專利名稱：一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種靶極系統(tǒng)，特別涉及一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
各類表面金屬鍍膜產(chǎn)品及柔性帶狀物金屬產(chǎn)品在現(xiàn)代工業(yè)當(dāng)中用途廣泛，例如利用泡沫鎳、鍍鎳鋼帶制作高性能的蓄電池的電極板，由于泡沫鎳本身為多孔狀，形成的表面積大，所以可以與蓄電池液充分接觸，從而使得蓄電池的性能大大提高。再如包裝用鋁箔紙、屏蔽用鍍膜布，均在日常生活和電子電工等方面有著廣泛的應(yīng)用。還有平板玻璃、塑料裝飾件以及一些工具的表面處理。如此等等，都是采用的真空鍍膜工藝，靶極系統(tǒng)則是其關(guān)鍵部件，必不可少。各類表面金屬鍍膜產(chǎn)品及柔性帶狀物金屬產(chǎn)品在鍍膜生產(chǎn)當(dāng)中，最關(guān)鍵的步驟是使柔性帶狀物表面的均勻牢固成膜，而在各類鍍膜設(shè)備中，要求具有鍍膜溫度低、效率高、成本低等特點(diǎn)。這些鍍膜設(shè)備，采用的均是平板固定式靶極，靶材利用率一般在10％左右。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明為了彌補(bǔ)現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供了一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，適合于鍍制各類表面金屬膜產(chǎn)品及柔性帶狀物金屬產(chǎn)品，并且具有鍍膜溫度低、生產(chǎn)效率高，生產(chǎn)成本低廉等特點(diǎn)。
本發(fā)明是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，包括固定軸、與固定軸連接的導(dǎo)磁芯軸，固定軸外為密封室、固定架，固定架的一側(cè)固定有靶極門及防護(hù)罩，其特殊之處在于所述固定軸上固定有傳動(dòng)鏈輪，傳動(dòng)鏈輪依次連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸、靶極連接法蘭、靶材連接法蘭及靶材。
本發(fā)明的表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，所述固定軸的頂端中心位置開有進(jìn)水口，進(jìn)水口經(jīng)固定軸和芯軸中心孔到靶材尾端，再從芯軸表面經(jīng)固定軸外水套到出水口，形成一循環(huán)通道。
所述固定軸、轉(zhuǎn)動(dòng)軸套、導(dǎo)磁芯軸、磁鐵、管狀靶材與防護(hù)罩、絕緣部件和傳動(dòng)部件的一體化設(shè)計(jì)，使該設(shè)備具備了優(yōu)越的實(shí)用性。，靶極系統(tǒng)具有完整的冷卻系統(tǒng)，保證了靶極系統(tǒng)在工作過程中具有良好的冷卻效果。
本發(fā)明用旋轉(zhuǎn)式組合靶極替代現(xiàn)有的平板固定式靶極，在鍍膜生產(chǎn)過程中電機(jī)帶動(dòng)鏈輪經(jīng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸、靶極連接法蘭、靶材連接法蘭使靶材繞芯軸轉(zhuǎn)動(dòng)，達(dá)到靶材表面均勻?yàn)R射之目的。
本發(fā)明由于靶材產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，表面均勻?yàn)R射，徹底改變了平板固定式靶極靶材表面局部環(huán)狀濺射，靶材利用率極低的狀況。利用率由原來的10％提高到60％以上。組成了一整套可旋轉(zhuǎn)的真空鍍膜靶極，不僅提高了靶材利用率，而且提高了設(shè)備效率，延長了設(shè)備維護(hù)周期，降低了鍍膜成本。


下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
附圖為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中，1固定架，2固定軸，3傳動(dòng)鏈輪，4密封室，5靶極門，6防護(hù)罩，7轉(zhuǎn)動(dòng)軸，8靶極連接法蘭，9靶材連接法蘭，10靶材，11芯軸，12進(jìn)水口，13出水口。
具體實(shí)施方式
附圖為本發(fā)明的一種具體實(shí)施例。該實(shí)施例包括固定軸2、與固定軸2連接的導(dǎo)磁芯軸11，固定軸2外為密封室4、固定架1，固定架1的一側(cè)固定有靶極門5及防護(hù)罩6，其特征在于所述固定軸2上固定有傳動(dòng)鏈輪3，傳動(dòng)鏈輪3依次連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸7、靶極連接法蘭8、靶材連接法蘭9及靶材10。在鍍膜生產(chǎn)過程中電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)鏈輪3經(jīng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸7、靶極連接法蘭8、靶材連接法蘭9使靶材10繞芯軸11轉(zhuǎn)動(dòng)，由上述部件的緊密組合實(shí)現(xiàn)了靶材10的旋轉(zhuǎn)，達(dá)到了表面均勻?yàn)R射，提高了靶材10的利用率。
本發(fā)明為了保證靶極的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，采用了內(nèi)置式冷卻系統(tǒng)。冷卻水從進(jìn)水口12進(jìn)入，經(jīng)固定軸2和芯軸11中心孔到靶材10尾端，再從芯軸11表面經(jīng)固定軸2外水套到出水口13，形成循環(huán)。
權(quán)利要求
1.一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，包括固定軸(2)、與固定軸(2)連接的導(dǎo)磁芯軸(11)，固定軸(2)外為密封室(4)、固定架(1)，固定架(1)的一側(cè)固定有靶極門(5)及防護(hù)罩(6)，其特征在于所述固定軸(2)上固定有傳動(dòng)鏈輪(3)，傳動(dòng)鏈輪(3)依次連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸(7)、靶極連接法蘭(8)、靶材連接法蘭(9)及靶材(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，其特征在于所述固定軸(2)的頂端中心位置開有進(jìn)水口(12)，進(jìn)水口(12)經(jīng)固定軸(2)和芯軸(11)中心孔到靶材(10)尾端，再從芯軸(11)表面經(jīng)固定軸(2)外水套到出水口(13)，形成一循環(huán)通道。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種靶極系統(tǒng)，特別公開了一種表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)。該表面金屬鍍膜設(shè)備用靶極系統(tǒng)，包括固定軸、與固定軸連接的導(dǎo)磁芯軸，固定軸外為密封室、固定架，固定架的一側(cè)固定有靶極門及防護(hù)罩，其特殊之處在于所述固定軸上固定有傳動(dòng)鏈輪，傳動(dòng)鏈輪依次連接轉(zhuǎn)動(dòng)軸、靶極連接法蘭、靶材連接法蘭及靶材。本發(fā)明由于靶材產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，表面均勻?yàn)R射，利用率由原來的10％提高到60％以上。組成了一整套可旋轉(zhuǎn)的真空鍍膜靶極，不僅提高了靶材利用率，而且提高了設(shè)備效率，延長了設(shè)備維護(hù)周期，降低了鍍膜成本。
文檔編號(hào)C23C14/54GK1865488SQ200610044770
公開日2006年11月22日 申請日期2006年6月14日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月14日
發(fā)明者畢研文, 王乃用, 宋小斌, 張強(qiáng), 江衍勤 申請人:菏澤天宇科技開發(fā)有限責(zé)任公司