專利名稱:太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能集熱管,特別涉及一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方 法及裝置。
背景技術(shù):
太陽(yáng)能真空集熱管內(nèi)管起能量轉(zhuǎn)化作用的是太陽(yáng)能吸收膜層。目前投放市場(chǎng)的太陽(yáng)能 吸收膜有干涉膜、漸變膜兩種,制作兩種膜層都必須經(jīng)過(guò)的氮化鋁磁控反應(yīng)濺射步驟,
它是鍍膜工藝的重要組成部分。真空集熱管內(nèi)管鍍膜采用的設(shè)備是單靶鍍膜機(jī)和三靶鍍膜 機(jī),所用的濺射靶材都是圓柱形鋁靶,在工作過(guò)程中由于鋁靶的轉(zhuǎn)動(dòng)造成電壓的上下波動(dòng)。
電壓波動(dòng)造成的直接后果就是集熱管膜層吸收、發(fā)射、熱損、空曬、悶曬等主要指標(biāo) 發(fā)生變化,即使指標(biāo)合格也會(huì)導(dǎo)致顏色不一致、從而影響美觀造成大量廢品,產(chǎn)生的主要 原因是電壓波動(dòng)造成膜層中各種成分之間比例變化,而導(dǎo)致膜層外觀顏色發(fā)生變化。
反應(yīng)濺射過(guò)程中造成電壓波動(dòng)的主要因素是靶材和反應(yīng)氣體的流量,工作過(guò)程中要想 穩(wěn)定電壓必須及時(shí)調(diào)整充入真空室內(nèi)的反應(yīng)氣體流量。早期的鍍膜機(jī)電壓控制主要靠手動(dòng) 調(diào)節(jié),由工藝員根據(jù)電壓的變化調(diào)整反應(yīng)氣體的流量,工藝過(guò)程中需要反復(fù)調(diào)整占用大量 的人力和時(shí)間很難達(dá)到穩(wěn)定;目前部分鍍膜機(jī)在觸摸屏上加入了調(diào)査表,根據(jù)工藝員的經(jīng)
驗(yàn)設(shè)定幾組對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù),電壓升高后加大氣體流量,電壓降低后減少氣體流量,這樣的控 制與早期相比有了一定的進(jìn)步,不需要反復(fù)的人工干預(yù),但是由于不同機(jī)器在不同的情況 下的參數(shù)不同,參數(shù)表需要反復(fù)修改人工維護(hù)量很大,并且容易造成電壓的上下波動(dòng)。
目前的太陽(yáng)能集熱管鍍膜設(shè)備中電壓波動(dòng)一般在士10V,較好的可做到士5V,參數(shù)設(shè) 定完全根據(jù)個(gè)人經(jīng)驗(yàn)對(duì)集熱管品質(zhì)造成很大影響。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在電壓波動(dòng)大、參數(shù)設(shè)置復(fù)雜的缺陷,提供了 一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法及裝置,它能夠準(zhǔn)確控制、同時(shí)具有自 動(dòng)調(diào)節(jié),并且是適用于各種太陽(yáng)能集熱管鍍膜工藝的通用方法,即提高鍍膜工藝的自動(dòng)化 程度,同時(shí)又大幅提升產(chǎn)品質(zhì)量。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的本發(fā)明采取的技術(shù)方案是 一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智 能控制裝置,包括,靶電源、控制單元及充氣單元,控制單元分別連接及控制靶電源與 充氣單元。其中靶電源,具有電壓反饋功能,用于實(shí)時(shí)將靶電壓信號(hào)傳遞給控制單元;控制單元,用于分析比較采集到的電壓數(shù)據(jù)并據(jù)此調(diào)節(jié)氣體流量;充氣單元,用于執(zhí)行控制 單元輸出的氣體流量調(diào)節(jié)命令。 所述耙電源為中頻電源。
所述控制單元包括PLC控制芯片及與其相連的觸摸屏,PLC控制芯片安裝有穩(wěn)壓控制 及浮零控制軟件。
所述控制單元包括壓電陶瓷閥及壓電陶瓷閥控制器,壓電陶瓷閥用于調(diào)節(jié)氣體流量, 壓電陶瓷閥控制器用于接收控制單元發(fā)送的信號(hào)。
反應(yīng)濺射電壓反饋智能穩(wěn)壓控制裝置,是把電壓的智能控制方法轉(zhuǎn)化為將數(shù)學(xué)模型, 以程序的形式輸入PLC控制芯片,參數(shù)表中的數(shù)據(jù)從控制單元的觸摸屏輸入,PLC控制單 元實(shí)時(shí)采集靶電壓信號(hào)通過(guò)程序計(jì)算輸出相對(duì)應(yīng)的反應(yīng)氣體流量,從而達(dá)到裝置的穩(wěn)定。 在實(shí)際應(yīng)用中電壓的波動(dòng)在土1V以下, 一般為士0.5V。解決了生產(chǎn)過(guò)程中電壓波動(dòng)大、參
數(shù)設(shè)置復(fù)雜的難題。
一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法,按照下述步驟執(zhí)行操作 步驟A,設(shè)定初始化參數(shù),包括中心電壓值V。及中心流量值Q。; 步驟B,采集靶電壓;
步驟C,分析比較靶電壓與中心電壓值V。的壓差,并做出判定;
步驟D,根據(jù)判定結(jié)果,執(zhí)行控制指令,控制指令包括穩(wěn)壓控制D1及浮零控制D2。 控制指令包括穩(wěn)壓控制和浮零控制。穩(wěn)壓控制采用N級(jí)穩(wěn)壓,通過(guò)設(shè)定中心電壓值和 中心流量值,當(dāng)靶電壓高出或低于設(shè)定電壓值很多時(shí),通過(guò)逐級(jí)調(diào)節(jié),快速將電壓調(diào)節(jié)到 設(shè)定電壓附近的穩(wěn)定狀態(tài)。浮零控制的功能是當(dāng)靶電壓己經(jīng)處于穩(wěn)定狀態(tài)過(guò)程中,突然出 現(xiàn)某個(gè)干擾情況,導(dǎo)致反應(yīng)氣體用量明顯增多或減少,通過(guò)浮零控制調(diào)節(jié)中心流量值,使 電壓又能自動(dòng)回到穩(wěn)定狀態(tài)。所述的干擾情況包括材料消耗引起的參數(shù)變化,鍍膜過(guò)程中 玻璃管表面受熱,釋放出一定量的氣體;或者是抽氣機(jī)組性能變化,以及玻璃管之間間距 變化。
所述步驟D中的穩(wěn)壓控制Dl,具體按照下述步驟執(zhí)行 步驟IOI,開始穩(wěn)壓;
步驟102,計(jì)算耙電壓與中心電壓的壓差值;
步驟103,判斷壓差值是否為零,如果是執(zhí)行步驟111返回采樣周期,如果否執(zhí)行步
驟104;
步驟104,判斷壓差是否大于零,如果是執(zhí)行步驟105,如果否執(zhí)行步驟107;
步驟105,將壓差進(jìn)行正分級(jí)調(diào)節(jié);
步驟106,根據(jù)步驟105正分級(jí)電壓推算出反應(yīng)氣量并輸出Q,執(zhí)行步驟109; 步驟107,將壓差進(jìn)行負(fù)分級(jí)調(diào)節(jié);
步驟108,根據(jù)步驟107負(fù)分級(jí)電壓推算出反應(yīng)氣量并輸出Q,執(zhí)行步驟109; 步驟109,判斷是否開始下一周期,如果是執(zhí)行步驟111進(jìn)入采樣周期,如果否執(zhí)行 步驟110穩(wěn)壓結(jié)束。
所述步驟D中的浮零控制D2,具體按照下述步驟執(zhí)行
步驟201,浮零控制開始,設(shè)定壓差的上、下限值及其對(duì)應(yīng)的持續(xù)時(shí)間、流量差; 步驟202,系統(tǒng)正在執(zhí)行穩(wěn)壓操作;
步驟203,判斷壓差是否為零,如果是執(zhí)行步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制,如果否執(zhí)行步驟
204;
步驟204,判斷壓差是否大于零,如果是執(zhí)行步驟205,如果否執(zhí)行步驟207; 步驟205,判斷壓差是否大于壓差上限值,如果是執(zhí)行步驟206,如果否回到步驟202 繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟206,判斷在設(shè)定的時(shí)間內(nèi),壓差是否持續(xù)大于壓差上限值,如果是執(zhí)行步驟209, 如果否回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟209,重新設(shè)定中心流量值,執(zhí)行步驟211;
步驟207,判斷壓差是否小于壓差的下限值,如果是執(zhí)行步驟208,如果否回到步驟 202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟208,判斷在設(shè)定的時(shí)間內(nèi),壓差是否持續(xù)小于壓差下限值,如果是執(zhí)行步驟210, 如果否回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟210,重新設(shè)定中心流量值,執(zhí)行步驟211; 步驟211,存儲(chǔ)新設(shè)定的中心流量值;
步驟212,判斷是否開始下一周期,如果是回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制,如果否執(zhí)行 步驟213浮零結(jié)束。
本發(fā)明的有益效果是相比現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明所述方法是適用于各種太陽(yáng)能集熱管鍍 膜工藝的通用方法,提高鍍膜工藝的自動(dòng)化程度,同時(shí)大幅提升產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn);本發(fā)明 所述裝置具有準(zhǔn)確控制,同時(shí)具有自動(dòng)調(diào)節(jié)的優(yōu)點(diǎn)。
圖1是本發(fā)明所述裝置的控制原理圖2是本發(fā)明所述方法的流程圖3是本發(fā)明方法中的穩(wěn)壓操作Dl的流程圖4是本發(fā)明方法中的浮零操作D2的流程圖。
圖中1控制單元、1. 1觸摸屏、2中頻電源、3反應(yīng)濺射室、3. 1濺射靶、4充氣單 元、4. l壓電陶瓷閥控制器、4.2壓電陶瓷閥。
具體實(shí)施例方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明,但不作為對(duì)本發(fā)明的限定。 如圖l所示的一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制裝置,包括靶電源2、控 制單元1及充氣單元4,控制單元1分別連接及控制靶電源2與充氣單元4。其中靶電源 2是具有電壓反饋功能的中頻電源,用于實(shí)時(shí)將反應(yīng)濺射室3內(nèi)濺射靶3. 1的電壓信號(hào)傳 遞給控制單元1??刂茊卧?,用于分析比較采集到的電壓數(shù)據(jù)并據(jù)此調(diào)節(jié)流入反應(yīng)濺射 室3的氣體流量,它包括PLC控制芯片及與其相連的觸摸屏1.1, PLC控制芯片安裝有穩(wěn) 壓控制軟件及浮零控制軟件,觸摸屏1.1用于輸入?yún)?shù)表中的數(shù)據(jù)。充氣單元4,用于執(zhí) 行控制單元1輸出的氣體流量調(diào)節(jié)命令,包括壓電陶瓷閥4. 2及壓電陶瓷閥控制器4. 1, 壓電陶瓷閥4. 2用于調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體的流量,壓電陶瓷閥控制器4. 1用于接收控制單元1發(fā) 送的流量信號(hào)。
太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制裝置,通過(guò)PLC控制單元1的實(shí)時(shí)自動(dòng)控制, 達(dá)到裝置的穩(wěn)定。在實(shí)際應(yīng)用中電壓的波動(dòng)在士1V以下, 一般為士0.5V。解決了生產(chǎn)過(guò)程 中電壓波動(dòng)大、參數(shù)設(shè)置復(fù)雜的難題,因此本發(fā)明所述裝置具有準(zhǔn)確控制,同時(shí)具有自動(dòng) 調(diào)節(jié)的優(yōu)點(diǎn)。
如圖2所示的一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法,按照下述步驟執(zhí)行 步驟IO,設(shè)定初始化參數(shù),包括中心電壓值V。及中心流量值Q。; 步驟20,采集耙電壓V;
步驟30,分析比較耙電壓V與中心電壓值V。的壓差A(yù)V,并做出判定; 步驟40,根據(jù)判定結(jié)果,執(zhí)行控制指令,控制指令包括穩(wěn)壓控制D1及浮零控制D2。 因此太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法是適用于各種太陽(yáng)能集熱管鍍膜 工藝的通用方法,它根據(jù)工藝要求輸入數(shù)據(jù)后可以執(zhí)行全自動(dòng)的智能穩(wěn)壓控制,基本不需 要人工干預(yù),極大提高了自動(dòng)化程度;解決了磁控反應(yīng)濺射電壓波動(dòng)大的難題,實(shí)踐中電 壓波動(dòng)在士1V以下,保證了產(chǎn)品的性能,同時(shí)減少了由于電壓波動(dòng)造成集熱管膜層吸收、 發(fā)射、熱損、空曬、悶曬等主要指標(biāo)發(fā)生變化而產(chǎn)成的廢品,大幅提升產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn)。
如圖3所示本發(fā)明方法步驟D中所述的穩(wěn)壓控制Dl,具體按照下述步驟執(zhí)行-步驟IOI,開始穩(wěn)壓;
步驟102,計(jì)算耙電壓V與中心電壓V。的壓差值,即AVi- V。;
步驟103,判斷壓差值是否為零AV二O,如果是執(zhí)行步驟lll返回采樣周期,如果否執(zhí) 行步驟104;
步驟104,判斷壓差是否大于零AV〉0,如果是執(zhí)行步驟105,如果否執(zhí)行步驟107;
步驟105,將壓差進(jìn)行正分級(jí)調(diào)節(jié),AV=AV1+AV2+AV3+……+ △ Vn;
步驟106,根據(jù)步驟105正分級(jí)電壓推算出反應(yīng)氣量并輸出Q,執(zhí)行步驟109;其中 Q=QO+ △ Ql+ A Q2+ A Q3+......+ △ Qn;
步驟107,將壓差進(jìn)行負(fù)分級(jí)調(diào)節(jié),AV=-AVl_AV2-AV3-……-A Vn;
步驟108,根據(jù)步驟107負(fù)分級(jí)電壓推算出反應(yīng)氣量并輸出Q,執(zhí)行步驟109;其中 Q, A Ql_ A Q2- A Q3_......- △ Qn;
步驟109,判斷是否開始下一周期,如果是執(zhí)行步驟111進(jìn)入采樣周期,如果否執(zhí)行 步驟110穩(wěn)壓結(jié)束。
所述穩(wěn)壓控制D1中的參數(shù)是根據(jù)參數(shù)表設(shè)置的數(shù)值,包括相互對(duì)應(yīng)的電壓及充氣量, (1)數(shù)學(xué)模型
+ AV4AQ4+
+ AV3AQ3+
+ AV2AQ2+
+ AV1AQ1 +
V0QO
-AVlAQ卜
-AV2AQ2 _
-AV3AQ3-
_AV4AQ4—
(2)參數(shù)量 V0 工作電壓設(shè)定值;
QO 中心流量設(shè)定值,相對(duì)于VO設(shè)定的中心流量值;
(+AV1) 反饋電壓與VO的差級(jí)電壓,+/-表示反饋電壓較V0高/低; (AQ1 + ) Q輸出量與QO的差量補(bǔ)償,+/-表示00的補(bǔ)償方向增/減; T (s)響應(yīng)時(shí)間,即每隔多長(zhǎng)時(shí)間掃描一次反饋控制程序,刷新一次Q輸出量。 (3)工作原理
當(dāng)反饋電壓與VO相等時(shí),則相應(yīng)的Q輸出量為QO; 當(dāng)反饋電壓較VO高(+AV1)時(shí),則相應(yīng)的0輸出量為<30+ (AQ1+); 當(dāng)反饋電壓較V0高(+AV1) + (+AV2)時(shí),則相應(yīng)的02輸出量為Q0+ ( AQ1+) + (AQ2+)。
例如設(shè)定乂0=20、 Q0 = 30, AV1 = 1、 AQ1二5、 AV2 = 3、 AQ2 = 6。
當(dāng)電壓為20, AV二0輸出對(duì)應(yīng)(^30;
當(dāng)電壓為21, AV=1=AV1,輸出對(duì)應(yīng)(^Q0+AQ1二35;
當(dāng)電壓為22, AV=2 〉A(chǔ)V1、但是AV二2 〈AV1+AV2,輸出對(duì)應(yīng)Q=QO+A Ql =35; 當(dāng)電壓為23, AV = 3=AV2,輸出對(duì)應(yīng)Q=QO+△ Q2二36; 當(dāng)電壓為24, AV = 4 =AV1+AV2,輸出對(duì)應(yīng)Q=QO+AQ1+AQ2 = 41。 類似的,電壓逐級(jí)反饋,最終將工作電壓控制在要求的范圍內(nèi)。
浮零控制的功能是對(duì)自動(dòng)穩(wěn)壓的一個(gè)補(bǔ)充,單純的穩(wěn)壓模塊控制可以實(shí)現(xiàn)短期(3 — 5 天)的穩(wěn)定控制,隨著時(shí)間的推移會(huì)出現(xiàn)建設(shè)用的靶材消耗,抽氣機(jī)組性能變化,天氣以 及周圍環(huán)境變化等問(wèn)題,此時(shí)仍用原來(lái)的QO就不能滿足工藝要求需要進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整,而 浮零功能就是實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)壓工程中自動(dòng)調(diào)整QO的功能,它需要根據(jù)穩(wěn)壓過(guò)程執(zhí)行中電壓的 變化判斷QO是否需要調(diào)整。如圖4所示本發(fā)明方法步驟D中所述的浮零控制D2,具體按 照下述步驟執(zhí)行
步驟201,浮零控制開始,設(shè)定參數(shù)包括壓差A(yù)V的上、下限值a、 b, a對(duì)應(yīng)的持續(xù) 時(shí)間tl, b對(duì)應(yīng)的持續(xù)時(shí)間t2, AV對(duì)應(yīng)的流量差A(yù)Q; 步驟202,系統(tǒng)正在執(zhí)行穩(wěn)壓操作;
步驟203,判斷壓差是否為零AVi,如果是執(zhí)行步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制,如果否執(zhí)行 步驟204;
步驟204,判斷壓差是否大于零AV〉0,如果是執(zhí)行步驟205,如果否執(zhí)行步驟207; 步驟205,判斷壓差是否大于壓差上限值A(chǔ)V〉a,如果是執(zhí)行步驟206,如果否回到步 驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟206,判斷在設(shè)定的時(shí)間tl內(nèi),壓差是否持續(xù)大于壓差上限值A(chǔ)V〉a,如果是執(zhí)
行步驟209,如果否回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟209,重新設(shè)定中心流量值QO-QO+AQ,執(zhí)行步驟211;
步驟207,判斷壓差是否小于壓差的下限值A(chǔ)V〈b,如果是執(zhí)行步驟208,如果否回到 步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟20S,判斷在設(shè)定的時(shí)間t2內(nèi),壓差是否持續(xù)小于壓差下限值A(chǔ)V〈b,如果是執(zhí) 行步驟210,如果否回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;
步驟210,重新設(shè)定中心流量值Q(^QO-AQ,執(zhí)行步驟211;
步驟211,存儲(chǔ)新設(shè)定的中心流量值QO;
步驟212,判斷是否開始下一周期,如果是回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制,如果否執(zhí)行 步驟213浮零結(jié)束。
所述浮零控制D2中的參數(shù)是根據(jù)參數(shù)表設(shè)置的數(shù)值,包括如下數(shù)據(jù),
(1) 數(shù)學(xué)模型 tl (s) AQ+ t2 (s) AQ-穩(wěn)壓范圍(a b)
(2) 參數(shù)量
tl (s)正時(shí)間常數(shù),反饋電壓高于穩(wěn)壓范圍時(shí),浮零調(diào)節(jié)的時(shí)間常數(shù); AQ+正補(bǔ)償流量,反饋電壓高于穩(wěn)壓范圍時(shí),中心流量的補(bǔ)償量; t2 (s)負(fù)時(shí)間常數(shù),反饋電壓低于穩(wěn)壓范圍時(shí),浮零調(diào)節(jié)的時(shí)間常數(shù); △Q-負(fù)補(bǔ)償流量,反饋電壓低于穩(wěn)壓范圍時(shí),中心流量的補(bǔ)償量; (a ~ b)穩(wěn)壓范圍,a〉b且a〉0、 b〈0。
(3) 工作原理
當(dāng)反饋電壓在(VO+a, VO-b)范圍內(nèi),浮零不調(diào)節(jié); 當(dāng)反饋電壓高于VO+a,每隔tl (s)時(shí)間,QO加一次AQ+; 當(dāng)反饋電壓低于VO-b,每隔t2 (s)時(shí)間,QO減一次AQ-。
本發(fā)明所述方法是適用于各種太陽(yáng)能集熱管鍍膜工藝的通用方法,它具有提高鍍膜工 藝的自動(dòng)化程度,同時(shí)又大幅提升產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn);本發(fā)明所述裝置具有準(zhǔn)確控制,同時(shí) 具有自動(dòng)調(diào)節(jié)的優(yōu)點(diǎn)。
以上所述的實(shí)施例,只是本發(fā)明較優(yōu)選的具體實(shí)施方式
的一種,本領(lǐng)域的技術(shù)人員在 本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制裝置,其特征在于包括,靶電源、控制單元及充氣單元,控制單元分別連接并控制靶電源與充氣單元;-靶電源,具有電壓反饋功能,用于實(shí)時(shí)將靶電壓信號(hào)傳遞給控制單元;-控制單元,用于分析比較采集到的電壓數(shù)據(jù),并據(jù)此調(diào)節(jié)氣體流量;-充氣單元,用于執(zhí)行控制單元輸出的氣體流量調(diào)節(jié)命令。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制裝置,其特征在 于所述耙電源為中頻電源。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制裝置,其特征在 于所述控制單元包括PLC控制芯片及與其相連的觸摸屏,PLC控制芯片安裝有穩(wěn)壓控制 及浮零控制軟件。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制裝置,其特征在 于所述控制單元包括壓電陶瓷閥及壓電陶瓷閥控制器,壓電陶瓷閥用于調(diào)節(jié)氣體流量,壓電陶瓷閥控制器用于接收控制單元發(fā)送的信號(hào)。
5. —種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法,其特征在于,按照下述步驟執(zhí)行操作步驟A,設(shè)定初始化參數(shù),包括中心電壓值V。及中心流量值Q。;步驟B,采集靶電壓;步驟C,分析比較靶電壓與中心電壓值V。的壓差,并做出判定;步驟D,根據(jù)判定結(jié)果,執(zhí)行控制指令,控制指令包括穩(wěn)壓控制D1及浮零控制D2。
6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法,其特 征在于,所述步驟D中的穩(wěn)壓控制D1,具體按照下述步驟執(zhí)行步驟IOI,開始穩(wěn)壓;步驟102,計(jì)算耙電壓與中心電壓的壓差值;步驟103,判斷壓差值是否為零,如果是執(zhí)行步驟111返回采樣周期,如果否執(zhí)行步 驟104;步驟104,判斷壓差是否大于零,如果是執(zhí)行步驟105,如果否執(zhí)行步驟107; 步驟105,將壓差進(jìn)行正分級(jí)調(diào)節(jié);步驟106,根據(jù)步驟105正分級(jí)電壓推算出反應(yīng)氣量并輸出Q,執(zhí)行步驟109; 步驟107,將壓差進(jìn)行負(fù)分級(jí)調(diào)節(jié); 步驟108,根據(jù)步驟107負(fù)分級(jí)電壓推算出反應(yīng)氣量并輸出Q,執(zhí)行步驟109; 步驟109,判斷是否開始下一周期,如果是執(zhí)行步驟111進(jìn)入采樣周期,如果否執(zhí)行 步驟110穩(wěn)壓結(jié)束。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法,其特 征在于,所述步驟D中的浮零控制D2,具體按照下述步驟執(zhí)行步驟201,浮零控制開始,設(shè)定壓差的上、下限值及其對(duì)應(yīng)的持續(xù)時(shí)間、流量差; 步驟202,系統(tǒng)正在執(zhí)行穩(wěn)壓操作;步驟203,判斷壓差是否為零,如果是執(zhí)行步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制,如果否執(zhí)行步驟204;步驟204,判斷壓差是否大于零,如果是執(zhí)行步驟205,如果否執(zhí)行步驟207; 步驟205,判斷壓差是否大于壓差上限值,如果是執(zhí)行步驟206,如果否回到步驟202 繼續(xù)穩(wěn)壓控制;步驟206,判斷在設(shè)定的時(shí)間內(nèi),壓差是否持續(xù)大于壓差上限值,如果是執(zhí)行步驟209, 如果否回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;步驟209,重新設(shè)定中心流量值,執(zhí)行步驟211;步驟207,判斷壓差是否小于壓差的下限值,如果是執(zhí)行步驟208,如果否回到步驟 202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;步驟208,判斷在設(shè)定的時(shí)間內(nèi),壓差是否持續(xù)小于壓差下限值,如果是執(zhí)行步驟210, 如果否回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制;步驟210,重新設(shè)定中心流量值,執(zhí)行步驟211; 步驟211,存儲(chǔ)新設(shè)定的中心流量值;步驟212,判斷是否開始下一周期,如果是回到步驟202繼續(xù)穩(wěn)壓控制,如果否執(zhí)行 步驟213浮零結(jié)束。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種太陽(yáng)能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方法及裝置,涉及太陽(yáng)能集熱管,本發(fā)明所述裝置,包括靶電源、控制單元及充氣單元,控制單元分別連接并控制靶電源與充氣單元。本發(fā)明所述方法,包括步驟A,設(shè)定初始化參數(shù),包括中心電壓值V<sub>0</sub>及中心流量值Q<sub>0</sub>;步驟B,采集靶電壓;步驟C,分析比較靶電壓與中心電壓值V<sub>0</sub>的壓差,并做出判定;步驟D,根據(jù)判定結(jié)果,執(zhí)行控制指令。本發(fā)明所述方法是適用于各種太陽(yáng)能集熱管鍍膜工藝的通用方法,它具有提高鍍膜工藝的自動(dòng)化程度,同時(shí)大幅提升產(chǎn)品質(zhì)量的優(yōu)點(diǎn);本發(fā)明所述裝置具有準(zhǔn)確控制,同時(shí)具有自動(dòng)調(diào)節(jié)的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK101182629SQ20071030413
公開日2008年5月21日 申請(qǐng)日期2007年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月25日
發(fā)明者楊春學(xué), 焦存柱 申請(qǐng)人:梁美意