專利名稱：一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，尤其涉及用真空蒸鍍法制備有機(jī) 電致發(fā)光器件時(shí)將有機(jī)材料氣化的蒸鍍裝置。技術(shù)背景隨著有機(jī)半導(dǎo)體技術(shù)的深入研究，有機(jī)器件的應(yīng)用越來越廣泛，包括有機(jī)場 效應(yīng)晶體管(OTFT)，有機(jī)電致發(fā)光器件(OLED)，有機(jī)激光器件等等，這一 切都離不開有機(jī)薄膜的制備，目前最常用的有機(jī)薄膜的制備工藝為真空蒸鍍的方 式，通常蒸發(fā)舟的加熱方式多為電阻式加熱，所選擇的蒸發(fā)舟舟體材料為高熔點(diǎn) 金屬如鶴、鉅、鉬等，此外還可以是氮化硼等。雖然選材不同，但原理相近，都 是使蒸發(fā)舟的溫度由電阻效應(yīng)升高，并將熱傳遞給舟中的有機(jī)材料，使得有機(jī)材 料達(dá)到升華溫度并升華出來，這種加熱方式容易產(chǎn)生的問題是，容器受熱不均， 從而導(dǎo)致蒸發(fā)舟中的材料蒸鍍速率不穩(wěn)定。后來人們通過各種方式來改進(jìn)加熱方式，其中中國專利CN1446268A中提 到了通過電磁加熱的方式使有機(jī)材料升華，該專利中的蒸鍍?nèi)萜饔呻姶鸥袘?yīng)發(fā)熱 的材料構(gòu)成，通過電磁感應(yīng)加熱的設(shè)備，使裝入容器中的有機(jī)材料氣化進(jìn)行蒸鍍， 其中為實(shí)現(xiàn)電磁感應(yīng)加熱，蒸鍍?nèi)萜髦辽俚撞亢蛡?cè)面的材料由借助電磁感應(yīng)發(fā)熱 的材料構(gòu)成。通過采用如上設(shè)計(jì)，雖然加熱時(shí)有機(jī)材料整體受熱均勻性得到了提 高，但是在容器中有機(jī)材料放量多時(shí)，容器底部仍然受熱過多，容易產(chǎn)生材料被 噴濺出來的現(xiàn)象，同時(shí)也無法實(shí)現(xiàn)在同一真空腔室中用同一套加熱裝置連續(xù)蒸鍍 不同有機(jī)膜的目的。技術(shù)方案本發(fā)明的目的在于提供一種可以提高容器的受熱均勻性，防止有機(jī)材料噴 濺，并且可以在同一真空腔室中用一套加熱裝置連續(xù)蒸鍍不同有機(jī)膜的有機(jī)電致 發(fā)光器件的蒸鍍裝置。本發(fā)明的上述目的是通過如下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)的。一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，用于有機(jī)電致發(fā)光器件制備中有機(jī)材料 的蒸鍍，包括一個(gè)電磁感應(yīng)加熱裝置和一個(gè)用作蒸發(fā)舟的容器，其特征在于所述 電磁感應(yīng)加熱裝置包括一個(gè)電磁感應(yīng)器和一個(gè)與之對應(yīng)的電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體，所 述電磁感應(yīng)器可以通過與外部電源連接使所述電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體產(chǎn)生熱量，蒸發(fā) 有機(jī)材料，其中電磁感應(yīng)器置于所述蒸發(fā)舟的外部，電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體置于所述 蒸發(fā)舟內(nèi)部，并位于蒸發(fā)舟內(nèi)有機(jī)材料的上部。在上述有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應(yīng)器置于蒸發(fā)舟的底部。在上述有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應(yīng)器為電磁線圈。在上述有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置中，蒸發(fā)舟可以為多個(gè)，電磁感應(yīng)加熱 裝置可以與多個(gè)蒸發(fā)舟組合，連續(xù)蒸鍍多層有機(jī)膜。在上述有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體為其上分布有若 干孔隙的圓形或方形結(jié)構(gòu)的柱狀結(jié)構(gòu)，其中孔隙通常為圓孔，導(dǎo)體為薄柱狀結(jié)構(gòu)。在上述有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置中，電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體的材料可以為碳 化硅，石墨或氮化鈦中的一種或其它耐熱導(dǎo)電材料。在上述有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置中，蒸鍍裝置包括一個(gè)用于測試蒸鍍溫 度的熱電偶，熱電偶的溫度感應(yīng)器置于蒸發(fā)舟內(nèi)。本發(fā)明采用電磁加熱方式的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置具有如下優(yōu)點(diǎn)1、 溫度調(diào)節(jié)更精確相比于其他加熱方式，由于該裝置使材料局部升溫，可以更有效的調(diào)節(jié)材料 局部溫度，對于工藝精確性有很大的提高。2、 實(shí)現(xiàn)多舟工作模式，減少能耗由于該蒸鍍裝置中電磁加熱裝置與蒸發(fā)舟分離，可以通過一個(gè)電磁加熱裝置 與多個(gè)蒸發(fā)舟組合，通過蒸發(fā)舟的輪換，實(shí)現(xiàn)在同一真空腔室中用一個(gè)加熱裝置 連續(xù)蒸鍍不同有機(jī)膜的目的，可以減少蒸發(fā)源預(yù)熱的時(shí)間，減少了能源消耗和設(shè) 備成本，同時(shí)也可以提高發(fā)光器件的膜層均勻性和器件質(zhì)量。3、 防止噴濺，降低材料消耗傳統(tǒng)加熱方式是蒸發(fā)舟的底部和內(nèi)壁先受熱，使得有機(jī)材料的下部和四周先 升溫，材料的蒸發(fā)也從底部開始，如果溫度控制不當(dāng)，會(huì)導(dǎo)致材料由于底部溫度 過高而噴濺，本發(fā)明的電磁加熱裝置由于電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體置于材料上部，加熱 時(shí)；有機(jī)材料的最上層先受熱蒸發(fā)，是一個(gè)由上至下的過程，上面一層材料蒸發(fā)后下面一層材料再受熱蒸發(fā)，從而減少了材料的浪費(fèi)，提高了材料的利用率，另 一方面容易控制蒸鍍速度，保持蒸鍍速率均勻，從而更好控制成膜厚度。


圖1本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件用蒸鍍裝置剖面結(jié)構(gòu)圖01蒸鍍腔室，02蒸鍍?nèi)萜?蒸發(fā)舟)，03電磁線圈，04電源，05電磁感 應(yīng)導(dǎo)體，06有機(jī)材料，07熱電偶，08溫度感應(yīng)器，09基片 圖2本發(fā)明電磁感應(yīng)導(dǎo)體剖面圖 05電磁感應(yīng)導(dǎo)體，10孔隙 圖3本發(fā)明多舟工作模式圖 02蒸鍍?nèi)萜?蒸發(fā)舟)，03電磁線圈，04電源具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說明。 如圖1所示是本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件用蒸鍍裝置，01是蒸鍍腔室，為真 空腔室，蒸發(fā)舟02，電磁線圈03，電磁感應(yīng)導(dǎo)體05及基片09置于真空腔室01 內(nèi)，其中電磁線圈03置于蒸發(fā)舟02底部，并與外接電源04連接，與之對應(yīng)的 電磁感應(yīng)導(dǎo)體05置于蒸發(fā)舟02內(nèi)部，蒸發(fā)舟02內(nèi)裝入需要蒸鍍的有機(jī)材料06， 電磁感應(yīng)導(dǎo)體05就放置在有機(jī)材料06之上，基本與容器底部平行，電磁感應(yīng)導(dǎo) 體05可以是圓形、方形或其他形狀的薄柱狀結(jié)構(gòu)，由于蒸發(fā)舟02—般為圓筒形 結(jié)構(gòu)，所以電磁感應(yīng)導(dǎo)體05—般也設(shè)計(jì)為與之匹配的圓形結(jié)構(gòu)，圓形結(jié)構(gòu)上均 勻分布有若干個(gè)小孔10，小孔10的形狀可以是圓形或其他形狀，以方便有機(jī)材 料06受熱蒸發(fā)后從孔中散出，如圖2所示。電磁感應(yīng)導(dǎo)體05的材料可以選擇碳 化硅、石墨或氮化鈦或其它耐熱導(dǎo)電材料等，可以在通電后電磁線圈03的感應(yīng) 下發(fā)熱使有機(jī)材料蒸發(fā)。作為蒸發(fā)源，對于不同的蒸鍍材料要求給予不同的蒸鍍溫度，傳統(tǒng)蒸鍍過程 中的溫度控制方式是通過檢測施加在蒸發(fā)源上的電壓和電流來推算， 一方面精度 不夠，另一方面反應(yīng)出溫度的速度慢且不夠直觀，本發(fā)明中采用熱電偶07來測 試溫度，如圖1中所示，將溫度感應(yīng)器08通過電磁感應(yīng)導(dǎo)體05的小孔置于有機(jī) 材料中，從而直接控制材料的蒸鍍溫度。采用圖1所示的蒸鍍裝置，可以蒸鍍有機(jī)電致發(fā)光器件的各個(gè)有機(jī)層，例如 可以是包括發(fā)光層、空穴注入層、空穴傳輸層、電子注入層、電子傳輸層等在內(nèi) 的各層，將基片09置于真空蒸鍍腔室01中，在蒸發(fā)舟02內(nèi)裝入有機(jī)材料06， 并將電磁感應(yīng)導(dǎo)體05置于有機(jī)材料06之上，將熱電偶07的溫度感應(yīng)器08通過 電磁感應(yīng)導(dǎo)體05上的小孔插入有機(jī)材料06中，電磁線圈03放置在蒸發(fā)舟02 的下方，并與交變電源04連接，蒸鍍開始時(shí)，首先接通電源04，電磁線圈03 工作，通過電磁感應(yīng)作用，使得蒸發(fā)舟02內(nèi)的電磁感應(yīng)導(dǎo)體05產(chǎn)生熱量，熱量 使得舟內(nèi)最上層與電磁感應(yīng)導(dǎo)體05接觸的有機(jī)材料首先受熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出的有 機(jī)材料通過電磁感應(yīng)導(dǎo)體05上的小孔蒸鍍到基片08上，由于蒸發(fā)舟02內(nèi)的有 機(jī)材料的溫度從頂部到底部逐漸降低，所以有機(jī)材料也按照從頂部到底部的順序 逐步蒸出，這樣就有效避免了傳統(tǒng)蒸鍍操作中有機(jī)材料放量較多時(shí)，底部先受熱 而導(dǎo)致材料易被噴濺出來的現(xiàn)象，同時(shí)也提高了材料蒸鍍速率的穩(wěn)定性。同時(shí)采用熱電偶07來控制材料的蒸鍍溫度，也使得溫度控制更加準(zhǔn)確。如圖3所示是本發(fā)明有機(jī)電致發(fā)光器件用蒸鍍裝置的多舟工作模式圖，由于 本發(fā)明蒸鍍裝置中采用電磁加熱裝置與蒸發(fā)舟分離的方式，從而使得一個(gè)電磁加 熱裝置可以與多個(gè)蒸發(fā)舟配合使用，例如要在一個(gè)真空蒸鍍腔室中同時(shí)蒸鍍空穴 傳輸層、單色發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，就可以采用這種多舟工作模式， 在四個(gè)依次排列并可以交替旋轉(zhuǎn)的蒸發(fā)舟中分別裝入不同的有機(jī)材料，首先將裝 入空穴傳輸材料的蒸發(fā)舟移動(dòng)至蒸發(fā)源的位置，即將該蒸發(fā)舟02放置在電磁線 圈03上方，電磁感應(yīng)導(dǎo)體05放置在有機(jī)材料06上方，接通交變電源04丌始蒸 鍍，從而完成空穴傳輸層的蒸鍍，接下來蒸鍍發(fā)光層，將相鄰的裝有單色光有機(jī) 材料的蒸發(fā)舟旋轉(zhuǎn)移動(dòng)至蒸發(fā)源位置，完成蒸鍍，隨后相同的方式完成電子傳輸 層和電子注入層的蒸鍍。這樣通過蒸發(fā)舟的旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了在同一真空腔室中用同一套加熱裝置連 續(xù)蒸鍍不同有機(jī)膜的目的，不僅節(jié)省了設(shè)備成本，提高了工作效率，而且使預(yù)熱 時(shí)間變短，使得包括蒸鍍溫度在內(nèi)的蒸鍍條件更易統(tǒng)一和控制，提高了器件成膜 質(zhì)量和器件性能。
權(quán)利要求
1. 一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，用于有機(jī)電致發(fā)光器件制備中有機(jī)材料的蒸鍍，包括一個(gè)電磁感應(yīng)加熱裝置和一個(gè)用作蒸發(fā)舟的容器，其特征在于所述電磁感應(yīng)加熱裝置包括一個(gè)電磁感應(yīng)器和一個(gè)與之對應(yīng)的電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體，所述電磁感應(yīng)器可以通過與外部電源連接使所述電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體產(chǎn)生熱量，蒸發(fā)有機(jī)材料，其中電磁感應(yīng)器置于所述蒸發(fā)舟的外部，電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體置于所述蒸發(fā)舟內(nèi)部，并位于蒸發(fā)舟內(nèi)有機(jī)材料的上部。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，其特征在于所述電磁感應(yīng) 器置于蒸發(fā)舟的底部。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，其特征在于所述電磁 感應(yīng)器為電磁線圈。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，其特征在于所述蒸發(fā) 舟為多個(gè)，所述電磁感應(yīng)加熱裝置可以與多個(gè)蒸發(fā)舟組合，連續(xù)蒸鍍多層有 機(jī)膜。
5、 根據(jù)權(quán)利要求1或2的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，其特征在于所述電磁 感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體為其上分布有若干孔隙的圓形或方形柱狀結(jié)構(gòu)。
6、 根據(jù)權(quán)利要求5的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，其特征在于所述電磁感應(yīng) 發(fā)熱導(dǎo)體的材料為碳化硅，石墨或氮化鈦。
7、 根據(jù)權(quán)利要求1或2的有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，其特征在于所述蒸鍍 裝置包括一個(gè)用于測試蒸鍍溫度的熱電偶，所述熱電偶的溫度感應(yīng)器置于蒸 發(fā)舟內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種有機(jī)電致發(fā)光器件蒸鍍用裝置，用于有機(jī)電致發(fā)光器件制備中有機(jī)材料的蒸鍍，包括一個(gè)電磁感應(yīng)加熱裝置和一個(gè)用作蒸發(fā)舟的容器，其特征在于所述電磁感應(yīng)加熱裝置包括一個(gè)電磁感應(yīng)器和一個(gè)與之對應(yīng)的電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體，所述電磁感應(yīng)器可以通過與外部電源連接使所述電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體產(chǎn)生熱量，蒸發(fā)有機(jī)材料，其中電磁感應(yīng)器置于所述蒸發(fā)舟的外部，電磁感應(yīng)發(fā)熱導(dǎo)體置于所述蒸發(fā)舟內(nèi)部，并位于蒸發(fā)舟內(nèi)有機(jī)材料的上部。
文檔編號C23C14/12GK101280417SQ20081002516
公開日2008年10月8日 申請日期2008年4月24日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月24日
發(fā)明者張國輝, 勇 邱, 巍 魏 申請人:昆山維信諾顯示技術(shù)有限公司;清華大學(xué);北京維信諾科技有限公司