專利名稱：掃描蒸鍍制膜的方法及設備的制作方法
技術領域：
本發(fā)明屬于 一種掃描蒸鍍制膜的方法及設備。
背景技術：
薄膜光伏電池，包括CIGS光伏電池可替代單晶硅材料用作太陽能發(fā)電，晶 體硅材料作為光伏發(fā)電材料價格昂貴，制作難度大，成本高，難以推廣使用。 最新的科學顯示可以用在玻璃或其他材料的基板上用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金 屬和非金屬薄膜來替代晶體硅材料用作太陽能發(fā)電，這種新材料價格低廉，利
于推廣使用。用電子槍蒸鍍方法鍍數(shù)層金屬薄膜在基板上，要求薄膜必須厚度 均勻，但目前的設備難以達到這樣的要求。傳統(tǒng)的電子槍蒸鍍設備包括一個真 空腔體，真空腔體內下端固定設置若干個電子槍，待鍍的基板置于電子槍上端， 完成電子槍蒸鍍制膜。這種傳統(tǒng)的設備不能保證基板上薄膜厚度的均勻，往往 造成靠近電子槍的基板上薄膜厚，反之，則薄。而薄膜厚度的不均勻使玻璃基 板光電轉換率大幅下降，質量一致性差，難以在市場上推廣使用。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的是設計一種掃描蒸鍍制膜的方法及設備，該方法使電子槍 在移動狀態(tài)下進行噴鍍，鍍膜均勻，方法簡便可行，其設備具有鍍膜均勻，速度 快，價格低，質量好，可大幅度提高基板光電轉換率，大幅延長其使用壽命的 優(yōu)點。
為此，本發(fā)明的方法是設置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動或移動的裝置，使 電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。
實現(xiàn)本發(fā)明的方法采用設備是電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài) 下進行噴鍍。
所述的擺動裝置是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位 于真空腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架 下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側，擺 盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有 電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描 支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電 機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。
所述的擺動裝置還可是掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上 端位于真空腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描 支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側； 傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構成，傳動掃 描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。
所述的擺動裝置還nj是掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位于真空 腔體內其上設有擺盤，位于真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波 紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導軌滑配，位于真空腔體 外的掃描支架側端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內的掃 描支架內側上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺 盤輪，擺盤上端設有電子槍。
所述的擺動裝置還可是掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位于真空 腔體內其上設有擺盤，位于真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波 紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導軌滑配，位于真空腔體 外的掃描支架側端與滾珠絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位丁真空腔體內的掃 描支架內側上端，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺 盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、電機輪、 傳送帶、傳送輪、受傳送輪帶動的滾珠絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送 帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內，傳動擺盤的電機通過 傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳送帶、傳送 輪和受傳送輪帶動的滾珠絲桿帶動掃描支架左右移動。上述結構設計達到了本 發(fā)明的目的。
本發(fā)明的優(yōu)點是:該方法使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，鍍膜均勻，方法 簡便可行。該設備使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快， 價格低，質量好，可大幅度提高基板光電轉換率，并大幅延長其使用壽命。利 于在市場上推廣使用。


圖l是本發(fā)明的結構示意圖
圖2是圖1的A-A剖面局部結構示意圖 圖3是本發(fā)明的結構示意圖 圖4是圖3的A-A剖面局部結構示意圖 圖5是本發(fā)明的使用狀態(tài)結構示意圖 圖6是本發(fā)明的另一實施例結構示意圖 具體實施方案
本發(fā)明的方法是設置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動或移動的裝置，使電子槍 在移動狀態(tài)下進行噴鍍。以實現(xiàn)鍍膜均勻。
如圖1至圖6所沃 一種用掃描蒸鍍制膜設備，主要由多個電子槍7，機架l和 真空腔體2所組成。電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。
如圖1和圖2所示，所述的擺動裝置由掃描支架、擺盤和傳動裝置構成。該 裝置為掃描支架、擺盤均旋轉擺動。
掃描支架3，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內，掃描 支架與真空腔體之間通過磁流體16密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪13。 掃描支架上端的真空腔體內設有加熱器9，用于保障真空腔體內的蒸鍍溫度。位 于真空腔體內上端兩側的基板框8，用于夾持基板10并受位于真空腔體外的輸送 軸11傳動，輸送軸由電機帶動。
擺盤6，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架 通過磁流體12密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪15，擺盤上端設有龜子槍。 位于掃描支架的上端兩側的擺盤為兩個擺盤，每個擺盤上設一個或數(shù)個電子槍。
傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機20、減速器19、傳送輪、傳送帶14和 傳動擺盤的電機5、傳送輪4和傳送帶。傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于 掃描支架內。傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪15，每個擺盤下 端各設一組傳動擺盤的裝置。傳動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送 帶帶動掃描支架轉動。在真空腔體下端的支架上還設有電子槍電源盒18，其內 的電子槍電源通過電子槍導線17與擺盤上的電子槍連接。支架用于支撐真空腔 體。
所述的電子槍的數(shù)量為一個或數(shù)個，電子槍位于擺盤上端。所述的擺盤可 呈正反90° 180° ，正反90° ,或正反18Q。范周內轉動。所述的掃描支架可呈正反90° 180° ，正反90° ，或正反180°范周內轉動。 所述的位于擺盤上的電子槍呈十字分布。
如圖3和圖4所示，該結構與如圖1和圖2所示結構不同的是在掃描支架的大 帶輪下端設有個電刷滑環(huán)21，以方便各電子槍電源通過各電子槍導線與擺盤 上的電子槍連接。顯然在每個擺盤的擺盤輪下端亦可設有一個電刷滑環(huán)，以方 便各電子槍電源通過各電子槍導線與擺盤上的電子槍連接。這樣亦可使掃描支 架和擺盤在任意范周內轉動。其余結構相同，故不再累述。
如圖5所示，是本發(fā)明使用狀態(tài)結構示意圖，在真空腔體內，可根據需要在 掃描支架一端設一個擺盤裝置。
使用時，傳動裝置帶動掃描支架呈正反90。，或正反18(T范周內轉動，同 時使擺盤呈正反90。，或正反180°范周內轉動，使其上的數(shù)個電子槍亦移動， 電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，保證了噴鍍膜的均勻性。
顯然，在上述實施例中掃描支架、擺盤均旋轉擺動。在上述實施例中可令 掃描支架擺動，而擺盤固定不轉；或反之。噴鍍膜的均勻性效果相同。
如掃描支架擺動，而擺盤固定不轉時，采用 .
掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內，掃描 支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；
擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤固定在掃描 支架的上端兩側；
傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構成，傳 動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。其余結構 相同，故不再累述。
亦可去掉擺盤裝置及相關的傳動裝置，多個電子槍直接固定在掃描支架兩 端，擺動的掃描支架配合移動的玻璃基板亦可達到噴鍍膜均勻的目的。故不再
累述o
或如掃描支架固定不轉，而擺盤擺動時，采用
掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內，掃描 支架固定在真空腔體內；
擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架 通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，由傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶所構成，傳動擺盤的電機、 傳送輪和傳送帶位于掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺 盤輪。其余結構相同，故不再累述。
如圖6所示，所述的擺動裝置還可以包括掃描支架、擺盤和傳動裝置。該裝 置為橫向左右擺動。
掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位于真空腔體內其上設有擺盤，位 于真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管28軸接。掃描支架另 一端位于真空腔體外并與直線導軌22滑配。位于真空腔體外的掃描支架側端與 滾珠絲桿26螺接。
擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內的掃描支架內側上端，擺盤與掃描支 架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍。
傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機23、電機輪24、傳送帶25、傳送輪27、 受傳送輪帶動的滾珠絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶。傳動擺盤的電 機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶 動擺盤輪。傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動 的滾珠絲桿帶動掃描支架左右移動。
使用時，傳動裝置帶動掃描支架在直線導軌上橫向左右擺動，同時使擺盤 呈正反90° ，或正反180°范周內轉動，使其上的數(shù)個電子槍亦移動，電子槍在 移動狀態(tài)下進行噴鍍，保證了噴鍍膜的均勻性。
總之，本發(fā)明使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，質 量好，價格低，可大幅度提高基板光電轉換率，經本發(fā)明蒸鍍的基板光電轉換 率較高，并大幅延長其使用壽命，利于在市場上推廣使用。
權利要求
1、一種掃描蒸鍍制膜的方法，其特征在于設置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動或移動的裝置，使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。
2、 一種實現(xiàn)權利要求l所述方法的設備,主要由多個電子槍、機架和真空腔 體所組成，其特征在于電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。
3、 按權利要求2所述的設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪；擺盤，呈中空T字形，位千呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶位于掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤輪，傳動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。
4、 按權利要求2所述的設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內，掃描支架與真空腔體之間通過磁流體密封裝置軸接，掃描支架下端連接大帶輪； 擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側；傳動裝置，由傳動掃描支架的電機、減速器、傳送輪、傳送帶所構成，傳 動掃描支架的電機通過減速器、傳送輪和傳送帶帶動掃描支架轉動。
5、 按權利要求2所述的設備，其特征在于所述的擺動裝置是 掃描支架，呈中空T字形，呈T字形掃描支架的上端位于真空腔體內；擺盤，呈中空T字形，位于呈T字形掃描支架的上端兩側，擺盤與掃描支架 通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，由傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶所構成，傳動擺盤的電機、 傳送輪和傳送帶位于掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺 盤輪。
6、 按權利要求2所述的設備，其特征在于所述的擺動裝置是-掃描支架，其內中空，掃描支架的一端位于真空腔體內其上設有擺盤，位于真空腔體內的掃描支架與真空腔體之間通過密封波紋管軸接，掃描支架另一端位于真空腔體外并與直線導軌滑配，位于真空腔體外的掃描支架側端與滾珠 絲桿螺接；擺盤，呈中空T字形，位于真空腔體內的掃描支架內側上端，擺盤與掃描支 架通過磁流體密封裝置軸接，擺盤下端設有擺盤輪，擺盤上端設有電子槍；傳動裝置，包括傳動掃描支架的電機、電機輪、傳送帶、傳送輪、受傳送 輪帶動的滾珠絲桿和傳動擺盤的電機、傳送輪和傳送帶，傳動擺盤的電機、傳 送輪和傳送帶位于掃描支架內，傳動擺盤的電機通過傳送輪和傳送帶帶動擺盤 輪，傳動掃描支架的電機通過電機輪、傳送帶、傳送輪和受傳送輪帶動的滾珠 絲桿帶動掃描支架左右移動。
7、 按權利要求2或3或4或5或6所述的設備,其特征在于所述的電子槍的數(shù) 量為一個或數(shù)個，電子槍位于擺盤上端。
8、 按權利要求2或3或4或5或6所述的設備，其特征在于所述的位于擺盤上 的電子槍呈十字分布。
全文摘要
本發(fā)明屬于一種掃描蒸鍍制膜的方法及設備，該方法設置使工作狀態(tài)下的電子槍擺動或移動的裝置，使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。該設備采用電子槍位于擺動裝置上，電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍。本發(fā)明的方法使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，鍍膜均勻，方法簡便可行。該設備使電子槍在移動狀態(tài)下進行噴鍍，具有鍍膜均勻，速度快，價格低，質量好，可大幅度提高基板光電轉換率，并大幅延長其使用壽命。
文檔編號C23C14/28GK101619441SQ200910087009
公開日2010年1月6日 申請日期2009年6月22日 優(yōu)先權日2009年6月22日
發(fā)明者馮煥培, 軍 王, 黎志欣 申請人:北京京運通科技股份有限公司