專利名稱：放電表面處理方法及放電表面處理裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種放電表面處理技術，詳細地說，涉及一種放電表面處理方法及放電表面處理裝置，其以將金屬粉末、金屬化合物粉末或者陶瓷粉末壓縮成型的粉末壓縮體電極作為電極，使電極和工件之間產生脈沖狀放電，利用其能量，在工件表面形成由電極材料或者電極材料利用放電能量反應后的物質構成的覆蓋膜。
背景技術：
現有的放電表面處理著眼于常溫下的耐磨損，形成TiC(碳化鈦)等硬質材料的覆蓋膜(例如，參照專利文獻1)。
專利文獻1國際公開第99/85744號小冊子但是，近年來，不僅要求以常溫下的耐磨損為目的的硬質陶瓷覆蓋膜，而且對形成大于或等于100μm左右的厚膜的要求也強烈起來。而且，作為對厚膜所要求的功能，有高溫環(huán)境下的耐磨損性、潤滑性等，形成具有這種功能的厚膜的對象是在高溫環(huán)境下使用的部件等。
為了形成這種厚膜，與用于形成硬質陶瓷膜的以陶瓷為主要成分的電極不同，是使用將以金屬成分為主要成分的粉末壓縮成型，然后根據需要經加熱處理而形成的電極。
此外，要通過放電表面處理形成厚膜，必須使電極具有使電極的硬度降低到某種程度等規(guī)定的特征。這是因為，必須要利用放電脈沖向工件側大量地供給電極材料。
然而，放電表面處理通常可以穩(wěn)定地形成覆蓋膜，但存在這樣的問題，即覆蓋膜形成會突發(fā)性地成為不穩(wěn)定狀態(tài)，而一旦成為不穩(wěn)定狀態(tài)則很難恢復到穩(wěn)定狀態(tài)。被認為這是由于以下原因產生的。即，突發(fā)性的不穩(wěn)定狀態(tài)的產生是由于放電集中造成的，一旦成為不穩(wěn)定狀態(tài)，則電極放電集中的部分出現廣泛的熔融·再凝固。在這里，如果電極的部分熔融，則該部分的電極形狀產生變形，成為容易產生放電的狀態(tài)。
而且，由于電極的熔融·再凝固的部分產生放電，從而使熔融·再凝固的范圍進一步擴大。此外，如果放電集中到電極熔融的部分上，則因為該部分被加熱，所以成為更容易發(fā)生放電的狀態(tài)。
這樣，電極中一旦放電集中的部分成為容易產生放電的狀態(tài)，則由于該部分的損傷擴大，因而難以恢復到覆蓋膜形成的穩(wěn)定狀態(tài)。
但是，如果在覆蓋膜形成成為不穩(wěn)定狀態(tài)的初期階段，實施延長放電脈沖的間歇時間等處理，有時也可以使覆蓋膜形成恢復到穩(wěn)定狀態(tài)。因此，在放電表面處理成為不穩(wěn)定狀態(tài)的情況下，必須準確地檢測覆蓋膜形成的不穩(wěn)定現象，在由該不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜狀態(tài)及電極狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。
本發(fā)明正是鑒于上述問題而提出來的，其目的在于提供一種放電表面處理方法及放電表面處理裝置，其可以準確地檢測覆蓋膜形成的不穩(wěn)定現象，并在由該不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜狀態(tài)以及電極狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。

發(fā)明內容
本發(fā)明涉及一種放電表面處理方法，其是以將金屬粉末、金屬化合物粉末或陶瓷粉末壓縮成型的粉末壓縮體作為電極，使電極和工件之間產生脈沖狀放電，利用其能量，在工件表面形成由電極材料構成的覆蓋膜，或形成由電極材料利用放電能量反應后的物質構成的覆蓋膜，其特征在于，檢測放電中的電極與工件之間的電壓，在檢測出該電壓下降的情況下，判斷為放電表面處理狀態(tài)異常。
由本發(fā)明，可以在放電表面處理時準確地檢測放電表面處理的不穩(wěn)定現象。由此，可以在由放電表面處理的不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜的形成狀態(tài)以及電極狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。也就是說，邐過判定放電表面處理的穩(wěn)定性，可以防止覆蓋膜以及電極的損傷。


圖1表示放電表面處理用電極制作的工序。
圖2是表示利用使用了厚膜形成用的放電表面處理用電極的放電表面處理裝置進行放電表面處理的情況的圖。
圖3是表示圖2的電路的圖。
圖4(A)是表示放電表面處理正常進行的情況下的電壓波形的特性圖。
圖4(B)是表示與圖4(A)的電壓波形相對應的電流波形的特性圖。
圖5(A)是表示放電表面處理異常情況下的電壓波形的特性圖。
圖5(B)是表示與圖5(A)的電壓波形相對應的電流波形的特性圖。
圖6是表示電極的一部分利用過度的熱量而熔融的狀態(tài)的圖。
具體實施例方式
為了更詳細地說明本發(fā)明，下面按照

本發(fā)明的實施方式。此外，本發(fā)明并不限于下述內容，在不超出本發(fā)明主旨的范圍內可以適當變更。此外，在附圖中，為了容易理解，有時各部件的比例尺不同。
首先，說明為了利用放電表面處理形成厚膜所必要的技術思想。
我們發(fā)現，在為了利用放電表面處理形成厚膜，使用以金屬成分為主要成分的材料形成的電極作為電極，使用油作為加工液的情況下，如果電極中大量含有易形成碳化物的材料，則因為該易形成碳化物的材料與加工液即油中所包含的碳發(fā)生反應而成為碳化物，所以難以形成厚膜。
發(fā)明人通過研究發(fā)現，在利用使用大約數μm的粉末制造出的電極來形成覆蓋膜的情況下，如果不使電極中含有Co(鈷)、Ni(鎳)、Fe(鐵)等難以形成碳化物的材料，則很難穩(wěn)定地形成致密的厚膜。
在這里，雖然由所使用的粉末粒徑、材質等來決定，但大體而言，要形成厚膜，必須包含大于或等于40體積％的如上所述的難以形成碳化物的材料。通過使電極中包含大于或等于40體積％的難以形成碳化物的材料，可以穩(wěn)定地形成致密的厚膜。但是，如果粒徑小于1μm，則即使不含有上述量的這些材料，有時也能形成厚膜。
下面，說明本實施方式涉及的放電表面處理方法。圖1是表示本發(fā)明的實施方式1中的放電表面處理用電極的制造方法概念的剖面圖。首先參照圖1，作為本發(fā)明中使用的電極的一個例子，對電極材料中使用了Co合金粉末的情況進行說明。在圖1中，在由金屬模具的上沖頭2、金屬模具的下沖頭3、金屬模具的陰模4圍成的空間中，填充了Co合金粉末1。通過將該Co合金粉末1壓縮成型而形成粉末壓縮體。在放電表面處理中，該粉末壓縮體用作放電電極。
圖1所示的電極的制作工序如下所述。首先，將Co合金粉末1裝入金屬模具中，利用上沖頭2以及下沖頭3對該Co合金粉末1施加壓力進行沖壓。通過像這樣，向Co合金粉末施加規(guī)定的沖壓壓力，該合金粉末1聚合，成為粉末壓縮體。
如果為了沖壓時使沖壓的壓力很好地傳遞到Co合金粉末1的內部，而在Co合金粉末1中混入石蠟等蠟，則可以改善Co合金粉未1的成型性。但是，電極內的蠟的殘留量越多導電性就越差。因此，在Co合金粉末1中混入蠟的情況下，優(yōu)選在其后的工序中去除蠟。
以上述方式壓縮成型的粉末壓縮體，在通過壓縮得到規(guī)定硬度的情況下，可以直接作為放電表面處理用的電極來使用。此外，在壓縮成型的粉末壓縮體未得到規(guī)定硬度的情況下，可以通過加熱增加粉末壓縮體的強度、即硬度。
圖2是表示利用使用了上述工序制作出的厚膜形成用的低硬度放電表面處理用電極的、本發(fā)明涉及的放電表面處理裝置，進行放電表面處理的情況的示意圖。圖2中，示出產生脈沖狀放電時的狀態(tài)。此外，圖3是表示圖2的電路的圖。
如圖2所示，本實施方式涉及的放電表面處理裝置具有以下部分而構成放電表面處理用電極11(以下有時簡稱為電極11)，其是上述的放電表面處理用電極，由將Co合金粉末1壓縮成型的粉末壓縮體、或對該粉末壓縮體進行加熱處理后的粉末壓縮體構成；作為加工液13的油；以及放電表面處理用電源裝置14，其向電極11和工件12之間施加電壓，使其產生脈沖狀放電(電弧柱15)。
在這里，放電表面處理用電源裝置14具有圖3所示的電源主體14a；電壓檢測裝置14b；開關元件S1、S2…；電阻器R1、R2…，它們與各開關元件相連接；以及控制電路14c，其使開關元件S1、S2…接通·斷開。在圖3中，為了便于理解而分開來表示。
此外，控制電極11和工件12的相對位置的驅動裝置、儲存加工液13的加工液槽等與本發(fā)明沒有直接關系的部件，省略其說明。要利用該放電表面處理裝置在工件表面形成覆蓋膜，需要將電極11和工件12在加工液13中相對配置。然后，在加工液中，使用放電表面處理用電源裝置14使電極11和工件12之間產生脈沖狀放電。具體地說，通過利用控制電路14c來使開關元件S1或S2…接通·斷開，向電極11和工件之間施加電壓，使其產生放電。放電的電弧柱15如圖2所示，在電極11和工件12之間產生。
使其接通·斷開的開關元件由放電時希望流過的電流來決定。具體地進行說明，在圖3中，各開關元件分別與具有規(guī)定電阻值的電阻相連接，如果在各個的開關元件接通狀態(tài)下產生放電，則流過由電阻值和電源電壓確定的電流。如果在多個開關元件接通狀態(tài)下產生放電，則流過各個值的電流相加的值的電流。
例如，如果將直流電源的電壓設為E，將極間電壓設為Vg，則開關元件S1接通時流過的電流值為(E-Vg)/R1。同樣地，開關元件S2接通時流過的電流值為(E-Vg)/R2。此外，開關元件S1和S2同時接通時流過的電流值為(E-Vg)/R1+(E-Vg)/R2。
此外，本電路是利用電阻器來限制電流的方式，但也可以采用將流過的電流定為所希望的值的電路方式。
于是，利用在電極11和工件12之間產生的放電的放電能量，在工件表面形成電極材料的覆蓋膜，或者在工件表面形成電極材料利用放電能量反應后的物質的覆蓋膜。極性為，電極11側為負的極性，工件12側為正的極性。
圖4(A)和圖4(B)示出在具有這種電路結構的放電表面處理裝置中，進行放電表面處理的情況下的放電脈沖條件的一個例子。圖4(A)和圖4(B)是表示放電表面處理時的放電脈沖條件的一個例子的圖，圖4(A)表示放電時施加于電極11和工件12之間的電壓波形，圖4(B)表示放電時流過放電表面處理裝置的電流的電流波形。如圖4(A)所示，在時刻t0向兩極間施加無負載電壓ui，在經過放電延遲時間td后的時刻t1，兩極間產生放電，流過電流。此時的電壓是放電電壓ue，此時流過的電流是峰值電流值ie。然后，如果在時刻t2停止向兩極間供給電壓，則電流停止流動。
將時刻t2-t1稱之為脈沖寬度te。將該時刻t0～t2中的電壓波形，間隔間歇時刻to反復施加于兩極間。即，如該圖4(A)所示，向電極11和工件12之間施加脈沖狀的電壓。
在正常進行放電表面處理的情況下，放電中的電壓為大約50V的值，作為其范圍，大多數情況下為大約40V～60V的值。不過，由于電極11的成型條件等各種條件，有時稍微會產生上下偏差。
在電極11制作得硬度較硬的情況下，電極11和工件12之間的電壓低。另一方面，在電極11制作得硬度較軟的情況下，電極11和工件2之間的電壓高。
這種現象是由于以下的原因。電極11和工件12之間的電壓，即電弧電壓本身通常為25V～30V左右。但是，本發(fā)明中使用的厚膜形成用電極11，由于是使粉末固化而制作的，因而電阻值高。
因此，圖3的電壓檢測裝置17的測定結果，為在電弧電壓上加上電極11上的電壓降的電壓，與電極的電阻值低的情況相比，為更高的值。
如上所述可以看出，在利用放電表面處理穩(wěn)定地形成厚膜的情況下，檢測出的放電中的極間電壓、即電極11和工件12間的電壓V1，為圖4(A)所示的高值，但在無法穩(wěn)定地形成覆蓋膜的情況下，如圖5A所示，放電中的極間電壓、即電極11和工件12間的電壓V1下降。
這是由于以下的原因。在加工狀態(tài)、即放電表面處理的處理狀態(tài)不穩(wěn)定的情況下，因放電集中，電極11的一部分利用放電的熱量而被加熱，如圖6所示，產生熔融·再凝固的部分11a。于是，由于該熔融·再凝固的部分11a的電阻下降，所以電壓檢測裝置17的檢測電壓中電極11上的電壓降變小。
此外，在圖5(A)中，所有的脈沖放電電壓都降低，但在加工(放電表面處理)突發(fā)性地不穩(wěn)定的情況下，尤其是在初期階段，多是放電電壓出現低脈沖與高脈沖相混雜。
本發(fā)明人通過實驗明確了，無論在哪種情況下，當產生這樣的放電表面處理的不穩(wěn)定現象時，如圖6所示，都會成為電極11的一部分因過熱而熔融·再凝固的部分11a的狀態(tài)，在該熔融·再凝固的部分11a上產生放電的情況下，放電電壓會變低。
一旦成為這種狀態(tài)，則電極11的熔融·再凝固的部分11a變得與固態(tài)電極相同，電阻下降，放電容易在同一位置上產生，從而擴大了電極的損傷。
因此，在本發(fā)明中，利用圖3所示的電壓檢測裝置14b，檢測放電中的電極11和工件12之間的電壓，比穩(wěn)定加工時、即放電表面處理穩(wěn)定進行時低的情況。例如，可以考慮以下等方法，即產生放電后，在經過規(guī)定時間以后，產生極間電壓檢測定時脈沖，以該脈沖的定時，對極間電壓和閾值進行比較，該閾值是穩(wěn)定加工與不穩(wěn)定的臨界電壓。上述檢測定時，可以是從放電產生開始規(guī)定的時間，例如1μs～數μs，也可是放電持續(xù)時間的正中間這樣的處理。然后，電壓檢測裝置14b向控制電路14c發(fā)送規(guī)定的信號、例如電壓的檢測結果的信號?？刂齐娐?4c根據電壓檢測裝置14b的檢測結果，判斷放電狀態(tài)的好壞?？刂齐娐?4c在判斷為放電狀態(tài)異常(不好)的情況下，進而根據判斷結果，通過斷開例如開關元件S1或S2，使放電的產生完全停止。
由此，可以準確地檢測放電表面處理的不穩(wěn)定現象，在由該不穩(wěn)定現象引起電極狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。也就是說，可以通過判別放電表面處理的穩(wěn)定性，來防止電極的損傷。
此外，在這里，說明了控制電路14c具有根據電壓檢測裝置14b的檢測結果來判斷放電狀態(tài)好壞的功能的情況，但也可以在控制電路14c之外，另設具有根據電壓檢測裝置14b的檢測結果來判斷放電狀態(tài)好壞的功能的單元。
檢測電極11和工件12之間電壓的定時，可以選擇放電持續(xù)時間中的1點，或者也可以選擇放電持續(xù)時間中的電極11和工件12之間的電壓平均值。
穩(wěn)定加工時的電極11和工件12之間的電壓值，因所使用的電極不同而有差異，但每種電極均大體一致。因此，只要將閾值設定為比預先通過測定而確定的電壓低的值，在低于該值的情況下判斷為異常就可以。
此外，還可以配置計算某一數量的脈沖放電中電壓值的平均值的電路，在產生比該電路計算出的平均值低規(guī)定比例、例如低10％的電壓值的放電的情況下，判斷為異常。
此外，作為簡便的方法，還可使用下述方法。例如，因為在由金屬構成電極，電極上沒有電壓降的情況下，放電表面處理時的極間電壓值、即電極與工件之間的電壓值落入25V～30V左右的范圍內，因而，只要例如極間電壓值大于或等于35V，就可判斷為正常。
為了防止電極11的損傷，除了上述使放電的產生完全停止之外，例如延長放電間歇時間to等放電條件的操作也有效。例如，要通過延長放電間歇時間to來防止電極11的損傷，有以下等方法，即在產生了低于閾值的放電電壓的脈沖的情況下，從下一脈沖開始將間歇時間設定為2倍。
但是，如果放電間歇時間to過長，則控制極間間隙的伺服機構的動作變得不穩(wěn)定(這是因為，由于通常大致按照每個放電脈沖進行控制，所以控制間隔變長)，因而最好預先設定某種程度(例如1ms左右)的上限。
以上，記述了在利用放電表面處理形成覆蓋膜情況下的、防止電極損傷的技術，通過上述本發(fā)明的試驗結果中可以明確以下問題。在穩(wěn)定加工中、即放電表面處理穩(wěn)定進行時，作為放電電壓上升原因的電極上的電壓降，并不是在整個電極上產生，而是在電極表面的電弧柱的根部上產生。
這種情況可以推測是因為電流在電極內部流動時，在很寬范圍內流過電流，但電弧部分電流在非常狹小的部分流過，從而電阻變大。這可以從在電極的一部分熔融·再凝固而電阻局部下降的位置上產生放電時，電極中的電壓降變小得到確認。
此外，在放電表面處理中，放電電壓突然跳出規(guī)定范圍，即超出規(guī)定范圍，可以判斷為是正在放電表面處理中電極產生異常的情況。此外，在放電電壓一直不在規(guī)定范圍內的情況下，可以判斷為電極從最開始就處于異常狀態(tài)。這是因為，在使用以正常狀態(tài)制作的電極的情況下，放電中的電壓會進入規(guī)定范圍，在一直沒進入該規(guī)定范圍(超過規(guī)定的范圍，或者低于規(guī)定的范圍)的情況下，可以判斷為電極從最開始就處于異常狀態(tài)。
如上所述，在放電表面處理中，在放電電壓突然偏離規(guī)定范圍的情況下，判斷為正在放電表面處理中電極變?yōu)楫惓顟B(tài)，此外，在放電電壓一直不在規(guī)定范圍內的情況下，判斷為電極從最開始就處于異常狀態(tài)，由此，可以防止因在該時刻放電的集中，對電極、覆蓋膜造成損傷的現象，因而可以有效防止電極的損傷。
此外，在放電表面處理中，必須要使電極材料熔融后，向工件側移動，因此，電極必須處于電阻大到某種程度的狀態(tài)。在放電表面處理中，如果發(fā)生放電集中產生于電極局部等異常狀態(tài)，則電極上的該部分、即放電集中產生部分的熔融會加快進行。于是，在此情況下，電極的電阻值成為下降的狀態(tài)。該電極狀態(tài)的變化可以通過放電電壓、即(極間的電弧電位)+(電極上的電壓降)來進行檢測。
放電電壓下降的狀態(tài)(由電極上的電阻引起的電壓降變小的狀態(tài))，表示電極發(fā)生了異常，可以在放電發(fā)生數次的時機檢測到該現象。
此外，與放電去除加工的情況不同，在通過放電表面處理在工件上形成覆蓋膜的情況下，如果覆蓋膜產生異常，則其修復非常困難。這是因為，如果不能以良好的狀態(tài)形成覆蓋膜而在覆蓋膜上產生了凹陷，則即使繼續(xù)進行放電表面處理，也無法填補該凹陷部分。為了將凹陷的覆蓋膜修復到良好狀態(tài)，只有去除該部分，進行追加處理的方法。
但是，如果在覆蓋膜形成成為不穩(wěn)定狀態(tài)的初期階段，實施延長放電脈沖的間歇時間等處理，則也可以使覆蓋膜形成恢復到穩(wěn)定狀態(tài)。也就是說，在放電表面處理成為不穩(wěn)定狀態(tài)的情況下，必須要準確地檢測覆蓋膜形成的不穩(wěn)定現象，并在由該不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜的狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。
因此，在本發(fā)明中，可以準確地檢測放電表面處理的不穩(wěn)定現象，在該不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜的形成狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。也就是說，可以通過判斷放電表面處理的穩(wěn)定性，防止覆蓋膜的形成狀態(tài)的惡化。
因此，由本發(fā)明，可以準確地檢測突發(fā)性地產生的覆蓋膜形成的不穩(wěn)定現象，在由該不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜狀態(tài)及電極狀態(tài)惡化之前，實施適當的對應處理。也就是說，由本發(fā)明，可以通過判定放電表面處理的穩(wěn)定性，來防止覆蓋膜以及電極的損傷。
此外，以上說明了在加工液中進行放電表面處理的情況，但本發(fā)明并不限于在加工液中進行放電表面處理時的情況，也可以適用于在氣體氣氛中進行放電表面處理的情況。
工業(yè)實用性如上所述，本發(fā)明涉及的放電表面處理方法，適用于在被加工物表面形成覆蓋膜的表面處理相關產業(yè)中，尤其適用于在被加工物表面形成厚膜的表面處理相關產業(yè)中。
權利要求
1.一種放電表面處理方法，其是以將金屬粉末、金屬化合物粉末或陶瓷粉末壓縮成型的粉末壓縮體作為電極，使前述電極和工件之間產生脈沖狀放電，利用其能量，在前述工件表面形成由前述電極材料構成的覆蓋膜，或形成由前述電極材料利用放電能量反應后的物質構成的覆蓋膜，其特征在于，檢測放電中的前述電極和工件之間的電壓，在檢測出該電壓下降的情況下，判斷為放電表面處理狀態(tài)異常。
2.一種放電表面處理方法，其是以將金屬粉末、金屬化合物粉末或陶瓷粉末壓縮成型的粉末壓縮體作為電極，使前述電極和工件之間產生脈沖狀放電，利用其能量，在前述工件表面形成由前述電極材料構成的覆蓋膜，或形成由前述電極材料利用放電能量反應后的物質構成的覆蓋膜，其特征在于，檢測放電中的前述電極和工件之間的電壓，在該電壓總是不在規(guī)定范圍內的情況下，判斷為電極本身異常。
3.一種放電表面處理裝置，其是以將金屬粉末、金屬化合物粉末或陶瓷粉末壓縮成型的粉末壓縮體作為電極，使前述電極和工件之間產生脈沖狀放電，利用其能量，在前述工件表面形成由前述電極材料構成的覆蓋膜，或形成由前述電極材料利用放電能量反應后的物質構成的覆蓋膜，其特征在于，具有電壓檢測單元，其檢測放電中的前述電極和前述工件之間的電壓；以及好壞判斷單元，其根據前述電壓檢測單元的檢測結果，判斷放電狀態(tài)的好壞。
4.根據權利要求3所述的放電表面處理裝置，其特征在于，具有控制單元，其根據前述好壞判斷單元的判斷結果，停止放電或變更處理條件。
5.一種放電表面處理裝置，其是以將金屬粉末、金屬化合物粉末或陶瓷粉末壓縮成型的粉末壓縮體作為電極，使前述電極和工件之間產生脈沖狀放電，利用其能量，在前述工件表面形成由前述電極材料構成的覆蓋膜，或形成由前述電極材料利用放電能量反應后的物質構成的覆蓋膜，其特征在于，具有電壓檢測單元，其檢測放電中的前述電極和工件之間的電壓；以及判定單元，其在該電壓檢測單元的檢測結果為總是不在規(guī)定范圍內的情況下，判定為電極本身異常。
6.根據權利要求3或5所述的放電表面處理裝置，其特征在于，前述電極含有大于或等于40體積％的難以形成碳化物的材料。
全文摘要
為了利用放電表面處理進行厚膜的形成，檢測放電中電極與工件之間的電壓，在檢測出該電壓下降的情況下，判斷為放電表面處理狀態(tài)異常，由此，準確地檢測放電表面處理的不穩(wěn)定現象，可以在由該不穩(wěn)定現象引起覆蓋膜狀態(tài)及電極狀態(tài)惡化之前，實施適當的應對處理。也就是說，通過判定放電表面處理的穩(wěn)定性，防止覆蓋膜及電極的損傷。
文檔編號C23C26/00GK1829822SQ200480021740
公開日2006年9月6日 申請日期2004年2月9日 優(yōu)先權日2003年6月4日
發(fā)明者后藤昭弘, 秋吉雅夫, 松尾勝弘, 落合宏行, 渡邊光敏, 古川崇 申請人:三菱電機株式會社