專利名稱：光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及光伏組件制造領(lǐng)域，尤其是涉及一種光伏組件規(guī)模制造用等 離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，用于光伏組件規(guī)模制造的等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè) 備，包括真空沉積腔室以及電極盒子等主要部件。 一個(gè)沉積電極盒子包含多 個(gè)射頻電極，每個(gè)電極可以沉積4片太陽電池，將預(yù)熱完成的電極盒子放入 一個(gè)真空沉積腔室當(dāng)中，在真空室里完成非晶硅薄膜太陽電池的沉積，沉積 完成后將電極盒子取出進(jìn)行冷卻。
現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺點(diǎn)在于每次在沉積前需要將裝有待沉積玻璃的電 極盒子在其它裝置預(yù)熱好后，推入沉積腔室，然后將電極盒子的電極安裝好； 而沉積完畢后，又需要將沉積好非晶硅薄膜太陽電池的電極盒子的電極卸 下，并將電極盒子拉出真空腔室，在其它輔助裝置冷卻。電極接頭如此的頻 繁裝卸，對(duì)電極的接觸產(chǎn)生及其不好的影響，電極的接觸不好又將導(dǎo)致射頻 輝光的不穩(wěn)定，從而導(dǎo)致生產(chǎn)過程中的合格率不高。同時(shí)，現(xiàn)有系統(tǒng)也增加 了額外的預(yù)熱裝置和冷卻裝置，增加了生產(chǎn)線當(dāng)中流水線的過程。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是公開一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積 真空設(shè)備，它能提高產(chǎn)品的合格率，并且系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，能減少生產(chǎn)制造的 成本。
本發(fā)明方法的技術(shù)方案是一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相 沉積真空設(shè)備，其特征在于它包括有真空腔體、電極盒子，所述真空腔體 為可分離式真空腔體，它包括相對(duì)固定的主體部和可分離部；所述電極盒子 裝設(shè)在真空腔體主體部內(nèi)，且在沉積前、沉積過程中、沉積后都保持與真空 腔體主體部相對(duì)靜止。下面對(duì)上述方案進(jìn)行進(jìn)一步的解釋
所述真空腔體優(yōu)選的結(jié)構(gòu)是包括 一個(gè)位于中段部位的主體部和分別位 于兩端部位的可分離部，所述主體部和兩端的可分離部可密閉構(gòu)成真空腔 體，也可在需要裝、卸沉積產(chǎn)品時(shí)分離開。
所述真空腔體的主體部設(shè)置有射頻引入電極。
所述電極盒子設(shè)置有與射頻引入電極對(duì)應(yīng)連接的電極接頭，且在沉積 前、沉積過程中、沉積后，射頻引入電極都與電極接頭保持接觸。
所述電極盒子上部設(shè)置有進(jìn)氣口，進(jìn)氣口依次通過兩個(gè)帶篩狀氣孔的氣 盒子與電極盒子內(nèi)腔相通，第二個(gè)氣盒子的篩狀氣孔的分布面積足夠覆蓋整 個(gè)電極盒子上方。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn)-
1. 本發(fā)明的光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，通 過移動(dòng)真空腔體的一部分，來避免電極盒子的運(yùn)動(dòng)，在生產(chǎn)過程中保持電極 盒子靜止。這樣避免了現(xiàn)有裝置在每次沉積過程都需要將電極盒子推入、推 出導(dǎo)致電極頻繁裝卸接觸而嚴(yán)重受損；避免了因電極受損而使得射頻輝光不 穩(wěn)定，導(dǎo)致產(chǎn)品的合格率降低。因此，本發(fā)明可以大大的提高生產(chǎn)的合格率。
2. 本發(fā)明將預(yù)熱、冷卻系統(tǒng)和沉積系統(tǒng)并入一個(gè)系統(tǒng)設(shè)備內(nèi)，減少了 生產(chǎn)線所需的設(shè)備數(shù)量，使得生產(chǎn)線變的更加簡潔。
3. 本發(fā)明還可優(yōu)選設(shè)計(jì)成用同一個(gè)抽氣系統(tǒng)給兩個(gè)沉積室抽氣，用同 一套射頻電源和氣路供應(yīng)系統(tǒng)為兩套沉積室共同使用，可以大大的降低設(shè)備 的造價(jià)，從而實(shí)質(zhì)性的降低了非晶硅薄膜太陽電池的每瓦制造成本。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的描述 圖1為本發(fā)明真空腔體密閉時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本發(fā)明的真空腔體分離時(shí)的示意圖； 圖3為本發(fā)明真空腔體的截面示意圖； 圖4為本發(fā)明電極盒子的截面示意圖。
其中10真空腔體；11真空腔體的主體部；12真空腔體的可分離部； 13真空腔體的可分離部；18射頻引入電極；20電極盒子；21電極接頭；22電極板；23待沉積的玻璃；24進(jìn)氣口； 25氣盒子一；26氣孔；27氣
盒子二； 28氣孔。
具體實(shí)施例方式
實(shí)施例
如圖l、圖2所示， 一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真 空設(shè)備，它包括有真空腔體IO、電極盒子20。
參考圖2，真空腔體10為可分離式真空腔體，它包括一個(gè)位于中段部 位的相對(duì)固定的主體部11和分別位于兩端部位的可分離部12、 13。主體部 11和兩端的可分離部12、 13可在工作需要時(shí)密閉構(gòu)成真空腔體，也可在需 要裝、卸沉積產(chǎn)品時(shí)分離開。
參考圖1、圖2,電極盒子20裝設(shè)在真空腔體10內(nèi)，且在沉積前、沉 積過程中、沉積后都保持與真空腔體10的主體部11相對(duì)靜止。
如圖3所示，真空腔體10的主體部11設(shè)置有射頻引入電極18。如圖4 所示，電極盒子20設(shè)置有與射頻引入電極18對(duì)應(yīng)連接的電極接頭21。在 沉積前、沉積過程中、沉積后，電極盒子保持靜止，因此射頻引入電極18 都與電極接頭21保持靜止接觸。這樣避免了電極接頭的頻繁裝卸而導(dǎo)致磨 損，避免因此而使射頻輝光不穩(wěn)定。
在現(xiàn)有技術(shù)的生產(chǎn)過程中，每次沉積完成后都需要將電極盒子拉出，而 沉積前將電極盒子推進(jìn)去。本發(fā)明通過移動(dòng)真空腔體的一部分，來避免電極 盒子的運(yùn)動(dòng)，為在整個(gè)生產(chǎn)過程中保持射頻引入電極18與電極接頭21的靜 止接觸帶來了條件。
如圖4所示，電極盒子20上部設(shè)置有進(jìn)氣口 24，進(jìn)氣口24依次通過 帶篩狀氣孔26的氣盒子一 25、帶篩狀氣孔28的氣盒子二 27與電極盒子20 內(nèi)腔相通，氣盒子二 27的篩狀氣孔28的分布面積足夠覆蓋整個(gè)電極盒子 20上方。進(jìn)氣的氣流方向可參考圖4中的箭頭表示。
在整個(gè)工作過程當(dāng)中，保持電極盒子20是靜止的；沉積前，先往電極 盒子20當(dāng)中裝載待沉積玻璃23;裝完畢后，將真空腔體10的主體部11和 可分離部12、 13相結(jié)合，組成一個(gè)真空腔體；然后，開始抽真空，沉積； 沉積完畢后，將真空腔室10的可分離部12、 13部分往兩邊拉出，這樣可以保證電極盒子20保持靜止，避免射頻引入電極18與電極接頭21頻繁接觸 而磨損。
應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于經(jīng)充分說明的本發(fā)明來說，還可具有多種變換及改型的 實(shí)施方案，并不局限于上述實(shí)施方式的具體實(shí)施例。上述實(shí)施例僅僅作為本 發(fā)明的說明，而不是對(duì)本發(fā)明的限制。總之，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)包括那些 對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說顯而易見的變換或替代以及改型。
權(quán)利要求
1.一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，其特征在于它包括有真空腔體(10)、電極盒子(20)；所述真空腔體(10)為可分離式真空腔體，它包括相對(duì)固定的主體部(11)和可分離部；所述電極盒子(20)裝設(shè)在真空腔體主體部(11)內(nèi)，且在沉積前、沉積過程中、沉積后都保持與真空腔體主體部(11)相對(duì)靜止。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積 真空設(shè)備，其特征在于所述真空腔體(10)包括一個(gè)位于中段部位的主體 部(11)和分別位于兩端部位的可分離部(12、 13)，所述主體部(11)和 兩端的可分離部(12、 13)可密閉構(gòu)成真空腔體，也可在需要裝、卸沉積產(chǎn)品時(shí)分離開。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，其特征在于所述真空腔體(10)的主體部(11)設(shè)置有射頻引入電極(18)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積 真空設(shè)備，其特征在于所述電極盒子(20)設(shè)置有與射頻引入電極(18) 對(duì)應(yīng)連接的電極接頭(21)，且在沉積前、沉積過程中、沉積后，射頻引入 電極(18)都與電極接頭(21)保持接觸。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積 真空設(shè)備，其特征在于所述電極盒子上部設(shè)置有進(jìn)氣口 (24)，進(jìn)氣口 (24) 通過帶篩狀氣孔的氣盒子與電極盒子(20)內(nèi)腔相通。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積 真空設(shè)備，其特征在于所述電極盒子上部設(shè)置有進(jìn)氣口 (24)，進(jìn)氣口 (24) 依次通過帶篩狀氣孔(26)的氣盒子一 (25)、帶篩狀氣孔(28)的氣盒子 二 (27)與電極盒子(20)內(nèi)腔相通，氣盒子二 (27)的篩狀氣孔(28)的 分布面積足夠覆蓋整個(gè)電極盒子(20)上方。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種光伏組件規(guī)模制造用等離子體化學(xué)氣相沉積真空設(shè)備，它包括有真空腔體(10)、電極盒子(20)；真空腔體(10)為可分離式真空腔體，它包括一個(gè)位于中段部位的主體部(11)和分別位于兩端部位的可分離部(12、13)，主體部(11)和兩端的可分離部(12、13)可密閉構(gòu)成真空腔體，也可在需要裝、卸沉積產(chǎn)品時(shí)分離開；電極盒子(20)裝設(shè)在真空腔體主體部(11)內(nèi)，且在工作中保持與真空腔體主體部(11)相對(duì)靜止。本發(fā)明通過移動(dòng)真空腔體的一部分，來避免電極盒子的運(yùn)動(dòng)，避免了電極頻繁裝卸接觸而嚴(yán)重受損；避免了因電極受損而使得射頻輝光不穩(wěn)定進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)品合格率降低。此外，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，降低了制造成本。
文檔編號(hào)C23C16/44GK101319310SQ20081002219
公開日2008年12月10日 申請(qǐng)日期2008年7月2日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月2日
發(fā)明者周子彬, 奚建平 申請(qǐng)人:奚建平