專利名稱：用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池行業(yè)領(lǐng)域，具體涉及一種用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍 膜的工藝腔室。
背景技術(shù)：
非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池主要由前電極(Front ZnO)、PIN結(jié)和背電極(Back ZnO) 薄膜層構(gòu)成，鍍膜工藝是首先將玻璃放在加熱室內(nèi)加熱，然后通過(guò)機(jī)械手將加熱好的玻璃 放置到工藝腔室內(nèi)鍍膜?，F(xiàn)有的工藝腔室包括腔壁、氣體注射器、負(fù)載架以及承受器，其中 氣體注射器固定在腔壁的頂上，負(fù)載架固定在腔壁的側(cè)面上用于放置玻璃，承受器執(zhí)行向 上移動(dòng)命令，一方面支撐玻璃同時(shí)也給玻璃加熱，工藝氣體注射器開始噴射。當(dāng)加熱的玻璃 從加熱室移到工藝腔室時(shí)，玻璃的邊緣直接與負(fù)載架接觸，因而，玻璃的邊緣會(huì)因快速的熱 傳導(dǎo)而導(dǎo)致溫度降低，使整個(gè)玻璃的溫度存在溫差，導(dǎo)致在鍍膜時(shí)，玻璃的鍍層不均勻，色 差嚴(yán)重。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種鍍層效果 好，色差降低的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的 工藝腔室，包括腔壁、氣體注射器、承受器以及支撐架，所述的氣體注射器設(shè)置在腔壁的上 端，所述的承受器設(shè)置在氣體注射器的下端，其特征在于還包括一支撐栓底板，該支撐栓 底板設(shè)置在承受器的下端，在所述的支撐栓底板上設(shè)置有至少三個(gè)支撐栓，該至少三個(gè)支 撐栓用于支撐一平面構(gòu)件，在所述的承受器上設(shè)置有支撐栓孔，所述的承受器套在所述的 支撐栓上。所數(shù)的支撐栓為四個(gè)且成矩形布置。所述的支撐栓為五個(gè)，包括成矩形布置的四個(gè)和居于矩形中間的一個(gè)。所述的支撐栓為六個(gè)，包括成矩形布置的四個(gè)和居于矩形中間的兩個(gè)。在所述的承受器外側(cè)的腔壁上設(shè)置有緩沖層。所述的承受器包括表面層、熱量分配層、電阻絲加熱層和底部背板層，所述的表面 層與熱量分配層可拆分連接。所述的表面層下端面設(shè)置凸臺(tái)，在所述的熱量分配層上端面設(shè)置凹槽，所說(shuō)的表 面層嵌合在所述的熱量分配層內(nèi)。所述的承受器還包括陶瓷護(hù)套，該陶瓷護(hù)套可拆分連接在承受器的外周，且其上 端高于承受器表面層上端面。所述的陶瓷護(hù)套與承受器嵌合。所述的表面層為石墨層。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)
1、本發(fā)明在工藝腔室內(nèi)增加了支撐架，并采用支撐架上的支撐栓對(duì)加熱的玻璃進(jìn) 行支撐，支撐栓采用點(diǎn)接觸，且比較分散，同時(shí)，支撐點(diǎn)也不局限于邊緣，因而玻璃放在支撐 栓上后，熱傳遞慢且傳遞量小，玻璃表面溫差小，因此，鍍膜時(shí)，玻璃的鍍層較為均勻，色差 小。2、本發(fā)明工藝腔室的承受器采用四層結(jié)構(gòu)，且表面層也是可以在維護(hù)過(guò)程中更換的裝置，采用石墨材質(zhì)進(jìn)行良好的熱傳遞，且承受器表面層設(shè)計(jì)要比玻璃大，使玻璃放置在 承受器表面層上前后端和左右端各有0. 5毫米的玻璃放置誤差距離，這樣設(shè)計(jì)能夠使玻璃 的邊緣在加熱和工藝的過(guò)程中受熱更加均勻，能有效地控制玻璃邊緣溫度擴(kuò)散，對(duì)改善色 差有很好的作用。3、本發(fā)明在承受器邊緣設(shè)置陶瓷護(hù)套，陶瓷護(hù)套設(shè)計(jì)成陶瓷材質(zhì)的更換裝置，采 用凹凸設(shè)計(jì)原理，將陶瓷材質(zhì)的更換裝置卡套在承受器的邊緣；在維護(hù)過(guò)程中拆卸和移除 更換的時(shí)間大幅減少，能夠充分提高工作效率。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本發(fā)明承受器的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是承受器表面俯視圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)說(shuō)明如圖1所示，一種用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，包括腔壁10、氣體注射器1 支撐栓底板9、氣體緩沖層6以及承受器4，其中氣體注射器1設(shè)置在腔壁10的上端，承受 器4設(shè)置在氣體注射器1的下端，支撐架8設(shè)置在承受器4的下端，承受器4以支撐架8為 導(dǎo)向，可上下移動(dòng)，在承受器4的下端還設(shè)置有一支撐栓底板9，在支撐栓底板9上設(shè)置有至 少三個(gè)支撐栓7，根據(jù)需要布置，可以三個(gè)、四個(gè)、五個(gè)甚至更多。該至少三個(gè)支撐栓7用于 支撐一平面構(gòu)件；如圖2所示，在承受器4上設(shè)置有支撐栓孔45，承受器套3在支撐栓上； 承受器4包括表面層41、熱量分配層42、電阻絲加熱層43、承受器還包括陶瓷護(hù)套44和底 部背板護(hù)套層45，其中表面層41與熱量分配層42采用凹凸的可拆分連接設(shè)計(jì)，表面層采用 石墨材質(zhì)，即在表面層下端面設(shè)置凸臺(tái)41，在熱量分配層上端面設(shè)置凹槽42，承受器還包 括陶瓷護(hù)套44，該陶瓷護(hù)套44可拆分連接在承受器43的周圍，且其上端高于承受器表面層 上端面41，承受器下端為背面可拆分護(hù)套45 ；如圖3所示，在本實(shí)施例中，承受器表面3，支 撐栓孔為6個(gè)31，支撐栓也為六個(gè)，包括成矩形布置的四個(gè)和居于矩形中間的兩個(gè)。
權(quán)利要求
一種用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，包括腔壁、氣體注射器、承受器以及支撐架，所述的氣體注射器設(shè)置在腔壁的上端，所述的承受器設(shè)置在氣體注射器的下端，其特征在于還包括一支撐栓底板，該支撐栓底板設(shè)置在承受器的下端，在所述的支撐栓底板上設(shè)置有至少三個(gè)支撐栓，該至少三個(gè)支撐栓用于支撐一平面構(gòu)件，在所述的承受器上設(shè)置有支撐栓孔，所述的承受器套在所述的支撐栓上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的支 撐栓為四個(gè)且成矩形布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的支 撐栓為五個(gè)，包括成矩形布置的四個(gè)和居于矩形中間的一個(gè)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的支 撐栓為六個(gè)，包括成矩形布置的四個(gè)和居于矩形中間的兩個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于在所述的 承受器外側(cè)的腔壁上設(shè)置有緩沖層。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的承 受器包括表面層、熱量分配層、電阻絲加熱層和底部背板層，所述的表面層與熱量分配層可 拆分連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的表 面層下端面設(shè)置凸臺(tái)，在所述的熱量分配層上端面設(shè)置凹槽，所說(shuō)的表面層嵌合在所述的 熱量分配層內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的承 受器還包括陶瓷護(hù)套，該陶瓷護(hù)套可拆分連接在承受器的外周，且其上端高于承受器表面 層上端面。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的陶 瓷護(hù)套與承受器嵌合。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，其特征在于所述的表面層為石墨層。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于半導(dǎo)體太陽(yáng)能鍍膜的工藝腔室，包括腔壁、氣體注射器、承受器以及支撐架，氣體注射器設(shè)置在腔壁的上端，承受器設(shè)置在氣體注射器的下端，其特征在于還包括一支撐栓底板，該支撐栓底板設(shè)置在承受器的下端，在所述的支撐栓底板上設(shè)置有至少三個(gè)支撐栓，該至少三個(gè)支撐栓用于支撐一平面構(gòu)件，在所述的承受器上設(shè)置有支撐栓孔，所述的承受器套在所述的支撐栓上。本發(fā)明在工藝腔室內(nèi)增加了支撐架，并采用支撐架上的支撐栓對(duì)加熱的玻璃進(jìn)行支撐，支撐栓采用點(diǎn)接觸，且比較分散，同時(shí)，支撐點(diǎn)也不局限于邊緣，因而玻璃放在支撐栓上后，熱傳遞慢且傳遞量小，玻璃表面溫差小，因此，鍍膜時(shí)，玻璃的鍍層較為均勻，色差小。
文檔編號(hào)C23C16/455GK101812676SQ20101016329
公開日2010年8月25日 申請(qǐng)日期2010年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月5日
發(fā)明者張 浩 申請(qǐng)人:江蘇綜藝光伏有限公司