專(zhuān)利名稱(chēng)：雙室真空鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于裝飾鍍的真空鍍膜機(jī)，特別是一種雙室真空鍍膜機(jī)。
背景技術(shù)：
眾所周知，利用真空蒸發(fā)技術(shù)或?yàn)R射技術(shù)在塑料工件表面鍍金屬達(dá)到裝飾或反射或?qū)щ姷哪康?，現(xiàn)已成熟應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)，這種傳統(tǒng)的真空鍍膜機(jī)如圖1所示。為了提高產(chǎn)量，現(xiàn)有的作法是加大真空室的直徑，直徑從1.2米到1.4米，1.6米，1.8米，甚至更大。為此配泵也越配越大，粗抽泵由一合變二臺(tái)，精抽擴(kuò)散泵由K600泵變?yōu)镵800，K1000或兩臺(tái)K600并用，這樣雖然產(chǎn)量能提高一些，但設(shè)備的大型化必然導(dǎo)致設(shè)備投資增大，配電增大，占地增大。表1是傳統(tǒng)機(jī)型的有關(guān)數(shù)據(jù)一覽表。
表1 幾種傳統(tǒng)的鍍膜機(jī)的有關(guān)數(shù)據(jù)

該傳統(tǒng)技術(shù)存在如下缺陷1.空間利用率低，由表1的數(shù)據(jù)得知，傳統(tǒng)機(jī)型的空間利用率(工件軸總體積/真空室內(nèi)體積)都不足一半，其真空室內(nèi)工件架中心軸是沿圓周方向均布的，而且真空室直徑越大，需要排的多余空間越多，因此直徑越大的真空室必須配置容量更大的粉抽泵2.泵的利用率低，在粗抽時(shí)擴(kuò)散泵是不起作用的，在精抽時(shí)大容積的粗抽泵僅作擴(kuò)散泵的前級(jí)，這太浪費(fèi)了。3.真中室放大，工件裝載量增多，這對(duì)鍍膜不利，為了保證鍍膜質(zhì)量，必須要加大蒸發(fā)電源的功率或者磁控電源的功率，這些電源的利用率更低，對(duì)設(shè)備成本的增加很明顯。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種能實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量低成本的雙室真空鍍膜機(jī)。
本實(shí)用新型的目的是通過(guò)如下途徑實(shí)現(xiàn)的雙室真空鍍膜機(jī)，包括真空室和排氣系統(tǒng)，裝有工件架[12]及蒸發(fā)電極或磁控濺射源[13]的真空室[11]有兩個(gè)，且排氣系統(tǒng)采用粗、精抽分離的雙路排氣系統(tǒng)[15]、[14]分別連通兩個(gè)真空室[11]對(duì)其交替排氣交替鍍或?yàn)R射鍍，交替放氣和裝卸工件架，粗抽系統(tǒng)[15]是由滑閥泵[18]接羅茨泵[17]后分別接左粗抽閥[16]、右粗抽閥[19]組成；精抽系統(tǒng)[14]是由旋片泵[23]接擴(kuò)散泵[21]后分別接左精抽閥[20]、右精抽閥[22]組成。真空室[11]內(nèi)的工件架[12]裝有一軸或一軸以上，一軸以上的工件架[12]按其工件架中心軸相互平行方式排列。真空室[11]內(nèi)的工件架[12]的中心軸最好是平行排列二軸。
本實(shí)用新型的有益效果是采用兩個(gè)真空室，由粗、精抽分離的雙路排氣系統(tǒng)對(duì)兩個(gè)真空室進(jìn)行交替排氣，與表1中ZZ-1400機(jī)型相比，其排氣系統(tǒng)的泵、及真空室內(nèi)的蒸發(fā)電極或磁投濺射電源的功率要小，其設(shè)備成本及電力配備下降，占地面積小，日產(chǎn)量由傳統(tǒng)的24-30軸/小時(shí)提高到60軸/小時(shí)。


附圖給出了本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例圖1為傳統(tǒng)的真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例1的俯視圖圖4、圖5分別是真空室內(nèi)工件架中心軸排列示意圖。
具體實(shí)施方式
下面參照附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明參照?qǐng)D1，為傳統(tǒng)的真空鍍膜機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；它有一個(gè)大圓筒形真空室1，通常直徑為1.2-2米，筒長(zhǎng)2米；真空室中心有一組蒸發(fā)電極3，蒸發(fā)電極3周?chē)鶆蚍植剂鶄€(gè)工件軸2，它的真空排氣系統(tǒng)4由擴(kuò)散泵10，羅茨泵17，旋片泵9及上閥6、下閥7精抽閥5組成，粗抽和精抽為一個(gè)整體系統(tǒng)，完成真空室的粗抽和精抽。
參照?qǐng)D2、圖3，為本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖及俯視圖，它采用兩個(gè)真空室11，每個(gè)真空室11內(nèi)部裝有一組蒸發(fā)電極13，蒸發(fā)電極13也可以用磁控濺射源來(lái)取代，每個(gè)真空室11內(nèi)平行裝有二軸工件架12，它的排氣系統(tǒng)由高真精抽系統(tǒng)14和低真空粗抽系統(tǒng)15組合，高真空精系統(tǒng)14由左精抽閥20、右精抽閥22、擴(kuò)散泵21、加片泵23組成，低其中粗抽系統(tǒng)15由左粗抽閥16、右粗抽閥19、羅茨泵17、滑閥泵18組成。14和15是完全獨(dú)立的系統(tǒng)，它的工作過(guò)程是當(dāng)左粗抽閥16開(kāi)，左室粗抽時(shí)，右室的精抽閥已開(kāi)，正在精抽與鍍膜。當(dāng)左粗抽閥關(guān)，左室粗抽完畢時(shí)，左精抽閥20開(kāi)，左室這時(shí)轉(zhuǎn)入精抽，心室正在放氣，更換工件架12，因此這對(duì)高真空精抽系統(tǒng)14的利用率是很高的。同樣，當(dāng)右室更換好工件12需要重新粗抽時(shí)，左室已進(jìn)入精抽階段，低真空粗抽系統(tǒng)15立即對(duì)右室粗抽，所以低真空粗抽系統(tǒng)15的利用率是很充分的。當(dāng)排氣達(dá)到一定真空度時(shí)，電機(jī)27轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)工件架12轉(zhuǎn)動(dòng)，接著蒸發(fā)器13(或磁控源)開(kāi)始工作，鍍膜開(kāi)始，鍍膜開(kāi)始完畢后，放氣閥25開(kāi)啟，真空室放大氣，將門(mén)車(chē)28拉出，工件架12隨之帶出，裝卸完畢再其新抽真空專(zhuān)11，進(jìn)行前面所述的粗抽和精抽的排氣過(guò)程。其粗、粗抽系統(tǒng)的工作過(guò)程由自動(dòng)程序控制，參照?qǐng)D4、圖5，工件架中心軸可是多軸成二排或多排排列，或成三角形排列。
權(quán)利要求1.一種用于裝飾鍍的雙室真空鍍膜機(jī)，包括真中室和排氣系統(tǒng)，其特征是裝有工件架[12]及蒸發(fā)電極或磁控濺射源[13]的真空室[11]有兩個(gè)，且排氣系統(tǒng)采用粗、精抽分離的雙路排氣系統(tǒng)[15][14]分別連通兩個(gè)真空室[11]對(duì)其交替排氣交替蒸鍍或?yàn)R射鍍；交替放氣和裝卸工件架。
2.如權(quán)利要求1所述雙室其空鍍膜機(jī)，其特征是真空室[11]內(nèi)的工件架[12]裝有一軸或一軸以上，一軸以上的工件架[12]按其工件架中心軸相互平行方式排列。
3.如權(quán)利要求1所述雙室真空鍍膜機(jī)，其特征是真空室[11]內(nèi)的工件架[12]的中心軸平行排列二軸。
4.如權(quán)利要求1所述雙室真空鍍膜機(jī)，其特征是粗抽系統(tǒng)[15]是由滑閥泵[18]接羅茨泵[17]后分別接左粗抽閥[16]、右粗抽閥[19]組成；精抽系統(tǒng)[14]是由旋片泵[23]接擴(kuò)散泵[21]后分別接左精抽閥[20]、右精抽閥[22]組成，粗抽系統(tǒng)[15]完全獨(dú)立與精抽系統(tǒng)[14]。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于裝飾鍍的真空鍍膜機(jī)，它主要由兩個(gè)真空室，采用粗、精抽分離的雙路排氣系統(tǒng)對(duì)兩個(gè)真中室交替排氣組成，它占地面積小，設(shè)備成本及電力配備比現(xiàn)有的鍍膜機(jī)下降，且產(chǎn)量由傳統(tǒng)的24－30軸/小時(shí)提高到60軸/小時(shí)。
文檔編號(hào)C23C14/35GK2734773SQ200420068899
公開(kāi)日2005年10月19日 申請(qǐng)日期2004年10月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月10日
發(fā)明者黃國(guó)興 申請(qǐng)人:黃國(guó)興