專利名稱：可防止繞鍍的基板載具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種基板載具，特別是涉及一種可以載運 進入濺鍍室進行 濺鍍加工的可防止繞鍍的基板載具。
背景技術(shù)：
在以往的濺鍍領(lǐng)域中，為了將基板連續(xù)地送入真空濺鍍設(shè)備的一濺鍍室內(nèi)接受
觀搬加工，通常是利用如圖l、 2所示的鎌載具1艇用數(shù)鎌10，該繊載具l
包括 一個承載板ll，以及數(shù)個將 10以可拆解方式架設(shè)在承載板11上的定位
單元12，該承載板ii具有一個前端面ui、 一個和前端面m間隔的后端面112、 數(shù)個貫穿前、后端面m、 112的 架孔113，以及兩個垂直連接在前、后端面iii、
112左右兩側(cè)的垂直接面114、 115，而所述定位單元12是分別鄰 載板11的基 板架孔113,并且將基板10架設(shè)在承載板11上，架設(shè)后該基板10的一個加工面101 和承載板11的前端面111平齊。
當(dāng)基板10架設(shè)在 載具1上，且 載具1連續(xù)iK入真空、M設(shè)備的一濺
鍍室內(nèi)進，TM加工時，鵬材料是沿著一個ilf度方向13往繊載具i的前端面m
、 ，以便讓鄉(xiāng)莫材料附著在基板10的加工面101上。以往 載具1雖然可以載 運基板10連續(xù)ittAlil^接受M加工，但是在載運的過程中，由于承載板11 的垂直接面114、 U5是垂直于前端面m，因此，就算兩片相鄰的繊載具1很靠 近，仍會在彼此間產(chǎn)生一辨行于領(lǐng)搬方向13的間隙14。故當(dāng)f鵬材半樹向該鎌 10的加工面101時，少許的 材料會經(jīng)由該間隙14到皿載板11的后端面112， 最后繞附絲載板11的后端面112以及鎌10的一個背面102上，這種J嫁在濺 鍍領(lǐng)域中被稱為「繞鍍現(xiàn)象」。這種「纖現(xiàn)象」由于^i上鄉(xiāng)莫材料不預(yù)期地附著在 繊10的背面102，因此，會影響到繊10的M品質(zhì)，本實用新型就是針對前述 缺失加以改良。

實用新型內(nèi)容
本實用新型的目的是在提供一種可以提高載運基板濺鍍品質(zhì)的可防止領(lǐng)楚度的基板載具。
本實用新型的基板載具是可供至少一片基板架設(shè)，并包括 一承載板，以及至 少一個將基板架設(shè)在承載板上的架設(shè)單元，該承載板包括一個供基板架設(shè)的基板架 設(shè)部。本實用新型的特征在于該承載板還包括兩個自基板架設(shè)部往相反側(cè)突出 的防繞部，前述防繞部并可在基板載具沿著一個行進方向移送時，和另一塊基板載 具上相鄰的防繞部重疊。
本實用新型的有益功效在于借在 載具的承載板上設(shè)置兩個位在相反側(cè)的 防繞部，以及讓防繞部可以和相鄰基板載具的防繞部重疊的設(shè)計，可以在基板載具 載運繊進入濺鍍室時，防止鍍膜材料由兩±央基板載具間的間隙繞到基板背面并附 著在背面上，借此達(dá)到提高載運 濺鍍品質(zhì)的目的。


圖1是一種以往SM載具的前視圖，圖中并顯示數(shù)片 安裝在該 載具上
的情況；
圖2是該以往 載具的一俯視剖視參考圖3是本實用新型 載具的第一較佳實施例的立體圖4是該第一較佳實施例的一俯豐見圖5是該第一較佳實施例的—柳狀態(tài)參考圖，顯示在4頓時兩± ^載具的 對應(yīng)關(guān)系；及
圖6是一類似圖5的j頓狀態(tài)參考圖，顯示本新型鎌載具的第二較佳實施例。
具體實航式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細(xì)說明
參閱圖3、4，本實用新型 載具2的第一較佳實施例是可供數(shù)片基板20架設(shè)， 戶，基板20具有一個朝前的加工面201，以及一個和加工面201間隔的背面202。 本實施例的 載具2包括 一個承載板3，以及數(shù)個將基板20以可取下的方式安 裝在承載板3上的架設(shè)單元21 。
該承載板3包括一個可供基板20架設(shè)的 架設(shè)部31，以及自 架設(shè)部31 突出的一第一防繞部32、 一第二防繞部33，，防繞部32、 33 ，在基板架設(shè)部 31的相反側(cè)。本實施例的 架設(shè)部31具有一個前端面311、 一個后端面312，以及數(shù)個貫 穿該前端面311及后端面312的 架孔313，而戶，架設(shè)單元21是安裝在 架 設(shè)部31上并鄰近齡 架孔313，功用在于供 20以可取下的方式安裝在 架孔313處，由于本實用新型的改良和前述架設(shè)單元21的設(shè)計無關(guān)，不再說明。
本實施例的第一防繞部32位在 架設(shè)部31的左側(cè)，具有一個和前端面311 水平銜接的前延伸面321 、 一個由后端面312往前垂自伸的第一段差面322、 一個 自前延伸面321往后垂直延伸的第一側(cè)面323，以及一個銜接在該第一段差面322 及第一側(cè)面323之間的第一接面324，，一接面324是由第一側(cè)面323逐^fi也往第 一段差面322傾斜，也就是說，本實施例第一防繞部32的最大厚度Wl是 架設(shè) 部31厚度W2的一半，而且第一防繞部32的厚度是由,第一側(cè)面323 —端逐漸 地《主第一段差面322擴增。該第二防繞部33是位在 架設(shè)部31的右側(cè)，具有一 個和繊架設(shè)部31的后端面312水平離的后延伸面331、 一個自前端面311往后 垂直延伸的第二段差面332、 一個自后延伸面331往前垂直延伸的第二側(cè)面333，以 及一個銜接在第二體面332及第二側(cè)面333間的第二接面334，戰(zhàn)第二防繞部 33的最大厚度W3也是 架設(shè)部31的二分的一，而且該第二防繞部33的厚度是 由第二側(cè)面333逐ffi也往第二段差面332擴增。
參閱圖3、 5，本實施例的繊載具2招頓時，同樣供數(shù)片 20架設(shè)，并沿 著一t 3S方向22將架設(shè)的 20由IW^的一入口端往一出口端移送，而,II莫材 料是沿著一M方向23 M到鎌20的加工面201，由于、ai度加工魏續(xù)制程，故 在移送的過程中 載具2是連續(xù)地被送入濺鍍室。由于本實施例的基板載具2在 載運 20前進的過程中，前一±^ 載具2的第二防繞部33會和下一± ^載 具2'的第一防繞部32重疊，因此，當(dāng)鍍膜材料、 &^ 方向23射向 20的加工 面201時，雖然兩±央相鄰的 載具2間仍有間隙，但M"在間隙周緣的f鵬材料 只會附著在第一防繞部32的前延伸面321,以及第二防繞部33的第二接面334上， 也,就是說，受到重疊的第一防繞部32及第二防繞部33的阻擋， 材料不會繞到 Sfe載具2的后面，當(dāng)然也不會因此附著在繊20的背面202上，故本實施例該基 板載具2的設(shè)計，確實具有防止纖的功效，并可維持載運,20較佳的鵬品質(zhì)。
參閱圖6，本實用新型基板載具2的第二較佳實施例的構(gòu)造大致和第一實施例相
同，而包括一承載板3以及至少一個架設(shè)單元(圖未示)，戶; ^載板3也是包括一個
架設(shè)部31、 一第一防繞部32及一第二防繞部33。本實施例和第一實施例的差
5別在于該第一防繞部32具有一個和基板架設(shè)部31接續(xù)的前延伸面321、 一個由前 延伸面321往后垂艦伸的第一側(cè)面323，以及一個由第一側(cè)面323往后端面312 傾余斗的第一接面324，而該第二防繞部33具有一后延伸面331、 一個由后延伸面331 往前延伸的第二側(cè)面333，以及一傾斜連接在第二側(cè)面333及前端面311間的第二接 面334。借由改變該承載板3的第一防繞部32與第二防繞部33的構(gòu)造，同樣可以達(dá) 到卩方止繞鍍現(xiàn)象，以及提高載運基板20的濺鍍品質(zhì)等等的功效。
權(quán)利要求1.一種可防止繞鍍的基板載具，可供至少一片基板架設(shè)，包括一個承載板，以及至少一個將所述基板架設(shè)在承載板的一個基板架設(shè)部上的架設(shè)單元；其特征在于該承載板還包括位在該基板架設(shè)部的相反側(cè)的一第一防繞部、一第二防繞部，前述防繞部并可在基板載具沿著一行進方向移送時，和另一塊基板載具上的防繞部重疊。
2. 如權(quán)禾腰求l"腿可防止繞鍍的,載具，其特征在于該第一及第二防繞部的 最大厚度總和小于或等于,架設(shè)部的厚度。
3. 如權(quán)利要求1或2所述可防止繞鍍的基板載具，其f寺征在于該基板架設(shè)部具有 一個前端面，以及一個和前端面間隔的后端面，而該第一防繞部具有一個和前 端面接續(xù)的前延伸面、 一個由前延伸面往后延伸的第一側(cè)面，以及一個由第一 側(cè)面后端往基板架設(shè)部的后端面延伸的第一接面，而該第二防繞部具有一個和 后端面接續(xù)的后延伸面、 一個由后延伸面往前延伸的第二側(cè)面，以及一個由第 二側(cè)面往 架設(shè)部的前端面延伸的第二接面。
4. 如權(quán)禾腰彩戶腿可防止纖的繊載具，其特征在于該第一防繞部還具有一 個連接在第一接面及基板架設(shè)部的后端面間的第一段差面，而該第二防繞部還 具有一個連接在第二接面及 架設(shè)部的前端面間的第二自面。
專利摘要本實用新型公開了一種可防止繞鍍的基板載具，可供至少一片基板架設(shè)，包括一個承載板，以及至少一個將基板架設(shè)在承載板上的架設(shè)單元，該承載板包括一個供基板架設(shè)的基板架設(shè)部。本實用新型的特征在于該承載板還包括兩個自基板架設(shè)部往相反側(cè)突出的防繞部，前述防繞部并可在基板載具沿著一行進方向移送時，和另一塊基板載具上相鄰的防繞部重疊。借此可在基板載具載運基板進入濺鍍室時，防止鍍膜材料由兩塊基板載具間的間隙繞到基板背面并附著在背面上，以達(dá)到提高載運基板濺鍍品質(zhì)的目的。
文檔編號C23C14/24GK201158703SQ20082000610
公開日2008年12月3日 申請日期2008年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2008年2月3日
發(fā)明者鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司