專利名稱：一種節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種鍍膜工藝，尤其涉及節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法。
背景技術(shù)：
節(jié)能發(fā)熱膜常用于離子風(fēng)機(jī)、離子電吹風(fēng)等電熱器具上，目前常用的鍍膜方法為 采用化學(xué)氣相沉積法(CVD)，由兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個(gè)反應(yīng)室內(nèi)，然后原 材料之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成一種新的材料，沉積到晶片表面上。反應(yīng)室中的反應(yīng)很復(fù)雜， 有很多必須考慮的因素，如沉積參數(shù)的變化范圍、反應(yīng)室內(nèi)的壓力、晶片的溫度、氣體的流 動(dòng)速率、氣體通過(guò)晶片的路程、氣體的化學(xué)成份和比率等等，這種方法的工藝管控難度高， 必須有專用的藥液配方，良品率不高，同時(shí)，這種工藝在生產(chǎn)的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生有毒有害的物 質(zhì)，污染環(huán)境。 申請(qǐng)?zhí)枮?00410014375. X的發(fā)明專利公開(kāi)了一種利用高溫化學(xué)成膜制備發(fā)熱功 能膜的方法，工藝復(fù)雜，工藝管控難度高，成品率低。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜 制備方法，制備工藝管控簡(jiǎn)單，不會(huì)產(chǎn)生有害物質(zhì)，產(chǎn)品的良品率提高。使用上更加節(jié)能，熱 傳導(dǎo)更加快速，相對(duì)傳統(tǒng)的電阻加熱方式節(jié)能約30%左右。對(duì)于工人來(lái)說(shuō)，操作更簡(jiǎn)單，安 全性更高。
本發(fā)明的技術(shù)方案是一種節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜制備方法，包括如下步驟 步驟S1 :將清洗好的基材放入濺鍍室，并對(duì)濺鍍室抽真空至5X10—4Pa
5X10—3pa ; 步驟S2 :對(duì)處于真空濺鍍室內(nèi)的基材進(jìn)行加熱處理，加溫到200°C 500°C ;
步驟S3 :采用真空多弧離子鍍技術(shù)對(duì)基材進(jìn)行涂層，鍍上節(jié)能發(fā)熱膜；
步驟S4 :通過(guò)若干次反復(fù)的快速降溫和升溫，對(duì)膜質(zhì)進(jìn)行老化處理，穩(wěn)定膜質(zhì)；
步驟S5 :破真空，節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜工序完成。 本發(fā)明的更詳細(xì)的技術(shù)方案是在步驟S3中，所述真空多弧離子鍍技術(shù)所用的涂 層材料可以為鉻鎳合金。 進(jìn)一步的，在步驟S3中，所述鉻鎳合金的鉻含量占60% 80%。 所述真空多弧離子鍍技術(shù)所用的涂層材料還可以為鎢合金。 進(jìn)一步的，在步驟S3中，所述鴇合金的鴇含量占95% 99%。 在步驟S4中，通過(guò)從外界通入氣體對(duì)膜質(zhì)進(jìn)行升溫和降溫處理。 進(jìn)一步的，在步驟S4中，通入的工作氣體為氮?dú)饣蜓鯕?。進(jìn)一步的，在步驟S4中，快速降溫至8(TC，快速升溫至20(TC 500°C。 所述基材一般選用導(dǎo)電率、熱膨脹系數(shù)、絕緣電阻、抗冷熱沖擊、表面光潔度都較
好的材料，它可以是玻璃、陶瓷、紫砂、石英、云母和搪瓷制品。
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進(jìn)一步的，所述基材選用納米陶瓷材料。 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明的節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜制備方法工藝管控簡(jiǎn)單，產(chǎn)品良品 率高，且不會(huì)產(chǎn)生有毒物質(zhì)，完全環(huán)保。對(duì)于工人來(lái)說(shuō)，操作更簡(jiǎn)單，安全性更高。使用上更 加節(jié)能，熱傳導(dǎo)更加快速，相對(duì)傳統(tǒng)的電阻加熱方式節(jié)能約30%左右。


下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述
圖1為本發(fā)明的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式實(shí)施例本發(fā)明的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，包括如下步驟 首先將清洗好的基材放入濺鍍室，并對(duì)濺鍍室抽真空至5 X 10—4Pa 5 X 10—3pa。所
述基材一般選用導(dǎo)電率、熱膨脹系數(shù)、絕緣電阻、抗冷熱沖擊、表面光潔度都較好的材料，它
可以是玻璃、陶瓷、紫砂、石英、云母和搪瓷制品。在本實(shí)施例中，選用納米陶瓷材料。 然后對(duì)處于真空濺鍍室內(nèi)的基材進(jìn)行加熱處理，加溫到200°C 500°C ; 接著采用真空多弧離子鍍技術(shù)對(duì)基材進(jìn)行涂層，鍍上節(jié)能發(fā)熱膜，其中所采用涂
層材料可以為鉻鎳合金，鉻鎳合金的鉻含量占60% 80%，相應(yīng)的鎳含量占40% 20%，
也可以采用鎢合金，其中鎢的含量比重為95% 99%。 然后通過(guò)從外界通入工作氣體，若干次反復(fù)的使基材快速降溫和升溫，對(duì)基材表 面的膜質(zhì)進(jìn)行老化處理，穩(wěn)定膜質(zhì)。通過(guò)從外界通入氣體對(duì)膜質(zhì)進(jìn)行升溫和降溫處理。通入 的工作氣體一般為氮?dú)饣蜓鯕?。?dāng)需要降溫時(shí)，通入較冷的氣體，快速降溫一般降到8(TC， 當(dāng)需要升溫時(shí)，通入高溫氣體，快速升溫一般升值20(TC 500°C，由基材和鍍膜的要求而 定。 在完成穩(wěn)定膜質(zhì)的步驟后，破真空，節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜工序完成。 以上所述，僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，并不能以此限定本發(fā)明實(shí)施的范圍，凡依本
發(fā)明權(quán)利要求及說(shuō)明書(shū)內(nèi)容所作的簡(jiǎn)單的變換，皆應(yīng)仍屬于本發(fā)明覆蓋的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
一種節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于包括如下步驟步驟S1將清洗好的基材放入濺鍍室，并對(duì)濺鍍室抽真空至5×10-4Pa～5×10-3pa；步驟S2對(duì)處于真空濺鍍室內(nèi)的基材進(jìn)行加熱處理，加溫到200℃～500℃；步驟S3采用真空多弧離子鍍技術(shù)對(duì)基材進(jìn)行涂層，鍍上節(jié)能發(fā)熱膜；步驟S4通過(guò)若干次反復(fù)的快速降溫和升溫，對(duì)膜質(zhì)進(jìn)行老化處理，穩(wěn)定膜質(zhì)；步驟S5破真空，節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜工序完成。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于在步驟S3中，所述 真空多弧離子鍍技術(shù)所用的涂層材料為鉻鎳合金。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于在步驟S3中，所述 鉻鎳合金的鉻含量占60 % 80 % 。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于在步驟S3中，所述真空多弧離子鍍技術(shù)所用的涂層材料為鎢合金。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜制備方法，其特征在于在步驟S3中， 所述鎢合金的鎢含量占95 % 99 % 。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于在步驟S4中，通過(guò) 從外界通入氣體對(duì)膜質(zhì)進(jìn)行升溫和降溫處理。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于在步驟S4中，通入 的工作氣體為氮?dú)饣蜓鯕狻?br> 8. 根據(jù)權(quán)利要求1、6或7中任意一項(xiàng)所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于在 步驟S4中，快速降溫至8(TC，快速升溫至200°C 500°C。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于所述基材一般選用 導(dǎo)電率、熱膨脹系數(shù)、絕緣電阻、抗冷熱沖擊、表面光潔度都較好的材料，它可以是玻璃、陶 瓷、紫砂、石英、云母和搪瓷制品。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1或9中所述的節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，其特征在于所述基材選用 納米陶瓷材料。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種節(jié)能發(fā)熱膜的制備方法，包括如下步驟將清洗好的基材放入濺鍍室，并對(duì)濺鍍室抽真空至5×10-4Pa～5×10-3Pa；對(duì)處于真空濺鍍室內(nèi)的基材進(jìn)行加熱處理，加溫到200℃～500℃；采用真空多弧離子鍍技術(shù)對(duì)基材進(jìn)行涂層，鍍上節(jié)能發(fā)熱膜；通過(guò)若干次反復(fù)的快速降溫和升溫，對(duì)膜質(zhì)進(jìn)行老化處理，穩(wěn)定膜質(zhì)；破真空，節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜工序完成。本發(fā)明的節(jié)能發(fā)熱膜的鍍膜制備方法工藝管控簡(jiǎn)單，產(chǎn)品良品率高，且不會(huì)產(chǎn)生有毒物質(zhì)，完全環(huán)保，使用上更加節(jié)能，熱傳導(dǎo)更加快速，相對(duì)傳統(tǒng)的電阻加熱方式節(jié)能約30％左右，對(duì)于工人來(lái)說(shuō)，操作更簡(jiǎn)單，安全性更高。
文檔編號(hào)C23C14/58GK101724815SQ200910186749
公開(kāi)日2010年6月9日 申請(qǐng)日期2009年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月16日
發(fā)明者戴明光 申請(qǐng)人:蘇州愛(ài)迪爾自動(dòng)化設(shè)備有限公司