專利名稱：：運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法、及使用該方法制造的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法、及使用該方法制造的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置，特別涉及采用了使加工時(shí)產(chǎn)生的摩擦面(包括滾動(dòng)體的滾行面在內(nèi)的用語(yǔ))上的缺陷無(wú)害化的技術(shù)的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法、及使用該方法制造的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置。
背景技術(shù)：
：一直以來(lái)，在線性引導(dǎo)器或直線引導(dǎo)裝置、滾珠花鍵裝置、滾珠絲杠裝置等那樣的采用滾動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置中，考慮到構(gòu)成該裝置的部件經(jīng)由滾動(dòng)體受到反復(fù)滾動(dòng)/滑動(dòng)壓力，要求部件與滾動(dòng)體的摩擦面具有較高的表面品質(zhì)。這樣的摩擦面一般是通過(guò)使用磨具進(jìn)行的磨削加工而成形的，而在磨具磨削中，有時(shí)由于磨削過(guò)程中從磨具脫落的磨粒的咬入，而在摩擦面的表面上產(chǎn)生傷痕。摩擦面上的傷痕會(huì)對(duì)運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的裝置壽命帶來(lái)重大的影響，所以不能原樣殘留。另一方面，摩擦面要形成滾動(dòng)體的滾行通道，所以還存在必須維持由磨削加工成形的容許尺寸精度的制約。因此，以往，一旦在摩擦面上產(chǎn)生了傷痕，則難以在維持摩擦面的容許尺寸精度的同時(shí)除去傷痕，所以對(duì)于產(chǎn)生了缺陷的部件，實(shí)際上不得不廢棄。專利文獻(xiàn)l:特開平05-078859號(hào)公報(bào)另外，作為在某種程度上維持摩擦面的容許尺寸精度的同時(shí)進(jìn)行金屬表面的改質(zhì)的技術(shù)，公知有凈皮稱為噴丸處理(shotpeening)或石更噴丸處理(hardshotpeening)的處理才支術(shù)。這些處理4支術(shù)由于能有效提高疲勞強(qiáng)度，所以被用于齒輪或彈簧等機(jī)構(gòu)部件的表面改質(zhì)(例如，參照上述專利文獻(xiàn)1)。但是，以噴丸處理或硬噴丸處理為代表的以往的表面改質(zhì)技術(shù)是以改變(或控制)金屬表面的性質(zhì)為目的而開發(fā)的方法，不能考慮用該技術(shù)將摩擦面上產(chǎn)生的傷痕(例如，由磨粒的咬入引起的幾ym幾十jum左右的傷痕)除去。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是鑒于上述課題的存在而作出的，目的在于提供一種新的噴丸處理技術(shù)，可在維持摩擦面或滾行面的容許尺寸精度的狀態(tài)下、使因使用磨具進(jìn)行的磨削加工而在摩擦面或滾行面上產(chǎn)生的傷痕無(wú)害化。此外，本發(fā)明的目的在于提供一種新的噴丸處理技術(shù)，能發(fā)揮現(xiàn)有技術(shù)中不可能實(shí)現(xiàn)的下述效果不僅能使摩擦面或滾行面上的傷痕無(wú)害化，還能夠提高疲勞強(qiáng)度和滑動(dòng)性，進(jìn)而也能提高裝置壽命。本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，其特征在于，執(zhí)行包括下迷工序的處理磨削加工工序，通過(guò)使用磨具進(jìn)4亍的磨削加工，來(lái)成形采用滾動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的滾動(dòng)摩擦面及滑動(dòng)摩擦面的至少一部分摩擦面；表面處理工序，為了使在前述磨削加工工序中產(chǎn)生的摩擦面上的缺陷無(wú)害化，對(duì)由前述磨削加工工序成形的摩擦面實(shí)施噴丸處理。此外，本發(fā)明的另一運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法中，所述運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置具備軌道部件，具有滾動(dòng)體滾行面；移動(dòng)部件，具有與前述滾動(dòng)體滾行面對(duì)置的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面；多個(gè)滾動(dòng)體，滾動(dòng)自如地設(shè)置在由前述滾動(dòng)體滾行面和前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面構(gòu)成的負(fù)荷滾行通道內(nèi)；由此，前述移動(dòng)部件沿著前述軌道部件的軸線方向或圓周方向自如往復(fù)運(yùn)動(dòng)或自如旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，該運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法的特征在于，執(zhí)行包括下述工序的處理磨削加工工序，通過(guò)使用磨具進(jìn)行的磨削加工，在前述移動(dòng)部件上成形前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面；表面處理工序，對(duì)前述移動(dòng)部件的至少包括前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的區(qū)域?qū)嵤﹪娡杼幚?，由此使前述磨削加工工序中產(chǎn)生的前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面上的缺陷無(wú)害化。在本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法中，通過(guò)前述表面處理工序中實(shí)施的噴丸處理，可使前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的表面粗糙度Ra為0,4jum以下。此外，在本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法中，前述噴丸處理可以是微粒子噴丸處理。進(jìn)而，在本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法中，在前述表面處理工序中，可包括在前述噴丸處理后執(zhí)行的滾筒處理。使用上述方法制造的本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置具備軌道部件，具有滾動(dòng)體滾行面；移動(dòng)部件，具有與前述滾動(dòng)體滾行面對(duì)置的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面；多個(gè)滾動(dòng)體，滾動(dòng)自如地設(shè)置在由前述滾動(dòng)體滾行面和前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面構(gòu)成的負(fù)荷滾行通道內(nèi)；由此，前述移動(dòng)部件沿著前述軌道部件的軸線方向或圓周方向自如往復(fù)運(yùn)動(dòng)或自如旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，其特征在于，前述滾動(dòng)體滾行面及前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的至少一部分滾行面受到噴丸處理，且表面粗^f造度Ra為0.4jum以下。另外，上述發(fā)明的概要并不是列舉本發(fā)明所需要的所有特征，這些特征組的變形也能成為發(fā)明。根據(jù)本發(fā)明，可提供一種新噴丸處理技術(shù)，即使通過(guò)采用了磨具的磨削加工在摩擦面或滾行面上產(chǎn)生了傷痕，也可不對(duì)處理對(duì)象部件的容許尺寸精度帶來(lái)影響地使傷痕無(wú)害化。此外，根據(jù)該噴丸處理技術(shù)，不僅可以使摩擦面或滾行面上的傷痕無(wú)害化，還可以提高疲勞強(qiáng)度和滑動(dòng)性，進(jìn)而還使裝置壽命提高。圖1A是例示通過(guò)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法制造的線性引導(dǎo)裝置的一實(shí)施方式的外觀立體圖。圖1B是用于說(shuō)明圖1A中所示的線性引導(dǎo)裝置具有的無(wú)限循環(huán)通道的剖視圖。圖2是表示在表1中所示的各實(shí)驗(yàn)條件下受到處理后的線性引導(dǎo)裝置的行進(jìn)距離試驗(yàn)的結(jié)果的圖。圖3是表示在表1中所示的各實(shí)驗(yàn)條件下進(jìn)行微粒子噴丸處理前后的表面粗糙度Ra的圖。圖4是例示通過(guò)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法制造的花鍵裝置的一實(shí)施方式的外觀立體圖。圖5A是例示將本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置構(gòu)成為旋轉(zhuǎn)軸承裝置的情況的一實(shí)施方式的局部縱剖立體圖。圖5B是表示圖5A所示的旋轉(zhuǎn)軸承裝置的縱截面的圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明40線性引導(dǎo)裝置，41軌道導(dǎo)軌，41a滾動(dòng)體滾行面，42、62滾珠，43移動(dòng)塊，43a負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面，52負(fù)荷滾行通道，53無(wú)負(fù)荷滾行通道，55方向轉(zhuǎn)換通道，60花鍵裝置，61花鍵軸，61a滾動(dòng)體滾行面，63外筒，64保持器，70旋轉(zhuǎn)軸承裝置，71內(nèi)圏，72內(nèi)側(cè)軌道面，73外圏，74外側(cè)軌道面，75軌道通道，77滾柱。具體實(shí)施方式下面，使用附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。方式中說(shuō)明的特征的所有組合對(duì)發(fā)明的解決方案來(lái)說(shuō)不一定是必需的。另外，本說(shuō)明書中的"運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置"例如包括用于工作機(jī)械中的所有滾動(dòng)軸承或在真空中使用的無(wú)潤(rùn)滑軸承、線性引導(dǎo)器或直線引導(dǎo)裝置、滾珠花鍵裝置、滾珠絲杠裝置、滾柱絲杠裝置、斜置軋輥等所有伴隨滾動(dòng)/滑動(dòng)動(dòng)作的裝置。本實(shí)施方式的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法可用于作為圖1A及圖1B所述那樣的線性引導(dǎo)裝置而構(gòu)成的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置。這里，圖U是例示通過(guò)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法制造的線性引導(dǎo)裝置的一實(shí)施方式的外觀立體圖。此外，圖1B是用于說(shuō)明圖1A中所示的線性引導(dǎo)裝置具有的無(wú)限循環(huán)通道的剖視圖。首先，對(duì)圖1A及圖1B例示的線性引導(dǎo)裝置40的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，作為本實(shí)施方式的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的線性引導(dǎo)裝置40具有作為軌道部件的軌道導(dǎo)軌41、和經(jīng)由多個(gè)作為滾動(dòng)體而設(shè)置的滾珠42......可滑動(dòng)地安裝在軌道導(dǎo)軌41上的作為移動(dòng)部件的移動(dòng)塊43。軌道導(dǎo)軌41是與其縱長(zhǎng)方向正交的截面形成為大致矩形的長(zhǎng)條部件，在其表面(上表面及兩側(cè)面)上，在軌道導(dǎo)軌41的全長(zhǎng)范圍內(nèi)，形成有作為滾珠滾動(dòng)時(shí)的軌道的滾動(dòng)體滾行面41a......。這里，軌道導(dǎo)軌41有的形成為直線狀地延伸，有的形成為曲線狀地延伸。此外，滾動(dòng)體滾行面41a......的條數(shù)設(shè)置為左右各兩條、共計(jì)四條，但是其條數(shù)可根據(jù)線性引導(dǎo)裝置40的用途等改變。另一方面，在移動(dòng)塊43上的與滾動(dòng)體滾行面41a......分別對(duì)應(yīng)的位置上，設(shè)置有負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面43a......。由軌道導(dǎo)軌41的滾動(dòng)體滾行面41a......和移動(dòng)塊43的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面43a......形成負(fù)荷滾行通道52......,夾持多個(gè)滾珠42。進(jìn)而，在移動(dòng)塊43上設(shè)置有與各滾動(dòng)體滾行面41a......平行地延伸的四條無(wú)負(fù)荷滾行通道53.......和將各無(wú)負(fù)荷滾行通道53......與各負(fù)荷滾行通道52......連接起來(lái)的方向轉(zhuǎn)換通道55......。通過(guò)一個(gè)負(fù)荷滾行通道52以及無(wú)負(fù)荷滾行通道53、和將它們連接的一對(duì)方向轉(zhuǎn)換通道55的組合，構(gòu)成一個(gè)無(wú)限循環(huán)通道(參照IB)。多個(gè)滾珠42......被設(shè)置為可在由負(fù)荷滾行通道52、無(wú)負(fù)荷滾行通道53、和一對(duì)方向轉(zhuǎn)換通道55、55構(gòu)成的無(wú)限循環(huán)通道中無(wú)限循環(huán)，由此，移動(dòng)塊43可相對(duì)于軌道導(dǎo)軌41相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)。在具有以上那樣的結(jié)構(gòu)的本實(shí)施方式所涉及的線性引導(dǎo)裝置40中，作為其特征點(diǎn)可舉出滾動(dòng)體滾行面41a......及負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面43a......中的至少一部分滾行面接受了微粒子噴丸處理，并且，接受了該微粒子噴丸處理的滾行面的表面粗糙度Ra為0.4jura以下。對(duì)包含該微粒子噴丸處理的本實(shí)施方式的線性引導(dǎo)裝置40的制造方法進(jìn)行說(shuō)明，首先，通過(guò)使用磨具進(jìn)行的磨削加工，將滾動(dòng)體相對(duì)于構(gòu)成線性引導(dǎo)裝置40的部件接觸的摩擦面成形(磨削加工工序)。另外，若為圖1A及圖1B所例示的線性引導(dǎo)裝置40,則該摩擦面相當(dāng)于軌道導(dǎo)軌41的滾動(dòng)體滾行面41a.......移動(dòng)塊43的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面43a......等滾行面。接著，對(duì)在磨削加工工序中成形的摩擦面實(shí)施微粒子噴丸處理(表面處理工序)。作為進(jìn)行該微粒子噴丸處理的裝置，使用在以往的噴丸處理或硬噴丸處理等中使用的噴射裝置即可，相對(duì)于軌道導(dǎo)軌41或移動(dòng)塊43等部件，以后述的本發(fā)明特有的處理?xiàng)l件擊出粒徑40jLim80jum左右的非常細(xì)微的噴丸。另外，實(shí)施微粒子噴丸處理的區(qū)域至少含有摩擦面即可，也可對(duì)軌道導(dǎo)軌41或移動(dòng)塊43整體進(jìn)行微粒子噴丸處理。執(zhí)行該微粒子噴丸處理起到下述作用使磨削加工工序中可能產(chǎn)生的磨粒咬入傷痕等缺陷無(wú)害化。這里，關(guān)于微粒子噴丸處理使摩擦面上產(chǎn)生的磨粒咬入傷痕等缺陷無(wú)害化的原理，認(rèn)為有以下方面等通過(guò)40jLim80jum左右的非常細(xì)微的噴丸的劇烈沖擊，(1)將傷痕的有害部(凸部)彈飛；(2)由于噴丸的劇烈沖擊，瞬間產(chǎn)生熱而瞬間將傷痕周邊的金屬融化，并通過(guò)之后的急速冷卻使傷痕消失；(3)即使傷痕沒(méi)有因噴丸的劇烈沖擊產(chǎn)生的熱而完全消失，也會(huì)使傷痕極小化、無(wú)害化到不會(huì)影響滾動(dòng)體的滾動(dòng)/滑動(dòng)運(yùn)動(dòng)的程度。此外，本實(shí)施方式的微粒子噴丸處理只是使用40Mm~80jim左右的非常細(xì)微的噴丸擊打摩擦面，所以其尺寸變化為幾u(yù)m級(jí)別，能充分滿足滾動(dòng)體滾行面41a......或負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面43a......等滾行面所需要的容許尺寸精度。另外，在本實(shí)施方式的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法中，在上述表面處理工序中，也可包含在微粒子噴丸處理后執(zhí)行的滾筒處理。即，微粒子噴丸處理雖然能在充分滿足滾動(dòng)體滾行面41a......或負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面43a......等滾行面所需要的容許尺寸精度的狀態(tài)下，使傷痕無(wú)害化，但是，不能避免噴丸處理后的滾行面與磨削面相比表面粗糙度降低一些的問(wèn)題。鑒于此，對(duì)進(jìn)行了微粒子噴丸處理的滾行面進(jìn)行滾筒處理，由此可適當(dāng)?shù)馗纳票砻娲植诙?。作為滾筒處理的具體內(nèi)容，例如在放入有鋁粉或云母(云母片)、沖擊介質(zhì)(金屬球、磨具碎片、磨粒、天然及人造石塊、石英、砂、皮、鋸屑等)、工作液等的滾筒容器中，放入作為處理對(duì)象的軌道導(dǎo)軌41或移動(dòng)塊43并使其振動(dòng)、攪拌即可。通過(guò)該處理可部分地除去受到微粒子噴丸處理的滾行面表面的凹凸，得到平滑的滾行面。此外，在滾筒容器中，除了上述物質(zhì)之外，為了促進(jìn)防銹作用、磨削作用，也可適當(dāng)添加混合物。在本實(shí)施方式的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法中，滾筒處理的實(shí)施并不是必須的，根據(jù)作為制造對(duì)象的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的使用環(huán)境或產(chǎn)品規(guī)格等來(lái)確定是否采用即可。接著，對(duì)本實(shí)施方式的微粒子噴丸處理的具體實(shí)施條件進(jìn)行說(shuō)明。即，本發(fā)明者們對(duì)一直以來(lái)爿〉知的噴丸處理或硬噴丸處理等以往的噴丸處理進(jìn)行改良，找出了以往不可能的、在維持容許尺寸精度的同時(shí)使摩擦面上產(chǎn)生的傷痕等缺陷無(wú)害化的新噴丸處理的處理?xiàng)l件。表1是表示發(fā)明者們進(jìn)行的微粒子噴丸處理的實(shí)驗(yàn)條件的表。以往的噴丸處理或硬噴丸處理采用的噴丸粒徑約為800|iim,與此相對(duì)，本發(fā)明采用40jum80jum左右的非常細(xì)樣l的噴丸，進(jìn)行用于適當(dāng)?shù)厥箓蹮o(wú)害化的處理。[表1]表l實(shí)驗(yàn)條件<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>表2表示表1中所示的各實(shí)驗(yàn)條件下的結(jié)果。此外，圖2是表示在表1所示的各實(shí)驗(yàn)條件下受到處理后的線性引導(dǎo)裝置40的行進(jìn)距離試驗(yàn)的結(jié)果的圖。從表2也會(huì)清楚地看到，除了在15秒內(nèi)擊出粒度#400的珠子的情況(比較1)以外，均可使磨削傷痕無(wú)害化。此外，特別如圖2所示那樣，本實(shí)施方式的實(shí)施了微粒子噴丸處理后的線性引導(dǎo)裝置40都實(shí)現(xiàn)了大幅超過(guò)計(jì)算壽命即400km的行進(jìn)距離。特別是在(發(fā)明1)的條件下進(jìn)行的微粒子噴丸處理中，可實(shí)現(xiàn)計(jì)算壽命400km的兩倍以上的882km的行進(jìn)距離。這表明本實(shí)施方式的樣￡粒子噴丸處理能發(fā)揮現(xiàn)有技術(shù)中不能實(shí)現(xiàn)的下述效果不僅能使傷痕等缺陷無(wú)害化、還能提高疲勞強(qiáng)度和滑動(dòng)性、進(jìn)而能改善裝置壽命。另外，未進(jìn)行微粒子噴丸處理而殘存有傷痕的狀態(tài)的線性引導(dǎo)裝置和本實(shí)施方式的受到了微粒子噴丸處理的線性引導(dǎo)裝置的行進(jìn)距離的差別當(dāng)然很明顯。[表2]表2各實(shí)施條件下的結(jié)果<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>另外，圖3是表示表1所示的各實(shí)驗(yàn)條件下微粒子噴丸處理前后的表面粗糙度Ra的圖，可知除了不能除去傷痕(比較1)的實(shí)驗(yàn)條件以外，表面粗糙度都會(huì)惡化一些。這表明為了使傷痕等缺陷無(wú)害化，必須犧牲一些表面粗糙度，但是若采用達(dá)到伴隨滾動(dòng)/滑動(dòng)動(dòng)作的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置一般所需的表面粗糙度Ra也就是0.4jnm以下值的條件(含有滾筒處理的實(shí)施)，則本發(fā)明的微粒子噴丸處理還可使更大的缺陷無(wú)害化。以上，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明的技術(shù)范圍不限定于上述實(shí)施方式中記載的范圍。在上述實(shí)施方式中，可添加各種改變或改良。即，本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法的表面處理工序中實(shí)施的處理?xiàng)l件不僅僅限定于表1所示的發(fā)明條件，只要是能使傷痕等缺陷無(wú)害化、且表面粗糙度Ra達(dá)到0.4ym以下值的條件，可以根據(jù)作為處理對(duì)象的金屬材料或運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置所要求的性能等，采用適當(dāng)?shù)膬?yōu)選條件。此外，在本實(shí)施方式中，例示了本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置構(gòu)成為線性引導(dǎo)裝置40的情況而進(jìn)行了說(shuō)明，但是也可對(duì)圖4所示那樣的花鍵裝置60，應(yīng)用本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法。這里，簡(jiǎn)單地對(duì)圖4所示的花鍵裝置60的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明，花鍵裝置60具有作為軌道部件的花鍵軸61、和作為移動(dòng)部件的圓筒狀的外筒63，所述外筒63經(jīng)由多個(gè)作為滾動(dòng)體的滾珠62......移動(dòng)自如地安裝在該花鍵軸61上。在花鍵軸61的表面上，形成有滾動(dòng)體滾行面61a......,所述滾動(dòng)體滾行面61a......為滾珠62的軌道，且沿著花鍵軸21的軸線方向延伸。在安裝在花鍵軸61上的外筒63上，形成有與滾動(dòng)體滾行面61a對(duì)應(yīng)的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面。在這些負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面上，形成有沿滾動(dòng)體滾行面61a......延伸的方向延伸的多條突起。在形成于外筒63上的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面和形成于花鍵軸61上的滾動(dòng)體滾行面61a之間，形成負(fù)荷滾行通道。在負(fù)荷滾行通道的臨近處，形成有供從載荷釋放的滾珠62移動(dòng)的無(wú)負(fù)荷返回通道。在外筒63上，組裝有保持器64,所述保持器64跑道狀地排列/保持多個(gè)滾珠62......。而且，多個(gè)滾珠62......滾動(dòng)自如地設(shè)置在外筒63的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面和花鍵軸61的滾動(dòng)體滾動(dòng)面61a之間，；故設(shè)置成通過(guò)無(wú)負(fù)荷返回通道而無(wú)限循環(huán)，由此，外筒63可相對(duì)于花鍵軸61相對(duì)地往復(fù)運(yùn)動(dòng)。可對(duì)構(gòu)成這樣的花鍵裝置60的部件中的滾動(dòng)體滾行面61a......和負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的至少一方，實(shí)施本發(fā)明的噴丸處理。通過(guò)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法制造花鍵裝置60，可實(shí)現(xiàn)無(wú)傷痕的滾動(dòng)體滾行面61a......及負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面，進(jìn)而，可得到疲勞強(qiáng)度和滑動(dòng)性、裝置壽命提高了的花鍵裝置60。進(jìn)而，由本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法制造的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置可構(gòu)成為圖5A及圖5B所示那樣的旋轉(zhuǎn)軸承裝置。這里，圖5A是例示將本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置構(gòu)成為旋轉(zhuǎn)軸承裝置的情況的一實(shí)施方式的局部縱剖立體圖。此外，圖5B是表示圖5A所示的旋轉(zhuǎn)軸承裝置的縱截面的圖。如圖5A及圖5B所示，構(gòu)成為旋轉(zhuǎn)軸承裝置70的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置具備(作為軌道部件或移動(dòng)部件的)內(nèi)圈71,在外周面上具有截面V字狀的內(nèi)側(cè)軌道面72;(作為移動(dòng)部件或軌道部件的)外圈73，在內(nèi)周面上具有截面V字狀的外側(cè)軌道面74;多個(gè)作為滾動(dòng)體的滾柱77......,交叉4非列成可在由內(nèi)側(cè)軌道面72和外側(cè)軌道面74形成的截面大致矩形的軌道通道75之間滾動(dòng)；由此，內(nèi)圏71及外圈73可在圓周方向上進(jìn)行相對(duì)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)?？蓪?duì)構(gòu)成這樣的旋轉(zhuǎn)軸承裝置70的部件中的至少內(nèi)側(cè)軌道面72及外側(cè)軌道面74的某一方，實(shí)施本發(fā)明的噴丸處理。通過(guò)本發(fā)明的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法制造旋轉(zhuǎn)軸承裝置70，可實(shí)現(xiàn)無(wú)傷痕的內(nèi)側(cè)軌道面72及外側(cè)軌道面74，進(jìn)而，可得到疲勞強(qiáng)度和滑動(dòng)性、裝置壽命提高了的旋轉(zhuǎn)軸承裝置70。另外，本發(fā)明不僅可應(yīng)用于上述的線性引導(dǎo)裝置、花鍵裝置、旋轉(zhuǎn)軸承裝置，還可以應(yīng)用于直線引導(dǎo)裝置或滾動(dòng)軸承等所有運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)內(nèi)，根據(jù)權(quán)利要求書的記載i更清楚。、工''權(quán)利要求1.一種運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，其特征在于，執(zhí)行包括下述工序的處理磨削加工工序，通過(guò)使用磨具進(jìn)行的磨削加工，來(lái)成形采用滾動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的滾動(dòng)摩擦面及滑動(dòng)摩擦面的至少一部分摩擦面；表面處理工序，為了使在前述磨削加工工序中產(chǎn)生的摩擦面上的缺陷無(wú)害化，對(duì)由前述磨削加工工序成形的摩擦面實(shí)施噴丸處理。2.—種運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，所述運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置具備軌道部件，具有滾動(dòng)體滾行面；移動(dòng)部件，具有與前述滾動(dòng)體滾行面對(duì)置的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面；多個(gè)滾動(dòng)體，滾動(dòng)自如地設(shè)置在由前述滾動(dòng)體滾行面和前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面構(gòu)成的負(fù)荷滾行通道內(nèi)；由此，前述移動(dòng)部件沿著前述軌道部件的軸線方向或圓周方向自如往復(fù)運(yùn)動(dòng)或自如旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，該運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法的特征在于，執(zhí)行包括下述工序的處理磨削加工工序，通過(guò)使用磨具進(jìn)行的磨削加工，在前述移動(dòng)部件上成形前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面；表面處理工序，對(duì)前述移動(dòng)部件的至少包括前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的區(qū)域?qū)嵤﹪娡杼幚恚纱耸骨笆瞿ハ骷庸すば蛑挟a(chǎn)生的前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面上的缺陷無(wú)害化。3.如權(quán)利要求1或2所述的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，其特征在于，通過(guò)前述表面處理工序中實(shí)施的噴丸處理，使前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的表面4且糙度Ra為0.4mm以下。4.如權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，其特征在于，前述噴丸處理是微粒子噴丸處理。5.如權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，其特征在于，在前述表面處理工序中，包括在前述噴丸處理后執(zhí)行的滾筒處理。6.—種運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置，具備軌道部件，具有滾動(dòng)體滾行面；移動(dòng)部件，具有與前述滾動(dòng)體滾行面對(duì)置的負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面；多個(gè)滾動(dòng)體，滾動(dòng)自如地設(shè)置在由前述滾動(dòng)體滾行面和前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面構(gòu)成的負(fù)荷滾行通道內(nèi)；由此，前述移動(dòng)部件沿著前述軌道部件的軸線方向或圓周方向自如4主復(fù)運(yùn)動(dòng)或自如凝:4t運(yùn)動(dòng)，其特征在于，前述滾動(dòng)體滾4亍面及前述負(fù)荷滾動(dòng)體滾行面的至少一部分滾行面受到噴丸處理，且表面粗糙度Ra為0.4jum以下。全文摘要本發(fā)明提供一種運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的制造方法，執(zhí)行包括下述工序的處理磨削加工工序，通過(guò)使用磨具進(jìn)行的磨削加工，來(lái)成形采用滾動(dòng)體的運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置的滾動(dòng)摩擦面及滑動(dòng)摩擦面的至少一部分摩擦面；表面處理工序，為了使在前述磨削加工工序中產(chǎn)生的摩擦面上的缺陷無(wú)害化，對(duì)由前述磨削加工工序成形的摩擦面實(shí)施噴丸處理。經(jīng)該處理工序來(lái)制造運(yùn)動(dòng)引導(dǎo)裝置，由此，可使摩擦面上產(chǎn)生的傷痕等缺陷無(wú)害化，提高疲勞強(qiáng)度和滑動(dòng)性，提高裝置壽命，在行進(jìn)距離試驗(yàn)中，也實(shí)現(xiàn)了使計(jì)算壽命大幅度提高的行進(jìn)距離。由此，即使因使用磨具進(jìn)行的磨削加工而在摩擦面或滾行面上產(chǎn)生了傷痕，也可使傷痕無(wú)害化，而不會(huì)對(duì)處理對(duì)象部件的容許尺寸精度帶來(lái)影響。文檔編號(hào)C21D7/06GK101233335SQ200680027350公開日2008年7月30日申請(qǐng)日期2006年7月25日優(yōu)先權(quán)日2005年7月27日發(fā)明者伊勢(shì)弦二郎,道岡英一申請(qǐng)人:Thk株式會(huì)社