專利名稱：腔以及成膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及腔以及成膜裝置。
背景技術(shù)：
在平板顯示器的制造中，采用進(jìn)行配線用金屬膜的成膜加工的陰極濺射裝置等多 個(gè)真空處理裝置，這些處理裝置具有用于進(jìn)行規(guī)定加工的真空腔。另外，為了提高平板顯示器的生產(chǎn)成品率，構(gòu)成顯示器的玻璃基板不斷大型化。隨 著該玻璃基板的大型化，處理裝置的腔自身也大型化，以便可以遍及基板的整個(gè)面地總括 進(jìn)行成膜加工等。例如在處理2850mmX 3050mm尺寸的玻璃基板時(shí)，有時(shí)處理腔的高度或?qū)?度達(dá)到超過5m的尺寸。這樣的腔被組裝后，輸送到設(shè)置場所時(shí)，需要大型的拖車等大型的 輸送機(jī)構(gòu)。另外，因?yàn)檫@樣的大型腔由平面構(gòu)成，所以為了保持必要的強(qiáng)度，需要在腔的外壁 面設(shè)置加強(qiáng)部件。該加強(qiáng)部件主要通過焊接與腔面連接。但是，由于該加強(qiáng)部件的連接進(jìn) 一步使腔整體大型化，導(dǎo)致發(fā)生其尺寸及重量受到法令限制而不能輸送問題。因此，已知有通過焊接接合多個(gè)部件而成的具有側(cè)壁平面的腔(例如參照專利文 獻(xiàn)1)。在該腔中，若把分割了的部件輸送到設(shè)置場所后進(jìn)行焊接，就可以比較容易地輸送這 樣的大型腔。專利文獻(xiàn)1 日本特開平8-64542號公報(bào)(圖1及權(quán)利要求1)根據(jù)上述處理裝置，即使是大型的處理裝置，將一個(gè)腔壁的平面分割，其結(jié)果，作 為大型的處理裝置也可以進(jìn)行輸送。但是，因?yàn)樵谇粌?nèi)構(gòu)成真空處理室的面由多個(gè)部件焊 接形成，所以存在容易發(fā)生漏泄的問題。這是由于一般在焊接部分容易生成氣孔，容易成為 漏泄的原因，另外，焊接時(shí)多發(fā)生部件的熱變形，當(dāng)腔內(nèi)為真空狀態(tài)時(shí)，由大氣壓產(chǎn)生的應(yīng) 力在發(fā)生熱變形的部分集中，容易成為漏泄的原因。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的課題在于要消除上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供一種在腔部沒有由焊 接形成的接合部、且即使大型也容易輸送的腔。另外，提供一種使用該腔的成膜裝置。本發(fā)明的腔，其特征在于，具備搬入基板并對基板進(jìn)行規(guī)定處理的腔部、和設(shè)于 腔部的外壁面的可拆裝的加強(qiáng)部件。本發(fā)明的腔通過使安裝在腔部的外壁面上的加強(qiáng)部件可拆裝，在輸送時(shí)可以拆下 加強(qiáng)部件，所以，在輸送時(shí)可使裝置整體小型化，容易進(jìn)行輸送。而且，在本發(fā)明的腔中，由 于加強(qiáng)部件可拆裝地設(shè)在腔部的外壁面上，在處理基板的腔部的內(nèi)壁面上沒有接合部，所 以可以抑制在把腔部內(nèi)形成真空狀態(tài)時(shí)發(fā)生漏泄。所述加強(qiáng)部件是可拆裝地安裝在所述外壁面上的板狀的接合部件，或是可拆裝地 安裝在所述外壁面上的肋部件是理想的。在此，板狀的接合部件包含由平面構(gòu)成的形式和 由曲面構(gòu)成的形式，可以按照腔部的外形進(jìn)行選擇。另外，所述加強(qiáng)部件具有所述肋部件及所述接合部件，該肋部件通過接合部件可拆裝地安裝在所述外壁面上是理想的。通過這樣 構(gòu)成，不加厚接合部件的厚度就能夠充分保證規(guī)定的腔的強(qiáng)度。所述加強(qiáng)部件安裝在腔部的外壁面中、與大氣接觸的面上是理想的。所謂與大氣 接觸的面，是指腔部的外壁面中不與裝有形成真空狀態(tài)的真空處理室的其他腔連接的面。 這樣的與大氣接觸的面，若基板處理室形成真空狀態(tài)，則由大氣和真空的壓力差，有時(shí)導(dǎo)致 腔部變形。因此，在本發(fā)明中，通過在與大氣接觸的面安裝加強(qiáng)部件，可以在把基板處理室 內(nèi)形成真空狀態(tài)時(shí)防止腔變形。在設(shè)置所述接合部件的外壁面中，構(gòu)成為將不設(shè)置用于在腔部內(nèi)進(jìn)行規(guī)定處理的 功能部件的所有區(qū)域覆蓋是理想的。通過以將不設(shè)功能部件的所有區(qū)域覆蓋的方式構(gòu)成接 合部件，腔可以得到足夠的強(qiáng)度，并能抑制腔部內(nèi)部成為真空狀態(tài)時(shí)的變形。本發(fā)明的腔通過可拆裝加強(qiáng)部件，構(gòu)成為即使大型化也能抑制漏泄的發(fā)生，且輸 送便利，能對由基板載架保持為大體垂直的被處理基板進(jìn)行規(guī)定處理，適于作為可以減少 其處理裝置的設(shè)置面積的、所謂縱型處理腔使用。另外，在此所說的大體垂直，是指使被處 理基板從垂直的狀態(tài)起傾斜到不足45°的狀態(tài)，也包括垂直。另外，在所述腔部的壁面的一部分設(shè)有開口，磁鐵通過該開口自由拆裝地安裝在 所述加強(qiáng)部件上是理想的。本發(fā)明的加強(qiáng)部件是自由拆裝的，還可以這樣裝備磁鐵，根據(jù)腔 的用途或使用狀態(tài)拆裝，可以靈活地對應(yīng)狀況。另外，通過這樣設(shè)置磁鐵，若在保持基板的 基板載架上也設(shè)置磁鐵的話，則可以抑制輸送基板載架時(shí)的晃動(dòng)。所述肋部件由互相交叉的多個(gè)縱肋部件及橫肋部件構(gòu)成，在由該縱肋部件及橫肋 部件構(gòu)成的空間中設(shè)置并固定起吊機(jī)是理想的。由于本發(fā)明的肋部件是自由拆裝的，還可 以這樣安裝起吊機(jī)，所以，可根據(jù)腔的用途或使用狀態(tài)進(jìn)行拆裝，根據(jù)情況靈活對應(yīng)。另外， 由于可以用肋牢固地支承并固定來設(shè)置起吊機(jī)，所以，可以安全地保持起吊機(jī)。該起吊機(jī)， 具體來講包括以下部件設(shè)置并固定于由所述縱肋部件及橫肋部件構(gòu)成的空間內(nèi)的設(shè)置 部，與該設(shè)置部連接的支承部，以該支承部為軸中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)地連接的臂部，在該臂部的前 端部通過吊下部及線部件設(shè)置的安裝部。通過這樣構(gòu)成，可以簡易地設(shè)置在肋部件上，可以 對每個(gè)肋部件進(jìn)行輸送。本發(fā)明的成膜裝置是具備多個(gè)真空腔、在各真空腔的腔部內(nèi)對基板進(jìn)行規(guī)定處理 的成膜裝置，其特征在于，各腔部在各腔部的外壁面上裝有可拆裝的加強(qiáng)部件。通過使安裝 在腔部的外壁面上的加強(qiáng)部件可拆裝，可在輸送時(shí)拆下加強(qiáng)部件，所以，在輸送時(shí)可使裝置 整體小型化，輸送容易。所述腔部的外壁面是腔部的頂面、底面、以及不連接其它真空腔的 側(cè)面是理想的。根據(jù)本發(fā)明的腔，可以得到輸送便利且能抑制漏泄發(fā)生這樣的優(yōu)異效果。根據(jù)本 發(fā)明的成膜裝置，可以得到輸送便利這樣的優(yōu)異效果。


圖1是用于說明處理裝置構(gòu)成的示意圖。圖2是用于說明本發(fā)明腔的示意圖。圖3是用于說明本發(fā)明腔的示意圖。圖4是用于說明本發(fā)明另一腔的示意圖。
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圖5是加熱室的示意剖面圖。圖6是用于說明可拆裝的肋部件的示意圖。圖7是用于說明另一可拆裝的肋部件的示意圖。圖8是用于說明再一可拆裝的肋部件的示意圖。附圖標(biāo)記說明1處理裝置，2腔部，3加強(qiáng)部件，4基板載架，11載荷鎖定室，12加熱室，13第一成 膜室，14第二成膜室，31肋部件，32接合部件，S基板。
具體實(shí)施例方式以下，參照圖1 圖5說明本發(fā)明的實(shí)施方式。另外，對圖中相同的構(gòu)成要素賦予 相同的附圖標(biāo)記。圖1是用于說明處理裝置構(gòu)成的示意圖。處理裝置1是對保持成大體垂直的基板 進(jìn)行處理的縱型處理裝置，是按順序連接載荷鎖定室11、加熱室12、第一成膜室13和第二 成膜室14而構(gòu)成的在線式的裝置。在處理裝置1內(nèi)，從載荷鎖定室11到第二成膜室14設(shè) 有用于輸送基板的往路15及返路16。在各室中設(shè)有未圖示的真空泵，進(jìn)而，在各室中設(shè)有用于進(jìn)行規(guī)定處理的處理機(jī) 構(gòu)。具體地說，在加熱室12內(nèi)部的一個(gè)側(cè)面設(shè)有加熱機(jī)構(gòu)，在第一成膜室13及第二成膜室 14內(nèi)部的一個(gè)側(cè)面設(shè)有成膜機(jī)構(gòu)。另外，在第二成膜室14中，設(shè)有用于使保持基板的基板 載架4(后述)在往路15及返路16之間移動(dòng)的路徑變更機(jī)構(gòu)?；遢d架4是使基板S保持大體垂直的部件，構(gòu)成為在往路15及返路16上被輸 送。保持在該基板載架上的基板由基板載架4在往路15上移動(dòng)，在各室內(nèi)進(jìn)行規(guī)定處理， 在第二成膜室14中由路徑變更機(jī)構(gòu)從往路15移動(dòng)到返路16，經(jīng)過返路16搬出到處理裝 置1之外。即，搬入到載荷鎖定室11的基板S在載荷鎖定室11中保持成真空狀態(tài)之后，在 加熱室12中加熱到規(guī)定的溫度。接著，在第一成膜室13形成規(guī)定的膜之后，在第二成膜室 14中由路徑變更機(jī)構(gòu)向返路16側(cè)移動(dòng)。其后，基板S在返路16上移動(dòng)，從第二成膜室14 再度經(jīng)過第一成膜室13、加熱室12及載荷鎖定室11而從處理裝置1取出。在此，各室由具有基板處理室的腔構(gòu)成。作為搬入到處理裝置1的基板，例如可舉 出2850mmX3050mm的大型的基板，為了處理這樣的大型的基板，需要具有可以收納上述基 板的尺寸的基板處理室的大型的腔。另外，在上述這樣的在線式的縱型處理裝置中，需要在 腔部的外側(cè)設(shè)置加強(qiáng)部件。在該情況下，當(dāng)利用腔部與加強(qiáng)部件構(gòu)成為一體的腔、制作具有 與大型的基板對應(yīng)的基板處理室的載荷鎖定室11等時(shí)，需要防止變得過大而不能輸送到 設(shè)置場所。因此，在本實(shí)施方式中，將設(shè)在構(gòu)成各腔的腔部上的加強(qiáng)部件構(gòu)成為自由拆裝，構(gòu) 成為在輸送時(shí)可以拆下加強(qiáng)部件，而在設(shè)置后可以安裝。對于這樣的腔的構(gòu)成，以加熱室12 為例用圖2及圖3進(jìn)行說明。圖2及圖3是用于說明使用了本發(fā)明的腔的加熱室12的構(gòu)成的示意圖。加熱室 12具有腔部2。如圖3所示，腔部2是長方體狀，為了在其內(nèi)部處理被保持為大體垂直的大 型的被處理基板，以縱深(與后述的基板搬入口 21的短邊方向一致)短、縱及橫比大型基 板(例如2850mmX3050mm的基板)大的方式構(gòu)成。腔部2在載荷鎖定室11側(cè)的側(cè)面22上具有矩形的基板搬入口 21。該基板搬入口 21與圖1所示的載荷鎖定室11的脫氣室連 通，同時(shí)與設(shè)在腔部2內(nèi)部的加熱處理室(未圖示)連通，貫通到第一成膜室13側(cè)的側(cè)面 23。在加熱處理室中，設(shè)有未圖示的真空泵及未圖示的加熱機(jī)構(gòu)，可以使加熱處理室內(nèi)達(dá)到 規(guī)定的壓力，同時(shí)可以使加熱處理室內(nèi)升溫并保持在規(guī)定的溫度。在腔部2的外壁面中，為了防止在成為真空狀態(tài)的情況下腔部發(fā)生變形，在與大 氣接觸的面、即頂面24、底面25、側(cè)面26、27上按該順序設(shè)置加強(qiáng)部件3A、3B、3C、3D。在與 載荷鎖定室11接觸的側(cè)面22及與第一成膜室13接觸的側(cè)面23上不設(shè)加強(qiáng)部件3。加強(qiáng) 部件3A、3B、3C由肋部件31和接合肋部件31的板狀的接合部件32構(gòu)成。設(shè)在腔部2的底 面25上的加強(qiáng)部件3D只由板狀的接合部件32構(gòu)成。這樣，鑒于設(shè)置場所等，作為加強(qiáng)部 件3可以使用從肋部件31及接合部件32中選出的至少一種。接合部件32構(gòu)成為可以由安裝部件自由拆裝地設(shè)置在腔部2的安裝面上。在圖 2中，作為一例，加強(qiáng)部件3A利用螺栓321把接合部件32自由拆裝地安裝在腔部2上。在 該情況下，接合部件32覆蓋腔部2的安裝面的整個(gè)面是理想的，但例如在像上述那樣用于 在處理裝置中進(jìn)行規(guī)定處理的功能部、即真空泵或加熱機(jī)構(gòu)的設(shè)置部分設(shè)在腔部2的情況 下，只要覆蓋該功能部以外的部分(整個(gè)區(qū)域)即可。在圖中，加強(qiáng)部件3B的接合部件32 構(gòu)成為覆蓋沒有圖示的真空泵的設(shè)置部分322以外的部分，即在與設(shè)置部分322對應(yīng)的位 置設(shè)置開口，其他的部分可以覆蓋側(cè)面26。由此，可以保持更高的強(qiáng)度。加強(qiáng)部件3A、3B、3C的肋部件31，例如通過焊接固定在接合部件32上。另外，對 將肋部件31固定成為自由拆裝的情況將在后敘述。肋部件31構(gòu)成為縱肋311及橫肋312 成為格子狀。例如，在加強(qiáng)部件3A中，肋部件31構(gòu)成為兩根縱肋311與一根橫肋312交叉 成直角，在加強(qiáng)部件3B及3C中，肋部件31構(gòu)成為兩根縱肋311和兩根橫肋312形成井框 狀。另外，肋部件31的形狀，在腔內(nèi)部形成真空狀態(tài)的情況下腔若設(shè)置成不彎曲的話，則何 種形狀都可以，例如條紋狀也可，折線狀也可。進(jìn)而另外，肋部件31只要設(shè)置在至少一個(gè)外 壁面上就可以。通過設(shè)置至少一個(gè)，可以抑制腔的外壁面變形。例如，也可以在頂面的中央 設(shè)置一個(gè)肋部件31。這樣，為了抑制腔的外壁面的變形，從外壁面的一個(gè)端部跨到端部設(shè)置 就可以。另外，肋部件31既可以只是縱肋331，也可以只是橫肋332，進(jìn)而，也可以設(shè)置成傾 斜。這樣，在本腔中，通過設(shè)置加強(qiáng)部件3A 3D，可以確保加熱室12抽真空時(shí)的強(qiáng)度。 另外，由于加強(qiáng)部件3A 3D (接合部件32及固定于其上的肋部件31)是自由拆裝的，在輸 送時(shí)可以拆下加強(qiáng)部件3A 3D而使腔整體的尺寸變小，所以輸送便利。進(jìn)而另外，通過加強(qiáng)部件3A 3D構(gòu)成可自由拆裝，可以根據(jù)需要變更肋部件31。 例如，圖4是用于說明加熱室12的另一構(gòu)成的示意圖，設(shè)在腔部2的頂面上的加強(qiáng)部件3A’ 和圖2中所示的加強(qiáng)部件3A在肋部件31上形狀不同。即，在該加強(qiáng)部件3A’中，在四根縱 肋311及兩根橫肋312組成格子狀這一點(diǎn)上與加強(qiáng)部件3A不同。在由縱肋311及橫肋312劃分成的中央部313中設(shè)置起吊機(jī)33。起吊機(jī)33例如 在維護(hù)時(shí)用于搬運(yùn)需要更換的設(shè)置在腔內(nèi)部的防碰板或加熱器板等的更換部件等。起吊機(jī) 33具有設(shè)置并固定在中央部313的設(shè)置部331、和與設(shè)置部331連接的柱狀的支承部332。 縱肋311和橫肋312構(gòu)成為劃分成與設(shè)置部331的形狀吻合的中央部313，在該中央部313 設(shè)有設(shè)置部331，在縱肋311及橫肋312用未圖示的固定器牢牢地固定并支承。另外，在柱狀的支承部332上設(shè)有以支承部332為軸中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)地連接的臂部333。在該臂部333的 前端部，設(shè)有吊下部334和通過線部件335設(shè)在吊下部334上的安裝部336，安裝部336通 過改變線部件335的長度而上下移動(dòng)自由地構(gòu)成。本起吊機(jī)33使安裝部336上下運(yùn)動(dòng)，在 更換部件上安裝有安裝部336，在吊下的狀態(tài)下保持更換部件。在該情況下，由于臂部333 以支承部332為軸中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)地連接，所以能使安裝在安裝部336上的更換部件也沿左 右方向自由移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，由于與設(shè)置部331的形狀吻合地設(shè)置縱肋311及橫肋 312，所以可以用這些肋牢牢地支承、固定并設(shè)置該設(shè)置部331，所以可以安全地保持這樣構(gòu) 成的起吊機(jī)33。進(jìn)而，若使用具有這樣形狀的肋部件的加強(qiáng)部件3A’的話，因?yàn)榭v肋311又 增加三根，由于強(qiáng)度更高，所以也可以作為用于支承成為上述重物的起吊機(jī)33的支承部件 使用。這樣，通過加強(qiáng)部件3A 3D自由拆裝，可以根據(jù)需要把加強(qiáng)部件3A 3D的一個(gè)以 上更換成具有其它肋形狀的加強(qiáng)部件，把肋部件31作為其它部件的支承部件使用，所以通 用性高。進(jìn)而，由于加強(qiáng)部件3構(gòu)成為可自由拆裝，還可以根據(jù)需要更換由加熱處理室內(nèi) 部的構(gòu)造與接合部件32連接的內(nèi)部構(gòu)造物。例如，圖5是用于說明加熱處理室構(gòu)造的加熱 室的示意剖面圖。在加熱室12內(nèi)部，作為基板輸送路的往路15設(shè)在底面上，構(gòu)成為基板載 架4可以在底面的往路15上移動(dòng)。在基板載架4上，基板S保持大體垂直。在此，當(dāng)基板是超過Im的大型基板時(shí)，為了使基板S保持大體垂直，有時(shí)僅以基板 載架4是不夠的，進(jìn)一步使用保持部件。因此，在圖5所示的方式中，在基板載架4的上部 設(shè)置磁鐵41，同時(shí)在腔部2的上壁面的一部分設(shè)有開口，使磁鐵42通過該開口與接合部件 32連接。利用該磁鐵41及42的吸引力，在往路15及返路16中可以保持基板載架4不會(huì) 傾倒，所以能安全地輸送基板S。通過這樣使作為保持部件中的一方的磁鐵42與接合部件 32連接，例如在由于在磁鐵42上附著了顆粒而需要維護(hù)等情況下，拆下加強(qiáng)部件3A，安裝 設(shè)有另一磁鐵42的另一加強(qiáng)部件而繼續(xù)成膜，該期間也可對磁鐵42進(jìn)行維護(hù)。因此，通過 自由拆裝地構(gòu)成加強(qiáng)部件3，也可以不降低裝置的使用率，根據(jù)需要更換與接合部件32連 接的內(nèi)部構(gòu)造物。另外，在不設(shè)接合部件32而只設(shè)肋部件31的情況下，也可以在肋部件31 上設(shè)置磁鐵42。在此，用圖6 8說明自由拆裝地固定肋部件31的情況。圖6是用于表示在腔的 頂面24設(shè)置了肋部件31的狀態(tài)的示意立體圖。如圖6所示，肋部件31包括肋部51和設(shè) 在肋部51上的凸緣部52。另外，用螺栓53把凸緣部52固定在腔的頂面24上。這樣可以 在肋部件31上設(shè)置凸緣部52，用多個(gè)螺栓53把肋部件31自由拆裝地簡單固定。另外，通 過肋部件31是自由拆裝的，即使是大型的也容易進(jìn)行輸送。對圖7所示的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖7是用于對與圖6不同的肋部件進(jìn)行說明的 示意圖，(a)是用于對設(shè)置前的肋部件及加強(qiáng)部件進(jìn)行說明的立體圖，(b)是用于表示把肋 部件設(shè)置在加強(qiáng)部件上的狀態(tài)的立體圖。在圖7中所示的實(shí)施方式中，在接合部件32的設(shè) 置面上間隔設(shè)置多個(gè)銷54。在設(shè)于肋部件31的肋部51上的凸緣部52，設(shè)有多個(gè)在上面看 成圓形的、即直徑小的孔521和直徑大的孔522連通的銷孔523。在這種情況下，直徑小的 孔521的直徑形成為嵌合在銷54的本體部541中，直徑大的孔522的直徑形成為與銷54的 頭部542的直徑相同或變大。為了把該肋部件31設(shè)置在接合部件32上，首先，在銷54的 頭部542面對各直徑大的孔522的狀態(tài)下把肋部件31載置在接合部件32上。接著，在該狀態(tài)下使肋部件31以銷54的本體部541與直徑小的孔521嵌合的方式滑動(dòng)，把肋部件31 固定在接合部件32上。通過這樣在接合部件32上設(shè)置多個(gè)銷34，把該銷插入設(shè)于肋部件 31的凸緣部55上的銷孔523中使之滑動(dòng)，可以簡單地自由拆裝地固定肋部件31。另外，通 過肋部件31是自由拆裝的，所以即使是大型的也容易進(jìn)行輸送。接著，對圖8所示的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖8是對再一肋部件進(jìn)行說明的示意圖， (a)是肋部件的上面圖，(b)是肋部件的A-A’剖面圖，(c)是加強(qiáng)部件的上面圖，(d)是加 強(qiáng)部件的B-B’剖面圖，(e)是用于表示把肋部件設(shè)置在加強(qiáng)部件上的狀態(tài)的立體圖。如圖 8(a)、(b)所示，肋部件31的肋部51具有不連續(xù)設(shè)置的凸緣部55。如圖8(c)所示，在接合 部件32上設(shè)有槽56。槽56由開口部窄的第一槽部561和與該第一槽部561連通的開口部 寬的第二槽部562構(gòu)成，第一槽部561和第二槽部562交替反復(fù)地構(gòu)成。該第二槽部562的 開口部與肋部件31的凸緣部55相同或稍大，直到底部其寬度都不變。另外，如圖8(d)所 示，第一槽部561的寬度，在開口部與肋部件31的肋部51的寬度大體相同，在內(nèi)部變成與 第二槽部562的寬度相同。為了把肋部件31設(shè)置并固定在槽部56中，首先，肋部件31的凸緣部55面對槽56 的第二槽部562，在槽部56中插入肋部件31。然后，其后以凸緣部55保持在第一槽部561 內(nèi)部的方式使肋部件31滑動(dòng)并固定。在該情況下，為了使肋部件31和接合部件32更牢固 地固定，也可以在第一槽部561的周圍設(shè)置沒有圖示的螺栓孔，用螺栓53固定。通過這樣 構(gòu)成為可以把肋部件31滑動(dòng)插入到接合部件32中，可以簡單、自由拆裝地固定肋部件31。 另外，由于肋部件31可自由拆裝，即使是大型的也容易進(jìn)行輸送。另外，對于圖7、圖8的實(shí)施方式，肋部件31雖設(shè)在接合部件32上，但并不限于此， 例如也可以直接設(shè)在腔部2的外壁面上。另外對于圖6的實(shí)施方式，肋部件31雖設(shè)在腔部 2的頂面24上，但也并不限于此。另外，當(dāng)然也可以在這些肋部件31的上面設(shè)置上述的起 吊機(jī)等。在上述實(shí)施方式中以加熱室12為例進(jìn)行了說明，但在載荷鎖定室11、第一成膜室 13、第二成膜室14中也可以使用同樣的腔來構(gòu)成。另外，在各室中可以根據(jù)內(nèi)部構(gòu)造或安 裝在外部的部件來變更加強(qiáng)部件。另外，即使不是對這些大型的基板成膜的處理裝置，也可 以做成同樣的構(gòu)成。進(jìn)而，另外在上述實(shí)施方式中，加強(qiáng)部件3A 3D全做成可拆裝的方式， 但若在輸送時(shí)不成問題的話，則也可以做成全都不能拆裝的方式。例如，也可以只使加強(qiáng)部 件3A可拆裝。當(dāng)然，也可以在加強(qiáng)部件3A中只使肋部件31、或只使接合部件32可拆裝。另外，在上述的實(shí)施方式中，設(shè)在腔部的底面25上的加強(qiáng)部件3B沒有肋部件31， 但也可以具有肋部件31。在該情況下，例如只要把腔部2載置到從肋部件31間支承腔部2 的載置臺上即可。工業(yè)實(shí)用性根據(jù)本發(fā)明的腔，對于大型的基板也可以進(jìn)行成膜等的規(guī)定處理。因此，可以在半 導(dǎo)體制造領(lǐng)域加以利用。
8
權(quán)利要求
一種真空腔，其特征在于，具備搬入基板并對基板進(jìn)行規(guī)定處理的腔部；和設(shè)在腔部的外壁面上的可拆裝的加強(qiáng)部件。
2.如權(quán)利要求1所述的真空腔，其特征在于，所述加強(qiáng)部件是可拆裝地安裝在所述外 壁面上的肋部件。
3.如權(quán)利要求1所述的真空腔，其特征在于，所述加強(qiáng)部件是可拆裝地安裝在所述外 壁面上的板狀的接合部件。
4.如權(quán)利要求2所述的真空腔，其特征在于，所述加強(qiáng)部件進(jìn)一步具備可拆裝地安裝 在所述外壁面上的板狀的接合部件，所述肋部件經(jīng)由接合部件設(shè)置在所述外壁面上。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的真空腔，其特征在于，所述加強(qiáng)部件安裝在所述外 壁面中的與大氣接觸的面上。
6.如權(quán)利要求3 5中任一項(xiàng)所述的真空腔，其特征在于，所述接合部件構(gòu)成為，在設(shè) 有接合部件的外壁面中，覆蓋未設(shè)置用于在腔部內(nèi)進(jìn)行規(guī)定處理的功能部件的所有區(qū)域。
7.如權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的真空腔，其特征在于，所述腔部構(gòu)成為，能夠?qū)τ?基板載架保持為大體垂直的被處理基板進(jìn)行規(guī)定處理。
8.如權(quán)利要求1 7中任一項(xiàng)所述的真空腔，其特征在于，在所述腔部的壁面的一部分 設(shè)有開口，經(jīng)由該開口在所述加強(qiáng)部件上自由拆裝地安裝有磁鐵。
9.如權(quán)利要求2、4 8中任一項(xiàng)所述的真空腔，其特征在于，所述肋部件由互相交叉的 多個(gè)縱肋部件以及橫肋部件構(gòu)成，在由該縱肋部件以及橫肋部件構(gòu)成的空間中設(shè)置并固定 起吊機(jī)。
10.如權(quán)利要求9所述的真空腔，其特征在于，所述起吊機(jī)包括設(shè)置并固定在由所述 縱肋部件以及橫肋部件構(gòu)成的空間中的設(shè)置部；與該設(shè)置部連接的支承部；以該支承部為 軸中心自由轉(zhuǎn)動(dòng)地連接的臂部；和在該臂部的前端部經(jīng)由吊下部以及線部件設(shè)置的安裝 部。
11.一種成膜裝置，具備多個(gè)真空腔，在各真空腔的腔部內(nèi)對基板進(jìn)行規(guī)定處理，其特 征在于，各腔部在各腔部的外壁面具備可拆裝的加強(qiáng)部件。
12.如權(quán)利要求11所述的成膜裝置，其特征在于，所述腔部的外壁面是腔部的頂面、底 面以及不連接其它真空腔的側(cè)面。
全文摘要
本發(fā)明的腔(1)具備具有搬入基板并進(jìn)行規(guī)定處理的基板處理室的腔部(2)；和設(shè)在腔部的外壁面上的可拆裝的加強(qiáng)部件(3)。該加強(qiáng)部件是可拆裝地安裝在外壁面上的板狀的接合部件(32)，或是可拆裝地安裝在外壁面上的肋部件(31)，也可以同時(shí)具備這些部件。
文檔編號C23C14/00GK101896634SQ200880120538
公開日2010年11月24日 申請日期2008年12月12日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月14日
發(fā)明者清水豪 申請人:株式會(huì)社愛發(fā)科