專利名稱：射頻電源導(dǎo)入裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于一種新型的電流導(dǎo)入裝置，應(yīng)用于管式PECVD設(shè)備。
背景技術(shù)：
在管式PECVD的工作過(guò)程中，放電的過(guò)程是必須的關(guān)鍵過(guò)程，此過(guò)程可以直接決定成膜的質(zhì)量的好壞。在傳統(tǒng)的管式PECVD設(shè)備中，電流導(dǎo)入的方式往往采用電流導(dǎo)入端子直接導(dǎo)入的方式，此種裝置由于電流導(dǎo)入端子是固定于成膜室內(nèi)的電極上的，而電極又是和膜室內(nèi)的石墨舟是一體的，所以在取料和送料的時(shí)候，電極隨著石墨舟會(huì)內(nèi)外運(yùn)動(dòng)，必然導(dǎo)致電流導(dǎo)入端子也一同運(yùn)動(dòng)，這樣會(huì)導(dǎo)致諸如電流導(dǎo)入電線過(guò)長(zhǎng)，接觸不穩(wěn)定等因素，并且電線隨電流導(dǎo)入端子運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中也會(huì)產(chǎn)生不安全的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于設(shè)計(jì)一種射頻電源導(dǎo)入裝置，采用插入或者閘刀的方式將電流導(dǎo)入端子從爐管的后蓋側(cè)面插入爐管內(nèi)部，與管內(nèi)的電極相接，從而完成射頻電源的電流倒入，滿足工藝放電的要求。從而克服了諸如電流導(dǎo)入電線過(guò)長(zhǎng)，接觸不穩(wěn)定等因素，提高了生產(chǎn)效率，保證成膜的質(zhì)量。
按照本實(shí)用新型所提供的設(shè)計(jì)方案，在石英管腔體的端部有石英管密封部，在石英管腔體內(nèi)有可以移動(dòng)的石墨舟，石墨舟的端部有電極引入端，在石英管密封部的下面連接波紋管，波紋管的上面連接可以伸入石英管密封部?jī)?nèi)的電流導(dǎo)入端子，波紋管的下面與汽缸的活塞桿連接。
波紋管利用石英管密封部連接法蘭與石英管密封部連接。波紋管利用波紋管連接法蘭與汽缸的活塞桿連接。波紋管連接法蘭與汽缸的活塞桿之間有汽缸連接法蘭。
本裝置大體可分為三部分進(jìn)行工作。一.導(dǎo)入驅(qū)動(dòng)部分，二.波紋管密封部分，三.電流導(dǎo)入部分。其中，導(dǎo)入驅(qū)動(dòng)部分主要是以汽缸為主的氣動(dòng)部分，它主要是按照要求提供接入和拉出的動(dòng)力，從而滿足電流導(dǎo)入部分的行程要求，完成所需的動(dòng)作。波紋管密封部分是保證成膜室的密封以及電流導(dǎo)入部分的密封，而焊接波紋管的部分在保證密封的前提下，還必須給電流導(dǎo)入部分的動(dòng)作提供必須的形成要求。電流導(dǎo)入部分就是完成外部電極和成膜室內(nèi)石墨舟上電極相接的裝置，它與內(nèi)部電極的接觸和拔出的完成也就是整個(gè)一個(gè)成膜過(guò)程開(kāi)始和結(jié)束的標(biāo)志。


圖1是本裝置的結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式
1.汽缸，2.汽缸連接法蘭，3.焊接波紋管，4.波紋管連接法蘭，5.石英管密封部連接法蘭，6.電流導(dǎo)入端子，7.電極引入端，8.石英管密封部，9.石墨舟，10.石英管腔體。
汽缸1是導(dǎo)入驅(qū)動(dòng)部分的主要元器件，它固定在管式PECVD設(shè)備的機(jī)架之上，為整個(gè)新型的導(dǎo)入裝置的動(dòng)作提供動(dòng)力來(lái)源，驅(qū)動(dòng)電流導(dǎo)入端子6作上下移動(dòng)。汽缸連接法蘭2與汽缸1連接，組成導(dǎo)入驅(qū)動(dòng)部分，它的存在克服了焊接波紋管3與汽缸1連接過(guò)程中的密封問(wèn)題，同時(shí)汽缸連接法蘭2與汽缸1連成一體后，將隨著汽缸1的運(yùn)動(dòng)一起動(dòng)作，擠壓焊接波紋管3。焊接波紋管3是具有一定壓縮和拉伸性能的金屬軟管，它在汽缸1運(yùn)動(dòng)后，受到一定的擠壓或者拉伸而發(fā)生變形，它的變形量決定了電流導(dǎo)入端子6在上下移動(dòng)過(guò)程中的位移量大小。波紋管連接法蘭4與焊接波紋管3聯(lián)為一體后又與汽缸連接法蘭2相接，很好的過(guò)渡了焊接波紋管3與導(dǎo)入驅(qū)動(dòng)部分的相連，解決了兩部分之間的密封問(wèn)題，防止了成膜室內(nèi)與大氣的接觸。焊接波紋管3，波紋管連接法蘭4和石英管密封部連接法蘭5組成了整個(gè)裝置的波紋管密封部分。石英管密封部連接法蘭5固定于石英管密封部8上，它的下端與焊接波紋管3相焊接，使得焊接波紋管3也能固定于石英管密封部8上，避免了焊接波紋管3與石英管密封部8直接焊接遇到的技術(shù)難題，同時(shí)石英管密封部連接法蘭5也可以對(duì)電流導(dǎo)入端子6起到導(dǎo)向的作用，防止導(dǎo)入驅(qū)動(dòng)部分?jǐn)D壓焊接波紋管3的過(guò)程中由于焊接波紋管3的變形而導(dǎo)致電流導(dǎo)入端子6在上下運(yùn)動(dòng)中可能產(chǎn)生的誤差。電流導(dǎo)入端子6是外部射頻電源將電流導(dǎo)入成膜室內(nèi)部的關(guān)鍵器件，它的下端通過(guò)焊接波紋管3的內(nèi)部與汽缸1相連，這樣在汽缸1的運(yùn)動(dòng)過(guò)程中它也隨之一起上下移動(dòng)，從而完成電極引入端7的接觸和拉出動(dòng)作，使得外部射頻電源將電流導(dǎo)入。電流導(dǎo)入端子6由軸和電流導(dǎo)入端子組成，它的位移根據(jù)焊接波紋管3的變形量而決定。電極引入端7和電流導(dǎo)入端子6接觸后，將電流引入，完成成膜工程中的必要的工藝條件，由于電極引入端7是和石墨舟9連在一起的，所以它和石墨舟9一起來(lái)回運(yùn)動(dòng)于石英管10中。
射頻電源新型導(dǎo)入裝置的整個(gè)工作原理的過(guò)程為首先石墨舟9在裝片后向石英管腔體10的內(nèi)部運(yùn)動(dòng)，電極引入端7隨著石墨舟9一起進(jìn)入到石英管腔體10的內(nèi)部，在到位后電極引入端7正好位于電流導(dǎo)入端子6的上端，接著汽缸1開(kāi)始工作，在汽缸1的推動(dòng)下汽缸連接法蘭2和波紋管連接法蘭4一起擠壓焊接波紋管3變形，同時(shí)電流導(dǎo)入端子6也隨著汽缸1的推動(dòng)一起向上移動(dòng)，在電流導(dǎo)入端子6與電極引入端7相接觸后，汽缸1停止工作，而焊接波紋管3也保持一定的變形量。此時(shí)外部的射頻電源開(kāi)始工作，電流導(dǎo)入端子6將電流導(dǎo)入，電極引入端7把電流引入工作區(qū)，完成放電。在整個(gè)成膜結(jié)束后，汽缸1開(kāi)始工作，電流導(dǎo)入端子6隨之離開(kāi)電極引入端7直到起始位置，石墨舟9移動(dòng)出石英管腔體10，整個(gè)工作環(huán)節(jié)完成。
射頻電源新型導(dǎo)入裝置與傳統(tǒng)裝置的區(qū)別在于傳統(tǒng)裝置的電流導(dǎo)入端6是與電極引入端7連接在一起的，這樣在整個(gè)的工作過(guò)程中，電流導(dǎo)入端6勢(shì)必同石墨舟9一起往復(fù)運(yùn)動(dòng)，所以與電流導(dǎo)入端6的電纜的長(zhǎng)度必須要大于石墨舟9的行程范圍，這樣在工作中，石墨舟9帶著長(zhǎng)的電纜一起運(yùn)動(dòng)會(huì)影響整個(gè)工作的效率，石英管腔體10的密封也是一個(gè)問(wèn)題，而且由于過(guò)長(zhǎng)電纜會(huì)對(duì)電流的穩(wěn)定性有所影響，從而直接影響到產(chǎn)品的最終質(zhì)量。本射頻電源新型導(dǎo)入裝置克服了以上的缺陷，同時(shí)也對(duì)整個(gè)管式PECVD設(shè)備的外型有了優(yōu)化，具有高穩(wěn)定性，高安全性，可操作性，能適合批量生產(chǎn)的需要，能降低由于缺乏穩(wěn)定性而生產(chǎn)不合格產(chǎn)品的概率，從而提高了生產(chǎn)效率。
權(quán)利要求1.射頻電源導(dǎo)入裝置，其特征是在石英管腔體(10)的端部有石英管密封部(8)，在石英管腔體(10)內(nèi)有可以移動(dòng)的石墨舟(9)，石墨舟(9)的端部有電極引入端(7)，在石英管密封部(8)的下面連接波紋管(3)，波紋管(3)的上面連接可以伸入石英管密封部(8)內(nèi)的電流導(dǎo)入端子(6)，波紋管(3)的下面與汽缸(1)的活塞桿連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是波紋管(3)利用石英管密封部連接法蘭(5)與石英管密封部(8)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征是波紋管(3)利用波紋管連接法蘭(4)與汽缸(1)的活塞桿連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的裝置，其特征是波紋管連接法蘭(4)與汽缸(1)的活塞桿之間有汽缸連接法蘭(2)。
專利摘要本實(shí)用新型屬于一種新型的電流導(dǎo)入裝置，應(yīng)用于管式PECVD設(shè)備。按照本實(shí)用新型所提供的設(shè)計(jì)方案，在石英管腔體的端部有石英管密封部，在石英管腔體內(nèi)有可以移動(dòng)的石墨舟，石墨舟的端部有電極引入端，在石英管密封部的下面連接波紋管，波紋管的上面連接可以伸入石英管密封部?jī)?nèi)的電流導(dǎo)入端子，波紋管的下面與汽缸的活塞桿連接。本裝置具有高穩(wěn)定性，高安全性，更具有可操作性，能適合批量生產(chǎn)的需要，能降低由于缺乏穩(wěn)定性而生產(chǎn)不合格產(chǎn)品的概率，從而提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C16/505GK2666929SQ20032012023
公開(kāi)日2004年12月29日 申請(qǐng)日期2003年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月3日
發(fā)明者劉曉蔭, 徐曉斌 申請(qǐng)人:劉曉蔭, 徐曉斌