專利名稱：一種粘接的組合靶的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種需要粘接的組合靶材，具體地說是 存在中心孔的粘接組合靶材。
背景技術(shù)：
目前，在光盤領(lǐng)域DVD-9碟片半反射層使用的靶材的下部(背板)都使用鉬材料， 鉬背板均為平面設(shè)計(jì)，整個(gè)粘接面為一平面，粘接層為低熔點(diǎn)金屬(熔點(diǎn)160°C )，在靶材使 用過程中靶面會(huì)產(chǎn)生高溫(大于160°C )，這樣經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)粘接層金屬熔融后從中心孔位置 流出，或者靶材移動(dòng)后接觸到電極，引起電極短路，影響正常生產(chǎn)；由于粘接面為一平面，在 粘接過程中不僅中心孔的同心度較難保證，而且會(huì)使粘接層金屬的損耗增加。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的技術(shù)任務(wù)是針對(duì)以上不足之處，提供一種既能保證靶材中心孔不漏 粘接層金屬和組合材料粘接的中心孔同心度，又能夠節(jié)省粘接層金屬材料的組合靶材。本實(shí)用新型解決的技術(shù)問題所采用的方案是將下部(背板)粘接層面改平面設(shè) 計(jì)為臺(tái)階設(shè)計(jì)，在保證中心孔基本尺寸的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)出臺(tái)階尺寸，并與上部鍍膜材料靶材 的臺(tái)階進(jìn)行間隙配合組合。所述的組合靶材上部和下部在中心孔位置各有一個(gè)臺(tái)階，下部 臺(tái)階凸，上部臺(tái)階凹。本實(shí)用新型的上部鍍膜材料設(shè)有凹槽，背板設(shè)有凸槽，鍍膜材料的凹槽與背板凸 槽間隙配合。本實(shí)用新型與現(xiàn)在的粘接組合靶材相比，具有粘接過程控制簡(jiǎn)便、牢固，節(jié)省材 料，同心度高，杜絕短路現(xiàn)象，使用效果穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一部說明。附圖為粘接組合靶材實(shí)用新型和現(xiàn)在使用的結(jié)構(gòu)對(duì)比圖。


圖1 (a)是本實(shí)用新型一種粘接的組合靶的上部示意圖，
圖1 (b)是現(xiàn)有的一種粘接的組合靶的上部示意圖圖2(a)是本實(shí)用新型一種粘接的組合靶的下部背板示意圖圖2 (b)是現(xiàn)有的一種粘接的組合靶的下部背板示意圖圖3本實(shí)用新型一種粘接的組合靶的示意圖，圖中1粘接面，2中心孔，3臺(tái)階，4鍍膜材料，5背板具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施實(shí)例對(duì)本實(shí)用作進(jìn)一步說明。[0017]本實(shí)用新型是一種有中心孔需要粘接的組合靶，其結(jié)構(gòu)包括
圖1(a)的上部，圖 2(a)的下部背板，1粘接面，2中心孔，3臺(tái)階，圖3為實(shí)用新型組合靶示意圖。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單實(shí)用，加工制造非常容易，粘接工藝簡(jiǎn)便，按照附
圖1(a)和 附圖2(a)加工制作即可，注意上、下部臺(tái)階部位需要間隙配合。
權(quán)利要求一種粘接的組合靶，它包括上部為鍍膜材料和下部背板，其特征在于，所述的組合靶上部和下部在中心孔位置各有一個(gè)臺(tái)階，下部臺(tái)階凸，上部臺(tái)階凹。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粘接的組合靶，其特征在于上部鍍膜材料設(shè)有凹槽，背 板設(shè)有凸槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種粘接的組合靶，其特征在于鍍膜材料的凹槽與背板凸槽 間隙配合。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種粘接的組合靶，具體地說是它是圓形設(shè)計(jì)，包括上部鍍膜材料和下部背板，其特征在于中心孔位置設(shè)置有臺(tái)階存在，存在中心孔的粘接組合靶材。其特征在于既能保證靶材中心孔不漏粘接層金屬和組合材料粘接的中心孔同心度，又能夠節(jié)省粘接層金屬材料的組合靶材。將背板粘接層面改平面設(shè)計(jì)為臺(tái)階設(shè)計(jì)，在保證中心孔基本尺寸的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)出臺(tái)階尺寸，并與靶材的臺(tái)階進(jìn)行間隙配合組合。所述的組合靶材上部和下部在中心孔位置各有一個(gè)臺(tái)階，下部臺(tái)階凸槽，上部臺(tái)階凹槽。具有粘接過程控制簡(jiǎn)便、牢固，節(jié)省材料，同心度高，杜絕短路現(xiàn)象，使用效果穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201660694SQ20092026400
公開日2010年12月1日 申請(qǐng)日期2009年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月2日
發(fā)明者肖世文 申請(qǐng)人:廣州市尤特新材料有限公司