技術(shù)編號：3256226
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種制造二氧化錫透明導電膜的陶瓷輥傳送設(shè)備，確切的說以帶陶瓷管作傳送件，常壓化學汽相沉積法制備二氧化錫透明導電膜的設(shè)備領(lǐng)域。背景技術(shù)目前，制造二氧化錫透明導電膜是采用常壓化學氣相沉積法CVD，其制造裝置是采用隧道窯式爐體結(jié)構(gòu)，由金屬傳送帶輸送襯底，如附圖說明圖1所示。我國在八十年代未，九十年代初從美國克羅拉公司引進兩條非晶硅太陽能電池生產(chǎn)線中的二氧化錫透明導電膜設(shè)備，以及美國BTU公司專業(yè)制造的二氧化錫透明導電膜設(shè)備均采用這種隧道窯式爐體結(jié)構(gòu)，...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。