一步通過與其固定 連接的攪拌臂2-4帶動攪拌手2做擺動，從而可實(shí)現(xiàn)對內(nèi)槽中的鍍膜溶液進(jìn)行攪拌。所 述的軸承5-2可以是滑動軸承，也可以是滾動軸承，任何能夠?qū)崿F(xiàn)轉(zhuǎn)動軸5-1在其中做轉(zhuǎn) 動的結(jié)構(gòu)或部件均可應(yīng)用于此。此外，所述步進(jìn)電機(jī)的動力輸出端可以直接和所述轉(zhuǎn)動軸5-1連接，將動力傳 遞至轉(zhuǎn)動軸5-1。此時，所述步進(jìn)電機(jī)需要垂直方式設(shè)置，其可以設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動軸5-1 的下方，動力輸出軸向上伸出與轉(zhuǎn)動軸5-1相連接；也可以設(shè)置于轉(zhuǎn)動軸5-1的上方，動 力輸出軸向下伸出與轉(zhuǎn)動軸5-1相連接?？筛鶕?jù)實(shí)際的需要確定步進(jìn)電機(jī)的設(shè)置位置。 然而，這種直接輸出傳遞動力的方式一方面由于緊鄰凹槽1，空間有限，不易設(shè)置動力裝 置；另一方面動力裝置在轉(zhuǎn)動時的震動也會傳遞至轉(zhuǎn)動軸5-1，從而會影響水浴沉積鍍 膜槽整體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性，而且也會對鍍膜工藝造成一定的影響?；诖耍稍O(shè)置另外的動力傳動方式。請參考附圖4。如圖4所示，仍以步進(jìn)電機(jī)作為動力裝置，步進(jìn)電機(jī)3的動力輸出軸平行于凹 槽1底面設(shè)置，且該步進(jìn)電機(jī)3的動力輸出軸朝向所述凹槽1，通過一對換向齒輪副將步 進(jìn)電機(jī)3與轉(zhuǎn)動軸5-1連接。其中，換向齒輪副包括齒輪4-1和齒輪4-2，所述齒輪4-1 設(shè)置于所述步進(jìn)電機(jī)3的動力輸出軸上，齒輪4-2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)動軸5-1上，兩齒輪相嚙合。通過所述的換向齒輪副，可實(shí)現(xiàn)相互垂直方向轉(zhuǎn)動軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的轉(zhuǎn)換。從而可實(shí) 現(xiàn)步進(jìn)電機(jī)3對轉(zhuǎn)動軸5-1乃至攪拌手的控制。由于步進(jìn)電機(jī)3動力輸出軸平行于凹槽 1底面設(shè)置，設(shè)置空間范圍擴(kuò)大，便于靈活設(shè)置其位置，不必在限制于凹槽1側(cè)壁旁邊； 此外，由于中間過渡件換向齒輪副，步進(jìn)電機(jī)3自身的震動不會傳遞至轉(zhuǎn)動軸5-1，有利 于整個水浴沉積鍍膜槽機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性。其中，所述換向齒輪副的齒輪可以由多種形式， 包括螺旋錐齒輪、圓錐齒輪等等。任何能夠?qū)崿F(xiàn)相互垂直方向轉(zhuǎn)動軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的轉(zhuǎn)換 的齒輪均可以應(yīng)用于此，當(dāng)然，相互垂直方向轉(zhuǎn)動軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的轉(zhuǎn)換的其它機(jī)構(gòu)也可 以應(yīng)用于此。上述實(shí)施例中，通過在所述水浴沉積鍍膜槽中設(shè)置鍍膜溶液，在水浴沉積鍍膜 槽槽口覆蓋基板，可實(shí)施對所述基板進(jìn)行鍍膜的工藝；本實(shí)用新型的實(shí)施例的水浴沉積 鍍膜槽結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，制造成本低；此外，該鍍膜槽還可以豎直放置進(jìn)行鍍膜操 作，可以消除水平放置時化學(xué)溶液對玻璃基板的不均勻覆蓋，提高在基板上鍍膜層的均 勻性。。此外，在所述凹槽1底壁下面還可以設(shè)置加熱裝置，以便于對凹槽1中的鍍膜溶 液進(jìn)行加熱或者對作為加熱媒介的溶液進(jìn)行加熱。其中，所述加熱裝置具體可以是電爐 絲。電爐絲加熱主要是通過傳導(dǎo)的方式，其它加熱方式例如輻射的方式進(jìn)行加熱。這里 不再贅述。此外，在所述凹槽1的開口側(cè)的側(cè)壁上還可以設(shè)置墊片，用于對設(shè)置于其上的 太陽能電池面板基板提供支撐和密封。這里不再詳細(xì)描述。此外，本實(shí)施例的水浴沉積鍍膜槽還可以包括控制反饋系統(tǒng)，以設(shè)定控制水浴 加熱的溫度、時間，設(shè)定控制攪拌手?jǐn)嚢璧念l率、幅度及時間。這里不再詳述。以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對本實(shí)用新型作任何形式 上的限制。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都 可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對本實(shí)用新型技術(shù)方案做出許多可能的變動和修飾，或修改 為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用 新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所做的任何簡單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用 新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
8
權(quán)利要求1.一種水浴沉積鍍膜槽，應(yīng)用于太陽能電池薄膜的制備工藝中；其特征在于包括， 由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側(cè)壁形成的凹槽，以及設(shè)置于所述凹槽中的攪拌 裝置，所述攪拌裝置對所述凹槽中的盛放物進(jìn)行攪拌。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述凹槽為包括內(nèi)槽和外槽 的雙層結(jié)構(gòu)，所述外槽套接于所述內(nèi)槽之外，且所述內(nèi)槽的外壁和外槽的內(nèi)壁壁之間設(shè) 置有距離，形成容置空間。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌裝置為由其中一側(cè) 壁中央向相對側(cè)壁延伸的攪拌手，所述攪拌手的長度小于該兩相對側(cè)壁之間的距離，所 述攪拌手以所述側(cè)壁中央為中心并沿所述內(nèi)槽底面擺動的方式對內(nèi)槽中的盛放物攪拌。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌手?jǐn)[動角為180度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌手為板狀結(jié)構(gòu)，且 其板面垂直于所述內(nèi)槽的底面。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述板狀結(jié)構(gòu)的攪拌手上沿 其厚度方向還設(shè)置有通孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌手的自由端為斜楔 形結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌手的非擺動端設(shè)置 有攪拌臂，所述攪拌臂的一端與攪拌手固定連接，另一端沿所述凹槽的側(cè)壁向上并向外 伸出所述凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述攪拌臂伸出凹槽側(cè)壁之 外的端部與一轉(zhuǎn)動軸固定連接，所述轉(zhuǎn)動軸的軸線與所述凹槽底面垂直；所述轉(zhuǎn)動軸與 一動力裝置連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述動力裝置為步進(jìn)電機(jī)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述步進(jìn)電機(jī)動力輸出軸 平行于所述凹槽底面設(shè)置，通過一對換向齒輪副與所述轉(zhuǎn)動軸連接。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述步進(jìn)電機(jī)垂直放置， 其動力輸出端直接與所述轉(zhuǎn)動軸連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述內(nèi)槽的深度為10厘 米，長度為130厘米，寬度為65厘米。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，在所述水浴沉積鍍膜槽底 壁下面還設(shè)置有加熱裝置。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述加熱裝置為電爐絲。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，在所述凹槽的開口側(cè)的側(cè) 壁上設(shè)置有墊片，用于對設(shè)置于其上的太陽能電池面板基板提供支撐和密封，防止沉積 溶液溢出。
17.根據(jù)權(quán)利要求2所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，所述容置空間中設(shè)置溶液 作為加熱媒介。
18.根據(jù)權(quán)利要求1所述的水浴沉積鍍膜槽，其特征在于，還包括控制反饋系統(tǒng)，以 設(shè)定控制水浴加熱的溫度、時間，設(shè)定控制攪拌手?jǐn)嚢璧念l率、幅度及時間。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種化學(xué)水浴沉積鍍膜槽，應(yīng)用于太陽能電池薄膜的制備工藝中；以制備CdS、ZnS或Zn(OH)等薄膜。該鍍膜槽包括，由長方形底壁及沿所述底壁邊緣圍置的側(cè)壁形成的凹槽，以及設(shè)置于所述凹槽中的攪拌裝置，所述攪拌裝置對所述凹槽中的盛放物進(jìn)行攪拌。本實(shí)用新型的水浴沉積鍍膜槽結(jié)構(gòu)簡單，易于操作，制造成本低。
文檔編號C23C18/00GK201801593SQ201020554680
公開日2011年4月20日 申請日期2010年10月11日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月11日
發(fā)明者施成營, 李沅民, 林光沂 申請人:福建鈞石能源有限公司