技術(shù)編號：3355055
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。基板夾持裝置本實用新型是一種基板夾持裝置，特別是關(guān)于一種能提升產(chǎn)品良率及延長保養(yǎng)周期的基板夾持裝置。背景技術(shù)圖1是現(xiàn)有技術(shù)于鍍膜制程時，利用基板夾持裝置12將玻璃基板14固定于機臺 上，以便對玻璃基板14進行鍍膜的示意圖，在剛保養(yǎng)完后，換上一個新的基板夾持裝置12 時，基板夾持裝置12的側(cè)視圖為圖2a所示，經(jīng)過鍍膜制程后隨著時間的的累積，基板夾持 裝置12的側(cè)視圖系為圖2b所示，由圖可知，金屬粉末16會在基板夾持裝置12上累積，當 在鍍膜制程，如金屬粉末1...
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