專利名稱：基板夾持裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
基板夾持裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種基板夾持裝置，特別是關(guān)于一種能提升產(chǎn)品良率及延長(zhǎng)保養(yǎng)周
期的基板夾持裝置。背景技術(shù)：
圖1是現(xiàn)有技術(shù)于鍍膜制程時(shí)，利用基板夾持裝置12將玻璃基板14固定于機(jī)臺(tái) 上，以便對(duì)玻璃基板14進(jìn)行鍍膜的示意圖，在剛保養(yǎng)完后，換上一個(gè)新的基板夾持裝置12 時(shí)，基板夾持裝置12的側(cè)視圖為圖2a所示，經(jīng)過鍍膜制程后隨著時(shí)間的的累積，基板夾持 裝置12的側(cè)視圖系為圖2b所示，由圖可知，金屬粉末16會(huì)在基板夾持裝置12上累積，當(dāng) 在鍍膜制程，如金屬粉末16掉落在玻璃基板14，可能發(fā)生破片、異常放電等等問題，將會(huì)降 低產(chǎn)品的良率。因此，在金屬粉末16大幅影響產(chǎn)品的良率前，須對(duì)機(jī)臺(tái)進(jìn)行保養(yǎng)，并更換新 的基板夾持裝置12。 請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D3，圖3是現(xiàn)有技術(shù)的基板夾持裝置12固定玻璃基板14的側(cè)面示意 圖；在圖3中，基板夾持裝置12與玻璃基板14的部分重迭區(qū)域L(0verl即)不足；基板夾持 裝置12凹槽的下文件片18因鍍膜制程產(chǎn)生的膜厚(金屬粉末16)更大，導(dǎo)致基板夾持裝 置12與玻璃基板14的相對(duì)距離改變(變短)而敲擊到玻璃基板14 ;且凹槽兩側(cè)為90度 尖角面，所以當(dāng)基板夾持裝置12閉合以便固定玻璃基板14時(shí)，尖角面與玻璃基板14有單 點(diǎn)施力過大問題。 現(xiàn)有技術(shù)的基板夾持裝置12需改進(jìn)的問題在于 1.基板夾持裝置12上緣與基板部分重迭(Overlap)不足造成破片。 2.基板夾持裝置12側(cè)邊產(chǎn)生膜剝落(Peeling)影響產(chǎn)品良率。 3.基板夾持裝置12因長(zhǎng)時(shí)間鍍膜使近螺絲孔處(與機(jī)臺(tái)結(jié)合的地方)，因物性改
變而容易脆裂。 對(duì)于廠商而言，成本及產(chǎn)品良率絕對(duì)是首要的考慮要件，保養(yǎng)一次所需的花費(fèi)不 少，如何大幅的延長(zhǎng)保養(yǎng)周期，并能同時(shí)提升產(chǎn)品良率，是本實(shí)用新型的所亟欲突破并解決 的重點(diǎn)。為此，本實(shí)用新型提出一種基板夾持裝置，以解決上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的主要目的在提供一種基板夾持裝置，其避免玻璃基板因異常放電， 而提前進(jìn)行保養(yǎng)，能有效降低制造成本。 本實(shí)用新型的另一目的在提供一種基板夾持裝置，其系避免玻璃基板因異常放 電，造成報(bào)廢的情況，因此能有效提升產(chǎn)品良率。 本實(shí)用新型的又一目的在提供一種基板夾持裝置，其能減輕制程工程師檢測(cè)機(jī)臺(tái) 的負(fù)擔(dān)，提升工作效率。 本實(shí)用新型的又一 目的在提供一種基板夾持裝置，其有效延長(zhǎng)保養(yǎng)周期，并節(jié)省 洗凈機(jī)臺(tái)的費(fèi)用以及更換零件的成本。另外保養(yǎng)一個(gè)機(jī)臺(tái)所需的人力約為6人，延長(zhǎng)保養(yǎng)周期能節(jié)省因保養(yǎng)造成的人力浪費(fèi)。 本實(shí)用新型提供一種基板夾持裝置，包括一本體，本體的一端延伸一弧部。 一爪部 的一端與弧部連接，擋板則位于本體上，另外爪部的上表面設(shè)有粗糙部。本實(shí)用新型通過上 述結(jié)構(gòu)的基板夾持裝置，能減輕制程工程師檢測(cè)機(jī)臺(tái)的負(fù)擔(dān)，提升工作效率。本實(shí)用新型另 外能有效延長(zhǎng)保養(yǎng)周期，并節(jié)省洗凈機(jī)臺(tái)的費(fèi)用以及更換零件的成本，并避免玻璃基板因 異常放電，而提前進(jìn)行保養(yǎng)，有效降低制造成本，也能避免玻璃基板因異常放電造成報(bào)廢的 情況，因此能有效提升產(chǎn)品良率。其中保養(yǎng)一個(gè)機(jī)臺(tái)所需的人力約為6人，延長(zhǎng)保養(yǎng)周期能 節(jié)省因保養(yǎng)造成的人力浪費(fèi)。


以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)實(shí)用新型進(jìn)一步說明。 圖1是現(xiàn)有技術(shù)的基板夾持裝置在機(jī)臺(tái)上的示意圖和立體圖； 圖2a 圖2b是現(xiàn)有技術(shù)的基板夾持裝置處于不同使用時(shí)間的示意圖； 圖3是現(xiàn)有技術(shù)的基板夾持裝置固定玻璃基板的使用示意圖； 圖4是本實(shí)用新型的基板夾持裝置在機(jī)臺(tái)上的示意圖和立體圖； 圖5是本實(shí)用新型的基板夾持裝置的立體圖； 圖6a 圖6b是本實(shí)用新型的基板夾持裝置處于不同使用時(shí)間的示意圖； 圖7是本實(shí)用新型的擋板的俯視圖； 圖8是本實(shí)用新型的基板夾持裝置的側(cè)面示意圖。
具體實(shí)施方式
為能詳細(xì)說明本實(shí)用新型，請(qǐng)參照?qǐng)D4及圖5。本實(shí)用新型是一種基板夾持裝置， 在運(yùn)用于鍍膜制程中，鍍膜制程采用離子濺射機(jī)實(shí)施鍍膜。 本實(shí)用新型利用基板夾持裝置52將玻璃基板固定在機(jī)臺(tái)50之上，包括一本體54， 本體54之材料為聚苯并咪唑(poly benzo imidazole, PBI)，本體54的一端延伸一弧部56， 一個(gè)爪部58的一端則與弧部56連接，爪部58可用來固定一玻璃基板82。 弧部56的上表面則設(shè)有一第一 U型溝槽60，粗糙部62則位于爪部58的上表面， 且第一 U型溝槽60與粗糙部62兩者系為相鄰。如圖所示，粗糙部62上系有多個(gè)個(gè)凸塊 64。在弧部56的側(cè)邊位置，則設(shè)有第二 U型溝槽66。 請(qǐng)參照?qǐng)D6a、圖6b，圖6a、圖6b是基板夾持裝置52分別于A時(shí)間及B時(shí)間廢料 80的累積情況。其中B時(shí)間大于A時(shí)間，時(shí)間越久廢料80則越多。 在本體54上有一第一連接部68，本實(shí)用新型的第一連接部68系一凹槽，如T型 槽、鳩尾槽。第一連接部68與一擋板上的第二連接部72相互配合，擋板70利用第二連接 部72(請(qǐng)一并參照?qǐng)D7所示)與第一連接部68的連結(jié)關(guān)系，穩(wěn)固在本體52上。其中，擋板 70是鐵氟龍，擋板70 —端的長(zhǎng)度a小于或等于弧部56的水平長(zhǎng)度b (如圖8所示)。另外， 擋板70有一開口 74，且開口 74位于第二 U型溝槽66的下端的正下方。 本體上有一鎖固基座78，利用鎖固基座78與一鎖固組件76(如螺絲)結(jié)合，鎖固 組件76與水平地面之間的距離，小于擋板70與水平地面之間的距離，鎖固組件76可將基 板夾持裝置與一機(jī)臺(tái)50連接。[0029] 由于鍍膜時(shí)，基板夾持裝置52因長(zhǎng)時(shí)間鍍膜，鍍膜區(qū)域逐漸往下擴(kuò)展，本實(shí)用新 型利用擋板70的設(shè)計(jì)，將使得鍍膜區(qū)域往下擴(kuò)展時(shí)最多達(dá)到擋板70的位置，如此可以避免 發(fā)生異常放電的情況。 另外，基板夾持裝置52因長(zhǎng)時(shí)間鍍膜產(chǎn)生的廢料，通過第一 U型溝槽、第二 U型溝 槽與凸塊的搭配設(shè)計(jì)，可使廢料80于第一U型溝槽與凸塊處堆積，側(cè)面產(chǎn)生的廢料80，則從 第二 U型溝槽順著擋板的開口向下滑落，防止基板夾持裝置的側(cè)邊也出現(xiàn)產(chǎn)生膜剝落的現(xiàn) 象而影響良率。通過此種方式，大幅降低基板夾持裝置無法承受長(zhǎng)時(shí)間鍍膜造成膜剝落。 本實(shí)用新型通過上述結(jié)構(gòu)的基板夾持裝置，能減輕制程工程師檢測(cè)機(jī)臺(tái)的負(fù)擔(dān)， 提升工作效率。本實(shí)用新型另外能有效延長(zhǎng)保養(yǎng)周期，并節(jié)省洗凈機(jī)臺(tái)的費(fèi)用以及更換零 件的成本，并避免玻璃基板因異常放電，而提前進(jìn)行保養(yǎng)，有效降低制造成本，也能避免玻 璃基板因異常放電，造成報(bào)廢的情況，因此能有效提升產(chǎn)品良率。其中保養(yǎng)一個(gè)機(jī)臺(tái)所需的 人力約為6人，延長(zhǎng)保養(yǎng)周期能節(jié)省因保養(yǎng)造成的人力浪費(fèi)。 以上所述者，僅為本實(shí)用新型一較佳實(shí)施例而已，并非用來限定本實(shí)用新型實(shí)施 的范圍，故凡依本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍所述的形狀、構(gòu)造、特征及精神所為的均等變化與 修飾，均應(yīng)包括于本實(shí)用新型的申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。
權(quán)利要求一種基板夾持裝置，其特征在于包括，一本體，該本體的一端延伸一弧部；一爪部，一端與該弧部連接；一擋板，位于該本體上，以及一粗糙部，位于該爪部的上表面。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于該粗糙部包含多個(gè)凸塊。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于還包括一第一 U型溝槽位于該 弧部的上表面，且該第一 U型溝槽與該粗糙部相鄰。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于還包括一第二 U型溝槽位于該 弧部的側(cè)邊。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于該本體上有一第一連接部，該第 一連接部與該擋板相互配合。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于該擋板的一端的長(zhǎng)度小于或等 于該弧部的水平長(zhǎng)度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于該擋板為鐵氟龍。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板夾持裝置，其特征在于該第一連接部為T型槽或鳩尾 槽凹槽。
9. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的基板夾持裝置，其特征在于該擋板上系有一開口，且該開口系位于該第二 u型溝槽下端的正下方。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于還包括一鎖固組件位于該本體 上，且該鎖固組件與水平地面之間的距離，小于該擋板與水平地面之間的距離，該鎖固組件 可將基板裝置與一機(jī)臺(tái)連接。
11. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的基板夾持裝置，其特征在于該基板夾持裝置應(yīng)用于鍍膜制程。
12. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板夾持裝置，其特征在于該本體之材料為聚苯并咪唑 (poly benzo imidazole, PBI)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種基板夾持裝置，其包括一本體，本體的一端延伸一弧部。一爪部的一端與弧部連接，擋板則位于本體上，另外爪部的上表面設(shè)有粗糙部。本實(shí)用新型通過上述結(jié)構(gòu)的基板夾持裝置，有效延長(zhǎng)保養(yǎng)周期(PM Cycle)、減輕制程工程師檢測(cè)機(jī)臺(tái)的負(fù)擔(dān)以提升工作效率、節(jié)省洗凈機(jī)臺(tái)的費(fèi)用以及更換零件的成本、能避免玻璃基板因異常放電(Arcing)造成報(bào)廢的情況、避免玻璃基板因異常放電(Aring)而提前進(jìn)行保養(yǎng)(PM)，有效降低制造成本。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201520718SQ20092005042
公開日2010年7月7日 申請(qǐng)日期2009年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2009年1月19日
發(fā)明者王子彥 申請(qǐng)人:深超光電(深圳)有限公司