專(zhuān)利名稱(chēng)：一種復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于高新技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器，尤其
是局部以不銹鋼材料替代玻璃或石英材料精確耐用。技術(shù)背景 目前使用的一種原子層淀積反應(yīng)器中受熱反應(yīng)管以玻璃或石英為主材料制成。整個(gè)反應(yīng)管結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，高溫區(qū)污染少，但關(guān)鍵部件如固態(tài)源進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)細(xì)長(zhǎng)極其脆弱易損。反應(yīng)器中使用的氣流控制毛細(xì)管采用單一材質(zhì)，如單一的玻璃易破損及不易達(dá)到精度要求。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)玻璃或石英制品極易破損，提供一種操作方便，堅(jiān)固耐用，精準(zhǔn)度高的復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器。尤其是以往采用玻璃或石英制作的固態(tài)源進(jìn)氣管稍稍受力，進(jìn)氣管頸部就斷裂；單一材料的玻璃毛細(xì)管不易精確加工且易受力破碎，而單一金屬毛細(xì)管則不易精確加工。 本實(shí)用新型提出的不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管，包括進(jìn)氣管1，進(jìn)氣管頸部2，連通管3，和供氣口 4，整體以不銹鋼材料加工焊接制成.不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管通過(guò)供氣口 4為反應(yīng)室供應(yīng)原料氣，以便在反應(yīng)室的襯底上實(shí)現(xiàn)原子層淀積。由于細(xì)長(zhǎng)的進(jìn)氣管需要通過(guò)更細(xì)的進(jìn)氣管頸部2連接到連通管3上，進(jìn)氣管頸部2就成為最為薄弱易碎的部分。但是在本實(shí)用新型中采用了不銹鋼材料，精度高，堅(jiān)固耐用。 本實(shí)用新型中，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管l包括平行的三根進(jìn)氣管，也可以是平行的兩根固態(tài)源進(jìn)氣管，或者可以直接用一根固態(tài)源進(jìn)氣管構(gòu)成。 本實(shí)用新型中，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管1和進(jìn)氣管頸部2焊接處，以及連通管3和供氣口 4的焊接處內(nèi)部可以鉆小孔連通，通過(guò)小孔直徑大小限制氣流倒流的發(fā)生，突顯出不銹鋼材質(zhì)的優(yōu)勢(shì)。 本實(shí)用新型中，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管可以和玻璃或石英制作的反應(yīng)室通過(guò)供氣口4相連，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管內(nèi)部還是可以放入玻璃或石英制作的固態(tài)源內(nèi)管和固態(tài)源舟，因此整個(gè)原子層淀積反應(yīng)器的受熱關(guān)鍵部分就由數(shù)種材質(zhì)構(gòu)成，稱(chēng)之為復(fù)合材料的原子層淀積反應(yīng)器。 本實(shí)用新型提出的復(fù)合材料的氣流控制毛細(xì)管采用不銹鋼毛細(xì)管5和外層的阻塞體6(聚四氟乙烯，聚三氟氯乙烯或尼龍等塑料)組成。 本實(shí)用新型的有益效果體現(xiàn)在，l.不銹鋼材料制作的固態(tài)源進(jìn)氣管，不存在進(jìn)氣管頸部纖細(xì)處的斷裂問(wèn)題；焊接處內(nèi)部鉆小孔連通，通過(guò)小孔直徑大小限制氣流倒流的發(fā)生，精度高，堅(jiān)固耐用，效果非常顯著。2.采用復(fù)合材料組成的氣流控制毛細(xì)管，成本低，精度高，無(wú)對(duì)外泄漏，堅(jiān)固耐用
圖1不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管 圖2不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管整體縮小結(jié)構(gòu)圖 圖3左右一對(duì)不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管A-A'縱向視圖 圖4控制氣流的復(fù)合材料毛細(xì)管 圖中1.進(jìn)氣管，2.進(jìn)氣管頸部，3.連通管，4.供氣口，5.不銹鋼毛細(xì)管，6.外層阻塞體。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例附圖說(shuō)明. 本實(shí)用新型提出的不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管包括平行的三根進(jìn)氣管l，通過(guò)進(jìn)氣管頸 部2，匯合焊接連接到連通管3，再經(jīng)過(guò)供氣口 4為反應(yīng)室供應(yīng)原料氣，以便在反應(yīng)室的襯底 上實(shí)現(xiàn)原子層淀積，見(jiàn)圖1，圖2和圖3。由于在原子層淀積工藝中要求氣流呈脈沖式流動(dòng)， 必須限制氣流通道中的氣流保證瞬間的氣流單向性.在進(jìn)氣管頸部2和連接到連通管3的 焊接處內(nèi)部可以通過(guò)限制鉆孔直徑來(lái)達(dá)到限制氣流倒流的發(fā)生。同樣在連通管3和供氣口 4的焊接處內(nèi)部也可以通過(guò)限制鉆孔直徑來(lái)達(dá)到限制氣流倒流的發(fā)生。本實(shí)用新型采用不 銹鋼材料制作固態(tài)源進(jìn)氣管，堅(jiān)固耐用，而且精度高，效果非常顯著。 本實(shí)用新型中，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管分左右兩路，保證兩種原子的淀積。左路進(jìn)氣 管l，右路進(jìn)氣管1';左路連通管3，右路連通管3';和左路供氣口 4，右路供氣口 4'列在圖 3中 本實(shí)用新型中，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管包括平行的三根進(jìn)氣管l，也可以是平行的兩 根固態(tài)源進(jìn)氣管l，或者可以直接用一根固態(tài)源進(jìn)氣管1構(gòu)成。具體根據(jù)工藝的要求決定. 本實(shí)用新型中，不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管的供氣口 4是反應(yīng)室的進(jìn)氣口相匹配的。供 氣口 4和反應(yīng)室的進(jìn)氣口的形狀可以是球形口 ，圓錐形口 ，或圓柱形口 。 本實(shí)用新型提出的復(fù)合材料的氣流控制毛細(xì)管采用不銹鋼毛細(xì)管5和外層的塑 料阻塞體6組成，見(jiàn)圖4。氣流控制精度取決于不銹鋼毛細(xì)管5的內(nèi)孔，要求內(nèi)徑精確光滑。 本實(shí)用新型中是采用一定長(zhǎng)度的無(wú)縫不銹鋼針管制成，符合設(shè)計(jì)要求，精度非常高，制作方 便。外層的阻塞體6的目的是限制氣流必須從毛細(xì)管內(nèi)孔流過(guò)，因此本實(shí)用新型中是采用 聚四氟乙烯，聚氟氯乙烯，聚氯乙烯，聚乙烯或尼龍等塑料制成。
權(quán)利要求一種復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器，其特征是采用不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管，玻璃或石英反應(yīng)管和復(fù)合材料氣流控制毛細(xì)管形成復(fù)合材料的原子層淀積反應(yīng)器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器，其特征是固態(tài)源進(jìn)氣管是采用不銹鋼材料制作的，通過(guò)供氣口和其他材料制作的反應(yīng)管連接成復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器，其特征是不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管包括平行的三根進(jìn)氣管，或者是平行的兩根固態(tài)源進(jìn)氣管，或者直接用一根固態(tài)源進(jìn)氣管構(gòu)成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器，其特征是不銹鋼固態(tài)源進(jìn)氣管和進(jìn)氣管頸部焊接處，以及連通管和供氣口的焊接處內(nèi)部鉆小孔連通，通過(guò)小孔直徑大小限制氣流倒流的發(fā)生。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合材料原子層淀積反應(yīng)器，其特征是氣流控制毛細(xì)管采用不銹鋼毛細(xì)管和塑料阻塞體構(gòu)成。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型屬于高新技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種復(fù)合材料的原子層淀積反應(yīng)器。包括玻璃或不銹鋼的反應(yīng)外管，內(nèi)部的若干玻璃和不銹鋼混合組成或全不銹鋼組成的固態(tài)源進(jìn)氣管，復(fù)合材料的氣流控制毛細(xì)管等部件。過(guò)去反應(yīng)管采用玻璃或石英制作，結(jié)構(gòu)比較脆弱，本實(shí)用新型采用復(fù)合材料的優(yōu)點(diǎn)是易損部件用不銹鋼材料后，堅(jiān)固耐用，而且精度高。特別是固態(tài)源進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)細(xì)長(zhǎng)脆弱，采用玻璃或石英制作極易損壞。本實(shí)用新型采用不銹鋼材料制作固態(tài)源進(jìn)氣管后效果非常顯著；復(fù)合材料的氣流控制毛細(xì)管采用不銹鋼毛細(xì)管和外層的聚四氟乙烯等塑料組成，氣流控制精度非常高，無(wú)對(duì)外泄漏，堅(jiān)固耐用。
文檔編號(hào)C23C16/44GK201459237SQ200920077298
公開(kāi)日2010年5月12日 申請(qǐng)日期2009年6月26日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月26日
發(fā)明者王季陶 申請(qǐng)人:上海企諾電子科技有限公司