專利名稱：一種快拆式內傳輸框架結構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種框架的快拆結構，特別指 一種應用于真空濺鍍腔體 內，傳輸用框架的快拆式組裝結構。
背景技術：
真空濺鍍技術是真空薄膜制程中應用層面相當廣泛的 一項重要技術，近年 來己逐漸取代噴導電漆或電解電鍍等方式，大量應用在光電、通信及半導體等 產業(yè)，成為相當重要的表面處理技術。
請參閱圖l所示， 一般真空濺鍍技術，利用磁控濺鍍陰極板l 1，將離子
化的氣體分子1 3以高速轟擊激發(fā)鍍材1 8 ，使鍍膜分子1 2均勻散布在真空 腔體l 0內各個角落，再通過電位差高速濺射在被鍍物1 9表面上，進而達到 鍍膜的目的。
而因應真空'踐鍍制程應用層面日廣，為增加相關鍍膜產品的產業(yè)竟爭力， 目前大部分濺鍍i殳備為連續(xù)式多腔體型式，以取代傳統(tǒng)批次式或晶圓式生產方
式。如圖2所示，連續(xù)式傳輸作業(yè)流程如可概分為進料區(qū)、濺鍍區(qū)及出料區(qū)三
個區(qū)域。每一個區(qū)域都至少由一真空腔體1 0組成，再利用傳輸機構將被鍍物 1 9輸送至不同區(qū)域的真空腔體1 0內進行各項程序作業(yè)。而一般連續(xù)式真空
濺鍍設備其自動化傳輸機構皆利用極限開關及摩擦原理來完成不同腔體之間
傳輸順序。
請再參閱圖3，每個腔體分別具有一部伺服馬達l 3帶動真空腔體1 0底 部前端的第一個輪軸1 4 ，再通過鏈條1 7帶動后半部的輪軸1 4 ，托盤1 2 則置于輪軸1 4兩側的膠環(huán)1 6上方，通過托盤1 2與膠環(huán)1 6之間摩擦力的 作用下，將托盤l 2帶動至下一個真空腔體1 0，而能連續(xù)進行真空濺鍍的各 項作業(yè)程序。
上述結構中，輪軸l 4兩端樞組固定于兩輪軸固定座1 5之間，而一般輪軸固定座l 5的長度，對應真空腔體l 0內的空間大小為一體式的結構。當傳輸的構件如輪軸1 4 、鏈條1 7或輪軸固定座1 5等對象表面殘留有鍍膜分子1 2沉積物時，為維持44膜高質量要求，濺鍍設備必須定時停機保養(yǎng)，拆卸真空腔體1 0內部零件，刮除其表面鍍膜分子1 2沉積物后，方可重新組合真空腔體1 0再次使用。
然而，隨著'減鍍設備機型、款式或應用需求的不同，或為增加結構強度，真空腔體l O外層機殼的置入口上方中間適處，會設計一道;f黃板，由于該橫板的存在當真空腔體l0內部的輪軸14或輪軸固定座15等構件欲取出時，則必須將該腔體外殼折卸后，方能將內部零組件取出，不僅不便且費時費力，而需進一步加以改善。

實用新型內容
為了方便取出賊鍍設備的內部零件，本實用新型提供了 一種快拆式內傳輸框架結構，包含用于真空濺鍍的框架，
所述框架由若干副框架組成，各副框架相組接的外端各設有一對接板，各對接板上形成有定位部，所述副框架通過相對接的定位部結合為一體。
成型于所述對接板上的定位部為螺紋孔結構，兩副框架通過螺絲定位件同時鎖設于兩相對接的定位部結合。
所述各副框架兩側底邊形成有若千螺紋孔，而所述腔體底部對應組接后的框架四角落處則凸設有鎖置座，所述框架通過若干定位調整單元分別穿套所述螺紋孔后，再鎖設于對應的鎖置座處固定。
所述各定位調整單元由一調整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調整螺絲內緣呈貫通結構，上端形成有六角孔，螺組于所述框架的螺紋孔處，所述螺帽螺設于作完框架的水平調整后的所述調整螺絲上，而用于固定所述框架的所述定位螺絲由所述螺帽鎖固后的所述調整螺絲內緣往外穿出而螺組于所述腔體的鎖置座內。
與現有技術相比，本實用新型具有以下有益效果
利用本實用新型框架呈分段式的快拆結構設計，不僅能方便且迅速于該腔體內作組裝或拆卸之作業(yè)。同時利用該定位調整單元以四點定位鎖固方式，更能增加框架水平調整的簡便性與穩(wěn)固性。具有分段快速拆卸及組裝的特點，提高了零件維修或清潔效率。


圖1現有為真空濺鍍原理示意圖。
圖2為現有連續(xù)式濺渡作業(yè)流程示意圖。
圖3為現有真空腔體立體分解圖。
圖4為本實用新型框架的立體分解圖。圖5為本實用新型的另一立體分解圖。圖6為本實用新型的組合剖視圖。其中，
腔體2 0框架3 0螺紋孔3 2定位部3 3 1調整螺絲41螺帽4 2定位件5 1
鎖置座2 1副框架3 1 、 3 1對接板3 3定位調整單元4 0六角孔411定位螺絲4 具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細說明。
參閱圖4~圖6所示，本實用新型由應用于真空濺鍍作業(yè)的腔體2 0、框
架3 0,以及若干定位調整單元4 0等構件組成，其中
該腔體2 0內緣中空，其底部特定的四角隅位置凸設有鎖置座2 1 ,用以
供該定位調整單元4 0鎖固該框架3 0。由于腔體2 0為一般現有結構，不再贅述。
該框架3 0為一對應該腔體2 0的矩形框架，由若干副框架3 1、 3 1，組成，本實用新型以兩副框架3 1、 3 1，為實施例進行說明。各副框架3 1、3 1'為四方形框體，其兩側底邊形成有若干螺紋孔3 2,而相組接的外端
5則各設有一對接板3 3 ，并于各對接板3 3上形成有若干定位部3 3 1。在本 實用新型的實施例，各定位部3 3 l為螺紋孔，當兩副框架3 1、 3 1，的對 接板3 3相對靠接時，可利用螺絲等定位件5 l鎖設兩相對接的定位部3 3 1 內部，將兩副框架3 1、 3 1'結合為一體。
定位調整單元4 0用以鎖固并調整框架3 0，各定位調整單元4 0由一調 整螺絲4 1 、螺帽4 2及定位螺絲4 3等組成。調整螺絲4 1內緣呈貫通結構 ,上端形成有六角孔4 1 1，可螺組于該框架3 0的螺紋孔3 2處。螺帽則在 調整螺絲4 l作完框架3 O的水平調整后，螺設于該調整螺絲4 l上，使框架
3 O保持穩(wěn)定的水平狀態(tài)。而定位螺絲4 3則在螺帽4 2鎖緊后，由調整螺絲
4 1內緣往外穿出，使其螺組于腔體2 0的鎖置座2 1內，用以固定框架3 0
因此，通過上述構件組成，利用框架3 O呈分段式的快拆結構設計，可方 便且迅速于該腔體2 0內作組裝或拆卸的作業(yè)。同時利用定位調整單元4 0以 四點定位鎖固方式，更能增加框架水平調整的簡便性與穩(wěn)固性。
以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的 普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以作出若干改進 和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1. 一種快拆式內傳輸框架結構，包含用于真空濺鍍的框架，其特征在于所述框架由若干副框架組成，各副框架相組接的外端各設有一對接板，各對接板上形成有定位部，所述副框架通過相對接的定位部結合為一體。
2. 如權利要求1所述的快拆式內傳輸框架結構，其特征在于，成型于所 述對接板上的定位部為螺紋孔結構，兩副框架通過螺絲定位件同時鎖設于兩相 對接的定位部結合。
3. 如權利要求1所述的快拆式內傳輸框架結構，其特征在于，所述各副 框架兩側底邊形成有若干螺紋孔，而所述腔體底部對應組接后的框架四角落處 則凸設 有鎖置座，所述框架通過若干定位調整單元分別穿套所述螺紋孔后，再 鎖設于對應的鎖置座處固定。
4. 如權利要求3所述的快拆式內傳輸框架結構，其特征在于，所述各定 位調整單元由一調整螺絲、螺帽及定位螺絲組成，所述調整螺絲內緣呈貫通結 構，上端形成有六角孔，螺組于所述框架的螺紋孔處，所述螺帽螺設于作完框 架的水平調整后的所述調整螺絲上，而用于固定所述框架的所述定位螺絲由所 述螺帽鎖固后的所述調整螺絲內緣往外穿出而螺組于所述腔體的鎖置座內。
專利摘要本實用新型提供了一種快拆式內傳輸框架結構，該結構在真空濺鍍的腔體內設置了一個框架，該框架由若干副框架組成，各副框架的組接處外端各設有一對接板，并于各該對接板上形成有定位部，該定位部為螺紋孔結構，可利用一如螺絲等定位件鎖設于相對接合的二定位部處，將副框架結合為一體，因此可方便框架于腔體內作組裝或拆卸的作業(yè)。
文檔編號C23C14/34GK201272830SQ20082012948
公開日2009年7月15日 申請日期2008年8月18日 優(yōu)先權日2008年8月18日
發(fā)明者黎瑞海 申請人:凌嘉科技股份有限公司