專利名稱：二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明公開了一種制造二氧化錫透明導(dǎo)電膜的陶瓷輥傳送設(shè)備，確切的說以帶陶瓷管作傳送件，常壓化學(xué)汽相沉積法制備二氧化錫透明導(dǎo)電膜的設(shè)備領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
目前，制造二氧化錫透明導(dǎo)電膜是采用常壓化學(xué)氣相沉積法CVD，其制造裝置是采用隧道窯式爐體結(jié)構(gòu)，由金屬傳送帶輸送襯底，如

圖1所示。我國在八十年代未，九十年代初從美國克羅拉公司引進(jìn)兩條非晶硅太陽能電池生產(chǎn)線中的二氧化錫透明導(dǎo)電膜設(shè)備，以及美國BTU公司專業(yè)制造的二氧化錫透明導(dǎo)電膜設(shè)備均采用這種隧道窯式爐體結(jié)構(gòu)，由金屬傳送帶輸送襯底(普通玻璃)噴涂原料均采用四氯化錫、水、甲醇、氟利昂等。
正如中國專利公開的二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造方法，公開號(hào)CN1270419A，記載的以二氯二乙基錫為源，制造二氧化錫透明導(dǎo)電膜，由惰性氣體攜帶與氧化氣體同時(shí)進(jìn)入氣體混合器中，再從噴頭的噴口噴到襯底上，形成二氧化錫透明導(dǎo)電膜。省去了氟里昂，設(shè)備得到簡化，透明導(dǎo)電膜質(zhì)量得到改善。從公開文件引證的報(bào)道(Thin Films by Conveyorized Atmospheric CVDWatkins-Johnson Company Scotts Valley，California，Presented atISHM-Internepeon Technical Tokyo，Japan，Jan，18，1983)看出，襯底的傳送仍采用金屬傳送帶。
中國專利透明導(dǎo)電膜和減反射薄膜噴涂裝置及其方法ZL99116819.4，是對專利88103399一種超聲波霧化容器的改進(jìn)，即在超聲振蕩霧化噴涂沉積導(dǎo)電膜的基礎(chǔ)上對霧化容器進(jìn)行改造，以其達(dá)到霧化容器結(jié)構(gòu)簡單、操作方便。采用隧道式爐體結(jié)構(gòu)，仍用金屬傳送帶輸送綜上所述，目前二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制備，在噴涂材料上，仍然采用腐蝕性較強(qiáng)的四氯化錫或二氯二乙基錫作主要原料。在襯底傳送上，仍然采用金屬傳送帶，如圖1，窯體11、電機(jī)裝置12、傳動(dòng)裝置13、托板14、金屬傳送帶15，襯底9、噴頭裝置10。金屬傳送帶15是采用不銹鋼V形編織網(wǎng)?，F(xiàn)有技術(shù)主要存在以下二個(gè)方面的問題一是對于連續(xù)生產(chǎn)設(shè)備，長期在強(qiáng)酸性的環(huán)境中，金屬不銹鋼材料容易被腐蝕，影響設(shè)備壽命；二是金屬傳送帶15的長度一般是襯底9(普通玻璃)長度12-16倍左右，如襯底寬度12時(shí)、長度36時(shí)時(shí)，則傳送帶的長度為11.0-14.63m，如襯底寬度14時(shí)、長度48時(shí)，則傳送帶的長度為14.6-19.5m，如此長距離的不銹鋼V形編織網(wǎng)帶是無法保持水平，為解決水平問題，只好采用托板14來支撐不銹鋼V形編織網(wǎng)帶，在噴涂工藝要求襯底溫度400-700℃情況下，托板4的材料必須選擇耐高溫、抗強(qiáng)酸的不銹鋼材料，厚度20mm以上，它不但造價(jià)高，而且在生產(chǎn)過程中停機(jī)開機(jī)，長期處在400-700℃高溫，且生產(chǎn)過程中有時(shí)停機(jī)開機(jī)，即高低溫交替，托板14容易變形，由于它的變形，不銹鋼V形編織網(wǎng)帶緊貼托板而無法保持水平，那么襯底(普通玻璃)在＞500℃時(shí)開始軟化而緊貼不銹鋼V形編織網(wǎng)帶而變形，導(dǎo)致噴涂導(dǎo)電膜不均勻，或因變形而成廢品，對此，如果降低噴涂溫度，如溫度＜500℃時(shí)，襯底可能變形小一些，但會(huì)影響噴鍍導(dǎo)電膜層牢固度下降，容易脫膜而成廢品。
本

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明目的就在于克服以上所說的已有技術(shù)中的不足，采用陶瓷管作傳動(dòng)部件，對鍍膜輥道窯傳送機(jī)構(gòu)進(jìn)行改造，實(shí)現(xiàn)其超薄大型襯底在高溫下由陶瓷傳送帶傳送，不變形，保持一致水平、使鍍膜襯底在陶瓷管傳送帶上移動(dòng)，均勻噴涂，提高成膜率，延長設(shè)備使用壽命。
按照本技術(shù)解決方案，鍍膜輥道窯以陶瓷管作傳動(dòng)件，包括數(shù)根同步滾動(dòng)的陶瓷管構(gòu)成傳送帶裝置，還包括窯體、電機(jī)控制裝置、傳動(dòng)鏈、齒輪傳送裝置、窯體加熱裝置，鍍膜傳送件襯底在陶瓷管傳送帶上被傳送至窯體中部，由設(shè)在窯體中部的噴頭裝置對襯底表面噴鍍二氧化錫透明導(dǎo)電膜層。
按照本技術(shù)解決方案，所說陶瓷輥傳送帶裝置，還包括帶鎖緊口的主傳動(dòng)側(cè)和從動(dòng)側(cè)，主傳動(dòng)側(cè)設(shè)有電機(jī)控制裝置、傳動(dòng)鏈、齒輪傳送裝置、鎖緊口，從動(dòng)側(cè)設(shè)有固定軸承，所說的數(shù)根陶瓷管為水平放置，陶瓷管的一頭插在主傳動(dòng)側(cè)出口處鎖緊口鎖定，陶瓷管的另一頭由從動(dòng)側(cè)承載。
按照本技術(shù)解決方案，還包括窯爐體內(nèi)安裝若干個(gè)陶瓷管，爐體兩側(cè)有若干個(gè)予留孔，陶瓷管從予留孔穿過爐體內(nèi)腔，插入主傳動(dòng)側(cè)內(nèi)側(cè)出口處槽內(nèi)由鎖緊口鎖定。
按照本技術(shù)解決方案，還包括齒輪傳動(dòng)裝置設(shè)有減速器、斜齒—圓柱齒輪組及其保護(hù)罩，護(hù)罩內(nèi)側(cè)邊有鎖緊口，齒輪帶動(dòng)組通過鎖緊口帶動(dòng)陶瓷管勻速運(yùn)動(dòng)動(dòng)。
按照本技術(shù)解決方案，所述電機(jī)裝置，由變頻調(diào)速器控制電機(jī)裝置，且至少控制一臺(tái)以上電機(jī)同步運(yùn)行，傳動(dòng)鏈帶動(dòng)齒輪傳動(dòng)裝置和鎖定的陶瓷管轉(zhuǎn)動(dòng)，控制鍍膜襯底移動(dòng)速度。
按照本技術(shù)解決方案，鍍膜輥道窯還包括鍍膜沉底的進(jìn)口工位、出口工位、清洗單元、加熱單元、恒溫單元、速度單元；化學(xué)氣象噴涂單元，載氣流量單元、冷卻單元、檢測單元。
按照本技術(shù)解決方案，其特征在于所說窯體加熱裝置包括加熱體和測溫裝置。
按照本技術(shù)解決方案，加熱裝置的加熱體裝在鍍膜輥道窯的預(yù)熱單元、升溫單元、恒溫單元。
按照本技術(shù)解決方案，作傳動(dòng)件的陶瓷管與陶瓷管之間等距離，切線速度相同，各陶瓷管中心間距均勻。
按照本技術(shù)解決方案，鍍膜襯底是普通玻璃，寬為150-800mm，長為350-2000mm，厚為0.55-5mm，襯底運(yùn)行速度為100-650mm/min。
以下結(jié)合附圖進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容。
圖1、是已知技術(shù)二氧化錫透明導(dǎo)電膜裝置示意圖。
圖2、是本實(shí)用新型的裝置示意圖。
圖3、本發(fā)明制造裝置A-A剖面示意圖。
見圖2和圖3所示制造裝置包括窯體1、電機(jī)裝置2、傳動(dòng)鏈3、齒輪傳動(dòng)裝置4、鎖緊口5、軸承6、陶瓷管7、加熱裝置8、襯底9、噴頭裝置10。窯體1一側(cè)裝有齒輪傳動(dòng)裝置4，齒輪傳動(dòng)裝置4出口安裝鎖緊口5，作主傳動(dòng)，另一側(cè)裝有固定軸承6，作為從傳動(dòng)、陶瓷管7通過窯體1的預(yù)留的孔插入鎖緊口5，傳動(dòng)裝置4設(shè)有減速器以及一組斜齒-圓柱齒輪傳動(dòng)裝置、在電機(jī)裝置2并通過傳動(dòng)鏈3連接使鎖緊口5傳動(dòng)，被鎖緊的陶瓷管7緊跟勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，由于陶瓷管7的勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)了襯底9前進(jìn)，經(jīng)過噴頭裝置10后，襯底9表面鍍上一層二氧化錫導(dǎo)電膜。
電機(jī)裝置2設(shè)置了變頻系統(tǒng)，頻率可在0-50Hz進(jìn)行無級(jí)調(diào)節(jié)，通過調(diào)節(jié)頻率改變電機(jī)轉(zhuǎn)速，通過傳動(dòng)鏈3、傳動(dòng)裝置4、鎖緊口5，使陶瓷管7轉(zhuǎn)動(dòng)，最終帶動(dòng)襯底9可調(diào)速前進(jìn)。加熱裝置8設(shè)有0-700℃溫度自動(dòng)控制系統(tǒng)，可改變襯底9的溫度。陶瓷管7的管徑、管距尺寸的選擇與襯底9的尺寸重量有關(guān)，管徑小，承載襯底9的重量小，管徑大，管距大，當(dāng)管徑太大時(shí)，襯底9(普通玻璃)達(dá)到軟化點(diǎn)溫度時(shí)有變形趨勢。對于襯底9的尺寸，如果長為915-1220mm，寬為305-355mm，厚0.5-5mm，其陶瓷管7的直徑選擇40mm，相鄰陶瓷管的中心距為550mm。
具體實(shí)施例例1、二氧化錫導(dǎo)電膜的制造裝置。
窯體1內(nèi)腔寬450mm，高350mm；窯體1長19.5m；陶瓷管7的直徑40mm；陶瓷管7與陶瓷管7之間中心距550mm；電機(jī)裝置2；傳動(dòng)裝置4；傳動(dòng)鏈3；鎖緊口5；軸承6；加熱裝置8。
襯底為普通玻璃，長1220mm，寬356mm，厚3mm。
制備流程襯底清洗；襯底加熱溫度520℃；襯底以300mm/min速度勻速地在陶瓷管傳送帶上被動(dòng)傳送；化學(xué)氣相噴涂，載氣流量15ml/min；檢測。
取得效果如下在普通玻璃表面噴涂一層二氧化錫薄膜，經(jīng)檢測導(dǎo)電膜玻璃平整無變形，薄膜層厚度為3000nm，導(dǎo)電方塊電阻為10Ω/口，導(dǎo)電薄膜層牢固度好，經(jīng)激光刻劃，超聲清洗無發(fā)現(xiàn)膜層脫落。
例2用普通玻璃做襯底9，長1220mm，寬356mm，厚3mm窯體1內(nèi)腔寬400mm，高300mm；窯體1長14m；陶瓷管7的直徑40mm；陶瓷管7與陶瓷管7間的中心距550mm；電機(jī)裝置2；傳動(dòng)裝置4；傳動(dòng)鏈3；鎖緊口5；軸承6；加熱裝置8。
制備流程襯底9清洗；襯底9加熱溫度580℃；襯底9水平被動(dòng)傳動(dòng)速度300mm/min；化學(xué)氣相沉積噴涂，載氣流量15ml/min；檢測在普通玻璃襯底9表面上噴涂一層二氧化錫導(dǎo)電膜，檢測結(jié)果表明襯底9即導(dǎo)電膜玻璃平整無變形，薄膜層厚為3200nm，導(dǎo)電方塊電阻8Ω/口，導(dǎo)電薄膜層牢固度好，經(jīng)激光刻劃，超聲清洗無發(fā)現(xiàn)膜脫落。
權(quán)利要求
1.一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜制造設(shè)備，其特征在于鍍膜輥道窯以陶瓷管作為傳動(dòng)件構(gòu)成，包括數(shù)根同步滾動(dòng)的陶瓷管構(gòu)成送帶裝置，還包括窯體、電機(jī)控制裝置、傳動(dòng)鏈、齒輪傳送裝置、窯體加熱裝置，鍍膜傳送件襯底在陶瓷管傳送帶上被傳送至窯體中部，由設(shè)在窯體中部的噴頭裝置對襯底表面噴鍍二氧化錫透明導(dǎo)電膜層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜制造設(shè)備，其特征在于所說陶瓷輥傳送帶裝置，還包括帶鎖緊口的主傳動(dòng)側(cè)和從動(dòng)側(cè)，主傳動(dòng)側(cè)設(shè)有電機(jī)控制裝置、傳動(dòng)鏈、齒輪傳送裝置、鎖緊口，從動(dòng)側(cè)設(shè)有固定齒輪，所說的數(shù)根陶瓷管為水平放置，陶瓷管的一頭插在主傳動(dòng)側(cè)出口處鎖緊口鎖定，陶瓷管的另一頭由從動(dòng)側(cè)承載。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造設(shè)備，其特征在于還包括爐體內(nèi)安裝若干個(gè)陶瓷管，爐體兩側(cè)有若干個(gè)予留孔，陶瓷管從予留孔穿過爐體內(nèi)腔，插入主傳動(dòng)側(cè)內(nèi)側(cè)出口處槽內(nèi)由鎖緊口鎖定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜制造設(shè)備，其特征還包括齒輪傳動(dòng)裝置設(shè)有減速器、斜齒—圓柱齒輪組及其保護(hù)罩，護(hù)罩內(nèi)側(cè)邊有鎖緊口，齒輪傳帶動(dòng)組通過鎖緊口帶動(dòng)陶瓷管勻速動(dòng)轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的設(shè)備，其特征在于所述電機(jī)裝置，由變頻調(diào)速器控制電機(jī)裝置，且至少控制一臺(tái)以上電機(jī)同步運(yùn)行，傳動(dòng)鏈帶動(dòng)齒輪傳動(dòng)裝置和鎖定的陶瓷管運(yùn)轉(zhuǎn)，控制鍍膜襯底移動(dòng)速度。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的這種二氧化錫透明導(dǎo)電膜制造設(shè)備，其特征在于鍍膜輥道窯還包括鍍膜沉底的進(jìn)口工位、出口工位、清洗單元、加熱單元、恒溫單元、速度單元；化學(xué)氣相噴涂單元，載氣流量單元、冷卻單元、檢測單元。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的這種二氧化錫透明導(dǎo)電膜制造設(shè)備，其特征在于所說窯體加熱裝置包括加熱體和測溫裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或7所述的這種二氧化錫透明導(dǎo)電膜制造設(shè)備，其特征在于所加熱裝置的加熱體裝在鍍膜輥道窯的預(yù)熱單元、升溫單元、恒溫單元。
9.據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造設(shè)備，其特征在于所說的作為傳動(dòng)件的陶瓷管與陶瓷管之間等距離，切線速度相同，各陶瓷管中心間距均勻。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造設(shè)備，其特征還在于襯底是普通玻璃，寬為150-800mm，長為350-2000mm，厚為0.55-5mm，襯底運(yùn)行速度為100-650mm/min。
全文摘要
本發(fā)明創(chuàng)造涉及二氧化錫透明導(dǎo)電膜的制造裝置，以陶瓷管作為傳動(dòng)件構(gòu)成，包括數(shù)根同步滾動(dòng)的陶瓷管構(gòu)成送帶裝置。括窯體、電機(jī)控制裝置、傳動(dòng)鏈、齒輪傳送裝置、窯體加熱裝置，鍍膜襯底在陶瓷管傳送帶上被傳送至窯體中部，窯體中部噴頭對襯底表面噴鍍二氧化錫透明導(dǎo)電膜層。主傳動(dòng)側(cè)設(shè)有電機(jī)、傳動(dòng)鏈、齒輪傳送裝置、鎖緊口，從動(dòng)側(cè)設(shè)有固定齒輪，數(shù)根陶瓷管水平放置，一頭被鎖定，可以不停機(jī)更換陶瓷管，不影響生產(chǎn)?？朔擞媒饘賯魉蛶б赘g，襯底變形。提高襯底溫度，使導(dǎo)電膜牢固產(chǎn)品質(zhì)量提高，延長設(shè)備使用壽命，降低生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)C23C16/40GK1563482SQ200410026828
公開日2005年1月12日 申請日期2004年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年4月14日
發(fā)明者李毅, 鄭澤文 申請人:李毅