專利名稱：新型電極盒的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及電子設備和太陽能電池技術，尤其涉及一種用于真空鍍膜機內的新型電 極盒。
背景技術：
非晶硅太陽能電池是20多年來國際上新發(fā)展起來的一項太陽能電池新技術。非晶硅薄膜 太陽能電池的硅材料厚度只有1微米左右，是單晶硅太陽能電池硅材料厚度的1/200-1/300， 與單晶硅太陽能電池相比，制備這種薄膜所用硅原料很少，薄膜生長時間較短，設備制造簡 單，容易大批量連續(xù)生產(chǎn)，根據(jù)國際上有關專家的估計，非晶硅薄膜太陽能電池是目前能大 幅度降低成本的最有前途的太陽能電池。
現(xiàn)有技術中，用于光伏組件規(guī)模制造的等離子體化學氣相沉積真空設備，包括真空腔 以及電極盒等主要部件。 一個沉積電極盒包含多對射頻電極，每對電極可以沉積4片太陽 電池，將預熱完成的電極盒放入一個真空沉積腔室當中，在真空室里完成非晶硅薄膜太陽 電池的沉積，沉積完成后將電極盒取出進行冷卻。
現(xiàn)有的制備玻璃鍍膜材料的電極盒通常是立式電極盒，鍍膜材料的基體采用玻璃基板， 玻璃基板裝載在電極板上在真空腔內在各種氣體的參與下完成鍍膜，由于真空腔內粉塵和 濕度對所產(chǎn)生的產(chǎn)品質量影響很大，因而，在產(chǎn)品成本中，電極盒的制造費用和運行費用 占很大的比例。
現(xiàn)有技術所存在的缺點在于由于產(chǎn)品的生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度要求高，現(xiàn)有的電極盒結 構難以提高產(chǎn)品質量，生產(chǎn)高檔產(chǎn)品。
因此，實有必要對現(xiàn)有的真空鍍膜機內的電極盒做出改進以滿足市場需求。
實用新型內容
本實用新型所要解決的技術問題是提供一種非晶硅薄膜太陽能電池量產(chǎn)制造設備，提 高生產(chǎn)效率，降低成本。
為解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案
一種新型電極盒，用于在真空鍍膜機內對玻璃基板鍍膜，所述電極盒上部設置有進氣口， 下部設有排氣口，進氣口通過設有入氣小孔矩陣的勻氣板與電極盒內腔相通，排氣口通過設 有出氣小孔矩陣的基板與電極盒內腔相通，該電極盒內腔包括若干電極板、該電極板上端與 勻氣板垂直連接，電極板下端與基板垂直連接，其中，所述電機盒進一步包括安裝于勻氣板與基板之間且與電極板平行的輔助隔熱板，所述輔助隔熱板分別位于若干電極板兩側，所述 勻氣板、輔助隔熱板及基板圍成一個框體。
作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述電極板、勻氣板、輔助隔熱板及基板由鋁合金材 料制成。
作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述電極板包括多對陰極板和陽極板，陽極板為相鄰 兩個陰極板共用。
作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述勻氣板、基板及兩側的輔助隔熱板構成電磁屏蔽。 作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，所述陰極板接射頻電源，陽極板接地，陰極板與射頻 電源之間采用銅導線或鍍銀銅導線連接。
作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，陰極板上與銅導線或鍍銀銅導線連接的位置表面設有
鍍鎳層。
作為本實用新型的優(yōu)選方案之一，在鋁合金電極板上與玻璃基板接觸的表面設硬陽極化膜。
與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果在于
1. 兩側加輔助隔熱板，保證中間的電極板不受外界溫度梯度的影響而產(chǎn)生變形；
2. 電極板、勻氣板、輔助隔熱板及基板由同種鋁合金材料制成，在溫度循環(huán)時各零件的膨 脹系數(shù)相同，無整體變形，從而保證電極板之間的平行度；
3. 勻氣板與基板上開了均勻氣流的入氣小孔矩陣，使得氣體均勻進入每一對電極，氣體在 整個玻璃的長度方向上均勻。
4. 鍍膜室上部的勻氣板，下部的基板，兩端的蓋板構成了電磁屏蔽，保證射頻電源不產(chǎn)生雜 散干擾，5. 在鋁合金電極板的局部表面鍍鎳，保證與銅導線之間電氣接觸的穩(wěn)定可靠。
6. 在鋁合金電極板上與玻璃基板接觸的表面設硬陽極化膜，保證電極板的耐用性。

圖l是本實用新型新型電極盒示意圖2是本實用新型新型電極盒入氣排氣示意圖3是本實用新型新型電極盒的電磁屏蔽示意圖4是本實用新型新型電極盒的陰極板與射頻導線連接示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對技術方案的實施作進一步的詳細描述-
4請參閱圖1所示的新型電極盒示意圖。
本實用新型涉及一種新型電極盒，所述電極盒上部設置有進氣口，下部設有排氣口，進 氣口通過設有入氣小孔矩陣的勻氣板1與電極盒內腔相通，保證氣體均勻進入電極盒內腔， 隨后均勻進入每一對電極，使得氣體在整個玻璃的長度方向上均勻。
排氣口通過設有出氣小孔矩陣的基板4與電極盒內腔相通，保證氣體均勻排出電極盒內 腔，保證氣體在每一對電極之間的均勻。
該電極盒內腔包括若干電極板2、該電極板上端與勻氣板l垂直連接，電極板下端與基板 4垂直連接，所述電機盒進一步包括安裝于勻氣板1與基板4之間且與電極板平行的輔助隔熱 板3，所述輔助隔熱板3分別位于若干電極板2兩側。電極板兩側加輔助隔熱板，保證中間的 電極板不受外界溫度梯度的影響而產(chǎn)生變形。
所述勻氣板l、輔助隔熱板3及基板4圍成一個框體。所述電極板、勻氣板、輔助隔熱板 及基板由鋁合金材料制成，在溫度循環(huán)時不變形,從而保證電極板之間的平行度。由于鋁合金 表面容易在高溫下氧化，使得與銅導線之間的接觸電阻變大，所以陰極板5上與銅導線或鍍銀 銅導線9連接的位置的鋁合金表面設有鍍鎳層保證與銅導線或鍍銀銅導線之間電氣接觸的穩(wěn) 定可靠。
所述電極板包括陰極板5、 6、 7和陽極板，陽極板為相鄰兩個陰極板共用。所述勻氣板、 基板及兩側的輔助隔熱板構成電磁屏蔽。保證射頻電源不產(chǎn)生雜散干擾。 本實用新型的有益效果在于-
1. 兩側加輔助隔熱板，保證中間的電極板不受外界溫度梯度的影響而產(chǎn)生變形；
2. 電極板、勻氣板、輔助隔熱板及基板由鋁合金材料制成，在溫度循環(huán)時不變形,從而保 證電極板之間的平行度；
3. 勻氣板與基板上開了均勻氣流的入氣小孔矩陣，使得氣體均勻進入每一對電極，氣體在 整個玻璃的長度方向上均勻。
4. 鍍膜室上部的勻氣板,下部的基板，兩側的輔助隔熱板及兩端的蓋板構成電磁屏蔽，保 證射頻電源不產(chǎn)生雜散干擾，
5. 在鋁合金的局部表面化學鍍鎳，保證與銅導線之間電氣接觸的穩(wěn)定可靠。
6. 在鋁合金電極板上與玻璃基板接觸的表面設硬陽極化膜，保證電極板的耐用性。 以上實施例僅用以說明而非限制本實用新型的技術方案，不脫離本實用新型精神和范圍
的特征均應涵蓋在本實用新型的專利申請范圍當中。
權利要求1. 一種新型電極盒，用于在真空鍍膜機內對玻璃基板鍍膜，所述電極盒上部設置有進氣口，下部設有排氣口，進氣口通過設有入氣小孔矩陣的勻氣板與電極盒內腔相通，排氣口通過設有出氣小孔矩陣的基板與電極盒內腔相通，該電極盒內腔包括若干電極板、該電極板上端與勻氣板垂直連接，電極板下端與基板垂直連接，其特征在于所述電機盒進一步包括安裝于勻氣板與基板之間且與電極板平行的輔助隔熱板，所述輔助隔熱板分別位于若干電極板兩側，所述勻氣板、輔助隔熱板及基板圍成一個框體。
2. 如權利要求1所述的新型電極盒，其特征在于所述電極板、勻氣板、輔助隔熱板及 基板由鋁合金材料制成。
3. 如權利要求1所述的新型電極盒，其特征在于所述電極板包括多對陰極板和陽極板， 陽極板為相鄰兩個陰極板共用。
4. 如權利要求1所述的新型電極盒，其特征在于所述勻氣板、基板及兩側的輔助隔熱 板構成電磁屏蔽。
5. 如權利要求3所述的新型電極盒，其特征在于所述陰極板接射頻電源，陽極板接地， 陰極板與射頻電源之間采用銅導線或鍍銀銅導線連接。
6. 如權利要求5所述的新型電極盒，其特征在于陰極板上與銅導線或鍍銀銅導線連接 的位置表面設有鍍鎳層。
7. 如權利要求2所述的新型電極盒，其特征在于在鋁合金電極板上與玻璃基板接觸的 表面設硬陽極化膜。
專利摘要一種新型電極盒，用于真空鍍膜機內。所述電極盒上部設置有進氣口，下部設有排氣口，進氣口通過設有入氣小孔矩陣的勻氣板與電極盒內腔相通，排氣口通過設有出氣小孔矩陣的基板與電極盒內腔相通，該電極盒內腔包括若干電極板、該電極板上端與勻氣板垂直連接，電極板下端與基板垂直連接，其特征在于所述電機盒進一步包括安裝于勻氣板與基板之間且與電極板平行的輔助隔熱板，所述輔助隔熱板分別位于若干電極板兩側，所述勻氣板、輔助隔熱板及基板圍成一個框體。被鍍膜的玻璃基板平行放置并覆蓋各個電極板的兩主平面。本實用新型新型電極盒極大的提高了在玻璃基板上沉積薄膜的質量。
文檔編號C23C14/24GK201296779SQ20082015362
公開日2009年8月26日 申請日期2008年9月27日 優(yōu)先權日2008年9月27日
發(fā)明者奚建平, 李茂程, 金小亮 申請人:上海曙海太陽能有限公司;曙光控股集團有限公司