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一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu)的制作方法

文檔序號:36714閱讀:446來源:國知局
專利名稱:一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),包括氣缸和座,所述氣缸與座之間通過內(nèi)六角螺釘連接,所述座頂部設(shè)有壓板,所述壓板通過十字槽螺釘與座相連,所述座內(nèi)置有限位柱,所述限位柱兩側(cè)設(shè)有彈簧,所述限位柱與活塞桿的加工表面接觸,所述活塞桿一端穿過氣缸和座,所述活塞桿的另一端與靶材連接,所述靶材的頂部與引弧針相連。本實(shí)用新型的有益效果是:該機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單、小巧不影響外觀;拆卸方便;價格合理;依靠彈簧力使引弧氣缸活塞桿限位保證引弧穩(wěn)定;由于是彈簧力該機(jī)構(gòu)又保證了氣缸桿的靈活性因此應(yīng)用該機(jī)構(gòu)還方便了弧源清理及換靶材工作。
【專利說明】_種弓I弧氣缸限位機(jī)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備,具體涉及一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著社會發(fā)展,科技進(jìn)步人們對各種材料的應(yīng)用也有了各種各樣的要求。所以在基材表面涂上一層保護(hù)性涂層是提高材料表面性能的一種經(jīng)濟(jì)實(shí)用的有效途徑,保護(hù)性涂層作為機(jī)械功能膜的一個重要分支,在工業(yè)領(lǐng)域中應(yīng)用廣泛。多弧離子鍍作為鍍膜行業(yè)的一個重要分支應(yīng)用也越來越廣泛。多弧離子鍍蒸發(fā)源是由水冷陰極、磁場和引弧電級等組成?;≡垂ぷ餍柘纫。C(jī)構(gòu)作為一個重要組成部分要保證引弧穩(wěn)定,密封性好,維護(hù)方便。目前大部分廠家都使用氣缸來實(shí)現(xiàn)這一功能,應(yīng)用氣缸實(shí)現(xiàn)了引弧后馬上脫開的要求有效的防止了粘弧現(xiàn)象的產(chǎn)生。
[0003]目前可選的引弧氣缸主要有導(dǎo)向氣缸、旋轉(zhuǎn)氣缸和普通氣缸。
[0004]1、導(dǎo)向氣缸可以保證引弧位置一致性,引弧穩(wěn)定問題少。但使用該氣缸在維護(hù)弧源拆卸靶材時不方便。
[0005]2.旋轉(zhuǎn)氣缸位置不方便控制。
[0006]3.普通氣缸引弧過程中弧針會動,影響再次引弧。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,本發(fā)明提供了一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),該機(jī)構(gòu)解決了普通氣缸引弧時弧針位置不確定的問題,同時應(yīng)用該機(jī)構(gòu)也不影響弧源清理以及靶材拆卸更換。
[0008]為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型是通過如下的技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),包括氣缸和座,所述氣缸與座之間通過內(nèi)六角螺釘連接,所述座頂部設(shè)有壓板,所述壓板通過十字槽螺釘與座相連,所述座內(nèi)置有限位柱,所述限位柱兩內(nèi)側(cè)設(shè)有彈簧,所述限位柱與活塞桿的加工表面接觸,所述活塞桿一端穿過氣缸和座,所述活塞桿的另一端與靶材連接,所述靶材的頂部與引弧針相連。
[0009]進(jìn)一步,所述彈簧均鑲嵌在座上,所述彈簧頂端緊頂壓板,所述彈簧底端緊頂活塞桿。
[0010]進(jìn)一步,所述彈簧的彈簧力為鎖緊力,當(dāng)外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿將轉(zhuǎn)動。
[0011]進(jìn)一步,所述限位柱與座上孔配合,所述限位柱材質(zhì)為黃銅。
[0012]進(jìn)一步,所述氣缸與弧源連接。
[0013]本實(shí)用新型的有益效果是:該機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單、小巧不影響外觀;拆卸方便;價格合理;依靠彈簧力使引弧氣缸活塞桿限位保證引弧穩(wěn)定;由于是彈簧力該機(jī)構(gòu)又保證了氣缸桿的靈活性因此應(yīng)用該機(jī)構(gòu)還方便了弧源清理及換靶材工作。

【附圖說明】

[0014]圖1為本實(shí)用新型整體結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖中:1、座,2、壓板,3、限位柱,4、彈簧,5、十字槽螺釘,6、氣缸,7、引弧針,8、內(nèi)六角螺釘,9、活塞桿,10、靶材。

【具體實(shí)施方式】
[0016]為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解,下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】,進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0017]如圖1所示:一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),包括氣缸和座,所述氣缸6與座I之間通過內(nèi)六角螺釘8連接,所述座I頂部設(shè)有壓板2,所述壓板2通過十字槽螺釘5與座I相連,所述座I內(nèi)置有限位柱3,所述限位柱3兩側(cè)設(shè)有彈簧4,所述限位柱3與活塞桿9的加工表面接觸,所述活塞桿9 一端穿過氣缸6和座1,所述活塞桿9的另一端與靶材10連接,所述靶材10的頂部與引弧針7相連。所述彈簧4均鑲嵌在座I上,所述彈簧4頂端緊頂壓板2,所述彈簧4底部緊頂活塞桿9 ;所述彈簧4的彈簧力為鎖緊力,當(dāng)外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿9將轉(zhuǎn)動;所述限位柱3與座I上孔配合,所述限位柱3材質(zhì)為黃銅;所述氣缸(6)與弧源連接。
[0018]氣缸6與座I通過內(nèi)六角螺釘8連接,使他們緊密連接在一起;座I頂部設(shè)有壓板2,且壓板2壓緊彈簧4通過十字槽螺釘5與座I相連,給彈簧4很大的壓力并使彈簧4底部頂緊限位柱3 ;彈簧4均鑲嵌在座I上,彈簧4頂端緊頂壓板2,彈簧4底部緊頂活塞桿9,使限位柱3靠在活塞桿9銑扁平面上從而起到防轉(zhuǎn)限位作用并給限位柱3提供彈簧力;彈簧4的彈簧力為鎖緊力,當(dāng)外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿9將轉(zhuǎn)動,從而方便工作人員對弧源進(jìn)行維護(hù);限位柱3與座I上孔配合,限位柱3材質(zhì)為黃銅,當(dāng)氣缸6工作時減少活塞桿9的磨損。
[0019]具體工作原理:當(dāng)氣缸6動作引弧時,活塞桿9向后移動,由于限位柱3端面與活塞桿9所加工平面接觸,防轉(zhuǎn)活塞桿9轉(zhuǎn)動從而保證引弧一致性。當(dāng)對弧源進(jìn)行維護(hù),拆卸靶材10時引弧針7會影響靶材10拆卸,此時用力旋轉(zhuǎn)弧針7,活塞桿9將克服限位柱3的彈簧力旋轉(zhuǎn)從而解決拆卸靶材10干涉問題。
[0020]采購氣缸6時無需做大的改動,只需將氣缸6的活塞桿9后端露出部分加工一個相應(yīng)長度的工藝扁,座I與氣缸6連接連接尺寸按氣缸配做。
[0021]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解,本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制,上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理,在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下,本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn),這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),包括氣缸(6)和座(I ),其特征在于:所述氣缸(6)與座(I)之間通過內(nèi)六角螺釘(8)連接,所述座(I)頂部設(shè)有壓板(2),所述壓板(2)通過十字槽螺釘(5)與座(10)相連,所述座(I)內(nèi)置有限位柱(3),所述限位柱(3)兩側(cè)設(shè)有彈簧(4),所述限位柱(3)與活塞桿(9)的加工表面接觸,所述活塞桿(9) 一端穿過氣缸(6)和座(1),所述活塞桿(9)的另一端與靶材(10)連接,所述靶材(10)的頂部與引弧針(7)相連。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),其特征在于:所述彈簧(4)均鑲嵌在座(I)上,所述彈簧(4)頂端緊頂壓板(2),所述彈簧(4)底端緊頂活塞桿(9)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),其特征在于:所述彈簧(4)的彈簧力為鎖緊力,當(dāng)外部作用力大于彈簧鎖緊力時活塞桿(9)將轉(zhuǎn)動。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),其特征在于:所述限位柱(3)與座(I)上孔配合,且材質(zhì)為黃銅。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種引弧氣缸限位機(jī)構(gòu),其特征在于:所述氣缸(6)與弧源連接。
【文檔編號】C23C14-32GK204281847SQ201420755204
【發(fā)明者】王寶林, 龔健 [申請人]大連維鈦克科技股份有限公司
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