專利名稱：用于載板架的夾具、載板架和基板的固定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于載板架的夾具、載板架和基板的固定方法。
背景技術(shù)：
在電路板制作過程中，當(dāng)進(jìn)行金屬噴濺處理時，所有待處理基板均通過載板架上的夾具固定在載板架上，載板架將待處理基板帶入噴濺腔進(jìn)行噴濺處理?，F(xiàn)有的夾具通常為面式彈片結(jié)構(gòu)，夾具的一端通過螺母固定在載板架上，且通常能夠圍繞固定端的螺母進(jìn)行轉(zhuǎn)動。使用時，待處理基板被夾具未固定的一端夾設(shè)在夾具和載板架之間。進(jìn)行金屬噴濺處理時，由于載板架承載著待處理基板，載板架和待處理基板處于同一種環(huán)境，因此，在基板被噴濺上一層金屬膜的同時，載板架及夾具上也將被噴濺上一層金屬膜，而且，夾具和基板上的金屬膜將成片致密連接。這樣，將造成夾具無法靈活轉(zhuǎn)動或抬起，需通過外力強(qiáng)行將夾具與基板之間的金屬薄膜斷裂以使夾具能夠轉(zhuǎn)動或抬起后，才能取下基板。而且，如此多次以后，易使夾具產(chǎn)生不可恢復(fù)的形變，導(dǎo)致夾具的對基板的固定力量不夠，進(jìn)行噴濺處理后，易造成基板脫離或移動，導(dǎo)致停機(jī)和產(chǎn)品質(zhì)量隱患。此外，還可能使基板受損。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的實施例的主要目的在于，提供一種用于載板架的夾具、載板系統(tǒng)和基板的固定方法，能夠在夾具被噴濺上薄膜后，依然能夠夾緊基板并且靈活移動。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案一種用于載板架的夾具，包括夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，所述夾具主體上在第一側(cè)面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側(cè)面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設(shè)有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔固定到所述載板架；所述彈簧套設(shè)在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。一種載板系統(tǒng)，包括載板架；和本發(fā)明實施例提供的夾具；其中，所述夾具的第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架，從而能夠?qū)⒒鍔A緊在所述載板架與所述夾具的第二側(cè)面之間。一種基板的固定方法，通過本發(fā)明實施例提供的載板系統(tǒng)將所述基板固定在載板架上。采用上述技術(shù)方案后，本發(fā)明實施例提供的用于載板架的夾具、載板系統(tǒng)和固定基板的方法，夾具主體通過彈簧與銷軸相連接，在銷軸通過第二端固定在載板架后，夾具主體靜止，在銷軸的軸向方向，夾具主體受到彈簧的彈力作用而將基板夾緊。當(dāng)夾具主體受到沿銷軸軸向的外力而沿軸向略有移動時，能夠變形的彈簧可隨著夾具主體的移動而相應(yīng)伸縮而同時保持夾緊基板，即，夾具主體相對載板架能夠靈活移動一段距離。這樣，當(dāng)對基板進(jìn)行金屬噴濺處理等鍍膜操作時，在噴濺力沖擊以及薄膜的重力作用下，夾具主體能夠沿銷軸的軸向略有移動，因此，夾具主體與基板之間不會形成牢固成片的致密薄膜，即不會影響夾具主體的靈活移動。而且，夾具主體的移動只是導(dǎo)致彈簧的壓縮量發(fā)生稍微改變，不會造成夾緊力的明顯變化，依然能夠夾緊基板。


圖1為本發(fā)明實施例的用于載板架的夾具的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1所示的夾具的夾具主體的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖1所示的夾具的銷軸的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式本發(fā)明提供一種用于載板架的夾具，其特征在于，包括夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，所述夾具主體上在第一側(cè)面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側(cè)面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設(shè)有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架；所述彈簧套設(shè)在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，當(dāng)所述銷軸固定到所述載板架時，所述凸緣與所述凹部底部的距離小于或等于所述彈簧處于自然狀態(tài)的長度。這樣，所述夾具可在工作時通過彈簧彈力保持夾緊基板。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述銷軸的第二端的橫截面形狀為非圓形形狀或半圓形狀。其中，非圓形形狀可為多邊形(例如方形、三角形)或其它適合形狀；而半圓形狀可為圓形的一部分，即，也可為大半圓或小半圓形狀(即，扇區(qū))。這樣，銷軸第二端的形狀可與載板架的對應(yīng)固定結(jié)構(gòu)的形狀相配合，以防止銷軸以及夾具在工作時發(fā)生不希望出現(xiàn)的旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述通孔和/或所述凹部的截面為圓形。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述通孔的截面最大尺寸比所述銷軸的截面最大尺寸大0. 2至0. 5毫米。這樣，一方面在銷軸與通孔之間保持一定間隙而允許銷軸穿過通孔而自由地沿軸向運(yùn)動；且另一方面使得銷軸與通孔之間的間隙不會過大，從而對于銷軸的軸向運(yùn)動具有方向引導(dǎo)作用。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述銷軸的第二端上設(shè)有外螺紋，用于固定到所述載板架。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，還包括用于覆蓋所述凹部的凹部蓋。在一個實施例中，凹部蓋不僅覆蓋所述凹部，還將銷軸第一端的凸緣覆蓋在內(nèi)，以防止污染并具有安全性作用。
優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述凹部蓋上設(shè)有外螺紋，所述凹部的內(nèi)壁上設(shè)有能夠與所述凹部蓋上的外螺紋相咬合的內(nèi)螺紋。 優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，包括絕緣層或助脫膜，其設(shè)置在以下中的至少一種上所述夾具主體的第二側(cè)面、所述通孔的內(nèi)側(cè)、所述銷軸的第二端。這樣，在基板的電鍍過程中減小夾具的各部分上發(fā)生電鍍結(jié)合物的可能性，至少可在后續(xù)處理中更容易地去除這些不希望出現(xiàn)的電鍍結(jié)合物，以避免在去除處理過程中對基板造成損傷或污染。本發(fā)明提供一種載板系統(tǒng)，其特征在于，包括載板架；和如前所述的夾具；其中，所述夾具的第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架，從而能夠?qū)⒒鍔A緊在所述載板架與所述夾具的第二側(cè)面之間。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述載板架上設(shè)有架通孔或架凹部，所述夾具的銷軸的第二端穿過所述夾具主體的通孔后通過所述架通孔或架凹部而固定到所述載板架。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述架通孔或架凹部的內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋，用于固定所述夾具的銷軸的第二端。優(yōu)選地，在本發(fā)明的各實施例中，所述架通孔或架凹部的橫截面形狀與所述第二端的橫截面形狀相對應(yīng)，且為非圓形形狀或半圓形狀。其中，非圓形形狀可為多邊形(例如方形、三角形)或其它適合形狀；而半圓形狀可為圓形的一部分，即，也可為大半圓或小半圓形狀(即，扇區(qū))。這樣，銷軸第二端的形狀可與架通孔或架凹部的形狀相配合，以防止銷軸以及夾具在工作時發(fā)生不希望出現(xiàn)的旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明還提供一種基板的固定方法，其特征在于，通過如前所述的載板系統(tǒng)將所述基板固定在載板架上。下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。如圖1所示，本實施例提供的用于載板架的夾具，包括夾具主體1、銷軸2和彈簧 3;其中夾具主體1的結(jié)構(gòu)例如參見圖2，其上的第一側(cè)面10具有凹部11，凹部底部11具有穿透夾具主體1的第二側(cè)面13的通孔12，夾具主體1的第二側(cè)面13與第一側(cè)面相對， 本實施例的夾具用于夾持基板時，第二側(cè)面13與基板相貼附，通孔12的截面最大尺寸小于凹部11的截面最大尺寸，優(yōu)選的，凹部11和通孔12截面為圓形(例如為同心圓)，凹部11 的直徑大于通孔12的直徑；銷軸2的結(jié)構(gòu)例如參見圖3，銷軸2具有第一端22和第二端23，第一端設(shè)有凸緣 21，本實施例中，凸緣21設(shè)置在第一端22的頂端，當(dāng)然也可設(shè)置在第二端的其他部位，且， 優(yōu)選的，凸緣21的截面最大尺寸小于凹部的截面最大尺寸；銷軸2的第二端23能夠穿過夾具主體1的凹部和通孔固定到所述載板架，將銷軸2固定在載板架上；當(dāng)本實施例安裝在載板架時，彈簧3套設(shè)在銷軸2上，銷軸2的第一端22在上，第二端23在下，穿過夾具主體1的凹部11和通孔12，使夾具主體1通過凹部11和通孔12套設(shè)在銷軸2上，彈簧3被限制在第一端22的凸緣21與凹部12底部之間，第二端23穿過通孔12后連接固定在載板架上。本實施例的用于載板架的夾具，被安裝在載板架后，在銷軸2的軸向方向，夾具主體1是通過彈簧3與銷軸2相連接，夾具主體1靜止時，在銷軸2的軸向方向，在彈簧3發(fā)生形變時，除重力之外，夾具主體1僅受到彈簧3的彈力作用。而當(dāng)夾具主體1受到其他外力沿銷軸2的軸向方向向上或向下移動時，由于彈簧3具有一定的形變量，可隨著夾具主體 1的移動而伸長或壓縮，也就是說，夾具主體1相對載板架能夠靈活移動一段距離。這樣，當(dāng)進(jìn)行如對基板進(jìn)行金屬噴濺處理等鍍膜操作時，基板被本實施例的夾具夾設(shè)在載板架上，實際上是夾具主體1抬起一段距離，將基板夾設(shè)在夾具主體1的第二側(cè)面 13和載板架之間，由于夾具主體1被抬起，此時，彈簧3被壓縮，夾緊基板的力是由夾具主體1的重力和彈簧3的彈力所提供。鍍膜過程中，在薄膜的重力作以及持久或周期性噴濺力下，夾具主體1能夠沿銷軸2的軸向方向向下移動或上下擺動，因此，夾具主體1與基板之間不易形成成片的致密薄膜，即不會影響夾具主體1的靈活移動。而且，夾具主體1的移動只是導(dǎo)致彈簧3的壓縮量發(fā)生稍微改變，夾緊力的變化較小，依然能夠夾緊基板。另外，由于夾具主體1套設(shè)在銷軸2上，銷軸2通過第二端23固定在載板架上，因此，在銷軸的徑向方向，銷軸2將限制夾具主體1的移動。同時，夾具主體1的重力和彈簧3 的彈力使夾具主體1與基板之間存在較大的摩擦力，也就是說，在銷軸的徑向方向，夾具主體1通常不會發(fā)生移動，保證鍍膜操作的可靠性。其中，當(dāng)進(jìn)行如對基板進(jìn)行金屬噴濺處理等鍍膜操作時，基板夾具主體1夾設(shè)在夾具主體1的第二側(cè)面13和載板架之間，夾緊基板的力是由夾具主體1的重力和彈簧3的彈力所提供。為夾緊基板，彈簧3必須提供向下的力，也就是此時，彈簧3需要處于壓縮狀態(tài)。因此，將本實施例安裝在載板架時，由于彈簧3被限制在凸緣21與凹部12底部之間， 未夾設(shè)基板的初始狀態(tài)時，銷軸2通過第二端23固定在載板架時，要使凸緣21與凹部11 底部的距離小于或等于彈簧3處自然狀態(tài)的長度，以保證在夾具主體1夾設(shè)基板時，彈簧 3處于壓縮狀態(tài)。本實施例安裝并使用時，銷軸2需要固定不動，通過第二端23穿過通孔12固定在載板架上，以保證彈簧3的形變范圍和夾具主體的移動距離。第二端23與載板架的固定方式具體可包括第二端23上設(shè)有外螺紋，載板架上設(shè)有與第二端23相配合的架通孔，第二端23 穿過夾具主體1的通孔12后穿過載板架上的架通孔，然后，使用與第二端上的所述外螺紋相適應(yīng)的螺母或螺帽將第二端23固定到載板架上。或者，第二端23上設(shè)有外螺紋，載板架上設(shè)有內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋的架凹部或架通孔，第二端23穿過夾具主體1的通孔12后進(jìn)入載板架上內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋的架凹部或架通孔，并通過螺紋的咬合固定。另外，由于本實施例安裝并使用時，銷軸2是固定不動的，為避免銷軸2的圍繞軸向方向轉(zhuǎn)動而造成彈簧3的意外形變，優(yōu)選的，第二端23的橫截面形狀為非圓形形狀，例如半圓形、橢圓形、多邊形或星形等。而且，在上述固定方式下，載板架上固定第二端23用的架通孔或架凹部的橫截面形狀為與第二端23的橫截面形狀相對應(yīng)的非圓形形狀。這樣，第二端23與載板架能夠穩(wěn)定連接固定，銷軸2不會發(fā)生圍繞軸向方向的轉(zhuǎn)動。因此，在銷軸2的徑向方向，銷軸2將限制夾具主體1的移動，而實際上，是通過銷軸2與通孔12的接觸而限制夾具主體1在銷軸2的徑向方向的移動，為了防止夾具主體1
6在銷軸2的徑向方向的移動，可使通孔12即能夠保證第二端23的穿過，而且在第二端23 穿過后，銷軸2位于通孔12內(nèi)的部分與通孔12之間剩余的空間較小，優(yōu)選的，通孔12的截面最大尺寸比銷軸2的截面最大尺寸大0. 2至0. 5毫米。另外，由于夾具主體1套接在銷軸2上，因此，可將通孔12設(shè)為圓柱狀，即通孔12 橫截面的形狀為圓形形狀，這樣，無論第二端23的橫截面形狀如何，夾具主體1不僅可以抬起，還可以圍繞銷軸2進(jìn)行轉(zhuǎn)動，更加方便鍍膜操作時基板的夾設(shè)和取下。進(jìn)一步的，作為本實施例的一種改進(jìn)，本實施例的用于載板架的夾具，還包括用于覆蓋凹部11的凹部蓋，以將銷軸2封閉在凹部11內(nèi)部，這樣，在進(jìn)行噴濺等鍍膜操作時，銷軸2以及彈簧3不會被鍍膜或被噴濺力所影響，提高銷軸2和彈簧3的使用壽命，進(jìn)一步保證夾具主體2的靈活移動和夾緊力，提高噴濺等操作的可靠性。具體的，凹部蓋上設(shè)有外螺紋，凹部11的內(nèi)壁上設(shè)有能夠與凹部蓋上的螺紋相咬合的內(nèi)螺紋，凹部蓋和凹部11之間通過螺紋的咬合相連接，這樣，凹部蓋與凹部11之間能夠穩(wěn)固的連接，而更換銷軸2或彈簧3 時，凹部蓋方便打開。可以理解的是，本實施例的用于載板架的夾具，各組成部分的形狀、尺寸和材質(zhì)將根據(jù)所夾設(shè)的基板尺寸要求和鍍層材料等實際情況設(shè)置，這里不做限定。但需要保證，彈簧 3的自然長度小于銷軸2的長度，彈簧3橫截面的最大跨距大于通孔12橫截面的最大跨距、 小于凹部11和凸緣21的直徑，以使彈簧3被限制在凸緣21和凹部11底部之間。凹部11 的尺寸要保證銷軸2的正常穿過，通孔12橫截面的最大尺寸要大于第二端23橫截面的最大尺寸。如圖1所示，作為本實施例的一個具體應(yīng)用，夾具主體1可為長方體，長度為 40mm (毫米)，寬度為20mm，厚度為9mm ；凹部11為圓柱狀凹部，直徑為13mm，深度為8mm，凹部11底部的通孔12為圓柱形凹部，直徑為7mm ；彈簧3長度為20mm ；第一端22為圓柱狀桿體，長度為15mm，直徑為5mm;第二端23為半圓形，長度為10mm，直徑為6. 5mm。其中，彈簧 3的材質(zhì)可以為不銹鋼，線徑可以為0. 5-lmm ；銷軸2也可選擇不銹鋼材質(zhì)；夾具主體1和凹部蓋材質(zhì)可以為純鋁。進(jìn)一步的，作為本實施例的一種改進(jìn)，本實施例的夾具主體1的第二側(cè)面13、通孔 12的內(nèi)壁和/或銷軸2的第二端23上，可設(shè)置有絕緣層或助脫膜，防止在金屬膜噴濺過程中的異常放電等現(xiàn)象，同時，使基板的取下更加容易。相應(yīng)的，本發(fā)明的實施例還提供了一種載板系統(tǒng)，包括載板架和設(shè)置在載板架上的夾具，其中所述夾具采用本發(fā)明實施例提供的用于載板架的夾具，前文已經(jīng)進(jìn)行了詳細(xì)說明，這里不再贅述。其中，所述夾具的第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架，從而能夠?qū)⒒鍔A緊在所述載板架與所述夾具的第二側(cè)面之間。具體的，本實施例的載板架上設(shè)有與第二端相配合的凹部或架通孔，所述夾具的銷軸的第二端穿過所述夾具主體的通孔后通過所述架通孔或架凹部而固定到所述載板架。其中，所述架通孔或架凹部的內(nèi)壁上可設(shè)有內(nèi)螺紋，第二端穿過夾具主體的通孔后進(jìn)入載板架上內(nèi)壁具有螺紋的凹部或通孔，并通過螺紋的咬合固定。另外，本實施例的載板架上的架通孔或架凹部的橫截面形狀為與第二端的橫截面形狀相對應(yīng)的非圓形形狀，這樣，第二端與載板架能夠穩(wěn)定連接固定，銷軸不會發(fā)生圍繞軸向方向的轉(zhuǎn)動。本實施例提供的載板系統(tǒng)，載板架上所設(shè)置的夾具的夾具主體是通過彈簧與銷軸相連接，在銷軸通過第二端固定在載板架后，夾具主體靜止時，在銷軸的軸向方向，夾具主體僅受到彈簧的彈力作用。當(dāng)夾具主體受到其他外力沿銷軸的軸向方向向下移動時，由于彈簧具有一定的形變量，彈簧可隨著夾具主體的移動而壓縮，即夾具主體相對載板架能夠靈活移動一段距離。這樣，當(dāng)對基板進(jìn)行金屬噴濺處理等鍍膜操作時，在噴濺力以及薄膜的重力作用下，夾具主體將沿銷軸的軸向方向向下移動或者上下擺動，因此，夾具主體與基板之間不會形成成片的致密薄膜，即不會影響夾具主體的靈活移動。而且，夾具主體的移動只是導(dǎo)致彈簧的壓縮量發(fā)生稍微改變，不會造成夾緊力的明顯變化，依然能夠夾緊基板。其中，本實施例所設(shè)置的夾具數(shù)量、位置和尺寸的選擇可依實際需要而定，但一般要保證夾具不能夾到被鍍產(chǎn)品的圖形區(qū)和標(biāo)靶，只要保證在基板的有用圖形的外圍即可， 在保證基板不夾到圖形區(qū)的同時盡可能深入產(chǎn)品中心，保證基板被夾得牢固。相應(yīng)的，本發(fā)明實施例還提供了一種固定基板的方法，通過載板系統(tǒng)將所述基板固定在載板臺上，所述載板系統(tǒng)采用本發(fā)明實施例提供的用于載板架的夾具。具體的固定原理，參見前文對本發(fā)明實施例提供的用于載板架的夾具及載板系統(tǒng)的說明，這里不再贅述。本發(fā)明實施例提供的固定基板的方法，在夾具被噴濺或鍍上薄膜后，依然能夠夾緊基板并且靈活移動。以上所述，僅為本發(fā)明的具體實施方式
，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)所述以權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種用于載板架的夾具，其特征在于，包括夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，所述夾具主體上在第一側(cè)面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側(cè)面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設(shè)有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架；所述彈簧套設(shè)在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，當(dāng)所述銷軸固定到所述載板架時，所述凸緣與所述凹部底部的距離小于或等于所述彈簧處于自然狀態(tài)的長度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的夾具，其特征在于，所述銷軸的第二端的橫截面形狀為非圓形形狀或半圓形狀。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，所述通孔和/或所述凹部的截面為圓形。
5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，所述通孔的截面最大尺寸比所述銷軸的截面最大尺寸大0. 2至0. 5毫米。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，所述銷軸的第二端上設(shè)有外螺紋，用于固定到所述載板架。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的夾具，其特征在于，還包括用于覆蓋所述凹部的凹部蓋。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾具，其特征在于所述凹部蓋上設(shè)有外螺紋，所述凹部的內(nèi)壁上設(shè)有能夠與所述凹部蓋上的外螺紋相咬合的內(nèi)螺紋。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于包括絕緣層或助脫膜，其設(shè)置在以下中的至少一種上所述夾具主體的第二側(cè)面、所述通孔的內(nèi)側(cè)、所述銷軸的第二端。
10.一種載板系統(tǒng)，其特征在于，包括載板架；和如權(quán)利要求1至9任一項所述的夾具；其中，所述夾具的第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔而固定到所述載板架， 從而能夠?qū)⒒鍔A緊在所述載板架與所述夾具的第二側(cè)面之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的載板系統(tǒng)，其特征在于所述載板架上設(shè)有架通孔或架凹部，所述夾具的銷軸的第二端穿過所述夾具主體的通孔后通過所述架通孔或架凹部而固定到所述載板架。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的載板架，其特征在于所述架通孔或架凹部的內(nèi)壁上設(shè)有內(nèi)螺紋，用于固定所述夾具的銷軸的第二端。
13.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的載板架，其特征在于所述架通孔或架凹部的橫截面形狀與所述第二端的橫截面形狀相對應(yīng)，且為非圓形形狀或半圓形狀。
14.一種基板的固定方法，其特征在于，通過如權(quán)利要求10至13任一項所述的載板系統(tǒng)將所述基板固定在載板架上。
全文摘要
本發(fā)明實施例公開了一種用于載板架的夾具、載板系統(tǒng)和基板的固定方法，涉及機(jī)械技術(shù)領(lǐng)域，為夾具被噴濺上薄膜后，依然能夠夾緊基板并且靈活移動而發(fā)明。所述用于載板架的夾具，包括夾具主體、銷軸、和彈簧；其中，所述夾具主體上在第一側(cè)面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夾具主體的第二側(cè)面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；所述銷軸具有第一端和第二端，所述第一端設(shè)有凸緣，所述第二端能夠穿過所述夾具主體的凹部和通孔固定到所述載板架；所述彈簧套設(shè)在所述銷軸上，并被限制在所述凸緣與所述凹部的底部之間。本發(fā)明實施例可用于電路板制作以及鍍膜等工藝中固定基板。
文檔編號C23C14/50GK102560380SQ20101059392
公開日2012年7月11日 申請日期2010年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月9日
發(fā)明者朱興華, 蘇新虹 申請人:北大方正集團(tuán)有限公司