技術(shù)編號(hào)：3246225
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽能集熱管，特別涉及一種太陽能集熱管反應(yīng)濺射電壓反饋智能控制方 法及裝置。 背景技術(shù)太陽能真空集熱管內(nèi)管起能量轉(zhuǎn)化作用的是太陽能吸收膜層。目前投放市場(chǎng)的太陽能 吸收膜有干涉膜、漸變膜兩種，制作兩種膜層都必須經(jīng)過的氮化鋁磁控反應(yīng)濺射步驟，它是鍍膜工藝的重要組成部分。真空集熱管內(nèi)管鍍膜采用的設(shè)備是單靶鍍膜機(jī)和三靶鍍膜 機(jī)，所用的濺射靶材都是圓柱形鋁靶，在工作過程中由于鋁靶的轉(zhuǎn)動(dòng)造成電壓的上下波動(dòng)。電壓波動(dòng)造成的直接后果就是集熱管膜層吸收、發(fā)射、熱損...
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