專利名稱：：圓筒磨削裝置及磨削方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明是涉及一種圓筒磨削裝置及采用該圓筒磨削裝置而進行的磨削方法，該圓筒磨削裝置，在半導(dǎo)體制造中，被使用于單晶晶棒的圓筒磨削工序中。
背景技術(shù)：
：根據(jù)柴氏長晶法(CZ法)而制造出來的單晶晶棒，具有圓柱狀的晶身部和錐狀的端部(頂部與尾部)。而且，在塊體(block)的切斷工序中，通過內(nèi)周刃切片機、外周刃切片機、帶鋸(bandsaw)等，這些錐狀的端部被切離，而作成僅剩下圓柱狀的晶身部。進而，晶身部，按照需要，被切斷為多個塊體。然后，各晶棒的塊體，對其外周面施行磨削加工而成為規(guī)定的直徑之后，通過線鋸等而被切斷，于是被切片成多片硅芯片。作為一種用于磨削圓筒狀晶棒的外周面的磨削裝置，圓筒磨削裝置是最常用的。圖4是表示以往一般的圓筒磨削裝置的一個例子的概略圖。此圓筒磨削裝置101，具備用于保持晶棒105的夾具(夾持器)102、102，;用于旋轉(zhuǎn)驅(qū)動晶棒105的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)104；及磨削晶棒105的砥石(磨石)103等。并且，構(gòu)成由前述夾具102、102’傳達旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，使晶棒105繞軸旋轉(zhuǎn)，而且相對于前述晶棒105，將旋轉(zhuǎn)中的圓盤狀砥石103往其旋轉(zhuǎn)軸向進給，同時往前述夾具102、102’的旋轉(zhuǎn)軸向進給，也就是使砥石103作交叉(traverse)移動，由此，可磨削前述晶棒105的外周面。在圓筒磨削裝置101中，從水平方向來保持晶棒105的端面，S卩，以使晶棒105的旋轉(zhuǎn)軸與水平方向一致的方式，來保持晶棒105。前述砥石103，由于是往該砥石103的旋轉(zhuǎn)軸向的晶棒105側(cè)進給，同時往前述夾具102、102’的旋轉(zhuǎn)軸向進給，若前述晶棒105的旋轉(zhuǎn)軸和前述夾具102、102’的旋轉(zhuǎn)軸偏移，則無法磨削成圓筒狀，且會發(fā)生必要以上的磨削量。因此，在磨削前，進行晶棒的定心(centering)是不可缺少的。有關(guān)此定心，揭示一種圓筒磨削裝置，先測量工件的軸向的多處剖面形狀，并依據(jù)測量結(jié)果，通過演算而算出研磨中心，然后根據(jù)用以調(diào)整工件位置的驅(qū)動部，來調(diào)整被計算出來的研磨中心與工件的旋轉(zhuǎn)中心的偏移(參照日本特開平2-131849號公報)。另外，揭示一種外徑磨削機，是通過固定棒，把持工件的兩側(cè)的端面，來磨削工件的外徑磨削機，并構(gòu)成將工件置放在工件置放部，在此狀態(tài)下，由前述固定棒的中心線的延長線上至工件置放部的工件接觸部為止的垂直下降距離，等于工件的半徑(參照日本實開平6-63266號公報)。然而，即便是采用前述的磨削裝置，為了精度良好地實行定心，目前是采取一種方法，在此方法中，熟練的作業(yè)員，最后是利用塑料錘等，敲打工件，并通過目視來實行最終的定心。因此，雖然能精度良好地實行定心，但是直到要開始磨削晶棒為止的工序，需要花費許多時間，所以這種方法成為磨削加工效率低的原因之一。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述問題而開發(fā)出來，其目的是提供一種圓筒磨削裝置及磨削方法，針對圓柱狀晶棒的側(cè)面的磨削加工，通過縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，而能提高晶棒的磨削加工效率。為了達成上述目的，本發(fā)明提供一種圓筒磨削裝置，用于磨削圓柱狀晶棒的側(cè)面，其特征在于至少具備平臺，其用以將前述圓柱狀晶棒直立置放；一對夾具，其從垂直方向來保持前述晶棒兩側(cè)的端面；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其用于驅(qū)動前述晶棒來使其繞軸旋轉(zhuǎn)；及研磨輪，其可在前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸向移動；并且，具備定心機構(gòu)，其是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，使前述滾輪相對于前述晶棒，從水平方向作進退移動，而可壓接前述晶棒，并且，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在前述平臺上，接著將前述已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用前述一對夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊利用前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)來使前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使前述定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，利用前述研磨輪來磨削前述晶棒。如此，本發(fā)明的圓筒磨削裝置，具備定心機構(gòu)，其是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，使前述滾輪相對于前述晶棒，從水平方向作進退移動，而可作壓接動作，并且，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在前述平臺上，接著將前述已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用前述一對夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊利用前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)來使前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使前述定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，利用前述研磨輪來磨削前述晶棒。因此，不需要熟練的作業(yè)員，而能以機械方式來實行定心，并能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，而能提高晶棒的磨削加工效率。此時，前述平臺，較佳是具有U字型的切口。如此，若前述平臺具有U字型的切口，則能以簡單的構(gòu)造來避免夾具與平臺互相干涉，并能將前述晶棒置放在前述夾具上或是取走，不但能廉價地構(gòu)成且能縮短工序時間。由此，能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，而能更提高晶棒的磨削加工效率。另外，此時，前述定心機構(gòu)，能設(shè)為一種定心機構(gòu)，具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上，設(shè)有2個滾輪。如此，前述定心機構(gòu)，若具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪，則能以簡單的構(gòu)造，精度良好地實行定心。另外，本發(fā)明提供一種晶棒的磨削方法，是根據(jù)圓筒磨削裝置來磨削圓柱狀晶棒的側(cè)面的方法，其特征在于先將前述圓柱狀晶棒直立置放在平臺上，接著將已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用可繞軸旋轉(zhuǎn)的夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊使利用前述夾具而保持的前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述夾具的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，使研磨輪抵接前述晶棒的側(cè)面，并使前述研磨輪在垂直方向移動，來磨削前述晶棒的側(cè)面。如此，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在平臺上，接著將已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用可繞軸旋轉(zhuǎn)的夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊使利用前述夾具而保持的前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述夾具的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，使研磨輪抵接前述晶棒的側(cè)面，并使前述研磨輪在垂直方向移動，來磨削前述晶棒的側(cè)面，于是，不需要熟練的作業(yè)員，能以機械方式來實行定心，并能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，而能提高晶棒的磨削加工效率。此時，較佳是在前述平臺設(shè)置U字型的切口。如此，利用在前述平臺設(shè)置U字型的切口，則能以簡單的構(gòu)成來避免夾具與平臺互相干涉，并能將前述晶棒置放在前述夾具上或是取走，不但能廉價地構(gòu)成且能縮短工序時間。由此，能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，而能更提高晶棒的磨削加工效率。另外，此時，作為前述定心機構(gòu)，能采用一種定心機構(gòu)，該定心機構(gòu)具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，且該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上，設(shè)有2個滾輪。如此，作為前述定心機構(gòu)，若采用一種定心機構(gòu)，該定心機構(gòu)具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，且該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪，則能以簡單的構(gòu)造，精度良好地實行定心。本發(fā)明，針對圓筒磨削裝置，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在平臺上，接著將已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用可繞軸旋轉(zhuǎn)的夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊使利用前述夾具而保持的前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述夾具的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，使研磨輪抵接前述晶棒的側(cè)面，并使前述研磨輪在垂直方向移動，來磨削前述晶棒的側(cè)面，因此，不需要熟練的作業(yè)員，便能以機械方式來實行定心，并能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，且能提高晶棒的磨削加工效率。圖1是表示本發(fā)明的圓筒磨削裝置的一個例子的概略圖。圖2是表示能在本發(fā)明的圓筒磨削裝置中使用的平臺的一個例子的概略圖；其中的(A)為平臺的仰視圖，(B)是表示根據(jù)平臺，將晶棒移載至夾具上之后，使平臺下降的樣子的概略圖。圖3是表示能在本發(fā)明的圓筒磨削裝置中使用的定心機構(gòu)的一個例子的概略圖。圖4是表示以往的圓筒磨削裝置的一個例子的概略圖。具體實施例方式以下，參照圖面來說明有關(guān)本發(fā)明的實施方式，但本發(fā)明并未限定于此實施方式。以往，針對圓柱狀晶棒的側(cè)面的磨削加工，在開始磨削晶棒之前的工序中，需要由作業(yè)員進行手動作業(yè)，特別是晶棒的定心作業(yè)，目前是采取一種方法，在此方法中，熟練的作業(yè)員，最后是利用塑料錘等，敲打工件，并通過目視來實行最終的定心。另外，以往一般的圓筒磨削裝置，是將晶棒的旋轉(zhuǎn)軸保持在水平方向，因而，前述定心作業(yè)非常費工夫。特別是加工近年的大口徑晶棒的情況，需要花更多的工夫。因此，雖然能由熟練的作業(yè)員來實行精度良好的定心，但是如上述般地直到要開始磨削晶棒為止的工序，需要花費許多時間，所以這種方法成為磨削加工效率低的原因之一。因此，本發(fā)明人，為了能在不需要熟練的作業(yè)員的情況下，以機械方式來實行定心，且為了縮短從置放晶棒至開始磨削晶棒為止的工序時間，反復(fù)進行深入研究。結(jié)果，發(fā)現(xiàn)只要將晶棒保持在垂直方向，不需要熟練的作業(yè)員的情況下，便能以機械方式來實行定心，進而，若作成一邊使晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊利用具有多個滾輪的定心機構(gòu)來壓接晶棒，便能以機械方式，在短時間內(nèi)實行精度良好的定心。S卩，本發(fā)明，針對圓筒磨削裝置，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在前述平臺上，接著將前述已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用可繞軸旋轉(zhuǎn)的夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊使利用前述夾具而保持的前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述夾具的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，使研磨輪抵接前述晶棒的側(cè)面，并使前述研磨輪在垂直方向移動，來磨削前述晶棒的側(cè)面，因此，不需要熟練的作業(yè)員，便能以機械方式來實行定心，并能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，且能提高晶棒的磨削加工效率。圖1是表示本發(fā)明的圓筒磨削裝置的一個例子的概略圖。如圖1所示，圓筒磨削裝置1，設(shè)有一對夾具2、2’，其用于保持要進行磨削的圓筒狀晶棒5的端面6；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)4，其用于驅(qū)動前述晶棒5來使該晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)；以及研磨輪3，用以磨削前述晶棒5的側(cè)面的砥石，并可繞軸旋轉(zhuǎn)。而且，使前述研磨輪3抵接前述晶棒的側(cè)面7，并通過沿著前述晶棒的側(cè)面7而作上下移動，來磨削前述晶棒5的側(cè)面。有關(guān)本發(fā)明的圓筒磨削裝置1，具有將晶棒5直立置放的平臺(table)。而且，已被直立置放在前述平臺8上的晶棒5，通過使前述平臺8移動，便會被搬送至夾具2’上。一對夾具2、2’，至少其中一個夾具可在垂直方向升降自如，而能根據(jù)前述夾具2、2’，從垂直方向來保持前述晶棒5的端面。這種晶棒的保持，例如能通過根據(jù)油壓缸所產(chǎn)生的夾具間的推壓力來實行，此推壓力可調(diào)整成所希望的強弱程度。另外，夾具2、2’可繞軸旋轉(zhuǎn)，從旋轉(zhuǎn)機構(gòu)4傳來的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力，會被傳達至前述夾具2’，而能使被前述夾具2、2’保持的晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)。另外，研磨輪3，可高速地繞軸旋轉(zhuǎn)。另外，研磨輪3，在軸向上，往前后移動自如，當(dāng)前進時，抵接晶棒的側(cè)面而可進行磨削。另外，可沿著前述晶棒的側(cè)面7，即沿著垂直方向移動，而可進行交叉(traverse)磨削。而且，一邊根據(jù)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)4來使晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使研磨輪3如上述般地作交叉移動，便可磨削晶棒5的側(cè)面。此處，在磨削時，為了使晶棒5的偏移等情況不會發(fā)生，用以保持晶棒5的前述夾具2、2’間的磨削時的推壓力，例如能設(shè)為1000020000牛頓(N)。然而，此條件并未被限定于上述范圍，只要該推壓力可以使晶棒5于磨削中不會在夾具2、2’之間移動而發(fā)生位置偏移即可。另外，此處，在磨削時，使前述晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度，例如能設(shè)為520rpm(每分鐘轉(zhuǎn)數(shù))。然而，轉(zhuǎn)數(shù)條件也未被限定于此轉(zhuǎn)數(shù)，只要根據(jù)晶棒的外徑等的條件來作適當(dāng)決定即可。而且，有關(guān)本發(fā)明的圓筒磨削裝置1，具有定心機構(gòu)9，用于實行已置放在夾具2、2’上的晶棒5的定心。此定心機構(gòu)9，是由至少3個滾輪11、及用以支撐前述滾輪11的臂10所構(gòu)成。而且，定心機構(gòu)9，相對于前述晶棒5，從水平方向作進退移動，而可使前述滾輪11壓接晶棒。另外，本發(fā)明的圓筒磨削裝置1，如前述般，由于是將晶棒5保持在垂直方向，所以相較于先前的橫向保持晶棒的情況，能降低定心時的夾具2、2’間的推壓力，因此能效率良好地實行定心。而且，采用前述定心機構(gòu)9，一邊利用旋轉(zhuǎn)機構(gòu)4來使晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使前述定心機構(gòu)9相對于前述晶棒5從水平方向作進退移動，若使前述滾輪11壓接前述晶棒5，便會使旋轉(zhuǎn)機構(gòu)4的旋轉(zhuǎn)軸(夾具的旋轉(zhuǎn)軸)與晶棒5的旋轉(zhuǎn)軸一致，于是，定心工序不需要熟練的作業(yè)員，而能以機械方式來實行定心，因而能在短時間內(nèi)精度良好地實行。如此，本發(fā)明的圓筒磨削裝置，成為一種可提高磨削加工效率的裝置。此處，前述滾輪11的數(shù)量，只要是3個以上，并沒有特別地限定，例如能設(shè)為46個。另外，此處，定心時的前述夾具間的推壓力，例如能設(shè)為20008000牛頓(N)。利用設(shè)定在此范圍內(nèi)，被前述定心機構(gòu)9的滾輪11壓接的晶棒5，能設(shè)成可在夾具2、2’間移動至定心位置。然而，此條件并未被限定于上述范圍，只要是在定心時，晶棒5能在夾具2、2’間移動至定心位置的推壓力即可，且只要根據(jù)晶棒的外徑等，作適當(dāng)?shù)臎Q定即可。另外，此處，在定心時，使前述晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度，例如能設(shè)為15rpm。然而，此旋轉(zhuǎn)速度并未被限定于上述范圍，只要根據(jù)晶棒的外徑等的條件，適當(dāng)?shù)貨Q定能效率良好地定心的旋轉(zhuǎn)速度即可。另外，此時，如圖2中的㈧所示，前述平臺，較佳是具有U字型的切口。如此，若前述平臺具有U字型的切口，如圖2中的⑶所示，置放有晶棒5的平臺8，若從夾具2’的上方往下降，然后后退，便能簡單地將前述晶棒5移載至前述夾具2’上，而能縮短工序時間。由此，能更縮短從將前述晶棒5置放在圓筒磨削裝置1的平臺8上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，并能進一步提高晶棒的磨削加工效率，同時也能廉價地構(gòu)成裝置。此處，能預(yù)先在前述平臺8的表面上粘貼相當(dāng)于晶棒直徑的樹脂而成為標(biāo)識(圖2中的(A)中的斜線部分)。若采用此機構(gòu)，能作出將晶棒5直立在平臺8上時的定位標(biāo)識，當(dāng)晶棒5被置放在平臺8上的時候，防止大幅度地偏離軸，而可便利地進行后續(xù)的定心工序。另外，此時，前述定心機構(gòu)9，能作成具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪。在圖3中，表示能在本發(fā)明的圓筒磨削裝置中使用的定心機構(gòu)的一個例子。如圖3所示，此定心構(gòu)件12，在其Y字型的臂10、10’的前端，設(shè)有2個滾輪11、11’，并各自被設(shè)成左右對稱。另外，各個前述構(gòu)件，例如能根據(jù)氣壓缸而作前進、后退動作。而且，通過使前述定心構(gòu)件12往晶棒5前進，便能以前述滾輪11、11’來壓接前述晶棒5。如此，前述定心機構(gòu)9，若具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪，則可作出一種定位機構(gòu)，能以簡單的構(gòu)造，精度良好地實行定心。接著，說明有關(guān)本發(fā)明的晶棒的磨削方法。本發(fā)明的晶棒的磨削方法，是采用圖1所示的圓筒磨削裝置1，首先，將圓柱狀晶棒5直立置放在平臺8上。然后，使前述平臺8移動至夾具2’上之后，使其下降而將前述晶棒5移載在夾具2’上，并以夾具2、2’將前述晶棒5兩側(cè)的端面保持在垂直方向。此處，在圖1的圓筒磨削裝置的例子中，晶棒5的往夾具2’的移載動作，是通過使平臺移動來實行，但是也可作成使夾具2’移動的結(jié)構(gòu)。接著，一邊使利用前述夾具2、2’而保持的前述晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)9相對于前述晶棒5從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)9是由至少3個滾輪11與用以支撐前述滾輪11的臂10所組成，并使前述滾輪11壓接前述晶棒5的側(cè)面7，由此，便能使前述夾具2、2’的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒5的中心軸一致而實行定心。此處，滾輪11的數(shù)量，只要是3個以上，便沒有特別的限定，例如也可采用一種具有46個滾輪的定心機構(gòu)。另外，此處，定心時的前述夾具2、2’間的推壓力，例如能設(shè)為20008000牛頓(N)。利用設(shè)定在此范圍內(nèi)，被前述定心機構(gòu)9的滾輪11壓接的前述晶棒5，能在前述夾具2、2’間移動至定心位置。然而，此條件并未被限定于上述范圍，只要是在定心時，前述晶棒5能在夾具2、2’間移動至定心位置的推壓力即可，且只要根據(jù)晶棒的外徑等，作適當(dāng)?shù)臎Q定即可。另外，此處，在定心時，使前述晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度，例如能設(shè)為15rpm。然而，此旋轉(zhuǎn)速度并未被限定于上述范圍，只要根據(jù)晶棒的外徑等的條件，適當(dāng)?shù)貨Q定能效率良好地定心的旋轉(zhuǎn)速度即可。另外，此處，定心的完成，能設(shè)為是從開始定心算起經(jīng)過規(guī)定的時間后的時點。此處，規(guī)定的時間并沒有特別限定，只要是可精度良好地進行定心的時間即可，例如能設(shè)為30秒2分鐘。之后，使壓接晶棒的前述定心機構(gòu)9后退。另外，在磨削時，為了不會發(fā)生晶棒5的位置偏移等的情況，增加用以保持晶棒5的前述夾具2、2’間的推壓力，來固定前述晶棒5。然后，一邊使前述晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使研磨輪3抵接前述晶棒的側(cè)面7，并使前述研磨輪3往垂直方向移動，來磨削晶棒5的側(cè)面。此處，在磨削時的前述夾具2、2’間的推壓力，例如能設(shè)為1000020000牛頓(N)。若設(shè)在此范圍內(nèi)，在磨削中，能防止晶棒5在夾具2、2’之間移動而發(fā)生位置偏移等的情況。然而，此條件也未被限定于上述范圍，只要該推壓力可以使晶棒5于磨削中不會在夾具2、2’之間移動而發(fā)生位置偏移即可。另外，此處，在磨削時，使前述晶棒5繞軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)速度，例如能設(shè)為520rpm。然而，此條件并未被限定于上述范圍，只要根據(jù)晶棒的外徑等的條件，適當(dāng)?shù)貨Q定即可。此時，如圖2中的㈧所示，前述平臺，較佳是設(shè)有U字型的切口。如此，利用在前述平臺上設(shè)置U字型的切口，如圖2中的⑶所示，置放有晶棒5的平臺8，若從夾具2’的上方往下降，便能在使平臺8與夾具2’不會互相干涉的情況下，簡單地將前述晶棒5移載至前述夾具2’上，而能縮短工序時間。由此，能更縮短從將前述晶棒5置放在圓筒磨削裝置1的平臺8上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，并能更提高晶棒的磨削加工效率，同時也能廉價地構(gòu)成裝置。另外，此時，作為前述定心機構(gòu)9，能采用一種定心機構(gòu)，如圖3所示，具有1對定心構(gòu)件12，而在其Y字型的臂上，設(shè)有2個滾輪，并各自被設(shè)成左右對稱。如此，作為前述定心機構(gòu)9，若是采用一種定心機構(gòu)，該定心機構(gòu)具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪，則能以簡單的構(gòu)造，精度良好地實行定心。此處，定心機構(gòu)9的水平方向的進退動作(進退移動)，例如能根據(jù)氣壓缸等來實行，此時的供給壓力，能設(shè)為0.30.BMpa0然而，此供給壓力并未被限定于上述范圍，只要根據(jù)要進行磨削的晶棒的外徑、所使用的定心機構(gòu)的尺寸等，適當(dāng)?shù)貨Q定即可。如以上說明，本發(fā)明的晶棒的磨削方法，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在平臺上，接著將已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用可繞軸旋轉(zhuǎn)的夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊使利用前述夾具而保持的前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，便能使前述夾具的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，使研磨輪抵接前述晶棒的側(cè)面，并使前述研磨輪在垂直方向移動，來磨削前述晶棒的側(cè)面，因此，不需要熟練的作業(yè)員，便能以機械方式來實行定心，并能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，且能提高晶棒的磨削加工效率。以下，根據(jù)實施例，更具體地說明本發(fā)明，但是本發(fā)明并未被限定于此例子。(實施例)采用圖1所示的圓筒磨削裝置，磨削一個直徑300mm的硅晶棒的塊體(block)，并測量定心的精度與磨削時間。使用圖2中的(A)所示的具有U字型切口的平臺，而作為定心機構(gòu)，則使用如圖3所示的定心機構(gòu)，此定心機構(gòu)具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，且該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪。另外，定心機構(gòu)的水平方向的進退移動，是根據(jù)氣壓缸來實行，并通過0.5Mpa的供給壓力而使定心機構(gòu)壓接晶棒。另外，在進行定心時，將夾具之間的推壓力設(shè)為5000牛頓(N)，并以3rpm的旋轉(zhuǎn)速度來使晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)。并且，將從開始定心至定心完成為止的規(guī)定時間，設(shè)為1分鐘。另外，在定心完成后，將夾具之間的推壓力設(shè)為15000牛頓，使夾具間的晶棒固定，且一邊以IOrpm的旋轉(zhuǎn)速度使晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊磨削晶棒。結(jié)果，能以士Imm的精度來實行定心，而能作成與后述比較例同樣的高精度。另外，至磨削完成為止的工序時間約為51分鐘。相較于比較例的大約80分鐘的結(jié)果，磨削加工效率提高大約1.6倍。由此，采用本發(fā)明的圓筒磨削裝置而進行的磨削方法，確認能縮短從將晶棒置放在圓筒磨削裝置的平臺上開始算起至精度良好地完成定心為止的工序時間，且能提高晶棒的磨削加工效率。(比較例)采用圖4所示的以往的圓筒磨削裝置，對與實施例同樣的硅晶棒，由熟練的作業(yè)員實行定心之后，磨削一個塊體，并實行與實施例同樣的評價。結(jié)果，定心的精度，能以士Imm這樣的高精度來實行，但是從將晶棒置放在裝置上開始算起至定心完成為止的工序時間，約為30分鐘，而至磨削完成為止的工序時間則為大約80分鐘這樣的結(jié)果。另外，本發(fā)明并未被限定于上述實施方式。上述實施方式只是例示，凡是具有與被記載于本發(fā)明的權(quán)利要求中的技術(shù)思想實質(zhì)上相同的結(jié)構(gòu)，能得到同樣的作用效果者，不論為何者，皆被包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)。權(quán)利要求一種圓筒磨削裝置，用于磨削圓柱狀晶棒的側(cè)面，其特征在于至少具備平臺，其用以將前述圓柱狀晶棒直立置放；一對夾具，其從垂直方向來保持前述晶棒兩側(cè)的端面；旋轉(zhuǎn)機構(gòu)，其用于驅(qū)動前述晶棒來使其繞軸旋轉(zhuǎn)；及研磨輪，其可在前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸向移動；并且，具備定心機構(gòu)，其是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，使前述滾輪相對于前述晶棒，從水平方向作進退移動，而可作壓接動作，并且，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在前述平臺上，接著將前述已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用前述一對夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊利用前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)來使前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使前述定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，利用前述研磨輪來磨削前述晶棒。2.如權(quán)利要求1所述的圓筒磨削裝置，其中前述平臺具有U字型的切口。3.如權(quán)利要求1或2所述的圓筒磨削裝置，其中前述定心機構(gòu)，具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪。4.一種晶棒的磨削方法，是根據(jù)圓筒磨削裝置來磨削圓柱狀晶棒的側(cè)面的方法，其特征在于先將前述圓柱狀晶棒直立置放在平臺上，接著將已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至前述夾具上，然后利用可繞軸旋轉(zhuǎn)的夾具，將前述晶棒兩側(cè)的端面，保持在垂直方向，接著一邊使利用前述夾具而保持的前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，該定心機構(gòu)是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述夾具的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后，使研磨輪抵接前述晶棒的側(cè)面，并使前述研磨輪在垂直方向移動，來磨削前述晶棒的側(cè)5.如權(quán)利要求4所述的晶棒的磨削方法，其中在前述平臺設(shè)置U字型的切口。6.如權(quán)利要求4或5所述的晶棒的磨削方法，其中作為前述定心機構(gòu)，采用一種定心機構(gòu)，該定心機構(gòu)具有1對各自左右對稱的定心構(gòu)件，且該定心構(gòu)件在其Y字型的臂上設(shè)有2個滾輪。全文摘要一種圓筒磨削裝置，用于磨削圓柱狀晶棒的側(cè)面，其特征在于具備定心機構(gòu)，其是由至少3個滾輪與用以支撐前述滾輪的臂所組成，使前述滾輪相對于前述晶棒從水平方向作進退移動而可作壓接動作，并且，先將前述圓柱狀晶棒直立置放在平臺上，接著將前述已直立置放的晶棒，從前述平臺移載至夾具上，然后利用一對夾具將前述晶棒兩側(cè)的端面保持在垂直方向，接著一邊利用旋轉(zhuǎn)機構(gòu)來使前述晶棒繞軸旋轉(zhuǎn)，一邊使前述定心機構(gòu)相對于前述晶棒從水平方向作進退移動，而使前述滾輪壓接前述晶棒的側(cè)面，由此，使前述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)軸與前述晶棒的中心軸一致，之后利用研磨輪來磨削前述晶棒。由此，提供一種能提高晶棒的磨削加工效率的圓筒磨削裝置及磨削方法。文檔編號B24B5/04GK101945732SQ20098010477公開日2011年1月12日申請日期2009年1月21日優(yōu)先權(quán)日2008年2月15日發(fā)明者平野好宏,西野英彥申請人:信越半導(dǎo)體股份有限公司