專利名稱：濺鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種濺鍍技術(shù)，尤其涉及一種濺鍍裝置。
背景技術(shù)：
目前，在對金屬外殼等待鍍工件的表面進(jìn)行鍍膜一般都采用物理氣相沉積法 (PVD)進(jìn)行鍍膜制程，常見的采用物理氣相沉積法進(jìn)行鍍膜的濺鍍裝置一般都具有單一腔體?，F(xiàn)有技術(shù)中，在使用具有單一腔體的濺鍍裝置進(jìn)行濺鍍時(shí)，首先打開腔體將待鍍工件置于該腔體內(nèi)，然后關(guān)閉腔體閥門并對該腔體進(jìn)行抽真空，抽完真空后對放置于該腔體內(nèi)的待鍍工件進(jìn)行加熱，加熱完成后開始對該待鍍工件進(jìn)行濺鍍制程。當(dāng)濺鍍完成后， 需要將腔體門打開以便將完成鍍膜的待鍍工件拿出，此時(shí)由于腔體門處于開啟狀態(tài)，外部空氣就會(huì)進(jìn)入到鍍膜腔體中，這樣設(shè)置于該腔體內(nèi)的靶材就會(huì)很容易被進(jìn)入腔體內(nèi)的氧氣所氧化，從而對下一次的濺鍍制程產(chǎn)生影響。而且，當(dāng)進(jìn)行下一次濺鍍制程時(shí)，還要再一次進(jìn)行抽真空、加熱待鍍工件等過程，這樣就會(huì)使得整個(gè)濺鍍制程較為費(fèi)時(shí)，并且影響產(chǎn)品質(zhì)量。為了解決上述問題，則要使用至少兩個(gè)濺鍍腔體，待鍍工件需要在這些腔體之間傳送，在傳送過程中該待鍍工件就很容易從料桿上脫落，此時(shí)，需要中斷濺鍍過程或者等濺鍍結(jié)束后才能從腔體中取出脫落的待鍍工件，給濺鍍制程帶來不必要的麻煩。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種方便從腔體中取出脫落的待鍍工件的濺鍍裝置。一種濺鍍裝置，其用來對金屬材質(zhì)的待鍍工件鍍膜。該濺鍍裝置包括一個(gè)用于對該待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱的第一腔體、一個(gè)用于對該待鍍工件濺鍍的第二腔體、一個(gè)設(shè)置于該第一腔體或該第二腔體內(nèi)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、一個(gè)連接該第一腔體和該第二腔體的能處于開啟或關(guān)閉狀態(tài)的通道及至少一個(gè)設(shè)置于該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上的磁性元件。該第一腔體及該第二腔體內(nèi)設(shè)置有多個(gè)料桿。該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于經(jīng)過該通道在該第一腔體及該第二腔體之間傳送該料桿，該磁性元件跟隨該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一起運(yùn)動(dòng)并能吸起從該料桿上脫落的待鍍工件。與現(xiàn)有技術(shù)相比，在該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有磁性元件，金屬材質(zhì)的待鍍工件在兩個(gè)腔體之間傳送時(shí)，該磁性元件跟隨該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一起運(yùn)動(dòng)能夠吸起從該料桿上脫落的待鍍工件，可以很方便地從腔體中取出脫落的待鍍工件。


圖1為本發(fā)明提供的濺鍍裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖1中的濺鍍裝置的使用狀態(tài)圖。圖3為圖1中III部分的放大圖。圖4為圖1中IV部分的放大圖。
圖5為圖4的立體剖視圖。
主要元件符號說明
濺鍍裝置100
第一腔體10
第一底板11
第二腔體20
第二底板21
通道30
閥門31
旋轉(zhuǎn)架40
料桿41
笛一總弟 漸411
Λ-Λ- ~上山弟一兄而412
凸柱412a
固定架42
上承載盤421
卡槽421a
下承載盤422
支撐桿423
定位座43
空心柱431
間隔空間431a
連桿機(jī)構(gòu)432
主動(dòng)桿432a
傳動(dòng)桿432b
被動(dòng)桿432c
容置槽432d
穿孔432e
傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50
驅(qū)動(dòng)件51
傳動(dòng)臂52
伸縮桿521
夾具522
磁性元件60
具體實(shí)施例方式為了對本發(fā)明的濺鍍裝置做進(jìn)一步的說明，舉以下實(shí)施方式并配合附圖進(jìn)行詳細(xì)說明。請參閱圖1及圖2，本發(fā)明實(shí)施例提供的一種濺鍍裝置100，其用來對金屬材質(zhì)的待鍍工件(圖未示)鍍膜。其中，該待鍍工件的材質(zhì)為鐵材質(zhì)或含有鐵的合金等，即只要能夠被具有磁性的元件所吸附即可。該濺鍍裝置100包括一個(gè)第一腔體10、一個(gè)第二腔體20、 一個(gè)通道30、兩個(gè)旋轉(zhuǎn)架40、一個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50及一個(gè)磁性元件60。該第一腔體10用來對待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱，該第二腔體20用來對在該第一腔體10 內(nèi)完成預(yù)熱制程的待鍍工件進(jìn)行濺鍍。該第一腔體10與該第二腔體20的結(jié)構(gòu)相同，且該第一腔體10和該第二腔體20分別包括一個(gè)第一底板11和一個(gè)第二底板21。在其他實(shí)施方式中，該第一腔體10與該第二腔體20也可以不同。該通道30設(shè)置于該第一腔體10及第二腔體20之間，使該第一腔體10與該第二腔體20通過該通道30相互連通。在該第一腔體10內(nèi)完成預(yù)熱的待鍍工件經(jīng)由該通道30 被傳送進(jìn)入該第二腔體20內(nèi)進(jìn)行濺鍍制程。在該通道30中，還設(shè)置有一個(gè)閥門31用來控制該通道30的開啟與關(guān)閉。該兩個(gè)旋轉(zhuǎn)架40分別設(shè)置于該第一腔體10及該第二腔體20內(nèi)用來承載待鍍工件。該旋轉(zhuǎn)架40包括一個(gè)料桿41及一個(gè)用于固定該料桿41的固定架42。該固定架42能夠在驅(qū)動(dòng)力的帶動(dòng)下在該第一腔體10內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。在其他實(shí)施方式中，該旋轉(zhuǎn)架40也可以設(shè)置于該第二腔體20內(nèi)。請結(jié)合圖3及圖4，該料桿41為柱狀桿體，該料桿41包括一個(gè)呈“T”型的第一端 411及一個(gè)與該第一端411相對的第二端412，該第二端412在靠近端部的位置垂直于該料桿41向外延伸有一個(gè)凸柱41加。該料桿41可拆卸的裝設(shè)在該固定架42上。該料桿41的桿體上間隔分布有用于承載被鍍工件的懸掛架(圖未示)。該固定架42包括一個(gè)環(huán)狀上承載盤421、一個(gè)與該上承載盤421相對設(shè)置的環(huán)狀下承載盤422及設(shè)置于該上承載盤421及下承載盤422之間的多個(gè)支撐桿423。該支撐桿 423用于支撐固定該上承載盤421及下承載盤422。該上承載盤421的外緣間隔設(shè)置有多個(gè)與該料桿41的第一端411相對應(yīng)的卡槽 421a，通過該第一端411與該卡槽421a卡合使該料桿41能夠垂直懸掛于該上承載盤421。 該下承載盤422設(shè)置有與該卡槽421a對應(yīng)的定位座43。該定位座43包括一個(gè)空心柱431 及一個(gè)收容于該空心柱431的連桿機(jī)構(gòu)432，該連桿機(jī)構(gòu)432可使該料桿41的第二端412 帶動(dòng)該料桿41進(jìn)行自轉(zhuǎn)。請結(jié)合圖5，具體地，該連桿機(jī)構(gòu)432包括一個(gè)主動(dòng)桿43 、一個(gè)傳動(dòng)桿432b及一個(gè)被動(dòng)桿432c。該空心柱431的側(cè)壁不連續(xù)而具有一個(gè)間隔空間431a。該被動(dòng)桿432c收容于該間隔空間431a。該傳動(dòng)桿432b的中部鉸接固定在該空心柱431的側(cè)壁上，該主動(dòng)桿43 設(shè)置于該空心柱431內(nèi)。在該連桿機(jī)構(gòu)432的主動(dòng)桿43 設(shè)置有容置槽432d，該被動(dòng)桿432c設(shè)置有穿孔43 ，該傳動(dòng)桿432b的一端收容于該容置槽432d內(nèi)，另一端穿設(shè)于該穿孔43 ，該主動(dòng)桿43 及被動(dòng)桿432c通過該容置槽432d與穿孔43 結(jié)構(gòu)與該傳動(dòng)桿432b相互鉸接。該料桿41對該主動(dòng)桿43 施力使該傳動(dòng)桿432b帶動(dòng)該被動(dòng)桿432c 運(yùn)動(dòng)從而使得該被動(dòng)桿432c與該凸柱41 相互交叉，該定位座43旋轉(zhuǎn)時(shí)通過該料桿41 與該連桿機(jī)構(gòu)432相互交叉來帶動(dòng)該料桿41進(jìn)行自轉(zhuǎn)?？梢岳斫猓撝鲃?dòng)桿43 及被動(dòng)桿432c還可以通過螺栓或其它方式相互鉸接，只要使得該被動(dòng)桿432c在該主動(dòng)桿43 的帶動(dòng)下能夠沿該空心柱431的軸線方向向上運(yùn)動(dòng)即可。
該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50為機(jī)械手，其設(shè)置于該第一腔體10內(nèi)。該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)件51和兩個(gè)傳動(dòng)臂52。該傳動(dòng)臂52在該驅(qū)動(dòng)件51的驅(qū)動(dòng)下可以伸長和縮短。該傳動(dòng)臂52包括一個(gè)與該驅(qū)動(dòng)件51連接的伸縮桿521和一個(gè)位于該傳動(dòng)臂52的一端用來夾持該料桿41的夾具522。在其他實(shí)施方式中，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50也可以設(shè)置于該第二腔體20內(nèi)。 該傳動(dòng)臂52也可以為一個(gè)或多個(gè)。該磁性元件60設(shè)置于該伸縮桿521上，該磁性元件60到該第一底板11或該第二底板21的距離小于該磁性元件60與該夾具522之間的距離。優(yōu)選地，該磁性元件60設(shè)置于靠近該第一底板11或該第二底板21的伸縮桿521上。另外，該磁性元件60與該夾具 522之間的距離大于該磁性元件60的磁場能夠分布的最大距離。如此，可以避免掛在該懸掛架上的待鍍工件被吸附到該磁性元件60上。優(yōu)選地，該磁性元件60到該第一底板11或該第二底板21的距離在該磁性元件60的磁場能夠分布的最大距離以內(nèi)。如此，可以保證能夠吸起從該懸掛架上脫落的待鍍工件。在傳送過程中，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50從該第一腔體10內(nèi)抓取該料桿41后，首先會(huì)沿軸向向上行走一段距離以將該料桿41從定位座43中取出，接著將該料桿41推離位于該第一腔體10內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40并經(jīng)由該通道30進(jìn)入該第二腔體20內(nèi)，位于該第二腔體20內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40在驅(qū)動(dòng)力的控制下使其上的卡槽421a以及定位座43正對該傳動(dòng)臂52的前進(jìn)方向， 該傳動(dòng)臂52將該料桿41推入位于該第二腔體20內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40的卡槽421a內(nèi)，然后再沿軸向向下運(yùn)動(dòng)將該料桿41放入位于該第二腔體20內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40的定位座43內(nèi)以使該料桿41固定在該位于該第二腔體20內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40上，最后傳動(dòng)臂52松開該料桿41并退回到該第一腔體10內(nèi)直至該磁性元件60與該驅(qū)動(dòng)件51抵持。此時(shí)，該兩個(gè)旋轉(zhuǎn)架40在驅(qū)動(dòng)力的帶動(dòng)下，同時(shí)旋轉(zhuǎn)相同的角度，使該位于該第一腔體10內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40上的下一個(gè)料桿41正對該傳動(dòng)臂52，此時(shí)傳動(dòng)臂52再次進(jìn)行相同的料桿41傳輸動(dòng)作，直至將該位于該第一腔體10內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架40上的料桿41全部傳輸固定到該位于該第二腔體20內(nèi)的旋轉(zhuǎn)架 40上。在上述傳送過程中，若有待鍍工件從該懸掛架上脫落，例如落在該第一底板11、 該第二底板21或該通道30處，則跟隨該伸縮桿521 —起運(yùn)動(dòng)的磁性元件60會(huì)將該脫落的待鍍工件吸附上來。待該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50的傳動(dòng)臂52縮到該第一腔體10內(nèi)時(shí)，可以取下吸附在該磁性元件60上的待鍍工件進(jìn)行相應(yīng)的處理，例如，若沒有進(jìn)行濺鍍過的可掛在該懸掛架上重新進(jìn)行濺鍍，已經(jīng)濺鍍過的可直接取下。其中，從該磁性元件60遠(yuǎn)離該夾具522的一端到該夾具522在沿該伸縮桿521的軸向上的距離小于該固定架42的半徑。如此，使該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)50的夾具522在縮回后能夠收容于該旋轉(zhuǎn)架40內(nèi)。在該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上設(shè)置有磁性元件，金屬材質(zhì)的待鍍工件在兩個(gè)腔體之間傳送時(shí)， 該磁性元件跟隨該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一起運(yùn)動(dòng)能夠吸起從該料桿上脫落的待鍍工件，即使待鍍元件落到通道處，也能方便取出脫落的待鍍工件?？梢岳斫獾氖?，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思做出其它各種相應(yīng)的改變與變形，而所有這些改變與變形都應(yīng)屬于本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種濺鍍裝置，其用來對金屬材質(zhì)的待鍍工件鍍膜，該濺鍍裝置具有一個(gè)用于對該待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱的第一腔體、一個(gè)用于對該待鍍工件濺鍍的第二腔體、一個(gè)設(shè)置于該第一腔體或該第二腔體內(nèi)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)及一個(gè)連接該第一腔體和該第二腔體的能處于開啟或關(guān)閉狀態(tài)的通道，該第一腔體及該第二腔體內(nèi)設(shè)置有多個(gè)料桿，其特征在于該濺鍍裝置還包括至少一個(gè)設(shè)置于該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上的磁性元件，該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于經(jīng)過該通道在該第一腔體及該第二腔體之間傳送該料桿，該磁性元件跟隨該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一起運(yùn)動(dòng)并能吸起從該料桿上脫落的待鍍工件。
2.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)件和至少一個(gè)傳動(dòng)臂，該至少一個(gè)傳動(dòng)臂包括與該驅(qū)動(dòng)件連接的伸縮桿和位于該傳動(dòng)臂的一端用來夾持該料桿的夾具。
3.如權(quán)利要求2所述的濺鍍裝置，其特征在于該磁性元件設(shè)置于該伸縮桿，該第一腔體與該第二腔體的結(jié)構(gòu)相同，且該第一腔體和該第二腔體分別包括一個(gè)第一底板和一個(gè)第二底板，該磁性元件到該第一底板或該第二底板的距離小于該磁性元件與該夾具之間的距1 O
4.如權(quán)利要求3所述的濺鍍裝置，其特征在于該磁性元件到該第一底板或該第二底板的距離在該磁性元件的磁場能夠分布的最大距離以內(nèi)。
5.如權(quán)利要求3所述的濺鍍裝置，其特征在于該磁性元件與該夾具之間的距離大于該磁性元件的磁場能夠分布的最大距離。
6.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于該濺鍍裝置包括兩個(gè)分別設(shè)置于該第一腔體及該第二腔體內(nèi)的結(jié)構(gòu)相同的固定架，該固定架用來承載料桿，從該磁性元件遠(yuǎn)離該夾具的一端到該夾具在沿該伸縮桿的軸向上的距離小于該固定架的半徑。
7.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于在該通道內(nèi)設(shè)置有一閥門用來控制該通道的開啟與關(guān)閉。
8.如權(quán)利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于該料桿為柱狀桿體，該料桿的一端為 “T”型端，另一端在靠近端部的位置垂直于該料桿向外延伸有一個(gè)凸柱。
9.如權(quán)利要求8所述的濺鍍裝置，其特征在于該固定架包括兩個(gè)相對設(shè)置的環(huán)狀上承載盤及下承載盤，該上承載盤及下承載盤之間設(shè)置有多個(gè)支撐桿，該上承載盤及下承載盤通過該支撐桿支撐固定，在該上承載盤的外緣間隔設(shè)置有多個(gè)與該“T”型端相對應(yīng)的卡槽，通過該“T”型端與該卡槽卡合使該料桿能夠垂直懸掛于該上承載盤，該下承載盤設(shè)置有與該卡槽對應(yīng)的定位座，該定位座包括一個(gè)空心柱及一個(gè)收容于該空心柱的連桿機(jī)構(gòu)，該料桿延伸有凸柱的一端通過該連桿機(jī)構(gòu)帶動(dòng)該料桿進(jìn)行自轉(zhuǎn)。
10.如權(quán)利要求9所述的濺鍍裝置，其特征在于該連桿機(jī)構(gòu)包括一個(gè)主動(dòng)桿、一個(gè)傳動(dòng)桿及一個(gè)被動(dòng)桿，該傳動(dòng)桿的中部鉸接固定在該空心柱的側(cè)壁上，該主動(dòng)桿設(shè)置于該空心柱內(nèi)，該主動(dòng)桿及該被動(dòng)桿分別沿該空心柱的軸線方向鉸接固定于該傳動(dòng)桿的兩端，該料桿對該主動(dòng)桿施力使該傳動(dòng)桿帶動(dòng)該被動(dòng)桿運(yùn)動(dòng)從而使得該被動(dòng)桿與該凸柱相互交叉， 該定位座旋轉(zhuǎn)時(shí)通過該料桿與該連桿機(jī)構(gòu)相互交叉來帶動(dòng)該料桿進(jìn)行自轉(zhuǎn)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種濺鍍裝置，其用來對金屬材質(zhì)的待鍍工件鍍膜。該濺鍍裝置包括一個(gè)用于對該待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱的第一腔體、一個(gè)用于對該待鍍工件濺鍍的第二腔體、一個(gè)設(shè)置于該第一腔體或該第二腔體內(nèi)的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、一個(gè)連接該第一腔體和該第二腔體的能處于開啟或關(guān)閉狀態(tài)的通道及至少一個(gè)設(shè)置于該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上的磁性元件。該第一腔體及該第二腔體內(nèi)設(shè)置有多個(gè)料桿。該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)用于經(jīng)過該通道在該第一腔體及該第二腔體之間傳送該料桿，該磁性元件跟隨該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一起運(yùn)動(dòng)并能吸起從該料桿上脫落的待鍍工件。如此，方便從腔體中取出脫落的待鍍工件。
文檔編號C23C14/34GK102234768SQ201010161090
公開日2011年11月9日 申請日期2010年4月30日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月30日
發(fā)明者王仲培 申請人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司